JPH07123744A - 振動型モータの駆動装置 - Google Patents
振動型モータの駆動装置Info
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- JPH07123744A JPH07123744A JP5261149A JP26114993A JPH07123744A JP H07123744 A JPH07123744 A JP H07123744A JP 5261149 A JP5261149 A JP 5261149A JP 26114993 A JP26114993 A JP 26114993A JP H07123744 A JPH07123744 A JP H07123744A
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- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 title abstract 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 25
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 23
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N endosulfan Chemical compound C12COS(=O)OCC2C2(Cl)C(Cl)=C(Cl)C1(Cl)C2(Cl)Cl RDYMFSUJUZBWLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/105—Cycloid or wobble motors; Harmonic traction motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/145—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/147—Multi-phase circuits
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動型モータにおいて適正に振動状態の検知
を行なわせること。 【構成】 振動検知用圧電素子Ｓの出力電圧に含まれる
駆動用周波信号電圧をキヤンセルするための差動アンプ
１１等のキヤンセル回路を設け、適正な振動検出出力を
得る。
を行なわせること。 【構成】 振動検知用圧電素子Ｓの出力電圧に含まれる
駆動用周波信号電圧をキヤンセルするための差動アンプ
１１等のキヤンセル回路を設け、適正な振動検出出力を
得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、振動体の共振を利用し
た振動型モータの駆動装置に関するものである。
た振動型モータの駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、超音波モータもしくは圧電モータ
又は振動波モーターと称される振動型モータが開発さ
れ、本出願人等によって実用化されている。この振動型
モータは、既によく知られているように、圧電素子もし
くは電歪素子などの電気一機械エネルギー変換素子に交
番電圧を印加することにより該素子に高周波振動を発生
させ、その振動エネルギーを連続的な機械運動として取
り出すように構成された非電磁駆動式の新型モータであ
る。
又は振動波モーターと称される振動型モータが開発さ
れ、本出願人等によって実用化されている。この振動型
モータは、既によく知られているように、圧電素子もし
くは電歪素子などの電気一機械エネルギー変換素子に交
番電圧を印加することにより該素子に高周波振動を発生
させ、その振動エネルギーを連続的な機械運動として取
り出すように構成された非電磁駆動式の新型モータであ
る。
【０００３】図１３は従来の棒状振動波モータの側面図
およびにそこに構成されている圧電素子の電圧供給およ
び出力電圧の取り出しの配線図である。１は該棒状超音
波モータを構成する振動体で圧電素子もしくは電歪素子
と弾性体との結合体から成る。
およびにそこに構成されている圧電素子の電圧供給およ
び出力電圧の取り出しの配線図である。１は該棒状超音
波モータを構成する振動体で圧電素子もしくは電歪素子
と弾性体との結合体から成る。
【０００４】上記振動子部１の圧電素子部は、駆動用の
Ａ相圧電素子ａ１、ａ２およびＢ相圧電素子ｂ、ｂ２と
振動検出圧電素子Ｓから構成されている。このときＡ相
圧電素子ａ１、ａ２に挟まれた部分にＡ相印加電圧、Ｂ
相圧電素子ｂ１、ｂ２に挟まれた部分にＢ相印加電圧を
加えることで該圧電素子が駆動される。またこのときＡ
相圧電素子ａ１、ａ２およびＢ相圧電素子ｂ１、ｂ２の
裏側はＧＮＤ電位になっている。振動検出圧電素子Ｓは
同様に一方はＧＮＤ電位になっており、その反対側から
信号を取り出すように構成されている。またこのとき振
動検出圧電素子Ｓの信号取り出し面側は、金属ブロック
と接しているがそのブロックは絶縁シートによりＧＮＤ
電位から絶縁されている。よって振動検出圧電素子Ｓか
らその振動に応じた電力電圧がそのまま得られる。そし
て、この電圧の大きさや駆動電圧との位相差などにより
共振周波数などを求める。
Ａ相圧電素子ａ１、ａ２およびＢ相圧電素子ｂ、ｂ２と
振動検出圧電素子Ｓから構成されている。このときＡ相
圧電素子ａ１、ａ２に挟まれた部分にＡ相印加電圧、Ｂ
相圧電素子ｂ１、ｂ２に挟まれた部分にＢ相印加電圧を
加えることで該圧電素子が駆動される。またこのときＡ
相圧電素子ａ１、ａ２およびＢ相圧電素子ｂ１、ｂ２の
裏側はＧＮＤ電位になっている。振動検出圧電素子Ｓは
同様に一方はＧＮＤ電位になっており、その反対側から
信号を取り出すように構成されている。またこのとき振
動検出圧電素子Ｓの信号取り出し面側は、金属ブロック
と接しているがそのブロックは絶縁シートによりＧＮＤ
電位から絶縁されている。よって振動検出圧電素子Ｓか
らその振動に応じた電力電圧がそのまま得られる。そし
て、この電圧の大きさや駆動電圧との位相差などにより
共振周波数などを求める。
【０００５】図１４はこのような振動波モータを用いた
ときの駆動回路を示したものである。ＡおよびＢは該圧
電素子もしくは電歪素子に交番電圧を印加するための駆
動電極、２は交番電圧を発生する発振器、３は９０°移
相器、４Ａ、５Ｂは、該発振器および移相器からの交番
電圧を電源電圧でスイッチングするスイッチング回路、
６、７はスイッチング回路４Ａ、５Ｂでスイッチングさ
れたパルス電圧を増幅する昇圧コイルである。８は駆動
電極Ａと振動検出電極Ｓの信号位相差を検出する位相差
検出器である。
ときの駆動回路を示したものである。ＡおよびＢは該圧
電素子もしくは電歪素子に交番電圧を印加するための駆
動電極、２は交番電圧を発生する発振器、３は９０°移
相器、４Ａ、５Ｂは、該発振器および移相器からの交番
電圧を電源電圧でスイッチングするスイッチング回路、
６、７はスイッチング回路４Ａ、５Ｂでスイッチングさ
れたパルス電圧を増幅する昇圧コイルである。８は駆動
電極Ａと振動検出電極Ｓの信号位相差を検出する位相差
検出器である。
【０００６】１０は制御用マイコンである。図１５は上
記図１４の駆動電極Ａと振動検出電極Ｓの信号の波形図
である。
記図１４の駆動電極Ａと振動検出電極Ｓの信号の波形図
である。
【０００７】制御用マイコン１０は振動波モータが駆動
すべきある周波数の交番電圧を与えるように発振器２に
指令を与える。このとき駆動電極Ａと振動検出電極Ｓの
信号は図１５に示すようなきれいな正弦波である。よっ
て、位相差検出器８はそのときの位相差に相当する信号
をマイコン１０に出力することが可能である。マイコン
１０はこの信号から現在共振周波数に対しどの程度ずれ
ているかを判断し最適な周波数で駆動するよう制御す
る。このようにして、駆動周波数の制御を行うことがで
きる。
すべきある周波数の交番電圧を与えるように発振器２に
指令を与える。このとき駆動電極Ａと振動検出電極Ｓの
信号は図１５に示すようなきれいな正弦波である。よっ
て、位相差検出器８はそのときの位相差に相当する信号
をマイコン１０に出力することが可能である。マイコン
１０はこの信号から現在共振周波数に対しどの程度ずれ
ているかを判断し最適な周波数で駆動するよう制御す
る。このようにして、駆動周波数の制御を行うことがで
きる。
【０００８】このような棒状振動モータにおいて、図１
６のように駆動用圧電素子が奇数枚になると、駆動信号
が振動体の部分に駆動電圧が印加されてしまい振動検出
用圧電素子を単に駆動用圧電素子に積層しても適正な検
出出力が得られない。
６のように駆動用圧電素子が奇数枚になると、駆動信号
が振動体の部分に駆動電圧が印加されてしまい振動検出
用圧電素子を単に駆動用圧電素子に積層しても適正な検
出出力が得られない。
【０００９】また、振動波モータは圧電素子を使うため
駆動電圧が高くなるという問題がある。この対策として
図１７のようなフローティング構造にして従来の電圧の
半分で駆動できるという方法が考えられている。
駆動電圧が高くなるという問題がある。この対策として
図１７のようなフローティング構造にして従来の電圧の
半分で駆動できるという方法が考えられている。
【００１０】図１８はこのような振動波モータを用いた
ときの駆動回路を示したものである。Ａ、Ａ’および
Ｂ、Ｂ’は該圧電素子もしくは電歪素子に交番電圧を印
加するための駆動電極、２は交番電圧を発生する発振
器、３は９０°位相器、４Ａ、４’、５Ｂ、５Ｂ’は、
該発振器および移相器からの交番電圧を電源電圧でスイ
ッチングするスイッチング回路、６、７はスイッチング
回路４Ａ、４Ａ’、５Ｂ、５’でスイッチングされたパ
ルス電圧を増幅する昇圧コイルである。
ときの駆動回路を示したものである。Ａ、Ａ’および
Ｂ、Ｂ’は該圧電素子もしくは電歪素子に交番電圧を印
加するための駆動電極、２は交番電圧を発生する発振
器、３は９０°位相器、４Ａ、４’、５Ｂ、５Ｂ’は、
該発振器および移相器からの交番電圧を電源電圧でスイ
ッチングするスイッチング回路、６、７はスイッチング
回路４Ａ、４Ａ’、５Ｂ、５’でスイッチングされたパ
ルス電圧を増幅する昇圧コイルである。
【００１１】１０は制御用マイコンである。制御用マイ
コン１０は振動波モータが駆動すべきある周波数の交番
電圧を与えるように発振器２に指令を与える。このとき
スイッチング回路４Ａ、４Ａ’および５Ｂ、５Ｂ’位相
の１８０度ずれた信号が入力されたそのタイミングでス
イッチングされる。このとき振動体の駆動電極Ａ、Ａ’
およびＢ、Ｂ’には見かけ上電源電圧の２倍の電圧がコ
イルを介して印加されているかのようになる。よって、
従来の電圧の半分で駆動できるようになる。このフロー
ティング構造を取った場合においても検出用圧電素子を
配する際して上述の問題が生じる。
コン１０は振動波モータが駆動すべきある周波数の交番
電圧を与えるように発振器２に指令を与える。このとき
スイッチング回路４Ａ、４Ａ’および５Ｂ、５Ｂ’位相
の１８０度ずれた信号が入力されたそのタイミングでス
イッチングされる。このとき振動体の駆動電極Ａ、Ａ’
およびＢ、Ｂ’には見かけ上電源電圧の２倍の電圧がコ
イルを介して印加されているかのようになる。よって、
従来の電圧の半分で駆動できるようになる。このフロー
ティング構造を取った場合においても検出用圧電素子を
配する際して上述の問題が生じる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述の如く図１６、図
１７のような振動型モーター構造においては、振動検出
圧電素子Ｓを従来の方法と同様に単に駆動用圧電素子に
積層しても、適正な振動検出を行うことが出来ない。
１７のような振動型モーター構造においては、振動検出
圧電素子Ｓを従来の方法と同様に単に駆動用圧電素子に
積層しても、適正な振動検出を行うことが出来ない。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は上記事項に鑑み
なされたもので、振動検出圧電素子の出力に含まれる駆
動用周波信号分の電圧をキヤンセルするキヤンセル回路
を設け、適正な振動検出力を得る振動型モーターの駆動
装置を提供するものである。
なされたもので、振動検出圧電素子の出力に含まれる駆
動用周波信号分の電圧をキヤンセルするキヤンセル回路
を設け、適正な振動検出力を得る振動型モーターの駆動
装置を提供するものである。
【００１４】本発明の他の構成は駆動用圧電素子と検出
用圧電素子との間に絶縁部材を設け、該絶縁部材を介し
て上記駆動用と検出用圧電素子を積層して、適正な振動
検出出力を得る振動型モータの駆動装置を達供するもの
である。
用圧電素子との間に絶縁部材を設け、該絶縁部材を介し
て上記駆動用と検出用圧電素子を積層して、適正な振動
検出出力を得る振動型モータの駆動装置を達供するもの
である。
【００１５】
【実施例】図１に本発明の第１の実施例の棒状振動波モ
ータの側面図およびそこに構成されている圧電素子の電
圧供給および出力電圧の取り出しの配線図を示す。
ータの側面図およびそこに構成されている圧電素子の電
圧供給および出力電圧の取り出しの配線図を示す。
【００１６】図２は図１のモータを駆動する部分と振動
検出する部分の回路のブロック図である。図１における
駆動の部分は従来例の図１６と同じである。本実施例で
はＢ相駆動用圧電素子のＢ相を印加する側に振動検出圧
電素子ｓが設けられており、その反対側には振動検出圧
電素子ｓの信号を取り出す電極Ｓが設けられている。
検出する部分の回路のブロック図である。図１における
駆動の部分は従来例の図１６と同じである。本実施例で
はＢ相駆動用圧電素子のＢ相を印加する側に振動検出圧
電素子ｓが設けられており、その反対側には振動検出圧
電素子ｓの信号を取り出す電極Ｓが設けられている。
【００１７】図２において従来例と異なるのは駆動電極
Ｂと振動検出電極Ｓの間に作動増幅器１１が設けられて
いることである。図３に、駆動電極Ａ、および振動検出
電極Ｓの部分の波形図を示す。
Ｂと振動検出電極Ｓの間に作動増幅器１１が設けられて
いることである。図３に、駆動電極Ａ、および振動検出
電極Ｓの部分の波形図を示す。
【００１８】振動検出電極Ｓの波形は正弦波状の波形に
その圧電素子の反対に印加されている電圧成分が重畳さ
れた波形になっている。すなわち、振動検出電極Ｓから
は振動検出信号とＢ相駆動波形が重畳された波形になっ
ている。よって、差動アンプ１１で重畳された波形成分
を取り除くことで図１５と同様な正弦波波形が得られ
る。この信号を振動検出信号として用いられば従来と同
様に最適な周波数で駆動することができる。
その圧電素子の反対に印加されている電圧成分が重畳さ
れた波形になっている。すなわち、振動検出電極Ｓから
は振動検出信号とＢ相駆動波形が重畳された波形になっ
ている。よって、差動アンプ１１で重畳された波形成分
を取り除くことで図１５と同様な正弦波波形が得られ
る。この信号を振動検出信号として用いられば従来と同
様に最適な周波数で駆動することができる。
【００１９】図４に本発明の第２の実施例の棒状振動波
モータの側面図およびそこに構成されている圧電素子の
電圧供給および出力電圧の取り出しの配線図を示す。
モータの側面図およびそこに構成されている圧電素子の
電圧供給および出力電圧の取り出しの配線図を示す。
【００２０】図５は図４のモータを駆動する部分と振動
検出する部分の回路のブロック図である。図４における
駆動の部分は従来例の図１７と同じである。本実施例で
はＢ相駆動圧電素子のＢ’相を印加する側に振動検出圧
電素子ｓが設けられており、その反対側には振動検出圧
電素子ｓの信号を取り出す電極Ｓが設けられている。
検出する部分の回路のブロック図である。図４における
駆動の部分は従来例の図１７と同じである。本実施例で
はＢ相駆動圧電素子のＢ’相を印加する側に振動検出圧
電素子ｓが設けられており、その反対側には振動検出圧
電素子ｓの信号を取り出す電極Ｓが設けられている。
【００２１】図５において従来例の図１８と異なるのは
駆動電極ＡとＡ’の間、および駆動電極Ｂ’と振動検出
電極Ｓとの間に差動増幅器１１、１２がそれぞれ設けら
れていることである。図６に、図５のＡ、Ａ０、Ａ’、
およびＢ０、Ｂ’と振動検出電極Ｓの部分の波形図を示
す。スイッチング回路４Ａからの信号Ａ０とスイッチン
グ回路４Ａ’からの信号Ａ’はちょうど位相が反転して
いる。また、５Ｂ、５Ｂ’からの信号Ｂ０、Ｂ’は、４
Ａの信号に対して９０度位相がずれ、かつそれぞれの位
相が反転した信号が出力される。駆動電極Ａと振動検出
電極Ｓの波形は正弦波状の波形にその圧電素子の反対に
印加されている電圧成分（すなわちＡ、Ｂ’）が重畳さ
れた波形になっている。よって、差動アンプ１１、１２
でそれぞれの重畳された波形成分を取り除くことで図６
のＡ−Ａ’、Ｓ−Ｂ’波形の如くきれいな正弦波が得ら
れる。
駆動電極ＡとＡ’の間、および駆動電極Ｂ’と振動検出
電極Ｓとの間に差動増幅器１１、１２がそれぞれ設けら
れていることである。図６に、図５のＡ、Ａ０、Ａ’、
およびＢ０、Ｂ’と振動検出電極Ｓの部分の波形図を示
す。スイッチング回路４Ａからの信号Ａ０とスイッチン
グ回路４Ａ’からの信号Ａ’はちょうど位相が反転して
いる。また、５Ｂ、５Ｂ’からの信号Ｂ０、Ｂ’は、４
Ａの信号に対して９０度位相がずれ、かつそれぞれの位
相が反転した信号が出力される。駆動電極Ａと振動検出
電極Ｓの波形は正弦波状の波形にその圧電素子の反対に
印加されている電圧成分（すなわちＡ、Ｂ’）が重畳さ
れた波形になっている。よって、差動アンプ１１、１２
でそれぞれの重畳された波形成分を取り除くことで図６
のＡ−Ａ’、Ｓ−Ｂ’波形の如くきれいな正弦波が得ら
れる。
【００２２】このように駆動用圧電素子の両端に印加さ
れた電圧および振動検出用圧電素子ｓの両端から得られ
る電圧を求め、その位相差を位相差検出器８にて検出す
ることで正規の位相差特性を検出することができる。そ
してマイコン１０はこの信号から現在共振周波数に対し
どの程度ずれているかを判断し最適な周波数で駆動する
よう制御する。
れた電圧および振動検出用圧電素子ｓの両端から得られ
る電圧を求め、その位相差を位相差検出器８にて検出す
ることで正規の位相差特性を検出することができる。そ
してマイコン１０はこの信号から現在共振周波数に対し
どの程度ずれているかを判断し最適な周波数で駆動する
よう制御する。
【００２３】図７は本発明の第３の実施例の回路ブロッ
ク図である。
ク図である。
【００２４】第３の実施例は圧電素子両端の電圧検出に
差動増幅器を用いずに行うもので、差し引くべき信号の
かわりにその信号と逆位相の信号をインピーダンスをそ
ろえて加えているというものである。すなわち第２の実
施例では振動検出用圧電素子の電極Ｓに対し振動検出用
圧電素子ｓの反対側の印加電圧Ｂ’を差し引いていた
が、そのかわりにＢ’とちょうど位相の反転しているＢ
０を加えるようにした。駆動のＡに対してもＡ’と位相
の反転しているＡ０を加えた。このようにもともと持っ
ている信号を利用することで差動増幅器のいらない簡単
な回路で共振周波数の検出が可能である。
差動増幅器を用いずに行うもので、差し引くべき信号の
かわりにその信号と逆位相の信号をインピーダンスをそ
ろえて加えているというものである。すなわち第２の実
施例では振動検出用圧電素子の電極Ｓに対し振動検出用
圧電素子ｓの反対側の印加電圧Ｂ’を差し引いていた
が、そのかわりにＢ’とちょうど位相の反転しているＢ
０を加えるようにした。駆動のＡに対してもＡ’と位相
の反転しているＡ０を加えた。このようにもともと持っ
ている信号を利用することで差動増幅器のいらない簡単
な回路で共振周波数の検出が可能である。
【００２５】図７では、インピーダンス素子として抵抗
１本のみが各信号取り出し部についているだけだが、実
際には電圧を小さくする分圧回路やコイル、コンデンサ
などのインピーダンス素子もマッチングをとるためにつ
けられる場合もある。
１本のみが各信号取り出し部についているだけだが、実
際には電圧を小さくする分圧回路やコイル、コンデンサ
などのインピーダンス素子もマッチングをとるためにつ
けられる場合もある。
【００２６】図８および図９は本発明の第４の実施例の
モータを駆動する部分と振動検出する部分の回路のブロ
ック図である。本実施例では図５、図７において振動検
出用電極Ｓの信号とＡ相と比較しているのに対して比較
対照を振動検出用圧電素子ｓが接しているＢ相に変えた
ものである。この構成にするとＢ’の電極が共通で使え
るためモータからの線の引き出しを減らすことができ
る。
モータを駆動する部分と振動検出する部分の回路のブロ
ック図である。本実施例では図５、図７において振動検
出用電極Ｓの信号とＡ相と比較しているのに対して比較
対照を振動検出用圧電素子ｓが接しているＢ相に変えた
ものである。この構成にするとＢ’の電極が共通で使え
るためモータからの線の引き出しを減らすことができ
る。
【００２７】図１０、図１１は本発明の第５の実施例に
おけるモーター側面図及び回路ブロック図である。該図
１０においては、振動検出圧電素子を２枚Ｓ 1 、Ｓ 2
設け、その中間から電極Ｓを引き出している。尚、該
圧電素子Ｓ 1 、Ｓ 2 は同一特性のものが用いられ
る。
おけるモーター側面図及び回路ブロック図である。該図
１０においては、振動検出圧電素子を２枚Ｓ 1 、Ｓ 2
設け、その中間から電極Ｓを引き出している。尚、該
圧電素子Ｓ 1 、Ｓ 2 は同一特性のものが用いられ
る。
【００２８】図１１において、一方の検出圧電素子Ｓ 1
に印加される信号Ｂ’に対して他方の検出圧電素子Ｓ
2 にはＢ’に対して反転した位相の電圧Ｂ０を印加す
る構成となっており、これにて、Ｂ０とＢ’とが打ち消
される構成となっている。よって、振動検出用電極Ｓか
らは何も回路的な処理をしなくても正規の振動検出信号
から得られる。よって、回路部品の部品点数を減らすこ
とができる。
に印加される信号Ｂ’に対して他方の検出圧電素子Ｓ
2 にはＢ’に対して反転した位相の電圧Ｂ０を印加す
る構成となっており、これにて、Ｂ０とＢ’とが打ち消
される構成となっている。よって、振動検出用電極Ｓか
らは何も回路的な処理をしなくても正規の振動検出信号
から得られる。よって、回路部品の部品点数を減らすこ
とができる。
【００２９】図１２に本発明の第６の実施例の棒状超音
波モータの側面図およびそこに構成されている、圧電素
子の電圧供給および出力電圧の取り出しの配線図を示
す。本実施例では、振動検出圧電素子の１端面をＧＮＤ
電位に接続しており、これにより振動検出用電極Ｓから
は何も回路的な処理をしなくても正規の振動検出信号が
得られる。よって、実施例５のように圧電素子の枚数の
増やすこと無しに振動検出ができる。
波モータの側面図およびそこに構成されている、圧電素
子の電圧供給および出力電圧の取り出しの配線図を示
す。本実施例では、振動検出圧電素子の１端面をＧＮＤ
電位に接続しており、これにより振動検出用電極Ｓから
は何も回路的な処理をしなくても正規の振動検出信号が
得られる。よって、実施例５のように圧電素子の枚数の
増やすこと無しに振動検出ができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明により、振動
型モーターにおいてフローティング構造など共通電位の
部分を持たない構成とした場合でも簡単な回路構成でモ
ータの共振周波数の検出ができる。
型モーターにおいてフローティング構造など共通電位の
部分を持たない構成とした場合でも簡単な回路構成でモ
ータの共振周波数の検出ができる。
【図１】本発明の第１の実施例の棒状超音波モータの側
面図。
面図。
【図２】本発明の第１の実施例の回路のブロック図。
【図３】第１実施例の電極Ａ、Ｓの出力波形図。
【図４】本発明の第２の実施例の棒状超音波モータの側
面図。
面図。
【図５】本発明の第２の実施例の回路のブロック図。
【図６】第２の実施例の動作を説明するための波形図。
【図７】本発明の第３の実施例の回路のブロック図。
【図８】本発明の第４の実施例の回路のブロック図。
【図９】本発明の他の実施例を示すブロック図。
【図１０】本発明の第５の実施例の棒状超音波モータの
側面図。
側面図。
【図１１】本発明の第５の実施例の回路のブロック図。
【図１２】本発明の第６の実施例の棒状超音波モータの
側面図。
側面図。
【図１３】従来例の棒状超音波モータの側面図。
【図１４】従来例の回路のブロック図。
【図１５】図１４、動作を説明する波形図。
【図１６】従来例の棒状超音波モータの側面図。
【図１７】従来例の棒状超音波モータのフローティング
構成の側面図。
構成の側面図。
【図１８】従来例のフローティング構成の回路のブロッ
ク図。
ク図。
Ａ、Ａ’、Ｂ、Ｂ’ 駆動用電極 ４Ａ、４Ａ’、５Ｂ、５Ｂ’ スイッチング回路 １０ 制御用マイコン １１、１２ 差動増幅器
Claims (4)
- 【請求項１】 弾性体に１以上の駆動用電気一機械エネ
ルギー変換素子部及び検出用電気一機械エネルギー変換
素子部を配した振動型モータの駆動装置において、前記
検出用電気一機械エネルギー変換素子部出力に含まれる
駆動用電気一機械エネルギー変換素子へ印加される周波
信号分をキヤンセル回路を設けたことを特徴とする振動
型モータの駆動装置。 - 【請求項２】 前記キヤンセル回路は前記駆動用電気一
機械エネルギー変換素子部に印加される同波信号と検出
用電気一機械エネルギー変換素子部出力とを合成する合
成回路を有する特許請求の範囲第１項に記載の振動型モ
ータの駆動装置。 - 【請求項３】 前記キヤンセル回路は、前記駆動用電気
一機械エネルギー変換素子部の一面に対して印加される
周波信号と逆位相の周波信号を検出用電気一機械エネル
ギー変換素子部出力とを合成する合成回路を有する特許
請求の範囲第１項に記載の振動型モータの駆動装置。 - 【請求項４】 弾性体に以上の駆動用電気一機械エネル
ギー変換素子部及び検出用電気一機械エネルギー変換素
子部を重ね合わせ方向に配設した振動型モーターの駆動
装置において、前記検出用電気一機械エネルギー変換素
子部を絶縁部材を介して駆動用電気一機械エネルギー変
換素子部に対して配設したことを特徴とする振動型モー
ターの駆動装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05261149A JP3126563B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 振動型モータの駆動装置 |
| US08/852,030 US6177753B1 (en) | 1993-10-19 | 1997-05-06 | Vibration wave motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05261149A JP3126563B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 振動型モータの駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07123744A true JPH07123744A (ja) | 1995-05-12 |
| JP3126563B2 JP3126563B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=17357790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05261149A Expired - Lifetime JP3126563B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 振動型モータの駆動装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6177753B1 (ja) |
| JP (1) | JP3126563B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6876126B2 (en) | 1998-12-17 | 2005-04-05 | Minolta Co., Ltd. | Piezoelectric actuator |
| JP2013226032A (ja) * | 2012-03-19 | 2013-10-31 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの不要振動検出装置および駆動制御装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19961068C1 (de) * | 1999-12-17 | 2001-01-25 | Daimler Chrysler Ag | Piezoelektrisches Aktorsystem |
| JP2002095273A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-03-29 | Asmo Co Ltd | 超音波モータ及びその駆動方法 |
| SE0002884D0 (sv) * | 2000-08-11 | 2000-08-11 | Piezomotor Uppsala Ab | Switched actuator control |
| JP2002204585A (ja) | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Canon Inc | 振動型アクチュエータの制御装置 |
| JP4834243B2 (ja) * | 2001-06-01 | 2011-12-14 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの制御装置 |
| JP2002362250A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-18 | Nippon Pop Rivets & Fasteners Ltd | モール取付装置及びモールクリップ |
| JP5791343B2 (ja) | 2010-05-31 | 2015-10-07 | キヤノン株式会社 | 振動型モータの制御方法および振動型モータの駆動装置 |
| TW201308864A (zh) * | 2011-08-15 | 2013-02-16 | Microjet Technology Co Ltd | 極性切換電路 |
| JP6584247B2 (ja) | 2014-10-10 | 2019-10-02 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動方法、駆動装置の制御方法、駆動装置、撮像装置及び装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0332374A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-12 | Brother Ind Ltd | 超音波モータ |
| JPH03253273A (ja) * | 1990-03-01 | 1991-11-12 | Canon Inc | 振動波モータの電線接続装置 |
| JP2714261B2 (ja) * | 1990-12-14 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | 振動子および振動装置 |
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-
1993
- 1993-10-19 JP JP05261149A patent/JP3126563B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6177753B1 (en) | 2001-01-23 |
| JP3126563B2 (ja) | 2001-01-22 |
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