JPH07113820A - プローブ自動交換ユニットにおけるプローブ交換位置座標の設定方法 - Google Patents
プローブ自動交換ユニットにおけるプローブ交換位置座標の設定方法Info
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- JPH07113820A JPH07113820A JP5280138A JP28013893A JPH07113820A JP H07113820 A JPH07113820 A JP H07113820A JP 5280138 A JP5280138 A JP 5280138A JP 28013893 A JP28013893 A JP 28013893A JP H07113820 A JPH07113820 A JP H07113820A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ−Ｙ式インサーキットテスタのプローブ自
動交換ユニットのプローブホルダに収納されるプローブ
の位置座標を正確に設定することができるプローブ交換
位置座標の設定方法。 【構成】 チャック部３１に保持されるコンタクトプロ
ーブ２５を収納するプローブホルダ２４を取付孔２３を
介してプローブホルダ台１７に植設配置してなるプロー
ブ自動交換ユニット１１において、隣り合う相互の離間
距離を一致させた各取付孔２３を横一列に配設したプロ
ーブホルダ台１７には、理論座標値に基づく基準ポイン
トを少なくとも２か所に設定し、これら各基準ポイント
は、画像認識手法に基づく位置補正が自在な位置補正用
カメラ３４により実座標値が計測され、その際の実座標
値と前記理論座標値との間に生ずる位置ズレから補正用
基準値を算出し、この補正用基準値に基づき各取付孔２
３の位置座標を補正してプローブ２５を交換するために
必要な位置座標を設定する。
動交換ユニットのプローブホルダに収納されるプローブ
の位置座標を正確に設定することができるプローブ交換
位置座標の設定方法。 【構成】 チャック部３１に保持されるコンタクトプロ
ーブ２５を収納するプローブホルダ２４を取付孔２３を
介してプローブホルダ台１７に植設配置してなるプロー
ブ自動交換ユニット１１において、隣り合う相互の離間
距離を一致させた各取付孔２３を横一列に配設したプロ
ーブホルダ台１７には、理論座標値に基づく基準ポイン
トを少なくとも２か所に設定し、これら各基準ポイント
は、画像認識手法に基づく位置補正が自在な位置補正用
カメラ３４により実座標値が計測され、その際の実座標
値と前記理論座標値との間に生ずる位置ズレから補正用
基準値を算出し、この補正用基準値に基づき各取付孔２
３の位置座標を補正してプローブ２５を交換するために
必要な位置座標を設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はプローブ自動交換ユニ
ットにおけるプローブ交換位置座標の設定方法に係り、
さらに詳しくは、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキ
ットテスタが搭載するプローブ自動交換ユニットのプロ
ーブホルダが収納しているコンタクトプローブを円滑に
自動交換するためにその位置座標を正確に設定すること
ができるプローブ自動交換ユニットにおけるプローブ交
換位置座標の設定方法に関する。
ットにおけるプローブ交換位置座標の設定方法に係り、
さらに詳しくは、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキ
ットテスタが搭載するプローブ自動交換ユニットのプロ
ーブホルダが収納しているコンタクトプローブを円滑に
自動交換するためにその位置座標を正確に設定すること
ができるプローブ自動交換ユニットにおけるプローブ交
換位置座標の設定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキッ
トテスタは、通常、コンタクトプローブを保持するチャ
ック部を装備しており、チャック部に保持されるコンタ
クトプローブは、別途用意されるプローブ自動交換ユニ
ットを利用して円滑に自動交換できるようになってい
る。
トテスタは、通常、コンタクトプローブを保持するチャ
ック部を装備しており、チャック部に保持されるコンタ
クトプローブは、別途用意されるプローブ自動交換ユニ
ットを利用して円滑に自動交換できるようになってい
る。
【０００３】図４は、従来からあるプローブ自動交換ユ
ニット１の構成例を示す説明図であり、Ｘ−Ｙ式フィク
スチャレスインサーキットテスタが装備するチャック部
２１は、スプリング材により押圧付勢されて配設されて
いるロックスリーブ２１ａを上下させることで被チャッ
キング部材を着脱するいわゆるコレットチャック構造を
採用することで形成されている。
ニット１の構成例を示す説明図であり、Ｘ−Ｙ式フィク
スチャレスインサーキットテスタが装備するチャック部
２１は、スプリング材により押圧付勢されて配設されて
いるロックスリーブ２１ａを上下させることで被チャッ
キング部材を着脱するいわゆるコレットチャック構造を
採用することで形成されている。
【０００４】また、プローブ自動交換ユニット１は、基
台２上に配設されたエアシリンダ３，４とガイド杆５，
６とを介することで各個独立に昇降するプローブホルダ
台７とチャック解除板８とを備え、プローブホルダ台７
上に植設配置されている複数本のプローブホルダ９は、
前記チャック部２１により保持される被チャッキング部
１０ａを含む一側部を突出させた状態のもとでのコンタ
クトプローブ１０の収納を自在に形成されている。
台２上に配設されたエアシリンダ３，４とガイド杆５，
６とを介することで各個独立に昇降するプローブホルダ
台７とチャック解除板８とを備え、プローブホルダ台７
上に植設配置されている複数本のプローブホルダ９は、
前記チャック部２１により保持される被チャッキング部
１０ａを含む一側部を突出させた状態のもとでのコンタ
クトプローブ１０の収納を自在に形成されている。
【０００５】ところで、複数本のプローブホルダ９を前
記プローブホルダ台７上に植設配置するに際しては、チ
ャック部２１に対しコンタクトプローブ１０の着脱を正
しく行わせる必要からも、個々のプローブホルダ９を正
確に位置決めして植設する必要がある。
記プローブホルダ台７上に植設配置するに際しては、チ
ャック部２１に対しコンタクトプローブ１０の着脱を正
しく行わせる必要からも、個々のプローブホルダ９を正
確に位置決めして植設する必要がある。
【０００６】このため、プローブホルダ台７には、プロ
ーブホルダ９を挿通して取り付けるための通孔が正しく
位置決めして配設されることになる。
ーブホルダ９を挿通して取り付けるための通孔が正しく
位置決めして配設されることになる。
【０００７】また、プローブホルダ台７上に植設配置さ
れる各プローブホルダ９の位置は、Ｘ−Ｙ式フィクスチ
ャレスインサーキットテスタの側に位置座標として予め
入力しておく必要があり、この入力情報に基づいてその
移動が制御されるチャック部２１は、正しい位置座標に
向かって接近し、コンタクトプローブ１０を自動交換す
ることになる。
れる各プローブホルダ９の位置は、Ｘ−Ｙ式フィクスチ
ャレスインサーキットテスタの側に位置座標として予め
入力しておく必要があり、この入力情報に基づいてその
移動が制御されるチャック部２１は、正しい位置座標に
向かって接近し、コンタクトプローブ１０を自動交換す
ることになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、チャック部
２１は、上記従来手法によってもＸ−Ｙ式フィクスチャ
レスインサーキットテスタの側に入力された位置座標情
報に基づき正しく移動制御される結果、所定位置のプロ
ーブホルダ９が収納するコンタクトプローブ１０を自動
交換することはできる。
２１は、上記従来手法によってもＸ−Ｙ式フィクスチャ
レスインサーキットテスタの側に入力された位置座標情
報に基づき正しく移動制御される結果、所定位置のプロ
ーブホルダ９が収納するコンタクトプローブ１０を自動
交換することはできる。
【０００９】しかし、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサ
ーキットテスタの側に入力される位置座標情報があくま
でも理論値であるのに対し、実際の位置座標は、プロー
ブ自動交換ユニット１を構成している個々の部品精度
や、これを組み立てる際の組立精度などが要因となって
微妙に変動する結果、既に入力されている理論値として
の位置座標との間にズレが生じた場合にはコンタクトプ
ローブ１０を円滑に交換することができなくなるおそれ
があった。
ーキットテスタの側に入力される位置座標情報があくま
でも理論値であるのに対し、実際の位置座標は、プロー
ブ自動交換ユニット１を構成している個々の部品精度
や、これを組み立てる際の組立精度などが要因となって
微妙に変動する結果、既に入力されている理論値として
の位置座標との間にズレが生じた場合にはコンタクトプ
ローブ１０を円滑に交換することができなくなるおそれ
があった。
【００１０】このような問題を解決する従来手法として
は、チャック部２１を実際のプローブ自動交換ユニット
１との関係で試行錯誤的に移動させ、コンタクトプロー
ブ１０を円滑に交換できる座標位置を模索し、その際に
定まる位置座標をＸ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキ
ットテスタの側に人手を介して再入力することにより、
理論値としての位置座標を実際の位置座標に補正する作
業が行われているものの、煩雑な作業を強いられる不具
合があった。
は、チャック部２１を実際のプローブ自動交換ユニット
１との関係で試行錯誤的に移動させ、コンタクトプロー
ブ１０を円滑に交換できる座標位置を模索し、その際に
定まる位置座標をＸ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキ
ットテスタの側に人手を介して再入力することにより、
理論値としての位置座標を実際の位置座標に補正する作
業が行われているものの、煩雑な作業を強いられる不具
合があった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は従来技術にみ
られた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構成
上の特徴は、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキット
テスタが装備するチャック部によりその交換を自在にし
て保持されるコンタクトプローブを収納するプローブホ
ルダを取付孔を介してプローブホルダ台に植設配置して
なるプローブ自動交換ユニットにおいて、隣り合う相互
の離間距離を一致させた前記各取付孔を横一列に配設し
た前記プローブホルダ台には、理論座標値に基づく基準
ポイントを少なくとも２か所に設定し、これらの各基準
ポイントは、画像認識手法に基づく自動的な位置補正が
自在な位置補正用カメラによりその実座標値が計測さ
れ、その際の実座標値と前記理論座標値との間に生ずる
位置ズレから補正用基準値を算出し、この補正用基準値
に基づき前記各取付孔の位置座標を補正することで、そ
れぞれのコンタクトプローブを交換するために必要な位
置座標を設定することにある。
られた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構成
上の特徴は、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキット
テスタが装備するチャック部によりその交換を自在にし
て保持されるコンタクトプローブを収納するプローブホ
ルダを取付孔を介してプローブホルダ台に植設配置して
なるプローブ自動交換ユニットにおいて、隣り合う相互
の離間距離を一致させた前記各取付孔を横一列に配設し
た前記プローブホルダ台には、理論座標値に基づく基準
ポイントを少なくとも２か所に設定し、これらの各基準
ポイントは、画像認識手法に基づく自動的な位置補正が
自在な位置補正用カメラによりその実座標値が計測さ
れ、その際の実座標値と前記理論座標値との間に生ずる
位置ズレから補正用基準値を算出し、この補正用基準値
に基づき前記各取付孔の位置座標を補正することで、そ
れぞれのコンタクトプローブを交換するために必要な位
置座標を設定することにある。
【００１２】
【作用】このため、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサー
キットテスタの側に対しては、理論座標値との関係で設
定される基準ポイントの実測位置座標値に基づいて算定
されるプローブホルダ台における取付孔の位置座標を正
確に把握させることにより、この取付孔に植設されるプ
ローブホルダの位置、さらには、このプローブホルダに
収納されるコンタクトプローブの位置を正確に求めるこ
とができ、したがって、チャック部は、正確にコンタク
トプローブの側に接近することができ、結果的に、コン
タクトプローブの交換を円滑に行うことができることに
なる。
キットテスタの側に対しては、理論座標値との関係で設
定される基準ポイントの実測位置座標値に基づいて算定
されるプローブホルダ台における取付孔の位置座標を正
確に把握させることにより、この取付孔に植設されるプ
ローブホルダの位置、さらには、このプローブホルダに
収納されるコンタクトプローブの位置を正確に求めるこ
とができ、したがって、チャック部は、正確にコンタク
トプローブの側に接近することができ、結果的に、コン
タクトプローブの交換を円滑に行うことができることに
なる。
【００１３】
【実施例】以下、図面に基づいてこの発明の実施例を説
明する。
明する。
【００１４】図１は、この発明が適用されるプローブ自
動交換ユニット１１をＸ−Ｙ式フィクスチャレスインサ
ーキットテスタ（図示せず）が装備するチャック部３１
との対応関係のもとで示すものである。
動交換ユニット１１をＸ−Ｙ式フィクスチャレスインサ
ーキットテスタ（図示せず）が装備するチャック部３１
との対応関係のもとで示すものである。
【００１５】同図によれば、プローブ自動交換ユニット
１１は、基台１２上に配設されたエアシリンダ１３，１
４とガイド杆１５，１６とを介することで各個独立に昇
降するプローブホルダ台１７とチャック解除板１８とを
備えて形成されている。なお、図中の符号１３ａはチャ
ック解除板１８を昇降させるためにエアシリンダ１３が
備える昇降シャフトを示す。
１１は、基台１２上に配設されたエアシリンダ１３，１
４とガイド杆１５，１６とを介することで各個独立に昇
降するプローブホルダ台１７とチャック解除板１８とを
備えて形成されている。なお、図中の符号１３ａはチャ
ック解除板１８を昇降させるためにエアシリンダ１３が
備える昇降シャフトを示す。
【００１６】また、前記プローブホルダ台１７には、円
柱状となった位置補正用基準シャフト１９，２０が左右
一対となって立設配置されており、その頂端面１９ａ，
２０ａの中心位置には、図２に示すように位置補正用基
準シャフト１９，２０の外径ａの１／７〜１／４程度の
口径ｂを備えた適宜深さの穴部２１，２２が設けられて
おり、これら穴部２１，２２の同軸度を同じくする中心
位置が理論座標値に基づく基準ポイントＰ1 ，Ｐ2 とし
て設定されている。なお、基準ポイントＰ1 ，Ｐ2 は、
図示例以外にも、例えばプローブホルダ台１７上に２以
上の基準マークを付すことにより設定することもでき
る。
柱状となった位置補正用基準シャフト１９，２０が左右
一対となって立設配置されており、その頂端面１９ａ，
２０ａの中心位置には、図２に示すように位置補正用基
準シャフト１９，２０の外径ａの１／７〜１／４程度の
口径ｂを備えた適宜深さの穴部２１，２２が設けられて
おり、これら穴部２１，２２の同軸度を同じくする中心
位置が理論座標値に基づく基準ポイントＰ1 ，Ｐ2 とし
て設定されている。なお、基準ポイントＰ1 ，Ｐ2 は、
図示例以外にも、例えばプローブホルダ台１７上に２以
上の基準マークを付すことにより設定することもでき
る。
【００１７】さらに、前記プローブホルダ台１７には、
図３に示すようにプローブホルダ２４を植設配置するた
めの取付孔２３が隣り合う相互の離間距離（穴の中心位
置相互の距離）を限りなく理論値に近い数値のもとで一
致させて横一列に配設されており、これらの取付孔２３
を介して植設配置される複数本のプローブホルダ２４に
は、コンタクトプローブ２５が前記チャック部３１のた
めの被チャッキング部２５ａを含む一側部を突出させた
状態のもとで収納配置できるようになっている。
図３に示すようにプローブホルダ２４を植設配置するた
めの取付孔２３が隣り合う相互の離間距離（穴の中心位
置相互の距離）を限りなく理論値に近い数値のもとで一
致させて横一列に配設されており、これらの取付孔２３
を介して植設配置される複数本のプローブホルダ２４に
は、コンタクトプローブ２５が前記チャック部３１のた
めの被チャッキング部２５ａを含む一側部を突出させた
状態のもとで収納配置できるようになっている。
【００１８】一方、前記チャック部３１は、支持体３２
に支持させたタイミングベルト３３を介してその昇降が
自在に配設されており、さらに、前記支持体３２には、
位置補正用カメラ３４が付設されており、この位置補正
用カメラ３４を組み込んで形成される公知の画像認識シ
ステムにより理論座標値と実測座標値とから補正用基準
値としての変換パラメータが算出され、この変換パラメ
ータにより所定位置の位置座標値が補正されるようにな
っている。
に支持させたタイミングベルト３３を介してその昇降が
自在に配設されており、さらに、前記支持体３２には、
位置補正用カメラ３４が付設されており、この位置補正
用カメラ３４を組み込んで形成される公知の画像認識シ
ステムにより理論座標値と実測座標値とから補正用基準
値としての変換パラメータが算出され、この変換パラメ
ータにより所定位置の位置座標値が補正されるようにな
っている。
【００１９】次に、上記プローブ自動交換ユニット１に
適用して実施されるこの発明の一実施例を説明する。
適用して実施されるこの発明の一実施例を説明する。
【００２０】すなわち、プローブ自動交換ユニット１が
組み立てられた後は、前記チャック部に付設されている
位置補正用カメラ３４により、まず、前記プローブホル
ダ台の基準ポイントＰ1 ，Ｐ2 の位置座標を計測し、公
知の画像認識システムの支援を受けて対応する理論座標
値との関係での補正基準値（変換パラメータ）が算出さ
れる。
組み立てられた後は、前記チャック部に付設されている
位置補正用カメラ３４により、まず、前記プローブホル
ダ台の基準ポイントＰ1 ，Ｐ2 の位置座標を計測し、公
知の画像認識システムの支援を受けて対応する理論座標
値との関係での補正基準値（変換パラメータ）が算出さ
れる。
【００２１】次いで、算出された補正基準値（変換パラ
メータ）に基づき、予めＸ−Ｙ式フィクスチャレスイン
サーキットテスタの側に取り込まれている前記各取付孔
の位置座標が補正される。
メータ）に基づき、予めＸ−Ｙ式フィクスチャレスイン
サーキットテスタの側に取り込まれている前記各取付孔
の位置座標が補正される。
【００２２】この場合、前記プローブホルダ台１７に設
けられている取付孔２３は、隣り合う穴部２３相互の離
間距離がいずれも一致しているので、各取付孔２３につ
いての補正後の位置座標は最適値となって設定されるこ
とになる。
けられている取付孔２３は、隣り合う穴部２３相互の離
間距離がいずれも一致しているので、各取付孔２３につ
いての補正後の位置座標は最適値となって設定されるこ
とになる。
【００２３】この発明は上述したようにして構成されて
いるので、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキットテ
スタの側に対しては、理論座標値との関係で設定される
基準ポイントＰ1 ，Ｐ2 の実測位置座標値に基づいて算
定されるプローブホルダ台１７における取付孔２３の位
置座標を正確に把握させることにより、この取付孔２３
に植設されるプローブホルダ２４の位置、さらには、こ
のプローブホルダ２４に収納されるコンタクトプローブ
２５の位置を正確に求めることができ、したがって、チ
ャック部３１は、正確にコンタクトプローブ２５の側に
接近することができ、結果的に、コンタクトプローブ２
５の交換を円滑に行うことができることになる。
いるので、Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキットテ
スタの側に対しては、理論座標値との関係で設定される
基準ポイントＰ1 ，Ｐ2 の実測位置座標値に基づいて算
定されるプローブホルダ台１７における取付孔２３の位
置座標を正確に把握させることにより、この取付孔２３
に植設されるプローブホルダ２４の位置、さらには、こ
のプローブホルダ２４に収納されるコンタクトプローブ
２５の位置を正確に求めることができ、したがって、チ
ャック部３１は、正確にコンタクトプローブ２５の側に
接近することができ、結果的に、コンタクトプローブ２
５の交換を円滑に行うことができることになる。
【００２４】なお、この発明方法によるときは、前記位
置補正用カメラ３４がその配置関係から例えばプローブ
ホルダ台１７の取付孔２３の位置にまで到達することが
できないような場合であっても、別途に設定してある基
準ポイントＰ1 ，Ｐ2 との関係で補正用基準値（変換パ
ラメータ）を算出することで、実際に求めたい取付孔２
３の位置座標を求めることができることになる。
置補正用カメラ３４がその配置関係から例えばプローブ
ホルダ台１７の取付孔２３の位置にまで到達することが
できないような場合であっても、別途に設定してある基
準ポイントＰ1 ，Ｐ2 との関係で補正用基準値（変換パ
ラメータ）を算出することで、実際に求めたい取付孔２
３の位置座標を求めることができることになる。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、Ｘ
−Ｙ式フィクスチャレスインサーキットテスタの側に対
しては、理論座標値との関係で設定される基準ポイント
の実測位置座標値に基づいて算定されるプローブホルダ
台における取付孔の位置座標を正確に把握させることに
より、この取付孔に植設されるプローブホルダの位置、
さらには、このプローブホルダに収納されるコンタクト
プローブの位置を正確に求めることができ、したがっ
て、チャック部は、正確にコンタクトプローブの側に接
近することができ、結果的に、コンタクトプローブの交
換を円滑に行うことができることになる。
−Ｙ式フィクスチャレスインサーキットテスタの側に対
しては、理論座標値との関係で設定される基準ポイント
の実測位置座標値に基づいて算定されるプローブホルダ
台における取付孔の位置座標を正確に把握させることに
より、この取付孔に植設されるプローブホルダの位置、
さらには、このプローブホルダに収納されるコンタクト
プローブの位置を正確に求めることができ、したがっ
て、チャック部は、正確にコンタクトプローブの側に接
近することができ、結果的に、コンタクトプローブの交
換を円滑に行うことができることになる。
【図１】この発明の実施に供されるプローブ自動交換ユ
ニットとチャック部との関係を示す説明図である。
ニットとチャック部との関係を示す説明図である。
【図２】図１に示すプローブ自動交換ユニットにおける
プローブホルダ台に設置される位置補正用基準シャフト
の要部を拡大した説明図である。
プローブホルダ台に設置される位置補正用基準シャフト
の要部を拡大した説明図である。
【図３】図１に示すプローブ自動交換ユニットにおける
プローブホルダ台における位置補正用基準シャフトと取
付孔との配置関係を示す説明図である。
プローブホルダ台における位置補正用基準シャフトと取
付孔との配置関係を示す説明図である。
【図３】従来からあるプローブ自動交換ユニットの基本
構成の概要を示す説明図である。
構成の概要を示す説明図である。
１１ プローブ自動交換ユニット １２ 基台 １３，１４ エアシリンダ １３ａ 昇降シャフト １５，１６ ガイド杆 １７ プローブホルダ台 １８ チャック解除板 １９，２０ 位置補正用基準シャフト １９ａ，２０ａ 頂端面 ２１，２２ 穴部 ２３ 取付孔 ２４ プローブホルダ ２５ コンタクトプローブ ２５ａ 被チャッキング部 ３１ チャック部 ３２ 支持体 ３３ タイミングベルト ３４ 位置補正用カメラ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年７月１５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施に供されるプローブ自動交換ユ
ニットとチャック部との関係を示す説明図である。
ニットとチャック部との関係を示す説明図である。
【図２】図１に示すプローブ自動交換ユニットにおける
プローブホルダ台に設置される位置補正用基準シャフト
の要部を拡大した説明図である。
プローブホルダ台に設置される位置補正用基準シャフト
の要部を拡大した説明図である。
【図３】図１に示すプローブ自動交換ユニットにおける
プローブホルダ台における位置補正用基準シャフトと取
付孔との配置関係を示す説明図である。
プローブホルダ台における位置補正用基準シャフトと取
付孔との配置関係を示す説明図である。
【図４】従来からあるプローブ自動交換ユニットの基本
構成の概要を示す説明図である。
構成の概要を示す説明図である。
【符号の説明】 １１ プローブ自動交換ユニット １２ 基台 １３，１４ エアシリンダ １３ａ 昇降シャフト １５，１６ ガイド杆 １７ プローブホルダ台 １８ チャック解除板 １９，２０ 位置補正用基準シャフト １９ａ，２０ａ 頂端面 ２１，２２ 穴部 ２３ 取付孔 ２４ プローブホルダ ２５ コンタクトプローブ ２５ａ 被チャッキング部 ３１ チャック部 ３２ 支持体 ３３ タイミングベルト ３４ 位置補正用カメラ
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ−Ｙ式フィクスチャレスインサーキッ
トテスタが装備するチャック部によりその交換を自在に
して保持されるコンタクトプローブを収納するプローブ
ホルダを取付孔を介してプローブホルダ台に植設配置し
てなるプローブ自動交換ユニットにおいて、隣り合う相
互の離間距離を一致させた前記各取付孔を横一列に配設
した前記プローブホルダ台には、理論座標値に基づく基
準ポイントを少なくとも２か所に設定し、これらの各基
準ポイントは、画像認識手法に基づく自動的な位置補正
が自在な位置補正用カメラによりその実座標値が計測さ
れ、その際の実座標値と前記理論座標値との間に生ずる
位置ズレから補正用基準値を算出し、この補正用基準値
に基づき前記各取付孔の位置座標を補正することで、そ
れぞれのコンタクトプローブを交換するために必要な位
置座標を設定することを特徴とするプローブ自動交換ユ
ニットにおけるプローブ交換位置座標の設定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28013893A JP3328034B2 (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | プローブ自動交換ユニットにおけるプローブ交換位置座標の設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28013893A JP3328034B2 (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | プローブ自動交換ユニットにおけるプローブ交換位置座標の設定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07113820A true JPH07113820A (ja) | 1995-05-02 |
| JP3328034B2 JP3328034B2 (ja) | 2002-09-24 |
Family
ID=17620874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28013893A Expired - Fee Related JP3328034B2 (ja) | 1993-10-13 | 1993-10-13 | プローブ自動交換ユニットにおけるプローブ交換位置座標の設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3328034B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017109837A1 (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | Ｗｉｔ株式会社 | プローブ交換工具、プローブ交換支援システム及びプローブ交換方法 |
| CN113701637A (zh) * | 2021-09-29 | 2021-11-26 | 牧德科技股份有限公司 | 电测治具扎针位置估算方法 |
-
1993
- 1993-10-13 JP JP28013893A patent/JP3328034B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017109837A1 (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | Ｗｉｔ株式会社 | プローブ交換工具、プローブ交換支援システム及びプローブ交換方法 |
| CN113701637A (zh) * | 2021-09-29 | 2021-11-26 | 牧德科技股份有限公司 | 电测治具扎针位置估算方法 |
| CN113701637B (zh) * | 2021-09-29 | 2024-01-30 | 牧德科技股份有限公司 | 电测治具扎针位置估算方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3328034B2 (ja) | 2002-09-24 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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