JPH0711287U - 搬送ロボットの把持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 モータやボールネジ等を使用しない簡単な構
造でしかも塵埃等の問題もない搬送ロボットの把持装置
を提供する。 【構成】 搬送ロボットの伸縮する搬送アームに取付け
られたハンド先端に設けた突出部と、同突出部に対して
バネにより進退し、前記突出部との間に基板等の対象物
をバネの押圧力により把持するとともに、搬送アームが
基板等の対象物の授受位置に到達した状態で基板等の対
象物を把持したクランプ片をストッパに突当、前記バネ
の押圧力に抗してバネを押し縮めて基板等の対象物を突
出部とクランプ片による把持から解放するようにした。 【効果】 基板の把持および把持からの解放がモータや
ボールネジを使用することなく、搬送アームの伸縮によ
り行うことができ、塵挨の問題、装置全体が複雑で故障
が発生しやすく、価格も大きいという欠点が取除かれ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は基板等の対象物の搬送を行う搬送ロボットの把持装置に関する。

【０００２】

【従来技術】

この種搬送ロボットは搬送アームを備え、同搬送アームの先端には基板等の対 象物を把持するための把持装置を設けた搬送用ハンドが取付けてある。

【０００３】 図６および図７により従来の把持装置について説明すると、ハンド１の先端に 設けたピン等の突出部２に対して図示してないモータ等のアクチュエータにより ボールネジ３を回転させ、同ボールネジ３に取付けられているクランプ片４を突 出部２に対して進退させ、基板５を突出部２とクランプ片４の間に把持したり、 把持から解放するようになっている。

【０００４】

【考案が解決しょうとする課題】

しかしながら、モータやボールネジ、その他ベアリング等には塵埃発生等の問 題があるばかりでなく、装置全体が複雑になり、故障もおきやすく、価格的にも 不利である。

【０００５】 本考案は前述の欠点を取り除き、モータやボールネジ等を使用しない簡単な構 造でしかも塵埃等の問題もない搬送ロボットの把持装置を提供することを目的と する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

前述の目的を達成するため本考案は搬送ロボットの伸縮する搬送アームに取付 けられたハンド先端に設けた突出部と、前記ハンドに取付けられ、突出部に対し て進退し、前記突出部との間に基板等の対象物を把持したり、把持から解放した りするクランプ片と、前記クランプ片に取付けられ、同クランプ片を常に突出部 方向に押圧するバネと、搬送アームが基板等の対象物の授受位置に到達した状態 で基板等の対象物を把持したクランプ片が突当り、前記バネの押圧力に抗してバ ネを押し縮めて基板等の対象物を突出部とクランプ片による把持から解放するス トッパとを有して成る搬送ロボットの把持装置とした。

【０００７】

【作用】

搬送アームが基板等の対象物の授受位置に到達した状態ではストッパがバネの 押圧力に抗してバネを押し縮めて基板等の対象物を突出部とクランプ片による把 持から解放し、搬送アームが授受位置から離れた状態ではクランプ片がストッパ から離れ、バネの押圧力で基板等の対象物を突出部とクランプ片によって把持す る。

【０００８】

【実施例】

図１ないし図５により本考案の１実施例を説明すると、チャンバＡにはロボッ ト１０が設けてあり、同チャンバＡの左右には夫々チャンバＢ、チャンバＣが隣 接されている。

【０００９】 前記ロボット１０は図２に示すようにロボット本体１１に取付けた搬送アーム １２ないし１４がリンク機構を構成していてロボット本体１１に対して伸縮し、 搬送アーム１４の先端に固着したハンド１５をチャンバＣ内からチャンバＢ内へ 、或いはその反対にチャンバＢ内からチャンバＣ内へ移動することができ、ハン ド１５の先端に設けた把持装置１６により例へばチャンバＣ内とチャンバＢ内の 基板支１７との間で基板１８を搬送し授受することができるようになっている。

【００１０】 把持装置１６について図３ないし図５により詳細に説明すると、ハンド１５の 先端には突出部１９が設けられており、同突出部１９に対向してクランプ片２０ が突出部１９に対し進退し、突出部１９とクランプ片２０の間で基板１８を把持 したり把持の解放を行うようにしている。

【００１１】 前記クランプ片２０は図５で示すようにハンド１５に固着されたバネボックス ２１の中に設けたバネ２２の伸縮により図中左右方向に進退する軸２３に接続さ れており、搬送アーム１４がチャンバＢ内に伸び基板支１７との間で基板１８の 授受を行う状態となったとき突出部１９とクランプ片２０の間で基板１８を把持 した状態からクランプ片２０がチャンバＡに設けたストッパ２４に突当たり、バ ネの押圧力に抗してバネ２２を押し縮める結果、クランプ片２０を反突出部方向 （図中右方向）に押して今までバネ２２の押圧力により突出部１９とクランプ片 ２０の間で把持していた基板１８を把持から解放することになる。なお、上記と 同じ動作がチャンバＣ内でも行われる。

【００１２】

【考案の効果】

基板の把持および把持からの解放がモータやボールネジを使用することなく、 搬送アームの伸縮により行うことができ、当初に掲げた塵挨の問題、装置全体が 複雑で故障が発生しやすく、価格も大きいという欠点が取除かれる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の１実施例を示す図。

【図２】図１のＩ−Ｉ断面図。

【図３】本考案の把持装置の詳細な説明図で、その平面
図。

【図４】把持装置の詳細な説明図で、その一部破断側面
図。

【図５】図４の“イ“部詳細図。

【図６】従来の把持装置の説明図で、その平面図。

【図７】従来の把持装置の説明図で、図６の側面図。

【符号の説明】

１０ ロボット １１ ロボット本体 １４ 搬送アーム １５ ハンド １６ 把持装置 １７ 基板支 １８ 基板 １９ 突出部 ２０ クランプ片 ２１ バネボックス ２２ バネ ２３ 軸 ２４ ストッパ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送ロボットの伸縮する搬送アームに取
   付けられたハンド先端に設けた突出部と、 前記ハンドに取付けられ、突出部に対して進退し、前記
   突出部との間に基板等の対象物を把持したり、把持から
   解放したりするクランプ片と、 前記クランプ片に取付けられ、同クランプ片を常に突出
   部方向に押圧するバネと、 搬送アームが基板等の対象物の授受位置に到達した状態
   で基板等の対象物を把持したクランプ片が突当り、前記
   バネの押圧力に抗してバネを押し縮めて基板等の対象物
   を突出部とクランプ片による把持から解放するストッパ
   とを有して成る搬送ロボットの把持装置。