JPH07108365B2 - 空気分離法およびその装置 - Google Patents

空気分離法およびその装置

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JPH07108365B2
JPH07108365B2 JP61248146A JP24814686A JPH07108365B2 JP H07108365 B2 JPH07108365 B2 JP H07108365B2 JP 61248146 A JP61248146 A JP 61248146A JP 24814686 A JP24814686 A JP 24814686A JP H07108365 B2 JPH07108365 B2 JP H07108365B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、吸着剤の酸素吸着作用を利用することにより
空気中の窒素と酸素とを分離する空気分離法およびその
装置に関するものである。
〔従来の技術〕
最近、半導体技術の技術革新に伴つて半導体装置製造の
際の雰囲気ガスとして窒素ガスの使用が大幅に延びてお
り、そのような窒素ガスを製造する装置として、これま
での深冷液化分離装置に代えて吸着剤の酸素吸着作用を
利用して窒素と酸素とを分離する装置が開発されてい
る。この装置は、分子ふるい効果を有する吸着剤、例え
ばモレキュラーシービングカーボン（MSC,Bergbau Fors
hung社製）を吸着塔に詰め、原料空気を加圧下でこの吸
着塔に送入して酸素分を選択的に吸着させて窒素に富ん
だガスを製造するという圧力スイング吸着（Pressure S
wing Adsorption PSA）法を応用したものである。これ
により窒素ガスが得られ、また上記吸着剤に吸着されて
いるガスを脱離させることにより酸素に富んだガスを製
造することができる。上記PSA法を利用した装置は比較
的小形で操作が簡便であり、無人連続運転が可能である
ことから深冷液化分離装置に代えて使用されてきてい
る。特に、上記PSA法では50〜1000Nm3/H程度の規模の装
置では、深冷液化分離装置に比較して動力原単位が低く
製品ガスが安価になるためこの点で有利となる。しか
し、約50Nm3/H以下の小規模の装置においては動力原単
位が非常に大きくなり、経済性が著しく劣るといわれて
いる。上記小形PSA装置の動力原単位の向上には吸着剤
のガス分離特性を向上させて吸着塔を小形化し、それに
付随する空気圧縮機や真空ポンプ等と付帯設備を小形化
して所要動力を小さくする必要がある。吸着塔のサイズ
は吸着剤の特性により大きく左右されるため、吸着容量
および吸脱着速度の大きい吸着剤を使用することにより
吸着帯を短くすることができれば、吸着塔を小さくする
こととが可能となり上記のように動力原単位の向上を実
現させることが可能となる。
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、吸着
剤の吸脱着速度を向上させて原料空気の分離効率を高め
製品ガスのコストの低域を目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
上記の目的を達成するため、本発明は、原料空気を吸着
剤内蔵の吸着塔に送入して吸着剤の酸素吸着作用を利用
することにより空気中の窒素分と酸素分とを分離する空
気分離法において、吸着剤として、三次元網目状の炭素
骨格をもちその三次元網目で連続気孔が形成されていて
全体形状が柱状もしくは筒状になつており、かつ上記炭
素骨格の表面に酸素吸着用の微細孔が形成されているも
のを用い、上記連続気孔が一方向に流れる原料空気の流
通路となるように上記吸着剤の外周面もしくは端面をシ
ールした状態で使用することを特徴とする空気分離法を
第１の要旨とし、上記特殊構造の吸着剤を吸着塔に内蔵
させた空気分離装置を第２の要旨とする。
本発明者らは、従来のPSA装置に用いられているモレキ
ュラーシービングカーボン（MSC）の吸着特性を調べる
ため上記MSC（通常直径２〜4mm,長さ３〜5mmの小円柱
状）の吸脱着のメカニズムを走査型電子顕微鏡写真を撮
影しながら研究した。すなわち、上記のような小チツプ
状の粒状MSCでは、上記MSCの表面側に原料空気を流入す
るための比較的大きな気孔（マクロ孔）101が、第５図
に模式的に示すように形成されており、そのマクロ孔10
1の壁面に、分子ふるい作用を有するミクロ孔102が分布
形成されて２元細孔構造となつており、原料空気は上記
マクロ孔101の開口101aからマクロ孔101内に入り、ここ
で酸素を選択的に吸着され、ついで反転して上記マクロ
孔101内を逆に流れてマクロ孔101その開口101aから外部
に流出するようになつている。このような原料空気の流
れによつて空気の分離が行われる。そして、上記のよう
な粒状MSCを吸着塔内に充填した場合においては、小チ
ツプ状のMSCとMSCとの間の空隙を原料空気が通つて個々
のMSCにおける上記マクロ孔101内に入つて酸素の選択吸
着を受け、再びマクロ孔101内から外部に流出し、さら
にづきのマクロ孔101内に入つて酸素の選択吸着を受
け、このような動作を繰り返しMSC粒子とMSC粒子との間
を通つて吸着塔の外部に導出されるようになつている。
すなわち、上記従来の粒状MSCにおいては、原料空気の
分離に要する流通路が比較的長くなり、これが吸脱着速
度を遅くする主原因となつていた。上記粒状MSCの倍率1
00倍の走査型電子顕微鏡写真図を第６図に示す。図にお
いて、比較的大きな孔状部分がマクロ孔の開口部であ
る。
そこで、本発明者らは、このようなMSCの欠点を改善す
るため、従来のように吸着塔の内部にチツプ状のMSCを
多数充填するのではなく、吸着塔，吸着室等の直径と略
同程度の直径を有し吸着塔等の長さと略同程度の長さを
有する特殊な吸着剤をつくり、この吸着剤の一端の端面
から他端の端面に向かう連続気孔（マクロ孔）をつくつ
てそこを空気の流通路にし、この流通路の壁面にミクロ
孔を設けてそこで酸素の選択吸着作用を行わせるように
したところ、原料空気の流通路が短くなり、それによつ
て吸脱着速度が著しく向上するようになることを見いだ
し本発明に到達した。
本発明に用いる特殊な吸着剤は、従来の粒状MSCとは形
状を全く異にしており、一般に、直径が５〜100cm,長さ
が10〜100cm程度であり、それを１個もしくは複数個組
み合わせて吸着塔内に収容し、その吸着剤の内部の連続
気孔を原料空気の流通路にし、その連続気孔（マクロ
孔）の壁面に酸素吸着用の微細孔（ミクロ孔）を形成し
たものである。このものは、本発明者が本発明に先立つ
て開発し特許出願（特願昭59−124120,特願昭60−19810
0）したものである。この吸着剤は、三次元網目状の炭
素骨格をもちその三次元の網目で連続気孔が形成されて
いて全体形状が柱状もしくは筒状になつており、炭素骨
格の表面に酸素吸着用の微細孔が形成されているもので
ある。上記柱状の具体的形状は、円柱状，角柱状，円錐
台状等その用途に応じて適宜に選択される。筒状も同
様、円筒状，角筒状，中空円錐台状等その用途に応じて
適宜に選択される。
この場合、連続気孔の孔径が１〜500μm,見掛密度が0.1
〜0.8g/cm3,気孔率が50〜95％のものが好ましい。最も
好ましいのは連続気孔の平均気孔径が10〜300μm,見掛
密度0.3〜0.65g/cm3,気孔率が60〜82％である。このも
のを使用した場合に最も優れた効果が得られるようにな
る。
上記のような吸着剤は、分子ふるい炭素であつて、ポリ
ビニルアルコール系樹脂が10〜70重量％（以下「％」と
略す）、フエノール樹脂が30〜90％からなる合成樹脂複
合体を非酸化性雰囲気下において500〜700℃の温度領域
で炭化することによつて得ることができる。または他の
方法としては、上記炭化後さらに酸化性雰囲気下におい
て500〜700℃の温度領域で炭化物の15％以内の重量減少
となる範囲内で賦活することによつても得ることができ
る。
上記ポリビニルアルコール系樹脂とは、ポリビニルアル
コールおよびポリビニルアルコールのアセタール化反応
によつて得られるポリビニルホルマール，ポリビニルベ
ンザール等のポリビニルアセタール樹脂のことをいう。
また、フエノール樹脂とは溶液状あるいは粉末状のレゾ
ール樹脂，ノボラツク樹脂等のことをいう。
上記のような原料を用いて本発明に用いる吸着剤を製造
することは、つぎのようにして行うことができる。例え
ば、ポリビニルアルコールと液状フエノール樹脂、もし
くはポリビニルアルコールと液状フエノール樹脂と粉末
状フエノール樹脂とを均一に混合し、さらに澱粉，澱粉
変成体，澱粉誘導体あるいは食塩等の水溶性金属塩等の
気孔形成材を添加し、そのまま反応硬化させるか、ある
いは架橋剤を加えて反応硬化させることにより合成樹脂
複合体をつくり、ついで、上記気孔形成材を水洗い等で
除去して除去跡を連通孔にし、これを窒素等の非酸化性
雰囲気下において500〜700℃の温度領域で炭化するとい
うことにより行うことができる。この場合、上記合成樹
脂複合体は、気孔形成材の溶出処理によつて、その内部
に連通孔が形成されており、その状態で上記のような炭
化処理が行われることによつて吸着剤化される。すなわ
ち、上記炭化処理によつてポリビニル系アルコール樹脂
が熱分解しほぼ完全にガス化して揮散する結果、上記連
通孔を基礎に、三次元網目状の炭素骨格が形成され、炭
素骨格の表面に酸素吸着用の微細孔が形成されるように
なる。この場合、合成樹脂複合体の製造に際して、型枠
等に入れて行うことにより、吸着剤を柱状もしくは筒状
に容易に形成することができる。このようにして得られ
た吸着剤は、ミクロ孔の直径が10Å以下の領域に細孔径
分布の極大値を有し、ミクロ孔直径15〜200Åの範囲の
ミクロ孔容積が0.1cm2/g以下になつている。上記ミクロ
孔の細孔容積および細孔半径の測定は、ケルビン（KELV
IN）式を用いて解析することによつて行うことができ
る。また、上記のように合成樹脂複合体を非酸化性雰囲
気下で炭化したのち、引き続いて水蒸気雰囲気等の酸化
性雰囲気下で500〜700℃の温度領域で炭化物の15％以内
の重量減少となる範囲になるよう賦活して吸着剤を得る
ことができる。これにより、最高直径10Å以下のミクロ
孔を著しく増加させることができるようになる。
また、本発明の吸着剤は、先に述べた上記合成樹脂複合
体に代えて、ポリビニルアルコール系樹脂が10〜50％，
メラミン樹脂が10〜40％，フエノール樹脂が30〜70％か
らなる合成樹脂複合体を用い、先に述べた方法と同様、
炭化処理等することによつても得ることができる。この
ようにして得られた吸着剤も上記と同様の優れた酸素，
窒素の分離特性を備えている。
一般に、MSCにおいて、分子ふるい効果は、ミクロ孔の
直径が吸着分子の分子径に極めて近い数Åの領域とする
ことによつて優れるようになる。したがつて、酸素に対
する選択的吸着特性を向上させるためには、酸素分子の
分子径に近似する程度のミクロ孔直径を有するようにす
ることが好ましい。先に述べた方法で得られる吸着剤で
は、細孔直径10Å以下の領域に細孔径分布の極大値を有
し、細孔直径15〜200Åの範囲のミクロ孔容積が0.1cm3/
g以下であるため、酸素吸着に優れた特性を発揮するよ
うになる。したがつて、空気中の酸素，窒素の分離を好
適に行うことができるようになる。
本発明は、上記のような特殊構造の吸着剤をそのまま使
用するのではなく、上記吸着剤の三次元の網目で形成さ
れる連続気孔を原料空気の流通路とするために、吸着剤
の外周面もしくは端面をシールして使用することを最大
の特徴とするものである。
これにより、原料空気が上記連続気孔を通じて流通する
ようになり、その流通の過程において流通路の壁面に設
けられているミクロ孔に酸素が選択吸着され窒素と分離
されるようになる。したがつて、吸脱着による流路が短
くなり、その過程で吸脱着が行われるようになるため、
吸脱着速度の著しい向上効果が得られ、原料空気の分離
効率の著しい向上が実現されるようになる。
上記のような吸着剤を上記のようにしてPSA法のような
空気分離装置に応用する場合には、吸着塔を極めて小形
化することができ、装置全体の小形化が実現できるよう
になつて、動力原単位の低域効果を実現し、製品ガスの
収率の大幅向上効果が得られるようになる。そして、上
記吸着剤の吸着容量は吸着圧力と脱着圧力との差に大き
く依存しているため、圧力差を大きくするほど分離能を
大きくしうるのであるが、所要動力も大きくなる。した
がつて、経済性を考慮して適度な圧力差に設定すること
が好適である。通常、吸着圧力が４〜9kg/cm2程度と高
い場合には、真空ポンプを用いることなく常圧再生して
も高い分離性能を得ることができる。しかし、吸着圧力
が２〜5kg/cm2程度の比較的低い圧力の場合には、真空
ポンプによる減圧再生を行うことが好ましい。なお、上
記のような空気分離装置に、吸着剤をシールした状態で
収容するに際しては、柱状もしくは筒状に形成された吸
着剤の外周面を熱可塑性樹脂，熱硬化性樹脂もしくは熱
収縮フイルム等で密着被覆して外周面からガスがリーク
するのを防止し、空気の流通路が、吸着剤の一端面から
他端面にかけて形成されるようにすることが行われる。
このとき吸着剤の両端面の外周と吸着塔の内壁との間に
パツキン等を充填して、上記空間からガスのリークを防
止することが行われる。また、吸着塔の内壁面等に吸着
剤の外周面を密着させ、それによつて吸着剤の外周面を
シールすることも行われる。このように本発明におい
て、シールした状態で使用する、ないしは収容すると
は、吸着剤自体を熱可塑性樹脂等でシールする場合のみ
でなく、それを収容する吸着塔の内壁面等でシールする
態様も含むのである。また、筒状の吸着剤においては塔
の内側と外側の間の部分を空気の流通路にするため、吸
着剤の両端面を上記と同様の方法でシールすることが行
われる。
上記のような吸着剤を収容した吸着塔をPSA装置に組み
込む場合において、上記PSA装置の空気分離工程は、一
般に、吸着−均圧（減圧）−排気−均圧（加圧）−昇圧
の５工程に設定される。上記均圧工程は、原料空気の流
れ方向と同一方向にガスを流す並流均圧、または逆の方
向にガスを流す向流均圧のいずれかを採用することが行
われるが、並流均圧の方が高純度ガスを得られ易いこと
が本発明の過程で明らかになつている。なお、上記PSA
装置においては、均圧工程を除去し吸着−排気−昇圧の
３工程、あるいは吸着−減圧−パージ−昇圧の４工程を
採用することもできる。小形PSA装置において、動力原
単位を向上させるには、２塔式の装置が有利なことが多
いが、単塔式のPSA装置により吸脱着サイクルを早くす
るいわゆるラピツドPSA装置も本発明を適用しうる。
つぎに、実施例について説明する。
〔実施例１〕 重合度1700,けん化度99％のポリビニルアルコール（PV
A）7kgを水に分散させて加熱溶解後、馬鈴薯澱粉2.5kg
を加えて撹拌しながら加熱溶解した。これを室温まで冷
却後、37％ホルマリン9kgおよび50％硫酸2kgを加え、さ
らに適量の水を加えて混合液の総量が100になるよう
に調整した。
この混合液を400×200角の型枠に注型し、60℃の温水中
で３日間架橋反応を行つてから水洗いし、網目状構造を
有するポリビニルホルマール多孔体を得た。づきに、こ
のポリビニルホルマール多孔体を170mmφ×400mmLの円
柱に成形後、濃度調整を行つた水溶性レゾール樹脂（昭
和ユニオン合成（株）製,BRL−2854）に浸漬し、80℃で
24時間乾燥してフエノール樹脂量70％の合成樹脂複合多
孔体を得た。
この合成樹脂多孔体を電気炉に入れ、窒素雰囲気中にお
いて200℃まで100℃/hr、その後30℃/hrで昇温させ、66
0℃で炭化しマクロ孔の平均気孔径が200μm,見掛密度0.
52g/cm2,気孔率68％，寸法100mmφ×250mmLの円柱状吸
着剤を製造した。この吸着剤の断面の倍率100倍の走査
型電子顕微鏡写真図を第１図に示す。図において、空洞
部分がマクロ孔である。このようにして得られた円柱状
吸着剤を、吸着塔内にそれぞれ４本ずつ縦に連結して充
填した（各吸着塔内の吸着剤充填容積は100mmφ×1000m
mL）。この場合、上記吸着剤は、吸着塔の内壁面によつ
てシールされた状態になつている。つぎに、このように
して得られた吸着塔を２本用い、第２図に示すようなPS
A装置を構成した。図において、１は空気圧縮機、２は
エアードライヤーである。3,3aは内部に吸着剤がシール
状態で収容されている吸着塔であり、それぞれその入口
が第の開閉弁4,4aを備えた流入路パイプ5,5aによつて上
記エアードライヤー２の出口と連通状態になつている。
６は真空ポンプであり、弁7,7aを備えた吸引路パイプ８
によつて上記吸着塔3,3aの入口と連結されている。9,9a
は上記吸着塔3,3aの出口からそれぞれ延びる取出路パイ
プであつて、第２の開閉弁10,10aを備えており、メイン
パイプ11に連結されている。12は弁13,13aを備えた均圧
用パイプであり、上記吸着塔3,3aの出口に連通状態にな
つている。上記メインパイプ11はリザーバータンク14に
連結されており、ニードル弁15を備えた製品ガス取り出
しパイプ16から製品を取り出すようになつている。
この装置において、原料空気中の酸素，窒素の分離は、
づきのようにして行われる。すなわち、原料空気を空気
圧縮機１で圧縮してエアードライヤー２で乾燥させ、そ
の状態で一方の吸着塔３の入口から流入路パイプ５を経
由させて内部に送入する。このとき、他方の吸着塔3aの
流入路パイプ5aの弁4aは閉状態になつている。そして、
上記一方の吸着塔３に入つた圧縮空気は、内蔵されてい
る吸着剤の、三次元の網目で形成された連続気孔を流通
路として上昇し、その過程で酸素分子を吸着除去され、
吸着塔３の出口では高濃度窒素ガスとなる。この高濃度
窒素ガスは取出路パイプ９からメインパイプ11を経由
し、リザーバータンク14内に一旦貯蔵され、そこから製
品ガス取出パイプ16を経由して取り出される。このと
き、他方の吸着塔3aの取出路パイプ9aの弁10aおよび均
圧用パイプ12の弁13,13aは、いずれも閉じた状態になつ
ている。一方の吸着塔３が上記のような吸着動作を行つ
ている間、他方の吸着塔3aでは排気により内蔵吸着剤の
再生が行われている。すなわち、他方の吸着塔3aの出口
側は、上記弁10a,13,13aで閉じられた状態になつてお
り、吸引路パイプ８の弁７を閉じ弁7aを開いた状態で真
空ポンプ６を駆動させることにより、吸着塔3a内が向流
で減圧されて排気され吸着剤の再生がなされる。吸着工
程終了後の吸着塔３と再生工程終了後の吸着塔3aはパイ
プ17,弁13,弁7aにより連通され均圧化される。すなわ
ち、吸着塔３の出口側の弁13および吸着塔3aの出口側の
弁7aだけが開状態でその他の弁は全て閉状態となり、高
圧側の吸着塔３内のガスが吸着塔３の出口より出て吸着
塔3aの入口より吸着塔3aに入り均圧化が行われる。
その後、弁13,7aが閉じ、弁4aが開いて吸着塔3aが昇
圧，吸着工程に入る。一方、吸着塔３では弁4,10が閉
じ、弁７が開いて再生工程に移る。なお、上記の弁はい
ずれも電磁弁であつて、上記のような一連の弁操作は弁
の開閉制御装置（図示せず）の制御によつて行われる。
この場合、吸着圧力はゲージ圧で4kg/cm2とし、吸着剤
の再生のための真空排気は真空ポンプで100torr以下ま
で減圧して行われる。なお、上記吸着剤は比表面積640m
2/gであり、450ccの容器中に試料13gを入れ、初期圧力
2.5kg/cm2（ゲージ圧）でO2およびN2の吸着量を試験的
に測定したとき、１分後の吸着量がO2;24.1mg/g,N2;3.4
mg/gであつた。
上記のような一連の操作によつて生じる上記吸着塔3,3a
内の圧力状態等を第１表に示すと同時に、その製品ガス
の取り出し量と純度の関係を第２表に示した。
なお、第２表において、比較例１の値は、実施例１と同
じ２本の吸着塔に粒径約1mmφ×3mmLのMSCを100mmφ×1
000mmLになるよう充填し、これを用い実施例１と同様に
して空気の分離装置を行つたときの値である。この場
合、MSCの充填密度は0.61g/cm3であつた。なお、上記粒
状MSCの比面積は560m2/gで、実施例１と同様にして測定
したO2およびN2の１分後の吸着量は、O2が22.1mg/g,N2
が3.8mg/gであつた。
〔実施例２〕 重合度1700、けん化度99％のポリビニルアルコール5kg
を水に分散し、加熱溶解後、馬鈴薯澱粉3kgを加えて糊
化した。これを室温に冷却後、37％ホルマリン7kgおよ
び50％硫酸2.5kgを加え、均一に混合したのち適量の水
で液量調整し、総液量を100とした。
この混合液を420φ×28φ×900mmLの型枠内に注型し、6
0℃の温水中で24時間架橋反応を行つてから水洗いし、
網状構造を有するポリビニルホルマール（PVF）多孔体
を得た。このPVF多孔体を400φ×28φ×350mmLに成形し
たのち、固形分濃度40％のメラミン樹脂（住友化学工業
（株）製，スミテツクスレジンＭ−３）に浸漬し、遠心
分離してから90℃で24時間硬化させ、さらに固形分濃度
40％の水溶性レゾール樹脂（昭和高分子（株）製,BRL−
2854）に浸漬後、90℃で24時間硬化させ円筒状に成形し
てポリビニルホルマール20％，メラミン樹脂40％，フエ
ノール樹脂40％よりなる合成樹脂複合多孔体を得た。
この合成樹脂複合多孔体を電気炉に入れ、窒素雰囲気中
で60℃/hrで昇温し670℃で炭化し吸着剤を得た。これを
外径250mmφ，内20mmφ，高さ60mm（平均気孔径100μm,
見掛密度0.56g/cm3,気孔率65％）の円筒状吸着剤に成形
した。そして、これを外周面と内周面との間の部分が原
料空気の流通路となるよう、第３図に示すように、上端
面および下端面をそれぞれ孔あき遮蔽板20でシールし、
図示のように、吸着塔内に充填した。この装置のそれ以
外の部分は、第１図と同じであり動作も実質的に同じで
あるから説明を省略する。第３図では吸着塔3aで吸着動
作が行われ、吸着塔３で脱着動作が行われている。
この装置において、原料空気の流通および真空排気は、
図示の矢印のように、円筒状吸着剤の内周面と外周面と
の間の部分によつて行われる。この場合、吸着時の圧力
は5kg/cm2,減圧時の圧力が約100torrになるよう真空吸
入される。この装置における、吸着塔3,3a内の圧力状態
等を第３表に示すとともに、その製品窒素ガスの取り出
し量と純度との関係を第４表に示した。
〔実施例３〕 実施例２と同様にして、重合度1700,けん化度88％のポ
リビニルアルコール4kgを熱水で溶解後、小麦粉澱粉3kg
を加えて糊化した。この溶解液に固形分濃度60％の水溶
性レゾール樹脂（昭和高分子（株）製,BRL−2854）20kg
を加えて充分に撹拌したのち、さらに37％のホルマリン
7kgおよび30％の酸3kgを加えて均一に混合し、適量の
水で液量調整し、総液量を100とした。この混合液を3
20φ×28φ×1000mmmLの型枠内に注型し、実施例１と同
様に反応させて、PVA/フエノール系合成樹脂複合多孔体
を得た。この合成樹脂複合多孔体を300φ×28φ×750mm
Lの円筒に成形後、実施例１と同様にしてメラミン樹脂
を施与し、ポリビニルアルコール系樹脂20％，メラミン
樹脂20％，フエノール樹脂60％よりなる合成樹脂複合多
孔体を得た。
この合成樹脂複合多孔体を電気炉に入れ、窒素雰囲気下
において50℃/hrの昇温速度で所定の温度まで昇温さ
せ、水蒸気雰囲気下で所定時間賦活し、外径200mmφ，
内径20mmφ，高さ500mmLの円筒状の吸着剤をつくつた。
この吸着剤は平均気孔径300μm,見掛密度0.60g/cm3,気
孔率62％であつた。これを内径220mmφ，有効高さ1000m
mLの吸着塔内にそれぞれ２本ずつ縦に連結して充填し、
連結部を密着すると同時に、第４図に示すように、連結
体の上下の端面を熱可塑製樹脂板21でシールし、図示の
ように、吸着塔3,3a内に装填した。なお、22は弁23を備
えたパージ用パイプで、リザーバータンク14と吸着塔3,
3aの出口とを連通状態にしている。24は放出パイプであ
る。それ以外の部分は第１図と実質的に同じである。
この装置は、酸素富化空気製造用のものであつて、吸着
塔３で酸素の吸着がなされ窒素分に富んだ空気を、吸着
塔３の出口から放出パイプ24で矢印のように放出すると
同時に、他方の吸着塔3aの吸着剤に吸着されている酸素
の脱離に、リザーバータンク14内に収容されている酸素
富化空気をバージ用パイプ22から送り込んでパージす
る。そして、これと同時に、真空ポンプ６で吸着塔3aの
入口から吸引して酸素を取り出し、リザーバータンク14
に収容するようになつている。なお、上記吸着剤の比面
積は625m2/gであり、実施例１と同様の方法で測定したO
2およびN2の吸着量は、それぞれO2;23.8mg/g,N2;3.2mg/
gであつた。
上記の装置を用いて酸素富化空気の製造を行つた場合の
各吸着塔内の圧力状態等を第５表に示すと同時に、製品
空気の取り出し量と純度の関係を第６表に示した。
〔実施例４〕 実施例１と同様にしてマクロ径の平均気孔径が300μm,
見掛密度0.58g/cm2,気孔率64％の吸着剤を製造し、実施
例１と同様の装置に組み込んだ。この場合、吸着時の圧
力は7kg/cm2とし、吸着剤の再生には真空ポンプを用い
ず常圧再生をした。
このようにして得られた窒素ガスの純度は、窒素ガス取
り出し量が10/minで0.09％O2を含んでおり、20/min
で0.9％の不純酸素を含んでいた。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明は吸着剤として三次元網目状の炭
素骨格をもち、その三次元の網目で連続気孔が形成され
ており、炭素骨格の表面に酸素吸着用の微細孔が形成さ
れている柱状，筒状のものを用い、上記連続気孔が一方
向に流れる原料空気の流通路となるように上記吸着剤の
外周面もしくは端面をシールした状態で使用するため、
原料空気が上記流通路を通つて吸着剤の一端側から他端
側に流れる過程において、酸素の選択吸着が行われる。
したがつて、従来例に比べて、酸素吸脱着のための流路
が著しく短くなつて酸素の吸脱着速度が大幅に早くなり
吸着帯を極めて短くしうるようになる。したがつて、上
記吸着剤を用いて空気分離装置を構成する場合に、吸着
塔をかなり小形化することができると同時に、吸着剤の
使用量を低減でき、装置全体を小形化することができ
る。その結果、コンプレツサ容量や真空ポンプの容量が
小さくなり動力原単位を低減して製品ガスの価格の低減
を実現させることができるようになる。上記のような装
置を用い、原料空気を分離する場合において、窒素ガス
としては、一般に、純度が99〜99.99％（窒素＋アルゴ
ンの濃度）のもの、酸素付加空気としては、一般に酸素
25〜40％程度を含むものを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に用いる吸着剤の粒子構造を示す倍率10
0倍の走査型電子顕微鏡写真図、第２図は本発明の一実
施例の構成図、第３図は他の実施例の構成図、第４図は
さらに他の実施例の構成図、第５図は粒状MSCのマクロ
孔の模式図、第６図は粒状MSCの粒子構造を示す倍率100
倍の走査型電子顕微鏡写真図である。 １……空気圧縮機、２……エアードライヤー、3,3a……
吸着塔、4,4a……第１の開閉弁、5,5a……流入路パイ
プ、６……真空ポンプ、８……吸引路パイプ、9,9a……
取出路パイプ、11……メインパイプ、14……リザーバー
タンク、16……製品ガス取出パイプ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】原料空気を吸着剤内蔵の吸着塔に送入して
    吸着剤の酸素吸着作用を利用することにより空気中の窒
    素分と酸素分とを分離する空気分離法において、吸着剤
    として、三次元網目状の炭素骨格をもちその三次元網目
    で連続気孔が形成されていて全体形状が柱状もしくは筒
    状になつており、かつ上記炭素骨格の表面に酸素吸着用
    の微細孔が形成されているものを用い、上記連続気孔
    が、一方向に流れる原料空気の流通路となるように上記
    吸着剤の外周面もしくは端面をシールした状態で使用す
    ることを特徴とする空気分離法。
  2. 【請求項２】吸着剤が、連続気孔の孔径が１〜500μm,
    見掛密度が0.1〜0.8g/cm3,気孔率が50〜95％のものであ
    る特許請求の範囲第１項記載の空気分離法。
  3. 【請求項３】吸着剤が、ポリビニルアルコール系樹脂が
    10〜70重量％、フエノール樹脂が30〜90重量％よりなる
    合成樹脂複合体を非酸化性雰囲気下、500〜700℃の温度
    領域で炭化するか、または、炭化後さらに酸化性雰囲気
    下、500〜700℃の温度領域で炭化物の15重量％以内の重
    量減少となる範囲で賦活することにより製造されたもの
    である特許請求の範囲第１項または第２項記載の空気分
    離法。
  4. 【請求項４】吸着剤が、ポリビニルアルコール系樹脂が
    10〜50重量％、メラミン樹脂が10〜40重量％、フエノー
    ル樹脂が30〜70重量％よりなる合成樹脂複合体を非酸化
    性雰囲気下500〜700℃の温度領域で炭化するか、または
    炭化後さらに酸化性雰囲気下、500〜700℃の温度領域で
    炭化物の15重量％以内の重量減少となる範囲で賦活して
    得られたものである特許請求の範囲第１項または第２項
    記載の空気分離法。
  5. 【請求項５】外部より取り入れた空気を圧縮する空気圧
    縮機と、三次元網目状の炭素骨格をもちその三次元の網
    目で連続気孔が形成されていて全体形状が柱状もしくは
    筒状になつており上記炭素骨格の表面に酸素吸着用の微
    細孔が形成されている吸着剤と、上記吸着剤の連続気孔
    が一方向に流れる流通路になるように上記吸着剤の外周
    面もしくは端面をシールした状態で収容する複数の吸着
    塔と、上記空気圧縮機と上記複数の吸着塔の入口とをそ
    れぞれ連通させる複数の流入路パイプと、上記複数の流
    入路パイプにそれぞれ設けられた複数の第１の開閉弁
    と、上記吸着塔の再生手段と、上記再生手段と上記複数
    の吸着塔とを連通させる複数の再生路と、上記複数の再
    生路にそれぞれ設けられた複数の第２の開閉弁と、上記
    複数個の吸着塔のうちの任意の吸着塔が吸着作動し残つ
    た吸着塔が再生または休止するよう上記第１および第２
    の開閉弁の開閉制御する開閉弁制御手段と、上記複数の
    吸着塔の出口または入口からそれぞれ延びる製品ガス取
    出路を備えたことを特徴とする空気分離装置。
  6. 【請求項６】吸着剤が、連続気孔の孔径が１〜500μm,
    見掛密度が0.1〜0.8g/cm3,気孔率が50〜95％のものであ
    る特許請求の範囲第５項記載の空気分離装置。
  7. 【請求項７】吸着剤が、ポリビニルアルコール系樹脂が
    10〜70重量％、フエノール樹脂が30〜90重量％よりなる
    合成樹脂複合体を非酸化性雰囲気下、500〜700℃の温度
    領域で炭化するか、または、炭化後さらに酸化性雰囲気
    下、500〜700℃の温度領域で炭化物の15重量％以内の重
    量減少となる範囲で賦活することにより製造されたもの
    である特許請求の範囲第５項または第６項記載の空気分
    離装置。
  8. 【請求項８】吸着剤が、ポリビニルアルコール系樹脂が
    10〜50重量％、メラミン樹脂が10〜40重量％、フエノー
    ル樹脂が80〜70重量％よりなる合成樹脂複合体を非酸化
    性雰囲気下500〜700℃の温度領域で炭化するか、または
    炭化後さらに酸化性雰囲気下、500〜700℃の温度領域で
    炭化物の15重量％以内の重量減少となる範囲で賦活して
    得られたものである特許請求の範囲第５項または第６項
    記載の空気分離装置。
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