JPH07107388B2 - 複数真空容器の排気方法 - Google Patents
複数真空容器の排気方法Info
- Publication number
- JPH07107388B2 JPH07107388B2 JP31628787A JP31628787A JPH07107388B2 JP H07107388 B2 JPH07107388 B2 JP H07107388B2 JP 31628787 A JP31628787 A JP 31628787A JP 31628787 A JP31628787 A JP 31628787A JP H07107388 B2 JPH07107388 B2 JP H07107388B2
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- exhaust
- pressure
- evacuation
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数の真空容器の排気方法に係り、特に、核融
合装置の中性子入射装置等に用いられる複数の大容量真
空容器内の大気、又は水素ガスを吸引排気するに好適な
複数真空容器の排気方法に関する。
合装置の中性子入射装置等に用いられる複数の大容量真
空容器内の大気、又は水素ガスを吸引排気するに好適な
複数真空容器の排気方法に関する。
複数の真空容器を高真空にする排気方法としては、それ
ら真空容器にそれぞれ粗引弁を介して連通された共通の
粗引排気装置により、一旦所定の圧力まで粗引きし、そ
の後各真空容器にそれぞれ対応して設けられた個別の主
排気装置により高真空に排気する方法が取られている
（例えば特開昭59−194400号公報，特公昭60−1760号公
報参照）。
ら真空容器にそれぞれ粗引弁を介して連通された共通の
粗引排気装置により、一旦所定の圧力まで粗引きし、そ
の後各真空容器にそれぞれ対応して設けられた個別の主
排気装置により高真空に排気する方法が取られている
（例えば特開昭59−194400号公報，特公昭60−1760号公
報参照）。
ところが、排気開始時に各真空容器間の圧力が大幅に異
なつていると、粗引き時に各真空容器間に圧力差による
偏流が発生するという問題がある。
なつていると、粗引き時に各真空容器間に圧力差による
偏流が発生するという問題がある。
そこで従来は、そのような偏流を防止するため、粗引弁
を順次１つずつ開き、各真空容器単位にて粗引きする方
法が取られていた。
を順次１つずつ開き、各真空容器単位にて粗引きする方
法が取られていた。
しかし、このような従来法によると、全部の真空容器の
排気を完了するに要する排気時間が長くかかりすぎると
いう問題があつた。
排気を完了するに要する排気時間が長くかかりすぎると
いう問題があつた。
本発明の目的は、上記従来の問題点を解決すること、言
い換えれば、異なる圧力にある複数の真空容器を粗引き
排気するにあたつて、真空容器間の偏流を防ぐととも
に、排気時間を短縮することができる複数の真空容器の
排気方法を提供することにある。
い換えれば、異なる圧力にある複数の真空容器を粗引き
排気するにあたつて、真空容器間の偏流を防ぐととも
に、排気時間を短縮することができる複数の真空容器の
排気方法を提供することにある。
本発明は、複数の真空容器にそれぞれ粗引弁を介して連
通された共通の粗引排気装置により、各真空容器の圧力
を所定の粗引圧力にまで粗引きすることを含んでなる複
数真空容器の排気方法において、最も圧力が高い真空容
器の粗引弁を開いて排気を開始し、その真空容器の圧力
が低下されるのに合わせて、同等レベルの圧力にある他
の真空容器の粗引弁を開いて並列的に排気することによ
り、所期の目的を達成するようになしたものである。
通された共通の粗引排気装置により、各真空容器の圧力
を所定の粗引圧力にまで粗引きすることを含んでなる複
数真空容器の排気方法において、最も圧力が高い真空容
器の粗引弁を開いて排気を開始し、その真空容器の圧力
が低下されるのに合わせて、同等レベルの圧力にある他
の真空容器の粗引弁を開いて並列的に排気することによ
り、所期の目的を達成するようになしたものである。
本発明では圧力が同一、あるいは同等レベルにある真空
容器のみを粗引排気装置に連通させるようにしているの
で、これによつて真空容器間の圧力差による生ずる偏流
を防ぐとともに、並列的に吸引排気をして排気時間を短
縮することができる。
容器のみを粗引排気装置に連通させるようにしているの
で、これによつて真空容器間の圧力差による生ずる偏流
を防ぐとともに、並列的に吸引排気をして排気時間を短
縮することができる。
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
第１図に本発明が適用されてなる一実施例装置の系統構
成図を示す。同図に示す排気装置は中性粒子入射装置に
適用されたものであり、複数（ｎ個）の真空容器１（＃
1,＃2,……＃ｎ）は、それぞれ粗引弁V2を介して共通の
粗引排気装置２に連通されるとともに、それぞれ主排気
弁V1を介して各真空容器＃ｎに対応させて設けられた個
別の主排気装置３に連通されている。粗引排気装置２は
ヘツダMH2、ポンプMBP2とRP2、および弁を含んで形成さ
れている。主排気装置３はターボ分子ポンプTMPなどか
ら形成され、そのバツク側は背圧排気装置４に連通され
ている。背圧排気装置４はヘツダMH1、ポンプMBP1とR
P2、および弁を含んで形成され、主排気装置３のバツク
側を一括して排気するようになつている。そして、第１
図排気装置は真空容器１の大気排気およびクライオポン
プ再生運転のための水素排気の２種類の排気を行なうよ
うになつている。
成図を示す。同図に示す排気装置は中性粒子入射装置に
適用されたものであり、複数（ｎ個）の真空容器１（＃
1,＃2,……＃ｎ）は、それぞれ粗引弁V2を介して共通の
粗引排気装置２に連通されるとともに、それぞれ主排気
弁V1を介して各真空容器＃ｎに対応させて設けられた個
別の主排気装置３に連通されている。粗引排気装置２は
ヘツダMH2、ポンプMBP2とRP2、および弁を含んで形成さ
れている。主排気装置３はターボ分子ポンプTMPなどか
ら形成され、そのバツク側は背圧排気装置４に連通され
ている。背圧排気装置４はヘツダMH1、ポンプMBP1とR
P2、および弁を含んで形成され、主排気装置３のバツク
側を一括して排気するようになつている。そして、第１
図排気装置は真空容器１の大気排気およびクライオポン
プ再生運転のための水素排気の２種類の排気を行なうよ
うになつている。
また、各真空容器１には大気圧確認用の大気圧スイツチ
P1と、粗引完了を検出する粗引スイツチP2と、それらの
中間に設定された圧力で動作する中間圧力スイツチP3と
がそれぞれ設けられている。P1は約100kPa,P2では約2P
a、P3は約100Paにてそれぞれ動作するように設定されて
いる。
P1と、粗引完了を検出する粗引スイツチP2と、それらの
中間に設定された圧力で動作する中間圧力スイツチP3と
がそれぞれ設けられている。P1は約100kPa,P2では約2P
a、P3は約100Paにてそれぞれ動作するように設定されて
いる。
このように構成される実施例装置により本発明の一実施
例方法を、第２図と第３図を参照しながら次に説明す
る。
例方法を、第２図と第３図を参照しながら次に説明す
る。
大気排気すべき真空容器１が５個（＃１〜＃５）とし、
それらの初期圧力は第２図に×印で示したレベルにある
と仮定する。この状態で排気指令を与えると、まず大気
圧にある＃1,＃２の真空容器の粗引弁V2が開かれ、粗引
排気装置により粗引きが開始される。そして図中白抜き
実線矢印Ａで示すように＃1,＃２の圧力が100Pa以下に
低下したとき、＃3,＃４の容器の粗引弁V2が開かれ、＃
1,＃2,＃3,＃４の４個の真空容器が同時に排気される。
それらの初期圧力は第２図に×印で示したレベルにある
と仮定する。この状態で排気指令を与えると、まず大気
圧にある＃1,＃２の真空容器の粗引弁V2が開かれ、粗引
排気装置により粗引きが開始される。そして図中白抜き
実線矢印Ａで示すように＃1,＃２の圧力が100Pa以下に
低下したとき、＃3,＃４の容器の粗引弁V2が開かれ、＃
1,＃2,＃3,＃４の４個の真空容器が同時に排気される。
その後、４個の真空容器＃１〜＃４の圧力が図中白抜実
線矢印Ｂに示すように2Pa以下（TMP領域）になると、粗
引弁V2を閉じ主排気弁V1を開いて、ターボ分子ポンプ
（TMP）からなる主排気装置３）による主排気に移る。
なお、大気圧と100Paの中間の圧力にある＃５の真空容
器は排気指令は受付けず、手動等により空気等をリーク
させて一旦大気圧まで上げ、次回の指令を待つて排気が
なされる。
線矢印Ｂに示すように2Pa以下（TMP領域）になると、粗
引弁V2を閉じ主排気弁V1を開いて、ターボ分子ポンプ
（TMP）からなる主排気装置３）による主排気に移る。
なお、大気圧と100Paの中間の圧力にある＃５の真空容
器は排気指令は受付けず、手動等により空気等をリーク
させて一旦大気圧まで上げ、次回の指令を待つて排気が
なされる。
一方、水素排気する場合の５個の真空容器＃１〜＃５の
初期圧力（図示×印）と排気手順を第３図に示す。この
場合の排気手順も大気排気の場合と同様に、まず、100P
a以上の＃1,＃３の真空容器より排気を始め、100Pa以下
の圧力になつたら＃2,＃４も同時に排気する。
初期圧力（図示×印）と排気手順を第３図に示す。この
場合の排気手順も大気排気の場合と同様に、まず、100P
a以上の＃1,＃３の真空容器より排気を始め、100Pa以下
の圧力になつたら＃2,＃４も同時に排気する。
ここで大気排気と異なるのは、水素排気では最高圧力が
2000Pa程度のため、最初に100Pa以上の真空容器から排
気を始めることである。
2000Pa程度のため、最初に100Pa以上の真空容器から排
気を始めることである。
また各真空容器が大気排気と水素排気が混在する場合も
あるが、この場合は圧力が2Pa以上であれば、両者の同
時排気を禁止し、2Pa未満であれば、両者を同時排気で
きるようにする。
あるが、この場合は圧力が2Pa以上であれば、両者の同
時排気を禁止し、2Pa未満であれば、両者を同時排気で
きるようにする。
なお、上述した大気排気および水素排気は、各圧力スイ
ツチP1,P2,P3と粗引弁V2とを連動させることによつて自
動化することができ、また、手動に切換えれば直列的に
各真空容器の排気を行なうことができる。
ツチP1,P2,P3と粗引弁V2とを連動させることによつて自
動化することができ、また、手動に切換えれば直列的に
各真空容器の排気を行なうことができる。
また、自動，手動運転の区別，大気排気と水素排気およ
び排気指令を受けた真空容器の番号、実際に排気中の真
空容器の番号等は、適宜制御盤に表示するようにするこ
とも可能である。
び排気指令を受けた真空容器の番号、実際に排気中の真
空容器の番号等は、適宜制御盤に表示するようにするこ
とも可能である。
上述したように、本実施例法によれば、圧力が同一ある
いは同等レベルにある真空容器のみを粗引排気装置に連
通させるようにし、それらの真空容器の圧力低下をまつ
て他の同一あるいは同等レベルにある真空容器を粗引排
気装置に並列に連通させるようにしていることから、真
空容器間の圧力差により生ずる偏流を防止することがで
きる。また並列的に排気をすることができることから、
排気時間を短縮することができる。
いは同等レベルにある真空容器のみを粗引排気装置に連
通させるようにし、それらの真空容器の圧力低下をまつ
て他の同一あるいは同等レベルにある真空容器を粗引排
気装置に並列に連通させるようにしていることから、真
空容器間の圧力差により生ずる偏流を防止することがで
きる。また並列的に排気をすることができることから、
排気時間を短縮することができる。
因に、従来の排気法によれば、偏流を防止するため、第
２図と第３図にそれぞれ点線矢印ａ〜d,a′〜ｄ′に示
したように、１つの真空容器ごとに順次排気する直列的
な排気を行なつていたことから、排気に長時間を要する
という欠点があつたのである。
２図と第３図にそれぞれ点線矢印ａ〜d,a′〜ｄ′に示
したように、１つの真空容器ごとに順次排気する直列的
な排気を行なつていたことから、排気に長時間を要する
という欠点があつたのである。
〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、複数の真空容器
間に圧力の差があつても、偏流を起こすことなく全台を
同一時に排気開始できる上に、同一時に数台を並列排気
できるので排気時間の短縮が計ることができ、ひいては
各排気装置の小型，軽量化が達成できる効果がある。
間に圧力の差があつても、偏流を起こすことなく全台を
同一時に排気開始できる上に、同一時に数台を並列排気
できるので排気時間の短縮が計ることができ、ひいては
各排気装置の小型，軽量化が達成できる効果がある。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明を適用してなる一実施例の系統構成図、
第２図は大気排気の動作を説明する図、第３図は水素排
気の動作を説明する図である。 １……真空容器、２……粗引排気装置、３……主排気装
置、V1……主排気弁、V2……粗引弁、P1……大気圧スイ
ツチ、P2……粗引圧スイツチ、P3……中間圧スイツチ。
第２図は大気排気の動作を説明する図、第３図は水素排
気の動作を説明する図である。 １……真空容器、２……粗引排気装置、３……主排気装
置、V1……主排気弁、V2……粗引弁、P1……大気圧スイ
ツチ、P2……粗引圧スイツチ、P3……中間圧スイツチ。
Claims (1)
- 【請求項１】複数の真空容器にそれぞれ粗引弁を介して
連通された共通の粗引排気装置により、各真空容器の圧
力を所定の粗引圧力にまで粗引きすることを含んでなる
複数真空容器の排気方法において、最も圧力が高い真空
容器の粗引弁を開いて排気を開始し、その真空容器の圧
力が低下されるのに合わせて、同等レベルの圧力にある
他の真空容器の粗引弁を開いて並列的に排気することを
特徴とする複数真空容器の排気方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31628787A JPH07107388B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 複数真空容器の排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31628787A JPH07107388B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 複数真空容器の排気方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01159475A JPH01159475A (ja) | 1989-06-22 |
| JPH07107388B2 true JPH07107388B2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=18075427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31628787A Expired - Fee Related JPH07107388B2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 | 複数真空容器の排気方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07107388B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3564069B2 (ja) | 1999-03-05 | 2004-09-08 | 忠弘 大見 | 真空装置 |
| US7278831B2 (en) * | 2003-12-31 | 2007-10-09 | The Boc Group, Inc. | Apparatus and method for control, pumping and abatement for vacuum process chambers |
| GB2533933A (en) * | 2015-01-06 | 2016-07-13 | Edwards Ltd | Improvements in or relating to vacuum pumping arrangements |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP31628787A patent/JPH07107388B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01159475A (ja) | 1989-06-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |