JPH07102509B2 - ヘッド部駆動機構 - Google Patents
ヘッド部駆動機構Info
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- JPH07102509B2 JPH07102509B2 JP30196991A JP30196991A JPH07102509B2 JP H07102509 B2 JPH07102509 B2 JP H07102509B2 JP 30196991 A JP30196991 A JP 30196991A JP 30196991 A JP30196991 A JP 30196991A JP H07102509 B2 JPH07102509 B2 JP H07102509B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ＩＣチップ部
品を部品供給部から真空圧により吸引し、該チップ部品
を基板上に装着するためのチップマウンター等のヘッド
部をＸ−Ｙ方向に駆動するためのヘッド部駆動機構に関
する。
品を部品供給部から真空圧により吸引し、該チップ部品
を基板上に装着するためのチップマウンター等のヘッド
部をＸ−Ｙ方向に駆動するためのヘッド部駆動機構に関
する。
【０００２】
【従来の技術】これまで知られているチップ装着用のヘ
ッド部駆動機構としては図１及び図２に示すようなもの
がある。図１において、チップ部品吸引装着ヘッド１０
は下端にチップ部品を吸引しＸ及びＹ方向に移動した後
これを基板上に装着する。このヘッド１０は、該ヘッド
１０をＸ方向に移動させるための直動軸受レール１１へ
摺動自在に取り付けられている。またこのレール１１は
両端をそれぞれ受台１３、１４に支持されている支持体
１２に固定されている。受台１３、１４の一方に取り付
けられているモータ１５はヘッド１０を図示していない
ベルトを介してレール１１に沿ってＸ方向に移動させる
作用を有している。また受台１３、１４はＸ方向に伸長
しているレール１１に対して直交するＹ方向に伸長する
一対の直動軸受レール１６、１７に支持されている。こ
れらの受台１３、１４はフレームに固定されたモータ１
９の回転を直線運動に変換するベルト１８により駆動さ
れ前記レール１６、１７上をＹ方向に移動する。この実
施例ではモータ１５、１９の回転をベルトにより直線運
動に変換しているが、これ以外にボールネジによる直線
駆動も広く採用されている。
ッド部駆動機構としては図１及び図２に示すようなもの
がある。図１において、チップ部品吸引装着ヘッド１０
は下端にチップ部品を吸引しＸ及びＹ方向に移動した後
これを基板上に装着する。このヘッド１０は、該ヘッド
１０をＸ方向に移動させるための直動軸受レール１１へ
摺動自在に取り付けられている。またこのレール１１は
両端をそれぞれ受台１３、１４に支持されている支持体
１２に固定されている。受台１３、１４の一方に取り付
けられているモータ１５はヘッド１０を図示していない
ベルトを介してレール１１に沿ってＸ方向に移動させる
作用を有している。また受台１３、１４はＸ方向に伸長
しているレール１１に対して直交するＹ方向に伸長する
一対の直動軸受レール１６、１７に支持されている。こ
れらの受台１３、１４はフレームに固定されたモータ１
９の回転を直線運動に変換するベルト１８により駆動さ
れ前記レール１６、１７上をＹ方向に移動する。この実
施例ではモータ１５、１９の回転をベルトにより直線運
動に変換しているが、これ以外にボールネジによる直線
駆動も広く採用されている。
【０００３】図２は別の実施例を示す。図２の実施例が
図１の実施例と異なるところは、図１ではＹ方向の駆動
源１９を一方の受台１３のみを駆動するために用いてい
たが、図２の実施例では両方の受台１３、１４を同時に
駆動するためベルト１８′及びモータ１９′を他方の受
台１４側にも設けたことである。これによって、Ｙ方向
ににおけるヘッド１０の移動ブレを少なくしたものであ
る。
図１の実施例と異なるところは、図１ではＹ方向の駆動
源１９を一方の受台１３のみを駆動するために用いてい
たが、図２の実施例では両方の受台１３、１４を同時に
駆動するためベルト１８′及びモータ１９′を他方の受
台１４側にも設けたことである。これによって、Ｙ方向
ににおけるヘッド１０の移動ブレを少なくしたものであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこれらの
公知の装置においては以下のような種々の解決すべき課
題があった。
公知の装置においては以下のような種々の解決すべき課
題があった。
【０００５】まず図１の実施例においては、長い棒状の
支持体１２の一端のみが駆動され、他端は直動軸受でガ
イドしているだけであるのでいわば片持構造となってい
るため、モータ１９によるＹ方向への特に駆動時及び停
止時に振動を発生しやすく、また、その振動を収束する
ための振動収束時間（ダンピング時間）が長くなる。一
般にチップマウンタは基板を高速度で生産する必要があ
るため、ヘッドを出来る限りＸ及びＹ方向に高速度で移
動させる必要がある。その一方で、近年、装着するチッ
プ部品の形状は小型化しており、基板に対するチップ搭
載時の精度は数１０ミクロン以内であることが要求され
ている。図１の装置でヘッド１０をＹ方向へ高速移動す
ると、支持体１２にかかる加速度が大きくなり、固有振
動を発生する。Ｙ方向への移動を停止後、直ちにチップ
部品を装着した場合、ヘッドが振動しているため、所望
の精度で搭載することは出来ない。もし、振動の収束を
待つこととすると、折角支持体を高速度で駆動した意味
が無くなる。また振動防止のため支持体１２の剛性を増
せば、固有振動数は大きくなり、収束は速まるが剛性の
増加は重量の増加を伴い、モータ１９の出力増加を必要
とする。一般にはモータの出力が増加するとモータのロ
ータ直径が大きくなり、角慣性モーメントが増加し、結
局は高加速度駆動には不利となる。
支持体１２の一端のみが駆動され、他端は直動軸受でガ
イドしているだけであるのでいわば片持構造となってい
るため、モータ１９によるＹ方向への特に駆動時及び停
止時に振動を発生しやすく、また、その振動を収束する
ための振動収束時間（ダンピング時間）が長くなる。一
般にチップマウンタは基板を高速度で生産する必要があ
るため、ヘッドを出来る限りＸ及びＹ方向に高速度で移
動させる必要がある。その一方で、近年、装着するチッ
プ部品の形状は小型化しており、基板に対するチップ搭
載時の精度は数１０ミクロン以内であることが要求され
ている。図１の装置でヘッド１０をＹ方向へ高速移動す
ると、支持体１２にかかる加速度が大きくなり、固有振
動を発生する。Ｙ方向への移動を停止後、直ちにチップ
部品を装着した場合、ヘッドが振動しているため、所望
の精度で搭載することは出来ない。もし、振動の収束を
待つこととすると、折角支持体を高速度で駆動した意味
が無くなる。また振動防止のため支持体１２の剛性を増
せば、固有振動数は大きくなり、収束は速まるが剛性の
増加は重量の増加を伴い、モータ１９の出力増加を必要
とする。一般にはモータの出力が増加するとモータのロ
ータ直径が大きくなり、角慣性モーメントが増加し、結
局は高加速度駆動には不利となる。
【０００６】一方、図２の実施例においては、支持体１
２の両端が受台１３、１４に固定支持されているため、
固有振動数が大幅に上昇し、図１の欠点の大部分が解決
される。しかし、支持体１２が高速移動するためモータ
１９、１９′としては一般にはサーボモータが採用され
る。しかしてこれらのサーボモータを駆動装置に組み合
わせた場合、個々のモータのサーボ特性は、通常、モー
タの慣性負荷や粘性負荷の差等により異なり、同一の指
令パルスレートで両モータ１９、１９′に指令を与えて
も、指令パルスとエンコーダからのフィードバックパル
スの差即ちたまりパルスは必ずしも一致するものではな
く、一方の受台を他方の受台よりも先行して進ませてし
まうことがある。その結果双方のモータが互いに干渉し
あって激しい振動を発生し、スムースな移動が得られな
いことがある。
２の両端が受台１３、１４に固定支持されているため、
固有振動数が大幅に上昇し、図１の欠点の大部分が解決
される。しかし、支持体１２が高速移動するためモータ
１９、１９′としては一般にはサーボモータが採用され
る。しかしてこれらのサーボモータを駆動装置に組み合
わせた場合、個々のモータのサーボ特性は、通常、モー
タの慣性負荷や粘性負荷の差等により異なり、同一の指
令パルスレートで両モータ１９、１９′に指令を与えて
も、指令パルスとエンコーダからのフィードバックパル
スの差即ちたまりパルスは必ずしも一致するものではな
く、一方の受台を他方の受台よりも先行して進ませてし
まうことがある。その結果双方のモータが互いに干渉し
あって激しい振動を発生し、スムースな移動が得られな
いことがある。
【０００７】またこれらの実施例におけるマウンタで
は、一般に、搭載時基板の傾き即ちＸＹ移動方向に対す
る傾きを、画像認識装置を用いて、基板パターンの基準
ピン穴に対する角度ズレにより計算している。しかして
通常この角度は微小である。このような微小な角度補正
をヘッド自体で行うためにこれまでは高い分解能を有す
るモータが必要となっていた。このため装置が高価なも
のとなり、加えて減速機により、回転ズレや、回転速度
の低下を招く懸念があった。
は、一般に、搭載時基板の傾き即ちＸＹ移動方向に対す
る傾きを、画像認識装置を用いて、基板パターンの基準
ピン穴に対する角度ズレにより計算している。しかして
通常この角度は微小である。このような微小な角度補正
をヘッド自体で行うためにこれまでは高い分解能を有す
るモータが必要となっていた。このため装置が高価なも
のとなり、加えて減速機により、回転ズレや、回転速度
の低下を招く懸念があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる課題、特
に図２に示した実施例における課題を解決するため、支
持体の一方を一つのピボット軸で、支持体の他方を２つ
のピボット軸でそれぞれ支持することにより、左右のモ
ータ特性の違いから一方の受台が他方の受台に先行して
も、その違いが全体としては何らの悪影響も生じないよ
うにしたものである。更にヘッドにより部品を基板上に
搭載する際に予め左右の受台の停止位置を変えるように
設定することによって、ヘッドの角度を微少量だけ変更
することができるのである。
に図２に示した実施例における課題を解決するため、支
持体の一方を一つのピボット軸で、支持体の他方を２つ
のピボット軸でそれぞれ支持することにより、左右のモ
ータ特性の違いから一方の受台が他方の受台に先行して
も、その違いが全体としては何らの悪影響も生じないよ
うにしたものである。更にヘッドにより部品を基板上に
搭載する際に予め左右の受台の停止位置を変えるように
設定することによって、ヘッドの角度を微少量だけ変更
することができるのである。
【０００９】
【作用】サーボモータの特性の相違により両ベルトの移
動量が異なり、両者間に多少のズレが生じた場合、一方
の受座は受台に取り付けられたピボット軸の回りを反時
計（又は時計）方向に回転する。一方、リンクに取り付
けてある受座は両者を回転自在に取り付けているピボッ
ト軸の回りを反時計（又は時計）方向に回転する。さら
にこのリンクはそれが取り付けてある受台に関して運動
をし、このため左右の受台の移動量が相違しても受座
と、受台及びリンクと、がその移動量の相違分だけ反時
計（又は時計）方向に円滑に回転する。これによりその
移動量の差を吸収し、支持体に発生するブレを防止す
る。また予め左右の受台の送り量を互いに異なるように
設定することによりチップ供給時のヘッドを傾かせ、こ
れによりチップ搭載時基板の傾きを補償する。
動量が異なり、両者間に多少のズレが生じた場合、一方
の受座は受台に取り付けられたピボット軸の回りを反時
計（又は時計）方向に回転する。一方、リンクに取り付
けてある受座は両者を回転自在に取り付けているピボッ
ト軸の回りを反時計（又は時計）方向に回転する。さら
にこのリンクはそれが取り付けてある受台に関して運動
をし、このため左右の受台の移動量が相違しても受座
と、受台及びリンクと、がその移動量の相違分だけ反時
計（又は時計）方向に円滑に回転する。これによりその
移動量の差を吸収し、支持体に発生するブレを防止す
る。また予め左右の受台の送り量を互いに異なるように
設定することによりチップ供給時のヘッドを傾かせ、こ
れによりチップ搭載時基板の傾きを補償する。
【００１０】
【実施例】本発明は図２に示す実施例の改良であり、図
３〜図５にその具体例を示す。図３において符号２０は
下端にチップ部品（図示なし）を吸引しＸ及びＹ方向に
移動した後これを基板（図示なし）上に装着するチップ
部品吸引装着ヘッドである。このヘッド２０は、該ヘッ
ド２０をＸ方向に移動させるための直動軸受レール２１
へ摺動自在に取り付けられている。またこのレール２１
の左端を受座３０及びリンク３１を介し、右端を受座３
２を介して受台２３及び２４に支持されている支持体２
２に固定されている。受台２３、２４の一方に取り付け
られているモータ２５はヘッド２０を図示していないベ
ルトを介してレール２１に沿ってＸ方向に移動させる作
用を有している。また受台２３、２４はＸ方向に伸長し
ているレール２１に対して直交するＹ方向に伸長する一
対の直動軸受レール２６、２７に支持されている。これ
らの受台２３、２４は左右のフレームにそれぞれ固定さ
れた一対のモータ（図示なし）の回転を直線運動に変換
するベルト２８、２９により駆動され前記レール２６、
２７上をＹ方向に移動する。この実施例では一対のモー
タの回転をベルト２８、２９により直線運動に変換して
いるが、これ以外にボールネジによる直線駆動も可能で
ある。
３〜図５にその具体例を示す。図３において符号２０は
下端にチップ部品（図示なし）を吸引しＸ及びＹ方向に
移動した後これを基板（図示なし）上に装着するチップ
部品吸引装着ヘッドである。このヘッド２０は、該ヘッ
ド２０をＸ方向に移動させるための直動軸受レール２１
へ摺動自在に取り付けられている。またこのレール２１
の左端を受座３０及びリンク３１を介し、右端を受座３
２を介して受台２３及び２４に支持されている支持体２
２に固定されている。受台２３、２４の一方に取り付け
られているモータ２５はヘッド２０を図示していないベ
ルトを介してレール２１に沿ってＸ方向に移動させる作
用を有している。また受台２３、２４はＸ方向に伸長し
ているレール２１に対して直交するＹ方向に伸長する一
対の直動軸受レール２６、２７に支持されている。これ
らの受台２３、２４は左右のフレームにそれぞれ固定さ
れた一対のモータ（図示なし）の回転を直線運動に変換
するベルト２８、２９により駆動され前記レール２６、
２７上をＹ方向に移動する。この実施例では一対のモー
タの回転をベルト２８、２９により直線運動に変換して
いるが、これ以外にボールネジによる直線駆動も可能で
ある。
【００１１】受座３０、３２はそれぞれ支持体２２の左
右端に固定されており、これらの受座３０、３２はまた
それぞれピボット軸３３、３４を介してリンク３１の一
端部及び受台２４へ枢着されている。更に該リンク３１
の他端部はピボット軸３５を介して受台２３へ枢着され
ている。このため、ピボット軸３３は受座３０の回転中
心を、ピボット軸３４は受座３２の回転中心を、ピボッ
ト軸３５はリンク３１の回転中心を、それぞれ提供して
いる。
右端に固定されており、これらの受座３０、３２はまた
それぞれピボット軸３３、３４を介してリンク３１の一
端部及び受台２４へ枢着されている。更に該リンク３１
の他端部はピボット軸３５を介して受台２３へ枢着され
ている。このため、ピボット軸３３は受座３０の回転中
心を、ピボット軸３４は受座３２の回転中心を、ピボッ
ト軸３５はリンク３１の回転中心を、それぞれ提供して
いる。
【００１２】而して本発明において、ベルト２８を駆動
するサーボモータの作動により、受台２３が矢印３６の
方向に所定距離だけ移動したとする。同様にベルト２９
を駆動する別のサーボモータの作動により、受台２４が
矢印３７の方向に所定距離だけ移動したとする。この場
合、両サーボモータの駆動によるベルト２８、２９の移
動量が同一である場合には何の問題も生じない。然し、
一般には上述したように、サーボモータの特性の相違に
より両ベルトの移動量は異なり、両者間に多少のズレが
生じ、支持体２２に振動を伴ったブレが発生する。ここ
で例えば図４に示すように受台２４が受台２３よりも幾
分先行したとする。この時、受座３２は受台２４に取り
付けられたピボット軸３４の回りを反時計方向に回転す
る。一方、受座３０及びリンク３１はそれぞれピボット
軸３３及び３５の回りを反時計方向に回転する。このた
め両受台２３、２４の移動量が相違しても受座３０及び
リンク３１がピボット軸３３及び３５の回りを、また受
座３２がピボット軸３４の回りを反時計方向に円滑に回
転することにより、その移動量の差を吸収し、支持体２
２にブレを発生することはない。
するサーボモータの作動により、受台２３が矢印３６の
方向に所定距離だけ移動したとする。同様にベルト２９
を駆動する別のサーボモータの作動により、受台２４が
矢印３７の方向に所定距離だけ移動したとする。この場
合、両サーボモータの駆動によるベルト２８、２９の移
動量が同一である場合には何の問題も生じない。然し、
一般には上述したように、サーボモータの特性の相違に
より両ベルトの移動量は異なり、両者間に多少のズレが
生じ、支持体２２に振動を伴ったブレが発生する。ここ
で例えば図４に示すように受台２４が受台２３よりも幾
分先行したとする。この時、受座３２は受台２４に取り
付けられたピボット軸３４の回りを反時計方向に回転す
る。一方、受座３０及びリンク３１はそれぞれピボット
軸３３及び３５の回りを反時計方向に回転する。このた
め両受台２３、２４の移動量が相違しても受座３０及び
リンク３１がピボット軸３３及び３５の回りを、また受
座３２がピボット軸３４の回りを反時計方向に円滑に回
転することにより、その移動量の差を吸収し、支持体２
２にブレを発生することはない。
【００１３】反対に受台２３が受台２４よりも先行した
場合には、受座３０及びリンク３１がピボット軸３３及
び３５の回りを、また受座３２がピボット軸３４の回り
を時計方向に円滑に回転することにより、その移動量の
差を吸収し、同様に支持体２２にブレを発生することは
なく、両サーボモータの特性値の違いが完全に補償され
るのである。
場合には、受座３０及びリンク３１がピボット軸３３及
び３５の回りを、また受座３２がピボット軸３４の回り
を時計方向に円滑に回転することにより、その移動量の
差を吸収し、同様に支持体２２にブレを発生することは
なく、両サーボモータの特性値の違いが完全に補償され
るのである。
【００１４】本発明において、リンク３１は受座３０、
３２のピボット軸周りに於ける枢動運動を円滑に行う作
用を提供している。このリンクは図示した例では支持体
の片側にのみ設置してあるが、両側に設けることも可能
である。更に、この一方又は両方のリンク３１を、図５
に示すように、受台２３上に固定した一対のＸ方向に伸
長するレール３８、３９上に滑動可能に取り付け、この
リンク３１へピボット軸３３を介して支持体２２の一端
が固定された受座３０を枢着することも出来る。更には
Ｙ方向への運動はベルト２８、２９の代わりにボールネ
ジ、又はリニアサーボモータを用いた構造とすることも
できる。
３２のピボット軸周りに於ける枢動運動を円滑に行う作
用を提供している。このリンクは図示した例では支持体
の片側にのみ設置してあるが、両側に設けることも可能
である。更に、この一方又は両方のリンク３１を、図５
に示すように、受台２３上に固定した一対のＸ方向に伸
長するレール３８、３９上に滑動可能に取り付け、この
リンク３１へピボット軸３３を介して支持体２２の一端
が固定された受座３０を枢着することも出来る。更には
Ｙ方向への運動はベルト２８、２９の代わりにボールネ
ジ、又はリニアサーボモータを用いた構造とすることも
できる。
【００１５】本発明にかかるチップマウンタにおいて
は、ヘッドがどのような移動軌跡を描いてもチップマウ
ンタ本来の作動には関係しないので、ここに開示した構
造を使用すると２つのモータの特性に差があっても受座
３０、３２は滑らかに駆動され、このためモータ特性差
によってこれまでのチップマウンタのような振動を発生
する心配はない。また支持体２２はその両端を同時駆動
するため、固有振動数が高く、ダンピング時間が短くて
すみ、高速でかつ高精度のチップ装着が達成出来るので
ある。
は、ヘッドがどのような移動軌跡を描いてもチップマウ
ンタ本来の作動には関係しないので、ここに開示した構
造を使用すると２つのモータの特性に差があっても受座
３０、３２は滑らかに駆動され、このためモータ特性差
によってこれまでのチップマウンタのような振動を発生
する心配はない。また支持体２２はその両端を同時駆動
するため、固有振動数が高く、ダンピング時間が短くて
すみ、高速でかつ高精度のチップ装着が達成出来るので
ある。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、下記のような、これま
での装置に無い優れた効果を得ることが出来る。（１）
ヘッドを載置した支持体の左右両端の位置が２つのモー
タのサーボ特性差によって異なっても受座等がその位置
変動を完全に吸収し支持体自体に何ら無理な力が掛から
ず、両端同時駆動でありながら、両モータの相互干渉が
無いため、高速で、低振動で、円滑な動作が得られる。
（２）上述のように支持体両端の位置が左右で異なって
も支持体に無理な力が加わらないため、ヘッドによって
部品を搭載する際に故意に左右の受台の停止位置を変え
るように左右のモータの駆動パルス数を予め変えるよう
に設定することにより、速度の低下をもたらす高価な高
分解能のモータをヘッドに装着することなく、ヘッドの
微少角度付けが容易に達成出来、これにより搭載時基板
の傾きを完全に補償出来る。
での装置に無い優れた効果を得ることが出来る。（１）
ヘッドを載置した支持体の左右両端の位置が２つのモー
タのサーボ特性差によって異なっても受座等がその位置
変動を完全に吸収し支持体自体に何ら無理な力が掛から
ず、両端同時駆動でありながら、両モータの相互干渉が
無いため、高速で、低振動で、円滑な動作が得られる。
（２）上述のように支持体両端の位置が左右で異なって
も支持体に無理な力が加わらないため、ヘッドによって
部品を搭載する際に故意に左右の受台の停止位置を変え
るように左右のモータの駆動パルス数を予め変えるよう
に設定することにより、速度の低下をもたらす高価な高
分解能のモータをヘッドに装着することなく、ヘッドの
微少角度付けが容易に達成出来、これにより搭載時基板
の傾きを完全に補償出来る。
【００１７】なお、本実施例ではチップマウンタにおい
て説明したが、本発明をＸＹ方向にヘッドを移動するプ
ロッタ等の他の製品に実施することにより同様の効果が
得られる。
て説明したが、本発明をＸＹ方向にヘッドを移動するプ
ロッタ等の他の製品に実施することにより同様の効果が
得られる。
【図１】公知のヘッド部駆動機構を示す図である。
【図２】別の公知のヘッド部駆動機構を示す図である。
【図３】本発明のヘッド部駆動機構の取り付け状態を示
す図である。
す図である。
【図４】本発明のヘッド部駆動機構の作動状態を示す図
である。
である。
【図５】本発明のヘッド部駆動機構の別の取り付け状態
を示す図である。
を示す図である。
２０ ヘッド部 ２２ 支持体 ２３ 受台 ２４ 受台 ２８ ベルト ２９ ベルト ３０ 受座 ３１ リンク ３１ 受座 ３３ ピボット軸 ３４ ピボット軸 ３５ ピボット軸 ３８ レール ３９ レール
Claims (4)
- 【請求項１】 ヘッド部をＸ方向に駆動するＸ方向駆動
機構と、ヘッド部をＸ方向と直交するＹ方向に駆動する
Ｙ方向駆動機構と、を備えて成るヘッド部駆動機構であ
って、 Ｘ方向駆動機構が、ヘッド部２０を支承する支持体２２
と、ヘッド部２０を該支持体２２の長手方向に沿って駆
動するモータ２５と、から成り、 Ｙ方向駆動機構が、前記支持体２２の両端部を独立して
駆動する一対の駆動源と、該一対の駆動源によってＹ方
向に伸長しているレール２６、２７上をそれぞれ移動す
る一対の受台２３、２４と、前記支持体２２の両端にそ
れぞれ取り付けられている受座３０、３２と、少なくと
も一方の受座３０を支承しているリンク３１と、から成
り、受座３０、３２とリンク３１又は受台２４とがピボ
ット軸３３、３４によって枢着され、かつ前記リンク３
１が受台２３に対して運動可能となっていることを特徴
とするヘッド部駆動機構。 - 【請求項２】 Ｙ方向駆動機構が、前記支持体２２の両
端部を独立して駆動する一対の駆動源と、該一対の駆動
源によってＹ方向に伸長しているレール２６、２７上を
それぞれ移動する一対の受台２３、２４と、前記支持体
２２の両端にそれぞれ取り付けられている受座３０、３
２と、少なくとも一方の受座３０が一端に取り付けられ
他端が受台２３に取り付けられているリンク３１と、か
ら成り、受座３０、３２とリンク３１又は受台２４、及
びリンク３１と受台３２がそれぞれピボット軸３３、３
４、３５によって枢着されていることを特徴とする請求
項１に記載のヘッド部駆動機構。 - 【請求項３】 Ｙ方向駆動機構が、前記支持体２２の両
端部を独立して駆動する一対の駆動源と、該一対の駆動
源によってＹ方向に伸長しているレール２６、２７上を
それぞれ移動する一対の受台２３、２４と、前記支持体
２２の両端にそれぞれ取り付けられている受座３０、３
２と、少なくとも一方の受座３０が取り付けられており
かつ受台２３に取り付けられたＹ方向に対して傾斜した
方向に伸長しているレール３８、３９上を滑動するリン
ク３１と、から成り、受座３０、３２とリンク３１又は
受台２４がそれぞれピボット軸３３、３４によって枢着
されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッド部
駆動機構。 - 【請求項４】 一対の受座３０、３２がそれぞれリンク
を介して受台２３、２４に対して取り付けてあることを
特徴とする請求項１、２又は３に記載のヘッド部駆動機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30196991A JPH07102509B2 (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | ヘッド部駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30196991A JPH07102509B2 (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | ヘッド部駆動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05138556A JPH05138556A (ja) | 1993-06-01 |
| JPH07102509B2 true JPH07102509B2 (ja) | 1995-11-08 |
Family
ID=17903313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30196991A Expired - Fee Related JPH07102509B2 (ja) | 1991-11-18 | 1991-11-18 | ヘッド部駆動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07102509B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104627665A (zh) * | 2015-02-04 | 2015-05-20 | 吴中经济技术开发区越溪斯特拉机械厂 | 上料机 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5946659B2 (ja) * | 2012-03-12 | 2016-07-06 | 株式会社アイエイアイ | 直交ロボット |
| CN103662804A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-03-26 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种送料机构 |
| JP2016036880A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | 村田機械株式会社 | ワーク搬送装置及び工作機械 |
| JP7112728B2 (ja) * | 2018-09-20 | 2022-08-04 | 国立大学法人京都大学 | 移動作業ロボット |
| CN110116904A (zh) * | 2019-04-22 | 2019-08-13 | 芜湖黑特新能源汽车科技有限公司 | 一种用于制作ptc加热片的电极片自动上料装置 |
| CN111203750B (zh) * | 2020-01-21 | 2021-04-09 | 正德职业技术学院 | 一种用于数控加工用具的自动快速去屑装置及其去屑方法 |
| CN112663527A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-16 | 华能伊敏煤电有限责任公司 | 一种标识牌扦插装置 |
-
1991
- 1991-11-18 JP JP30196991A patent/JPH07102509B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104627665A (zh) * | 2015-02-04 | 2015-05-20 | 吴中经济技术开发区越溪斯特拉机械厂 | 上料机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05138556A (ja) | 1993-06-01 |
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