JP2002181122A - 機械装置及びその制振方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の機械装置に特別なものを追加すること
なく、機械要素の振動を低減でき、機械装置の精度を高
めることができる機械装置の制振方法を提供する。 【解決手段】 テーブル（移動体）４の移動に伴って振
動するフレーム（機械要素）２を有するテーブル移動装
置（機械装置）１の制振方法において、上記移動体を、
該移動体の加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極
小とするように移動させることにより上記機械要素の振
動を小さくする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、移動体の移動に伴
って振動する機械要素を有する機械装置の制振方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置や自動組付け装置等
といった各種の機械装置においては、作業時にテーブ
ル，アーム，ヘッダ等の移動体をモータ等の駆動源によ
って直線移動あるいは旋回移動させるようになってい
る。

【０００３】このような機械装置において、移動体を移
動させると、（移動体質量）×（移動体加速度）により
決まる反力の作用により、該移動体を支持するフレー
ム，筐体等の構造体（機械要素）が振動する。これらの
構造体の振動は機械装置における移動体の位置決精度に
悪影響を及ぼすので、このような振動の発生を抑制する
ことが要求される。

【０００４】そこで上述のような振動の発生を抑制する
ために、従来は、振動が減衰するまで待って作業する、
構造体が振動しないように移動体を低速で移動させる、
動吸振器を取り付ける、いわゆるアクティブ制振を行な
う、等によって必要精度を出すようにしていた。また移
動体の駆動パターンを修正することにより移動体自体の
振動を抑制する方法も提案されている（例えは特開平７
−３２８９６５号公報，特開平６−１７０７６９号公報
等参照）

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述の振動が減衰する
まで待つ、あるいは低速で移動させる等の方法では、作
業時間が長くなり効率が低下する。また動吸振器を設け
たり、アクティブ制振を行なう方法では、高価な装置と
高度な専門知識が必要となり、コストアップの要因とな
る。

【０００６】また上記公報記載の方法は、移動体自体の
振動を抑制するものであるが、装置の精度を高めるには
移動体自体の振動のみでなく、移動体を支持する支持構
造体（機械要素）の振動も移動体の位置決め精度に大き
く影響を与えることから、移動体自体の制振のみでは十
分に満足できる結果を得ることはできない。

【０００７】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たものであり、従来の機械装置に特別なものを追加する
ことなく、機械要素の振動を低減でき、機械装置の精度
を高めることができる機械装置の制振方法を提供するこ
とを課題としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、移動
体の移動に伴って振動する機械要素を有する機械装置の
制振方法において、上記移動体を、該移動体の加速度が
上記機械要素の固有振動数成分を極小とするよるうに移
動させることにより上記機械要素の振動を小さくするこ
とを特徴としている。

【０００９】請求項２の発明は、請求項１において、上
記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合に、加
速時間（ｔａ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍
にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素の固有
振動数成分を極小とするようにし、上記機械要素の振動
を小さくすることを特徴としている。

【００１０】請求項３の発明は、請求項１又は２におい
て、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合
に、減速時間（ｔｂ）を上記機械要素の固有振動周期の
整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素
の固有振動数成分を極小とするようにし、上記機械要素
の振動を小さくすることを特徴としている。

【００１１】請求項４の発明は、請求項１ないし３の何
れかにおいて、上記移動体の速度波形が台形又は三角形
をなす場合に、加速時間（ｔａ）及び減速時間（ｔｂ）
を同じ長さにするとともに、加速開始から減速開始まで
の時間（ｔｃ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍
にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素の固有
振動数成分を極小とするようにし、上記機械要素の振動
を小さくすることを特徴としている。

【００１２】請求項５の発明は、請求項１において、上
記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合に、加
速時の加速度が増加する時間（ｔｄ），減少する時間
（ｔｅ）をそれぞれ上記機械要素の固有振動周期の整数
倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素の固
有振動数成分を極小とするようにし、上記機械要素の振
動を小さくすることを特徴としている。

【００１３】請求項６の発明は、請求項１又は５におい
て、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合
に、加速時の加速が増加する時間（ｔｄ）と減少する時
間（ｔｅ）を同じ長さにするとともに、加速開始から加
速度が減少開始するまでの時間（ｔｆ）を上記機械要素
の固有振動周期の整数倍にすることで、上記移動体加速
度が上記機械要素の固有振動数成分を極小とするように
し、上記機械要素の振動を小さくすることを特徴として
いる。

【００１４】請求項７の発明は、請求項１，５，６の何
れかにおいて、上記移動体の速度波形が台形又は三角形
をなす場合に、減速時の加速度が減少する時間（ｔ
ｇ），増加する時間（ｔｈ）をそれぞれ上記機械要素の
固有振動周期の整数倍にすることで、上記移動体加速度
が上記機械要素の固有振動数成分を極小とするように
し、上記機械要素の振動を小さくすることを特徴として
いる。

【００１５】請求項８の発明は、請求項１又は７におい
て、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合
に、減速時の加速度が増加する時間（ｔｇ）と減少する
時間（ｔｈ）を同じにし、減速開始から加速度が減少開
始するまでの時間（ｔｉ）を上記機械要素の固有振動周
期の整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械
要素の固有振動数成分を極小とするようにし、上記機械
要素の振動を小さくすることを特徴としている。

【００１６】請求項９の発明は、請求項１，７，８の何
れかにおいて、上記移動体の速度波形が台形又は三角形
をなす場合に、加速度が増加する時間（ｔｄ，ｔｈ）と
加速度が減少する時間（ｔｅ，ｔｇ）を同じ長さにし、
加速時の加速度波形と減速時の加速度波形を符号を違え
て同じ形とし、加速開始から減速開始までの時間（ｔ
ｊ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にすること
で、上記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分
を極小とするようにし、上記機械要素の振動を小さくす
ることを特徴としている。

【００１７】請求項１０の発明は、移動体の移動に伴っ
て振動する機械要素を有する機械装置において、上記機
械要素の振動が小さくなるよう上記移動体を、該移動体
の加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極小とする
ように移動させたことを特徴としている。

【００１８】請求項１１の発明は、請求項１０におい
て、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合
に、加速時間（ｔａ）を上記機械要素の固有振動周期の
整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素
の固有振動数成分を極小とするようにしたことを特徴と
している。

【００１９】請求項１２の発明は、請求項１０又は１１
において、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をな
す場合に、減速時間（ｔｂ）を上記機械要素の固有振動
周期の整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機
械要素の固有振動数成分を極小とするようにしたことを
特徴としている。

【００２０】請求項１３の発明は、請求項１０ないし１
２の何れかにおいて、上記移動体の速度波形が台形又は
三角形をなす場合に、加速時間（ｔａ）及び減速時間
（ｔｂ）を同じ長さにするとともに、加速開始から減速
開始までの時間（ｔｃ）を上記機械要素の固有振動周期
の整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要
素の固有振動数成分を極小とするようにしたことを特徴
としている。

【００２１】請求項１４の発明は、請求項１０におい
て、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合
に、加速時の加速度が増加する時間（ｔｄ），減少する
時間（ｔｅ）をそれぞれ上記機械要素の固有振動周期の
整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素
の固有振動数成分を極小とするようにしたことを特徴と
している。

【００２２】請求項１５の発明は、請求項１０又は１４
において、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をな
す場合に、加速時の加速が増加する時間（ｔｄ）と減少
する時間（ｔｅ）を同じ長さにするとともに、加速開始
から加速度が減少開始するまでの時間（ｔｆ）を上記機
械要素の固有振動周期の整数倍にすることで、上記移動
体加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極小とする
ようにしたことを特徴としている。

【００２３】請求項１６の発明は、請求項１０，１４，
１５の何れかにおいて、上記移動体の速度波形が台形又
は三角形をなす場合に、減速時の加速度が減少する時間
（ｔｇ），増加する時間（ｔｈ）をそれぞれ上記機械要
素の固有振動周期の整数倍にすることで、上記移動体加
速度が上記機械要素の固有振動数成分を極小とするよう
にしたことを特徴としている。

【００２４】請求項１７の発明は、請求項１０又は１６
において、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をな
す場合に、減速時の加速度が増加する時間（ｔｇ）と減
少する時間（ｔｈ）を同じにし、減速開始から加速度が
減少開始するまでの時間（ｔｉ）を上記機械要素の固有
振動周期の整数倍にすることで、上記移動体加速度が上
記機械要素の固有振動数成分を極小とするようにしたこ
とを特徴としている。

【００２５】請求項１８の発明は、請求項１０，１６，
１７の何れかにおいて、上記移動体の速度波形が台形又
は三角形をなす場合に、加速度が増加する時間（ｔｄ，
ｔｈ）と加速度が減少する時間（ｔｅ，ｔｇ）を同じ長
さにし、加速時の加速度波形と減速時の加速度波形を符
号を違えて同じ形とし、加速開始から減速開始までの時
間（ｔｊ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にす
ることで、上記移動体加速度が上記機械要素の固有振動
数成分を極小とするようにしたことを特徴としている。

【００２６】

【発明の作用効果】本発明によれば、移動体を、該移動
体の加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極小とす
るように移動させるようにしたので、機械要素の振動を
小さくでき、その結果移動体の位置決め精度等を向上で
きる。例えば加速時間（ｔａ）を機械要素の固有振動周
期の整数倍にした場合（請求項２，１１）、減速時間
（ｔｂ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にした
場合（請求項３，１２）には、移動体加速度の極小値を
上記機械要素の固有振動数に一致させることができ、そ
のため移動体がフレームと共振した場合でも該フレーム
の振動は僅かであり、その結果移動体の位置決め精度等
を向上できる。

【００２７】特に加速時間（ｔａ）及び減速時間（ｔ
ｂ）を同じ長さにするとともに、加速開始から減速開始
までの時間（ｔｃ）を上記機械要素の固有振動周期の整
数倍にした場合（請求項４，１３）、加速時の加速が増
加する時間（ｔｄ）と減少する時間（ｔｅ）を同じ長さ
にし、あるいはさらに、加速開始から加速度が減少開始
するまでの時間（ｔｆ）を上記機械要素の固有振動周期
の整数倍にした場合（請求項５，６，１４，１５）、減
速時の加速度が減少する時間（ｔｇ），増加する時間
（ｔｈ）をそれぞれ上記機械要素の固有振動周期の整数
倍にした場合（請求項７，１６）、減速時の加速度が増
加する時間（ｔｇ）と減少する時間（ｔｈ）を同じに
し、減速開始から加速度が減少開始するまでの時間（ｔ
ｉ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にした場合
（請求項８，１７）、加速度が増加する時間（ｔｄ，ｔ
ｈ）と加速度が減少する時間（ｔｅ，ｔｇ）を同じ長さ
にし、加速時の加速度波形と減速時の加速度波形を符号
を違えて同じ形とし、加速開始から減速開始までの時間
（ｔｊ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にした
場合（請求項９，１８）には、加速時又は減速時の反力
により生じた機械要素の振動が減速時又は加速時の反力
により打ち消されることとなり、減速終了時のフレーム
振動がより確実に小さくなる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を添付図
面に沿って説明する。

【００２９】図１ないし図５は、本発明の一実施形態に
よるテーブル移動装置（機械装置）の制振方法を説明す
るための図であり、図１はテーブル移動装置の概略正面
図、図２はテーブルの速度，加速度波形図、図３はテー
ブル加速度周波数成分特性図、図４，図５はフレームの
加速度特性図である。

【００３０】図１において、１は一軸駆動型のテーブル
移動装置であり、該テーブル移動装置１は以下のように
構成されている。該テーブル移動装置１の移動体を支持
する機械要素であるフレーム２は、その底面の四隅に配
設された脚部２ｂにより床面Ｇ上に載置されている。こ
の脚部２ｂは、該フレーム２の高さを調整可能に構成さ
れている。該フレーム２の固有振動数は、この例の場合
には２０Hzであるが、上記脚部２ｂによりフレーム高さ
を調整することにより変化する。

【００３１】上記フレーム２の上面２ａには直動ガイド
レール３が配設されており、該直動ガイドレール３によ
りテーブル４の下面に配設された直動ガイド５が摺動自
在に支持されている。上記テーブル４にはボール螺子５
が螺挿されており、該ボール螺子５は一対の軸受６によ
り回転可能にかつ軸方向移動不能に支持されている。そ
して上記ボール螺子５の一端にはカップリング７を介し
て駆動モータ８が連結されており、該駆動モータ８は上
記フレーム２の上面２ａに固定されている。

【００３２】上記テーブル移動装置１では、駆動モータ
８によりボール螺子５を回転駆動すると、テーブル４が
ボール螺子５の軸方向に進退移動する。ここで上記テー
ブル４が例えば図２に一点鎖線で示すような台形状の速
度波形をなすように駆動される場合を考える。このよう
な速度波形をなすにはテーブル４を以下のように駆動す
ることとなる。まず加速開始からｔａ時間（例えば０．
０２５秒）は一定の加速度で加速し、従ってこのｔａ時
間の間はテーブル４の速度は一定割合で増加していく。
続いて加速開始からｔｃ時間（例えば０．０７５秒）経
過するまで加速度ゼロを保持し、従って上記テーブル４
は同一速度で移動し、さらにここから一定の減速度でｔ
ｂ（＝ｔｂ）時間減速され、一定割合で速度が減少して
いき、速度ゼロとなる。

【００３３】本実施形態のテーブル移動装置１では、図
２において、ｔａ＝０．０２５秒、ｔｃ＝０．０７５
秒、ｔｂ＝０．０２５秒の速度波形を示すようにテーブ
ル４を駆動した場合、該テーブル４の加速度の周波数成
分は例えば図３に破線で示す特性を有する。即ち、テー
ブル４の加速度周波数成分は、概ね６Hz，２０Hz，３２
Hz付近で極大値を示し、１３Hz，２７Hz，４０Hz付近で
極小値を示す。

【００３４】一方、本実施形態装置１におけるフレーム
２の固有振動数は上述のように２０Hzである。上記テー
ブル４を図２に一点鎖線で示す速度波形をなすように駆
動した場合、上記加速度周波数成分が上記フレーム２の
固有振動数２０Hzにおいて極大値を示すことから、上記
テーブル４の減速終了時における上記フレーム２の加速
度は図４に０．０７５の特性カーブで示す特性を有する
こととなる。

【００３５】そこで本実施形態装置１では、上記テーブ
ル４を、加速開始から減速開始までの時間ｔｃが上記フ
レーム２の固有振動周期（０．０５秒）の整数倍（例え
ば２倍）である０．１秒になるようにテーブル４を駆動
することとした。すると、該テーブル４の加速度周波数
成分は図３に実線で示す特性を有することとなる。即
ち、この場合には上記フレーム２の固有振動数である２
０Hzにおいてテーブル加速度は極小値を示すことから、
フレーム２の加速度は図４に0.1 の特性カーブで示す特
性を有することとなり、０．０７５の場合よりフレーム
加速度が大幅に小さくなっていることが判る。

【００３６】また上述の速度，加速度波形をなすように
上記テーブル４を移動させた場合には、加速時の反力で
生じたフレーム２の振動が減速時の反力で打ち消される
こととなり、この点からも減速終了時のフレーム振動が
小さくなる。

【００３７】図４，図５は、上記加速開始から減速開始
までの時間ｔｃを０．０４〜０．１１の範囲で９通りに
変化させた場合のフレーム加速度の特性を示す。図中、
０は上記テーブル４の減速終了時点を示す。図４，図５
において、上記時間ｔｃをフレーム２の固有振動周期
０．０５秒（固有振動数２０Hz）の１倍，２倍である
０．０５秒、０．１秒に設定した場合にはフレーム２の
加速度が他の場合よりも小さくなっていることが判る。

【００３８】このように本実施形態方法は、テーブルの
加速開始から減速開始までの時間ｔｃをフレーム２の固
有振動周期０．０５秒の整数倍にすることにより、テー
ブル４の加速度が上記フレーム２の固有振動数成分を極
小とするようにして該フレーム２の振動を小さくしたの
であるが、本発明の技術思想はこれに限定されるもので
はなく、以下のようにテーブル駆動パターンを制御する
ことによってもフレーム２の振動を抑制できる。即ち、 テーブル４の加速時間（ｔａ）を上記フレーム２の固
有振動周期（０．０５秒）の整数倍（１倍，２倍・・
・）にする、 減速時間（ｔｂ）を上記フレーム２の固有振動周期
（０．０５秒）の整数倍にする、ことによってもフレー
ム２の振動を小さくできる。

【００３９】また上記テーブル４を図６に示す速度波
形、即ち移動開始時や一定速度に達する時点及び減速開
始時や停止時の速度変化を緩やかにする場合にも本発明
を適用してフレーム２の振動を低減できる。

【００４０】ここで図６の速度波形を得るには、加速開
始から時間ｔｄまで一定割合で加速度を増加するととも
に時間ｔｆ経過からｔｅの間は一定割合で加速度を減少
する。そして減速開始時ｔｊから時間ｔｇの間は加速度
を一定割合で減少させ（負側に増加させ）、減速開始か
ら時間ｔｉ経過後時間ｔｈの間は加速度を一定割合で増
加させ（負側に減少させ）ることとなる。

【００４１】そして本実施形態では、フレーム２の振動
を減少させるために、 加速時の加速度が増加する時間（ｔｄ），減少する時
間（ｔｅ）をそれぞれ上記フレーム２の固有振動周期
（０．０５秒）の整数倍にする、 加速時の加速度が増加する時間（ｔｄ）と減少する時
間（ｔｅ）を同じ長さにするとともに、加速開始から加
速度が減少開始するまでの時間（ｔｆ）を上記フレーム
２の固有振動周期（０．０５秒）の整数倍にする、 減速時の加速度が減少する時間（ｔｇ），増加する時
間（ｔｈ）をそれぞれ上記フレーム２の固有振動周期
（０．０５秒）の整数倍にする、 減速時の加速度が減少する時間（ｔｇ）と増加する時
間（ｔｈ）を同じにし、減速開始から加速度が増加開始
するまでの時間（ｔｉ）を上記フレーム２の固有振動周
期（０．０５秒）の整数倍にする、 加速度が増加する時間（ｔｄ，ｔｈ）と加速度が減少
する時間（ｔｅ，ｔｇ）を同じ長さにし、加速時の加速
度波形と減速時の加速度波形を符号を違えて同じ形と
し、加速開始から減速開始までの時間（ｔｊ）を上記フ
レーム２の固有振動周期（０．０５秒）の整数倍にす
る、方法が採用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態方法が採用されたテーブル
移動装置の概略正面図である。

【図２】上記実施形態方法におけるテーブルの速度，加
速度波形図である。

【図３】上記実施形態方法におけるテーブル加速度周波
数成分特性図である。

【図４】上記実施形態方法におけるフレーム加速度特性
図である。

【図５】上記実施形態方法におけるフレーム加速度特性
図である。

【図６】他の実施形態におけるテーブルの速度，加速度
波形図である。

【符号の説明】

１ テーブル移動装置（機械装置） ２ フレーム（機械要素） ４ テーブル（移動体）

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 移動体の移動に伴って振動する機械要素
   を有する機械装置の制振方法において、上記移動体を、
   該移動体の加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極
   小とするように移動させることにより上記機械要素の振
   動を小さくすることを特徴とする機械装置の制振方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、上記移動体の速度波
   形が台形又は三角形をなす場合に、加速時間（ｔａ）を
   上記機械要素の固有振動周期の整数倍にすることで、上
   記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極小
   とするようにし、上記機械要素の振動を小さくすること
   を特徴とする機械装置の制振方法。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、上記移動体の
   速度波形が台形又は三角形をなす場合に、減速時間（ｔ
   ｂ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にすること
   で、上記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分
   を極小とするようにし、上記機械要素の振動を小さくす
   ることを特徴とする機械装置の制振方法。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３の何れかにおいて、上
   記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合に、加
   速時間（ｔａ）及び減速時間（ｔｂ）を同じ長さにする
   とともに、加速開始から減速開始までの時間（ｔｃ）を
   上記機械要素の固有振動周期の整数倍にすることで、上
   記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極小
   とするようにし、上記機械要素の振動を小さくすること
   を特徴とする機械装置の制振方法。
5. 【請求項５】 請求項１において、上記移動体の速度波
   形が台形又は三角形をなす場合に、加速時の加速度が増
   加する時間（ｔｄ），減少する時間（ｔｅ）をそれぞれ
   上記機械要素の固有振動周期の整数倍にすることで、上
   記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極小
   とするようにし、上記機械要素の振動を小さくすること
   を特徴とする機械装置の制振方法。
6. 【請求項６】 請求項１又は５において、上記移動体の
   速度波形が台形又は三角形をなす場合に、加速時の加速
   が増加する時間（ｔｄ）と減少する時間（ｔｅ）を同じ
   長さにするとともに、加速開始から加速度が減少開始す
   るまでの時間（ｔｆ）を上記機械要素の固有振動周期の
   整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素
   の固有振動数成分を極小とするようにし、上記機械要素
   の振動を小さくすることを特徴とする機械装置の制振方
   法。
7. 【請求項７】 請求項１，５，６の何れかにおいて、上
   記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合に、減
   速時の加速度が減少する時間（ｔｇ），増加する時間
   （ｔｈ）をそれぞれ上記機械要素の固有振動周期の整数
   倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素の固
   有振動数成分を極小とするようにし、上記機械要素の振
   動を小さくすることを特徴とする機械装置の制振方法。
8. 【請求項８】 請求項１又は７において、上記移動体の
   速度波形が台形又は三角形をなす場合に、減速時の加速
   度が増加する時間（ｔｇ）と減少する時間（ｔｈ）を同
   じにし、減速開始から加速度が減少開始するまでの時間
   （ｔｉ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にする
   ことで、上記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数
   成分を極小とするようにし、上記機械要素の振動を小さ
   くすることを特徴とする機械装置の制振方法。
9. 【請求項９】 請求項１，７，８の何れかにおいて、上
   記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合に、加
   速度が増加する時間（ｔｄ，ｔｈ）と加速度が減少する
   時間（ｔｅ，ｔｇ）を同じ長さにし、加速時の加速度波
   形と減速時の加速度波形を符号を違えて同じ形とし、加
   速開始から減速開始までの時間（ｔｊ）を上記機械要素
   の固有振動周期の整数倍にすることで、上記移動体加速
   度が上記機械要素の固有振動数成分を極小とするように
   し、上記機械要素の振動を小さくすることを特徴とする
   機械装置の制振方法。
10. 【請求項１０】 移動体の移動に伴って振動する機械要
    素を有する機械装置において、上記機械要素の振動が小
    さくなるよう上記移動体を、該移動体の加速度が上記機
    械要素の固有振動数成分を極小とするように移動させた
    ことを特徴とする機械装置。
11. 【請求項１１】 請求項１０において、上記移動体の速
    度波形が台形又は三角形をなす場合に、加速時間（ｔ
    ａ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にすること
    で、上記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分
    を極小とするようにしたことを特徴とする機械装置。
12. 【請求項１２】 請求項１０又は１１において、上記移
    動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合に、減速時
    間（ｔｂ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にす
    ることで、上記移動体加速度が上記機械要素の固有振動
    数成分を極小とするようにしたことを特徴とする機械装
    置。
13. 【請求項１３】 請求項１０ないし１２の何れかにおい
    て、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合
    に、加速時間（ｔａ）及び減速時間（ｔｂ）を同じ長さ
    にするとともに、加速開始から減速開始までの時間（ｔ
    ｃ）を上記機械要素の固有振動周期の整数倍にすること
    で、上記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分
    を極小とするようにしたことを特徴とする機械装置。
14. 【請求項１４】 請求項１０において、上記移動体の速
    度波形が台形又は三角形をなす場合に、加速時の加速度
    が増加する時間（ｔｄ），減少する時間（ｔｅ）をそれ
    ぞれ上記機械要素の固有振動周期の整数倍にすること
    で、上記移動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分
    を極小とするようにしたことを特徴とする機械装置。
15. 【請求項１５】 請求項１０又は１４において、上記移
    動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合に、加速時
    の加速が増加する時間（ｔｄ）と減少する時間（ｔｅ）
    を同じ長さにするとともに、加速開始から加速度が減少
    開始するまでの時間（ｔｆ）を上記機械要素の固有振動
    周期の整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機
    械要素の固有振動数成分を極小とするようにしたことを
    特徴とする機械装置。
16. 【請求項１６】 請求項１０，１４，１５の何れかにお
    いて、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場
    合に、減速時の加速度が減少する時間（ｔｇ），増加す
    る時間（ｔｈ）をそれぞれ上記機械要素の固有振動周期
    の整数倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要
    素の固有振動数成分を極小とするようにしたことを特徴
    とする機械装置。
17. 【請求項１７】 請求項１０又は１６において、上記移
    動体の速度波形が台形又は三角形をなす場合に、減速時
    の加速度が増加する時間（ｔｇ）と減少する時間（ｔ
    ｈ）を同じにし、減速開始から加速度が減少開始するま
    での時間（ｔｉ）を上記機械要素の固有振動周期の整数
    倍にすることで、上記移動体加速度が上記機械要素の固
    有振動数成分を極小とするようにしたことを特徴とする
    機械装置。
18. 【請求項１８】 請求項１０，１６，１７の何れかにお
    いて、上記移動体の速度波形が台形又は三角形をなす場
    合に、加速度が増加する時間（ｔｄ，ｔｈ）と加速度が
    減少する時間（ｔｅ，ｔｇ）を同じ長さにし、加速時の
    加速度波形と減速時の加速度波形を符号を違えて同じ形
    とし、加速開始から減速開始までの時間（ｔｊ）を上記
    機械要素の固有振動周期の整数倍にすることで、上記移
    動体加速度が上記機械要素の固有振動数成分を極小とす
    るようにしたことを特徴とする機械装置。