JPH0696707A - シートイオンビーム装置 - Google Patents
シートイオンビーム装置Info
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- JPH0696707A JPH0696707A JP27094592A JP27094592A JPH0696707A JP H0696707 A JPH0696707 A JP H0696707A JP 27094592 A JP27094592 A JP 27094592A JP 27094592 A JP27094592 A JP 27094592A JP H0696707 A JPH0696707 A JP H0696707A
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- Japan
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- ion beam
- core coil
- rectangular air
- anode
- yoke
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】巻線数の少ないコイルおよび電気容量の小さい
電源で、シートプラズマの生成に必要な強度の磁場を得
ることができ、また、イオンビーム引き出し領域にはみ
出す磁場を制限して、安定なイオンビームの引き出しが
可能になり、更に、個々の放電を独立に制御することが
出来るシートイオンビーム装置を提供する。 【構成】対向する第１の矩形空芯コイル３と第２の矩形
空芯コイル４との廻りを磁性体のヨーク１４で囲み、そ
の磁性体のヨークにアノード８を取り付ける。
電源で、シートプラズマの生成に必要な強度の磁場を得
ることができ、また、イオンビーム引き出し領域にはみ
出す磁場を制限して、安定なイオンビームの引き出しが
可能になり、更に、個々の放電を独立に制御することが
出来るシートイオンビーム装置を提供する。 【構成】対向する第１の矩形空芯コイル３と第２の矩形
空芯コイル４との廻りを磁性体のヨーク１４で囲み、そ
の磁性体のヨークにアノード８を取り付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はシートイオンビーム装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のシートイオンビーム装置は図３に
示されており、同図において、横一列に水平に配列され
た複数の柱状のカソード１の前方には、中央部に円形断
面の放電路２ａを持つ複数の浮動電極２が各カソード１
毎に対応して横一列に水平に配列されている。複数の浮
動電極２の廻りには第１の矩形空芯コイル３が巻回され
ている。第１の矩形空芯コイル３の前方にはこれと対向
するように第２の矩形空芯コイル４が配設され、その第
２の矩形空芯コイル４に第１の矩形空芯コイル３に流す
電流と逆向きの電流を流すと、第１の矩形空芯コイル３
と第２の矩形空芯コイル４との間にカプス磁場５が形成
されるようになる。第１の矩形空芯コイル３と第２の矩
形空芯コイル４とを結ぶ線上の第２の矩形空芯コイル４
に近い側には横方向に長い第１の放電調整用電極６が配
設され、また、第１の矩形空芯コイル３と第２の矩形空
芯コイル４とを結ぶ線上の上方には横方向に長い第２の
放電調整用電極７が配設されている。第１の矩形空芯コ
イル３と第２の矩形空芯コイル４とを結ぶ線上の下方に
は横方向に長いアノード８が配設され、そのアノード８
は第２の放電調整用電極７と対向している。アノード８
にはイオンビーム引き出しスリット８ａが設けられてい
る。アノード８の下方にはイオンビーム引き出し電極９
が配設され、そのイオンビーム引き出し電極９にはイオ
ンビーム引き出しスリット９ａが設けられている。イオ
ンビーム引き出し電極９の下方には試料１０が配設され
ている。
示されており、同図において、横一列に水平に配列され
た複数の柱状のカソード１の前方には、中央部に円形断
面の放電路２ａを持つ複数の浮動電極２が各カソード１
毎に対応して横一列に水平に配列されている。複数の浮
動電極２の廻りには第１の矩形空芯コイル３が巻回され
ている。第１の矩形空芯コイル３の前方にはこれと対向
するように第２の矩形空芯コイル４が配設され、その第
２の矩形空芯コイル４に第１の矩形空芯コイル３に流す
電流と逆向きの電流を流すと、第１の矩形空芯コイル３
と第２の矩形空芯コイル４との間にカプス磁場５が形成
されるようになる。第１の矩形空芯コイル３と第２の矩
形空芯コイル４とを結ぶ線上の第２の矩形空芯コイル４
に近い側には横方向に長い第１の放電調整用電極６が配
設され、また、第１の矩形空芯コイル３と第２の矩形空
芯コイル４とを結ぶ線上の上方には横方向に長い第２の
放電調整用電極７が配設されている。第１の矩形空芯コ
イル３と第２の矩形空芯コイル４とを結ぶ線上の下方に
は横方向に長いアノード８が配設され、そのアノード８
は第２の放電調整用電極７と対向している。アノード８
にはイオンビーム引き出しスリット８ａが設けられてい
る。アノード８の下方にはイオンビーム引き出し電極９
が配設され、そのイオンビーム引き出し電極９にはイオ
ンビーム引き出しスリット９ａが設けられている。イオ
ンビーム引き出し電極９の下方には試料１０が配設され
ている。
【０００３】このようなシートイオンビーム装置におい
て、複数のカソード１とアノード８との間の放電により
生成される複数の円形断面のプラズマ１１を、第１の矩
形空芯コイル３と第２の矩形空芯コイル４との間に形成
されるカプス磁場５の領域で横方向に拡散させ、１つの
プラズマ１２に合成する。合成したプラズマ１２はアノ
ード８の手前で横幅方向に長いシートプラズマ１３に形
成される。シートプラズマ１３の横幅方向の密度分布の
ばらつきの修正は、複数の円形断面のプラズマ１１の放
電電流を独立に調整することにより行う。シートプラズ
マ１３はアノード８のイオンビーム引き出しスリット８
ａに達する。シートプラズマ１３からイオンビーム引き
出し電極９により引き出されたシートイオンビーム１７
はイオンビーム引き出し電極９のイオンビーム引き出し
スリット９ａを通過する。その後、シートイオンビーム
１７は試料１０に照射される。
て、複数のカソード１とアノード８との間の放電により
生成される複数の円形断面のプラズマ１１を、第１の矩
形空芯コイル３と第２の矩形空芯コイル４との間に形成
されるカプス磁場５の領域で横方向に拡散させ、１つの
プラズマ１２に合成する。合成したプラズマ１２はアノ
ード８の手前で横幅方向に長いシートプラズマ１３に形
成される。シートプラズマ１３の横幅方向の密度分布の
ばらつきの修正は、複数の円形断面のプラズマ１１の放
電電流を独立に調整することにより行う。シートプラズ
マ１３はアノード８のイオンビーム引き出しスリット８
ａに達する。シートプラズマ１３からイオンビーム引き
出し電極９により引き出されたシートイオンビーム１７
はイオンビーム引き出し電極９のイオンビーム引き出し
スリット９ａを通過する。その後、シートイオンビーム
１７は試料１０に照射される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のシートイオンビ
ーム装置は、第１の矩形空芯コイル３と第２の矩形空芯
コイル４とでカプス磁場５を形成するようにしている
が、これらのコイル３、４はシートプラズマ１３を生成
するために巻線数の多いものを使用しなければならず、
大電流容量の電源が必要になる問題があった。また、こ
れらのコイル３、４によって形成される磁場はアノード
８より下方の領域、即ち、イオンビーム引き出し領域に
はみ出すようになるため、安定したイオンビーム引き出
しを得ることが出来ない問題があった。更に、これらの
コイル３、４で磁場を形成するようにしているため、カ
ソード１側に形成される磁場の形状が個々の放電路２ａ
の中心軸に対して対称になっておらず、カソード１と複
数の浮動電極２との間の空間が放電路２ａごとに独立し
ていないことから、個々の放電を独立に制御することが
出来ないなどの問題があった。
ーム装置は、第１の矩形空芯コイル３と第２の矩形空芯
コイル４とでカプス磁場５を形成するようにしている
が、これらのコイル３、４はシートプラズマ１３を生成
するために巻線数の多いものを使用しなければならず、
大電流容量の電源が必要になる問題があった。また、こ
れらのコイル３、４によって形成される磁場はアノード
８より下方の領域、即ち、イオンビーム引き出し領域に
はみ出すようになるため、安定したイオンビーム引き出
しを得ることが出来ない問題があった。更に、これらの
コイル３、４で磁場を形成するようにしているため、カ
ソード１側に形成される磁場の形状が個々の放電路２ａ
の中心軸に対して対称になっておらず、カソード１と複
数の浮動電極２との間の空間が放電路２ａごとに独立し
ていないことから、個々の放電を独立に制御することが
出来ないなどの問題があった。
【０００５】この発明の目的は、従来の上記問題を解決
して、巻線数の少ないコイルおよび電流容量の小さな電
源で、シートプラズマの生成に必要な強度の磁場を得る
ことができ、また、イオンビーム引き出し領域にはみ出
す磁場を制限して、安定なイオンビームの引き出しが可
能になり、更に、個々の放電を独立に制御することが出
来るシートイオンビーム装置を提供することにある。
して、巻線数の少ないコイルおよび電流容量の小さな電
源で、シートプラズマの生成に必要な強度の磁場を得る
ことができ、また、イオンビーム引き出し領域にはみ出
す磁場を制限して、安定なイオンビームの引き出しが可
能になり、更に、個々の放電を独立に制御することが出
来るシートイオンビーム装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、一列に配列された複数のカソードの前
方に、中央部に放電路を持つ複数の浮動電極を各カソー
ド毎に対応して一列に配置し、一列に配置された複数の
浮動電極の廻りに第１の矩形空芯コイルを巻回し、この
第１の矩形空芯コイルと対向するように第２の矩形空芯
コイルを配置してカプス磁場を形成し、更に、第１の矩
形空芯コイルと第２の矩形空芯コイルとを結ぶ線上の上
方または下方にイオンビーム引き出しスリットをもつア
ノードを配置し、このアノードと間隔をおいてイオンビ
ーム引き出しスリットをもつイオンビーム引き出し電極
を配置したシートイオンビーム装置において、上記第１
の矩形空芯コイルと第２の矩形空芯コイルとの廻りを磁
性体のヨークで囲み、その磁性体のヨークに上記アノー
ドを取り付けていること特徴とするものである。
に、この発明は、一列に配列された複数のカソードの前
方に、中央部に放電路を持つ複数の浮動電極を各カソー
ド毎に対応して一列に配置し、一列に配置された複数の
浮動電極の廻りに第１の矩形空芯コイルを巻回し、この
第１の矩形空芯コイルと対向するように第２の矩形空芯
コイルを配置してカプス磁場を形成し、更に、第１の矩
形空芯コイルと第２の矩形空芯コイルとを結ぶ線上の上
方または下方にイオンビーム引き出しスリットをもつア
ノードを配置し、このアノードと間隔をおいてイオンビ
ーム引き出しスリットをもつイオンビーム引き出し電極
を配置したシートイオンビーム装置において、上記第１
の矩形空芯コイルと第２の矩形空芯コイルとの廻りを磁
性体のヨークで囲み、その磁性体のヨークに上記アノー
ドを取り付けていること特徴とするものである。
【０００７】なお、上記磁性体のヨークは一列に配列さ
れた複数のカソードを囲むとともに、各カソードの廻り
に磁性体の熱シールドを配置してもよい。また、各カソ
ードと各浮動電極との間に円筒形コイルを配置したもの
であってもよい。
れた複数のカソードを囲むとともに、各カソードの廻り
に磁性体の熱シールドを配置してもよい。また、各カソ
ードと各浮動電極との間に円筒形コイルを配置したもの
であってもよい。
【０００８】
【作用】この発明は、第１の矩形空芯コイルと第２の矩
形空芯コイルとの廻りを磁性体のヨークで囲み、その磁
性体のヨークにアノードを取り付けているので、これら
のコイルによって形成される磁場はアノードより下方の
領域、即ち、イオンビーム引き出し領域にはみ出さなく
なり、安定したイオンビーム引き出すことが出来る。し
たがって、巻線数の少ないコイルおよび電流容量の小さ
な電源で、シートプラズマの生成に必要な強度の磁場を
得ることができる。また、上記磁性体のヨークで一列に
配列された複数のカソードを囲むとともに、各カソード
の廻りに磁性体の熱シールドを配置すると、カソード側
に個々の放電路の中心軸に対して対称な磁場が形成さ
れ、個々の放電を独立に制御することが可能になる。更
に、各カソードと各浮動電極との間に円筒形コイルを配
置した場合にも、カソード側に個々の放電路の中心軸に
対して対称な磁場が形成され、個々の放電を独立に制御
することが可能になる。
形空芯コイルとの廻りを磁性体のヨークで囲み、その磁
性体のヨークにアノードを取り付けているので、これら
のコイルによって形成される磁場はアノードより下方の
領域、即ち、イオンビーム引き出し領域にはみ出さなく
なり、安定したイオンビーム引き出すことが出来る。し
たがって、巻線数の少ないコイルおよび電流容量の小さ
な電源で、シートプラズマの生成に必要な強度の磁場を
得ることができる。また、上記磁性体のヨークで一列に
配列された複数のカソードを囲むとともに、各カソード
の廻りに磁性体の熱シールドを配置すると、カソード側
に個々の放電路の中心軸に対して対称な磁場が形成さ
れ、個々の放電を独立に制御することが可能になる。更
に、各カソードと各浮動電極との間に円筒形コイルを配
置した場合にも、カソード側に個々の放電路の中心軸に
対して対称な磁場が形成され、個々の放電を独立に制御
することが可能になる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の第１実施例のシートイオ
ンビーム装置は図１に示されており、同図において、横
一列に水平に配列された複数の柱状のカソード１の前方
には、中央部に円形断面の放電路２ａを持つ複数の浮動
電極２が各カソード１毎に対応して横一列に水平に配列
されている。複数の浮動電極２の廻りには第１の矩形空
芯コイル３が巻回されている。第１の矩形空芯コイル３
の前方にはこれと対向するように第２の矩形空芯コイル
４が配設され、その第２の矩形空芯コイル４に第１の矩
形空芯コイル３に流す電流と逆向きの電流を流すと、第
１の矩形空芯コイル３と第２の矩形空芯コイル４との間
にカプス磁場５が形成されるようになる。第１の矩形空
芯コイル３と第２の矩形空芯コイル４とを結ぶ線上の第
２の矩形空芯コイル４に近い側には横方向に長い第１の
放電調整用電極６が配設され、また、第１の矩形空芯コ
イル３と第２の矩形空芯コイル４とを結ぶ線上の上方に
は横方向に長い第２の放電調整用電極７が配設されてい
る。第１の矩形空芯コイル３と第２の矩形空芯コイル４
とを結ぶ線上の下方には横方向に長いアノード８が配設
され、そのアノード８は第２の放電調整用電極７と対向
している。アノード８にはイオンビーム引き出しスリッ
ト８ａが設けられている。アノード８の下方にはイオン
ビーム引き出し電極９が配設され、そのイオンビーム引
き出し電極９にはイオンビーム引き出しスリット９ａが
設けられている。イオンビーム引き出し電極９の下方に
は試料１０が配設されている。第１の矩形空芯コイル３
と第２の矩形空芯コイル４との廻りは磁性体のヨーク１
４で囲まれ、その磁性体のヨーク１４の下部にアノード
８を取り付けている。各カソード１の廻りには磁性体の
熱シールド１５が配置され、また、各カソード１と各浮
動電極２との間に円筒形コイル１６を配置している。
しながら説明する。この発明の第１実施例のシートイオ
ンビーム装置は図１に示されており、同図において、横
一列に水平に配列された複数の柱状のカソード１の前方
には、中央部に円形断面の放電路２ａを持つ複数の浮動
電極２が各カソード１毎に対応して横一列に水平に配列
されている。複数の浮動電極２の廻りには第１の矩形空
芯コイル３が巻回されている。第１の矩形空芯コイル３
の前方にはこれと対向するように第２の矩形空芯コイル
４が配設され、その第２の矩形空芯コイル４に第１の矩
形空芯コイル３に流す電流と逆向きの電流を流すと、第
１の矩形空芯コイル３と第２の矩形空芯コイル４との間
にカプス磁場５が形成されるようになる。第１の矩形空
芯コイル３と第２の矩形空芯コイル４とを結ぶ線上の第
２の矩形空芯コイル４に近い側には横方向に長い第１の
放電調整用電極６が配設され、また、第１の矩形空芯コ
イル３と第２の矩形空芯コイル４とを結ぶ線上の上方に
は横方向に長い第２の放電調整用電極７が配設されてい
る。第１の矩形空芯コイル３と第２の矩形空芯コイル４
とを結ぶ線上の下方には横方向に長いアノード８が配設
され、そのアノード８は第２の放電調整用電極７と対向
している。アノード８にはイオンビーム引き出しスリッ
ト８ａが設けられている。アノード８の下方にはイオン
ビーム引き出し電極９が配設され、そのイオンビーム引
き出し電極９にはイオンビーム引き出しスリット９ａが
設けられている。イオンビーム引き出し電極９の下方に
は試料１０が配設されている。第１の矩形空芯コイル３
と第２の矩形空芯コイル４との廻りは磁性体のヨーク１
４で囲まれ、その磁性体のヨーク１４の下部にアノード
８を取り付けている。各カソード１の廻りには磁性体の
熱シールド１５が配置され、また、各カソード１と各浮
動電極２との間に円筒形コイル１６を配置している。
【００１０】このような第１実施例において、複数のカ
ソード１とアノード８との間の放電により生成される複
数の円形断面のプラズマ１１を、第１の矩形空芯コイル
３と第２の矩形空芯コイル４との間に形成されるカプス
磁場５の領域で横方向に拡散させ、１つのプラズマ１２
に合成する。合成したプラズマ１２はアノード８の手前
で横幅方向に長いシートプラズマ１３に形成され、アノ
ード８のイオンビーム引き出しスリット８ａに達する。
シートプラズマ１３からイオンビーム引き出し電極９に
より引き出されたシートイオンビーム１７はイオンビー
ム引き出し電極９のイオンビーム引き出しスリット９ａ
を通過する。その後、シートイオンビーム１７は試料１
０に照射される。その場合、第１の矩形空芯コイル３と
第２の矩形空芯コイル４との廻りを磁性体のヨーク１４
で囲み、その磁性体のヨーク１４にアノード８を取り付
けているので、これらのコイル３、４によって形成され
る磁場はアノード８より下方の領域、即ち、イオンビー
ム引き出し領域にはみ出さなくなり、安定したイオンビ
ーム引き出すことが出来る。したがって、巻線数の少な
いコイルおよび電流容量の小さな電源で、シートプラズ
マの生成に必要な強度の磁場を得ることができる。ま
た、各カソード１の廻りに磁性体の熱シールド１５を配
置し、かつ、各カソード１と各浮動電極２との間に円筒
形コイル１６を配置すると、カソード１側に個々の放電
路２ａの中心軸に対して対称な磁場が形成され、個々の
放電を独立に制御することが可能になる。
ソード１とアノード８との間の放電により生成される複
数の円形断面のプラズマ１１を、第１の矩形空芯コイル
３と第２の矩形空芯コイル４との間に形成されるカプス
磁場５の領域で横方向に拡散させ、１つのプラズマ１２
に合成する。合成したプラズマ１２はアノード８の手前
で横幅方向に長いシートプラズマ１３に形成され、アノ
ード８のイオンビーム引き出しスリット８ａに達する。
シートプラズマ１３からイオンビーム引き出し電極９に
より引き出されたシートイオンビーム１７はイオンビー
ム引き出し電極９のイオンビーム引き出しスリット９ａ
を通過する。その後、シートイオンビーム１７は試料１
０に照射される。その場合、第１の矩形空芯コイル３と
第２の矩形空芯コイル４との廻りを磁性体のヨーク１４
で囲み、その磁性体のヨーク１４にアノード８を取り付
けているので、これらのコイル３、４によって形成され
る磁場はアノード８より下方の領域、即ち、イオンビー
ム引き出し領域にはみ出さなくなり、安定したイオンビ
ーム引き出すことが出来る。したがって、巻線数の少な
いコイルおよび電流容量の小さな電源で、シートプラズ
マの生成に必要な強度の磁場を得ることができる。ま
た、各カソード１の廻りに磁性体の熱シールド１５を配
置し、かつ、各カソード１と各浮動電極２との間に円筒
形コイル１６を配置すると、カソード１側に個々の放電
路２ａの中心軸に対して対称な磁場が形成され、個々の
放電を独立に制御することが可能になる。
【００１１】次に、第２実施例が図２に示されており、
同図において、磁性体のヨーク１４は、一列に配列され
た複数のカソード１、第１の矩形空芯コイル３および第
２の矩形空芯コイル４との廻りを磁性体のヨーク１４で
囲むもので、その他は第１実施例と同様につき説明を省
略する。
同図において、磁性体のヨーク１４は、一列に配列され
た複数のカソード１、第１の矩形空芯コイル３および第
２の矩形空芯コイル４との廻りを磁性体のヨーク１４で
囲むもので、その他は第１実施例と同様につき説明を省
略する。
【００１２】ところで、上記第１実施例および第２実施
例は、各カソード１の廻りに筒状の磁性体の熱シールド
１５を配置しているが、磁性体の熱シールド１５は配置
しなくてもよい。また、各カソード１と各浮動電極２と
の間に円筒形コイル１６を配置しているが、円筒形コイ
ル１６を配置しなくてもよい。
例は、各カソード１の廻りに筒状の磁性体の熱シールド
１５を配置しているが、磁性体の熱シールド１５は配置
しなくてもよい。また、各カソード１と各浮動電極２と
の間に円筒形コイル１６を配置しているが、円筒形コイ
ル１６を配置しなくてもよい。
【００１３】
【発明の効果】この発明は、第１の矩形空芯コイルと第
２の矩形空芯コイルとの廻りを磁性体のヨークで囲み、
その磁性体のヨークにアノードを取り付けているので、
これらのコイルによって形成される磁場はアノードより
下方の領域、即ち、イオンビーム引き出し領域にはみ出
さなくなり、安定したイオンビーム引き出すことが出来
る。したがって、巻線数の少ないコイルおよび電流容量
の小さな電源で、シートプラズマの生成に必要な強度の
磁場を得ることができる。また、上記磁性体のヨークで
一列に配列された複数のカソードを囲むとともに、各カ
ソードの廻りに磁性体の熱シールドを配置すると、カソ
ード側に個々の放電路の中心軸に対して対称な磁場が形
成され、個々の放電を独立に制御することが可能にな
る。更に、各カソードと各浮動電極との間に円筒形コイ
ルを配置した場合にも、カソード側に個々の放電路の中
心軸に対して対称な磁場が形成され、個々の放電を独立
に制御することが可能になる。
２の矩形空芯コイルとの廻りを磁性体のヨークで囲み、
その磁性体のヨークにアノードを取り付けているので、
これらのコイルによって形成される磁場はアノードより
下方の領域、即ち、イオンビーム引き出し領域にはみ出
さなくなり、安定したイオンビーム引き出すことが出来
る。したがって、巻線数の少ないコイルおよび電流容量
の小さな電源で、シートプラズマの生成に必要な強度の
磁場を得ることができる。また、上記磁性体のヨークで
一列に配列された複数のカソードを囲むとともに、各カ
ソードの廻りに磁性体の熱シールドを配置すると、カソ
ード側に個々の放電路の中心軸に対して対称な磁場が形
成され、個々の放電を独立に制御することが可能にな
る。更に、各カソードと各浮動電極との間に円筒形コイ
ルを配置した場合にも、カソード側に個々の放電路の中
心軸に対して対称な磁場が形成され、個々の放電を独立
に制御することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施例の説明図
【図２】この発明の第２実施例の説明図
【図３】従来のシートイオンビーム装置の斜視図
１・・・・・・・カソード ２・・・・・・・浮動電極 ２ａ・・・・・・浮動電極の放電路 ３・・・・・・・第１の矩形空芯コイル ４・・・・・・・第２の矩形空芯コイル ５・・・・・・・カプス磁場 ６・・・・・・・第１の放電調整用電極 ７・・・・・・・第２の放電調整用電極 ８・・・・・・・アノード ８ａ・・・・・・イオンビーム引き出しスリット ９・・・・・・・イオンビーム引き出し電極 ９ａ・・・・・・オンビーム引き出しスリット １０・・・・・・試料 １１・・・・・・プラズマ １２・・・・・・プラズマ １３・・・・・・シートプラズマ １４・・・・・・磁性体のヨーク １５・・・・・・磁性体の熱シールド １６・・・・・・円筒形コイル １７・・・・・・シートイオンビーム
Claims (3)
- 【請求項１】一列に配列された複数のカソードの前方
に、中央部に放電路を持つ複数の浮動電極を各カソード
毎に対応して一列に配置し、一列に配置された複数の浮
動電極の廻りに第１の矩形空芯コイルを巻回し、この第
１の矩形空芯コイルと対向するように第２の矩形空芯コ
イルを配置してカプス磁場を形成し、更に、第１の矩形
空芯コイルと第２の矩形空芯コイルとを結ぶ線上の上方
または下方にイオンビーム引き出しスリットをもつアノ
ードを配置し、このアノードと間隔をおいてイオンビー
ム引き出しスリットをもつイオンビーム引き出し電極を
配置したシートイオンビーム装置において、上記第１の
矩形空芯コイルと第２の矩形空芯コイルとの廻りを磁性
体のヨークで囲み、その磁性体のヨークに上記アノード
を取り付けていること特徴とするシートイオンビーム装
置。 - 【請求項２】上記複数のカソードを上記磁性体のヨーク
で囲むとともに、上記複数のカソードの各々の廻りに磁
性体の熱シールドを配置したこと特徴とする請求項１記
載のシートイオンビーム装置。 - 【請求項３】 は上記複数のカソードの各カソード
と、上記複数の浮動電極の各浮動電極との間に円筒形コ
イルを配置したこと特徴とする請求項１又は２記載のシ
ートイオンビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27094592A JPH0696707A (ja) | 1992-09-15 | 1992-09-15 | シートイオンビーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27094592A JPH0696707A (ja) | 1992-09-15 | 1992-09-15 | シートイオンビーム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0696707A true JPH0696707A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17493203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27094592A Pending JPH0696707A (ja) | 1992-09-15 | 1992-09-15 | シートイオンビーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0696707A (ja) |
-
1992
- 1992-09-15 JP JP27094592A patent/JPH0696707A/ja active Pending
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