JPH0695382A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィル
ム形成可能なバインダーポリマーと熱硬化性樹脂を用い
ることにより、アルカリ性水溶液による現像性を有し、
かつ、感度、解像度、耐無電解めっき液性に優れた感光
性樹脂組成物を得ることができる。 【構成】 尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、
キシレン樹脂、フラン樹脂、尿素とホルムアルデヒドの
縮合物、カルバミン酸エステルとホルムアルデヒドの縮
合物から選ばれる熱硬化性樹脂、アルカリ水溶液に可溶
または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマ
ー、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤からなる感
光性樹脂組成物である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光性樹脂組成物に関
する。特に、プリント配線板製造時に用いられるレジス
トとして好適な感光性樹脂組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板製造時に使われる無電解
めっきレジスト、ソルダレジストなどのレジストとして
感光性樹脂組成物が広く用いられている。このレジスト
は、例えば、約ｐＨ１２、７０℃の無電解銅めっき液に
長時間さらされるため、高濃度のアルカリ水溶液に耐え
る耐無電解めっき液性が要求されるが、従来のレジスト
は低濃度あるいは低温のアルカリにしか耐性を示さな
い。また、近年、プリント配線板の高密度化に伴い回路
が微細となり、レジストには感度、解像度、現像性が優
れていることが要求されているが、従来のレジストは必
ずしも全ての要求を満足してはいない。一方、現像液と
しては、従来、有機溶剤が用いられているが有機溶剤は
大気の汚染、あるいは、引火の危険性がある。

【０００３】従来用いられているレジスト用の感光性樹
脂組成物として、例えば、特開平２−２４７６５４号に
記載の同一分子内にカルボキシ基とビニル基を有するア
ルカリ現像可能なポリマー又はオリゴマー、ビフェニル
型エポキシ化合物、光重合性モノマー又はオリゴマー、
及び、光重合開始剤又は増感剤からなる感光性樹脂組成
物が知られている。また、特開昭６４−３６４５号には
カルボキシ基とビニル基を有する重合性不飽和オリゴマ
ー、エポキシ化合物、及び、光重合開始剤からなる感光
性樹脂組成物が、特開平１−１０５２４０号にはウレタ
ン（メタ）アクリレート [（メタ）アクリレートはメタ
クリレートもしくはアクリレートを表わす。以下同
様。] 、線状高分子、及び、重合開始剤からなる感光性
樹脂組成物が記載されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】特開平２−２４７６５
４号に記載の感光性樹脂組成物は、ｐＨ８、７０℃のめ
っき液には耐性を示すもののｐＨ１２、７０℃のめっき
液には使用できない。特開昭６４−３６４５号に記載の
感光性樹脂組成物はｐＨ１２、７０℃の無電解銅めっき
液に充分耐えるが、解像度が１７０μｍと悪く微細回路
加工の用途には使用できない。特開平１−１０５２４０
号に記載の感光性樹脂組成物はｐＨ１２、７０℃の無電
解銅めっき液に耐性を示し解像度も７０μｍと良いが、
現像液が有機溶剤という欠点がある。本発明は、アルカ
リ性水溶液による現像性を有し、かつ、感度、解像度、
耐無電解めっき液性に優れた感光性樹脂組成物を提供す
るものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題は、Ａ．アルカ
リ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバイ
ンダーポリマー、Ｂ．尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノ
ール樹脂、キシレン樹脂、フラン樹脂、下記一般式化３
で表される化合物、

【０００６】

【化３】

【０００７】（ただし、Ｒは水素またはアルキル基を示
す。）および、下記一般式化４で表される化合物

【０００８】

【化４】

【０００９】（ただし、Ｒは水素またはアルキル基を示
す。）より選ばれる少なくとも１種以上の熱硬化性化合
物、Ｃ．少なくとも２個のエチレン性不飽和結合を有
し、光重合開始剤により重合体の形成が可能な常温で液
体または固体のエチレン性不飽和化合物、および、Ｄ．
光重合性開始剤からなる感光性樹脂組成物により達成で
きる。

【００１０】Ａ．のアルカリ水溶液に可溶または膨潤す
るフィルム形成可能なバインダーポリマーは感光性樹脂
組成物の硬化物の結合剤としての役割と、感光性樹脂組
成物にアルカリ水溶液に対する現像性を与えている。こ
のようなポリマーとしては、カルボキシ基を有するポリ
マー、無水カルボキシ基を有するポリマー、ポリビニル
フェノール類、ポリビニルアルコール類、ノボラック樹
脂、ヒドロキシ基を有する（メタ）アクリレート共重合
体などが挙げられる。

【００１１】カルボキシ基を有するポリマーとしては、
カルボキシ基を有するモノマーと（メタ）アクリル酸エ
ステル [（メタ）アクリル酸はアクリル酸もしくはメタ
クリル酸を表わす。以下同様。] 、スチレン類、アクリ
ロニトリル類などのビニルモノマーとの共重合体が挙げ
られる。重量平均分子量は５０００〜２０００００が好
ましい。

【００１２】カルボキシ基を有するモノマーの具体例と
しては、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、クロトン
酸、ソルビン酸、フマル酸、プロピオール酸、マレイン
酸、珪皮酸などが挙げられる。

【００１３】（メタ）アクリル酸エステルの具体例とし
ては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）ア
クリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソ
プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）ア
クリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ
−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）ア
クリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル
（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレー
ト、オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メ
タ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリ
レート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）
アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ウン
デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリ
レート、ミリスチル（メタ）アクリレート、セチル（メ
タ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、
オレイル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メ
タ）アクリレート、シクロペンタニル（メタ）アクリレ
ート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メ
タ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレートなど
のアルキルまたはアリール（メタ）アクリレート、メト
キシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレン
グリコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレ
ングリコール（メタ）アクリレート、メトキシテトラエ
チレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシジプ
ロピレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシエ
チル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）ア
クリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、
フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレー
ト、フェノキシジエトキシ（メタ）アクリレート、フェ
ノキシテトラエチレングリコール（メタ）アクリレー
ト、フェノキシヘキサエチレングリコール（メタ）アク
リレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）ア
クリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）
アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコー
ル（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピ
レングリコール（メタ）アクリレートなどのポリエーテ
ルジオールモノエーテル（メタ）アクリレート、２−ク
ロロエチル（メタ）アクリレート、２−クロロイソプロ
ピル（メタ）アクリレート、２−ブロモエチル（メタ）
アクリレート、２，３−ジブロモプロピル（メタ）アク
リレート、トリブロモフェニル（メタ）アクリレート、
トリフロロエチル（メタ）アクリレート、テトラフルオ
ロプロピル（メタ）アクリレート、オクタフルオロペン
チル（メタ）アクリレート、ヘプタデカフロロデシル
（メタ）アクリレートなどのハロゲン化アルキル（メ
タ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アク
リレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレー
ト、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−
ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、５−ヒドロキ
シペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキ
シル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェ
ノキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２
−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロ
ロ−２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートなどの
ヒドロキシ基含有（メタ）アクリレート、などのほか、
グリシジル（メタ）アクリレート、２−シアノエチルア
クリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレ
ートなどが挙げられる。

【００１４】スチレン類の具体例としては、スチレン、
α−メチルスチレン、ｐ−イソプロペニルスチレン、ビ
ニルトルエンなどが挙げられる。

【００１５】アクリロニトリル類の具体例としては、ア
クリロニトリル、α−メチルアクリロニトリルなどが挙
げられる。

【００１６】上記のビニルモノマーのほか、ギ酸ビニ
ル、酢酸ビニル、酪酸ビニル、プロピオン酸ビニル、ラ
ウリン酸ビニル、安息香酸ビニル、ベンゼンスルホン酸
ビニル、ビニルイソプロピルエーテル、ビニルピロリド
ン、塩化ビニルなども挙げられる。

【００１７】無水カルボキシ基を有するポリマーとして
は、無水カルボキシ基を有するモノマーと（メタ）アク
リル酸エステル、スチレン類、アクリロニトリル類など
のビニルモノマーとの共重合体が挙げられる。重量平均
分子量は２０００〜１０００００が好ましい。

【００１８】無水カルボキシ基を有するモノマーの具体
例としては、無水２，３−ジクロロマレイン酸、無水２
−クロロマレイン酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニ
ルコハク酸、無水ノネニルコハク酸、無水ブロモマレイ
ン酸、無水マレイン酸などが挙げられる。

【００１９】ポリビニルフェノール類としては、ビニル
フェノールのホモポリマー、または、ビニルフェノール
と（メタ）アクリル酸エステル、スチレン類、アクリロ
ニトリル類、カルボキシ基を有するモノマー、無水カル
ボキシ基を有するモノマーなどのビニルモノマーとの共
重合体が挙げられる。具体的には、マルゼンレジンＭ、
マルゼンレジンＭＢ、レジンＣＭＭ、レジンＣＨＭ、レ
ジンＭＡＡ、レジンＭＳ−２、レジンＭＳ−３ [以上、
丸善石油化学（株）製] などが挙げられる。ポリビニル
フェノール類の重量平均分子量は２０００〜５００００
が好ましい。

【００２０】ポリビニルアルコール類としては、完全け
ん化酢酸ビニル重合体、部分けん化酢酸ビニル重合体な
どが挙げられる。ポリビニルアルコール類の重量平均分
子量は５０００〜５００００が好ましい。

【００２１】ノボラック樹脂としては、アルカリ水溶液
に膨潤または可溶なフェノールノボラック樹脂、クレゾ
ールノボラック樹脂が挙げられる。ノボラック樹脂の重
量平均分子量は５００〜５０００が好ましい。

【００２２】ヒドロキシ基を有する（メタ）アクリレー
ト共重合体としては、ヒドロキシ基を有するモノ（メ
タ）アクリレートと（メタ）アクリル酸エステル、スチ
レン類、アクリロニトリル類、カルボキシ基を有するモ
ノマー、無水カルボキシ基を有するモノマーなどのビニ
ルモノマーとの共重合体が挙げられる。該共重合体の重
量平均分子量は５０００〜１０００００が好ましい。

【００２３】ヒドロキシ化合物のモノ（メタ）アクリレ
ートの具体例としては、前述の（メタ）アクリル酸エス
テルの具体例中に挙げたものを用いることができる。

【００２４】バインダーポリマーの感光性樹脂組成物中
の含有量は、２０〜８０重量％が好ましい。２０重量％
未満の場合は現像性が悪化し硬化物が硬く脆くなる。ま
た、粘度が低下し感光性樹脂組成物を積層したときにエ
ッジフュージョンの恐れがある。８０重量％を越えると
感光性樹脂組成物が現像液に溶解しやすくなり密着性が
低下し解像度が悪くなる。また、バインダーポリマーは
２種類以上を併用してもよい。

【００２５】Ｂ．の熱硬化性化合物は、活性エネルギー
線照射後に加熱することにより架橋反応を起こし、強固
な結合を形成して、レジストの密着性、耐無電解めっき
液性を向上させる。従って、本発明の感光性樹脂組成物
を用いて形成したパターンは解像度に優れている。この
ような熱硬化性化合物としては、尿素とホルムアルデヒ
ドとの縮合反応により製造される尿素樹脂、メラミンと
ホルムアルデヒドとの縮合反応により製造されるメラミ
ン樹脂、フェノールとホルムアルデヒドとの縮合反応に
より製造されるフェノール樹脂、キシレンとホルムアル
デヒドとの縮合反応により製造されるキシレン樹脂、フ
ルフリルアルコールの縮合反応により製造されるフラン
樹脂、一般式化３で表わされる化合物、および、一般式
化４で表わされる化合物より選ばれる少なくとも１種以
上の化合物が挙げられる。一般式化３で表わされる化合
物は尿素とホルムアルデヒドをアルカリ性条件下で縮合
し、続いて酸性条件下で相当するアルコールでエーテル
化することにより得られる。一般式化４で表わされる化
合物はカルバミン酸エステルとホルムアルデヒドを酸性
条件下で縮合することにより得られる。

【００２６】熱硬化性化合物の感光性樹脂組成物中の含
有量は５〜５０重量％が好ましい。５重量％未満の場合
は十分な密着性、耐無電解めっき液性が得られず、５０
重量％を越えると現像性が悪化する。

【００２７】Ｃ．の少なくとも２個のエチレン性不飽和
結合を有し、光重合開始剤により重合体の形成が可能な
常温で液体または固体のエチレン性不飽和化合物は、活
性エネルギ−線により硬化する性質を有し、本発明の組
成物に活性エネルギ−線に対する優れた感度を付与して
いる。このため、本発明の感光性樹脂組成物は優れた解
像度を示す。エチレン性不飽和化合物としては、好まし
くは大気圧下で１００℃以上の沸点を有する活性エネル
ギ−線の照射で硬化する公知のモノマーを用いることが
できる。

【００２８】このようなモノマーを具体的に示せば、例
えば、１）エチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、ブタン
ジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタンジオールジ
（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）ア
クリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリ
レート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコール
ジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
（メタ）アクリレート、ポリテトラヒドロフラングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
（メタ）アクリレートなどの多価アルコールの（メタ）
アクリル酸エステル類；２）商品名アロニックスＭ−１
１００、アロニックスＭ−１２００、アロニックスＭ−
６１００、アロニックスＭ−６２００、アロニックスＭ
−６２５０、アロニックスＭ−６３００、アロニックス
Ｍ−６４００、アロニックスＭ−７１００、アロニック
スＭ−８０３０、アロニックスＭ−８０６０、アロニッ
クスＭ−８１００ [以上、東亜合成化学工業（株）製]
、商品名カヤラッドＤＰＣＡ−１２０、カヤラッドＤ
ＰＣＡ−２０、カヤラッドＤＰＣＡ−３０、カヤラッド
ＤＰＣＡ−６０、カヤラッドＲ−５２６、カヤラッドＲ
−６２９、カヤラッドＲ−６４４ [以上、日本化薬
（株）製] などのポリエステルの（メタ）アクリル酸エ
ステル類；３）１，６−ヘキサンジオールジグリシジル
エーテルジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
パントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレー
ト、グリセリントリグリシジルエーテルトリ（メタ）ア
クリレート、イソシアヌール酸トリグリシジルエーテル
トリ（メタ）アクリレート、ノボラック型エポキシ樹脂
の（メタ）アクリル酸エステル、ビスフェノールＡ型エ
ポキシ樹脂の（メタ）アクリル酸エステルなどの１分子
中に２個以上のエポキシ基を有する化合物の（メタ）ア
クリル酸エステル類；４）イソホロンジイソシアネー
ト、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリメチルヘ
キサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネ
ート、ヘキサメチレンジイソシアネートとヒドロキシ基
含有（メタ）アクリレートとの反応物、および、これら
のポリイソシアネートとポリオールからなる末端イソシ
アネートプレポリマーとヒドロキシ基含有アクリルモノ
マーとの反応物が挙げられる。たとえば、商品名スミジ
ュールＮ（ヘキサメチレンジイソシアネートのビュレッ
ト誘導体）、スミジュールＬ（トリレンジイソシアネー
トのトリメチロールプロパン変性体） [以上、住友バイ
エルウレタン（株）製] などで知られるポリイソシアネ
ート化合物にヒドロキシ基含有（メタ）アクリレートを
付加した反応物などを使用できる。ここで言うヒドロキ
シ基含有（メタ）アクリレートとしては、前述の（メ
タ）アクリル酸エステルの具体例に挙げたものを用いる
ことができる。

【００２９】上記のエチレン性不飽和化合物の他、Ａ．
のアルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可
能なバインダーポリマーを構成するエチレン性不飽和結
合を有するモノマーを用いることができる。さらに、上
記のエチレン性不飽和化合物の混合物も挙げることがで
きる。

【００３０】エチレン性不飽和化合物の感光性樹脂組成
物中の含有量は、２０〜８０重量％が好ましい。２０重
量％未満の場合は感度が低下して解像度が悪化し、８０
重量％を越えると密着性が悪くなる。

【００３１】Ｄ．の光重合開始剤の具体例としては、１
−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２
−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン、２，２−ジエトキシアセトフェ
ノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノ
ン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパ
ン−１−オン、２−メチル−１− [４−（メチルチオ）
フェニル] −２−モルホリノプロパン−１、４−フェノ
キシジクロロアセトフェノン、４ー（２ーヒドロキシエ
トキシ）−フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）
ケトン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフェノン、ｐ−
ｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ−ジメチルア
ミノアセトフェノンなどのアセトフェノン類；ベンゾイ
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインｎ
−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベ
ンジルジメチルケタールなどのベンゾイン類；ベンゾフ
ェノン、ベンゾフェノンメチルエーテル、ベンゾイル安
息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、ヒドロキシベンゾ
フェノン、４−フェニルベンゾフェノン、３，３’−ジ
メチル−４−メトキシベンゾフェノン、３，３’−ビス
（Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’
−ビス（Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、
４’，４”−ジエチルイソフタロフェノン、３，３’，
４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）
ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェ
ニルサルファイド、アクリル化ベンゾフェノンなどのベ
ンゾフェノン類；チオキサントン、２−メチルチオキサ
ントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジメチ
ルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、
２，４−ジイソプロピルチオキサントン、２−クロロチ
オキサントン、２，４−ジクロロチオキサントンなどの
キサントン類；ジアセチル、ベンジルなどのジケトン
類；２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアント
ラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１，２
−ベンズアントラキノン、オクタメチルアントラキノ
ン、カンファーキノン、ジベンゾスベロン、９，１０−
フェナンスレンキノンなどのキノン類などが挙げられ
る。

【００３２】光重合開始剤の感光性樹脂組成物中の含有
量は、０．０１〜３０重量％が好ましい。

【００３３】本発明の感光性樹脂組成物は必要に応じ
て、架橋触媒、熱重合禁止剤、充填剤、染料、顔料、熱
安定剤、密着促進剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、
垂れ防止剤、難燃剤などを０．１〜５０重量％の範囲で
添加してもよい。

【００３４】本発明の感光性樹脂組成物は溶剤に溶解し
て液状レジストとして用いることができる。液状レジス
トとして用いる場合は、ディップ法、スプレー法、フロ
ーコート法、スクリーン印刷法などの方法により支持体
上に直接塗布し、厚さ１０〜１５０μｍの感光層を形成
することができる。このときに使用される溶剤は、感光
性樹脂組成物を溶解する溶剤であればよく、例えば、ア
セトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン
などのケトン類、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレン
グリコールエチルエーテルなどのグリコールエーテル
類、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブア
セテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテ
ート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート
などのグリコールエステル類、メタノール、エタノール
などのアルコール類、ジクロロメタン、１，１，１−ト
リクロロエタンなどの塩素含有脂肪族系溶剤、トルエ
ン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶剤などがある。
これらの溶剤は単独または混合して用いられる。

【００３５】また、本発明の感光性樹脂組成物はドライ
フィルムとして用いることができる。ドライフィルムと
して用いる場合の支持フィルムとしては、例えば、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレ
ンなどからなるフィルムが用いられ、特に、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルムが好ましい。フィルムの厚さ
は５〜１００μｍが好ましい。また、これらのフィルム
の一つは感光層の保護フィルムとして用いてもよい。ド
ライフィルムを製造する際に感光性樹脂組成物を液状と
するために用いられる溶剤は前記したものが使用でき
る。液状の感光性樹脂組成物を支持フィルム上に均一に
塗布し、加熱乾燥または熱風乾燥により溶剤を除去し感
光層を形成する。感光層の厚さは１０〜１００μｍが好
ましい。次に、支持フィルム上に感光層を形成したドラ
イフィルムはそのままあるいは保護フィルムを感光層に
積層しロール状に巻き取り保存される。

【００３６】次に、本発明の感光性樹脂組成物の使用方
法について説明する。１）液状レジストを基板上に前記
の方法で塗布し、加熱乾燥または熱風乾燥により溶剤を
除去することにより、または、２）ドライフィルムを通
常のラミネート方法により基板上に感光層を積層するこ
とにより、本発明の感光性樹脂組成物の感光層を基板上
に形成する。その後、ネガマスクあるいはポジマスクを
通して感光層に活性エネルギー線を照射する。活性エネ
ルギー線としては、例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、
高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハ
ライドランプ、タングステンランプなどを光源とする紫
外線、アルゴンレーザー、ヘリウムカドミウムレーザ
ー、クリプトンレーザーなどが用いられる。

【００３７】次いで、感光層の未露光部分を、現像液を
用いて、スプレー、ディップ、ブラッシングなどの方法
により除去する。現像液は、例えば、水酸化リチウム、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸リチウム、炭
酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸
水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、リン酸ナトリウ
ム、リン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン
酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、メタ
ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム、アンモニア、
モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタ
ノールアミン、モノメチルアミン、ジメチルアミン、ト
リエチルアミンなどの水溶液が用いられる。また、現像
液には、消泡剤、有機溶剤などを添加してもよい。

【００３８】現像後、現像液を水洗により除去し、活性
エネルギー線の照射および１００〜２００℃の加熱処理
を行なう。このようにして得られたパターンを形成した
硬化物は、優れた耐無電解めっき液性を有する。

【００３９】

【実施例】次に、実施例により本発明を詳細に説明する
が、本発明は以下の実施例により限定されるものではな
い。

【００４０】実施例１〜４、比較例１〜２ 表１に示す組成の感光性樹脂組成物を作製した。なお、
以下に述べる配合比は重量％である。

【００４１】

【表１】

【００４２】＊１：メタクリル酸／メタクリル酸メチル
／アクリル酸２−エチルヘキシル／アクリル酸ｎ−ブチ
ル共重合体（重量比＝２５／４０／２０／１５） ＊２：メタクリル酸メチル／メタクリル酸／アクリル酸
ｎ−ブチル共重合体（重量比＝５０／２５／２５） ＊３：スチレン／無水マレイン酸共重合体（ＡＲＣＯケ
ミカル社製、ＳＭＡレジン１０００） ＊４：油化シェルエポキシ（株）製

【００４３】この感光性樹脂組成物を厚さ２５μｍのポ
リエチレンテレフタレートフィルム上に塗布し、８０℃
の順風乾燥器で１０分間加熱乾燥して厚さ４０μｍの感
光層を得た。この感光層を厚さ２０μｍのポリエチレン
フィルムで被覆してドライフィルムを作製した。次い
で、ポリエチレンフィルムをはがしながらラミネート装
置で無電解銅めっき触媒を付与したガラスエポキシ樹脂
基板に感光層を積層した。

【００４４】次に、ネガマスクを通して、高圧水銀灯を
用い２５０ｍＪ／ｃｍ² の露光を行なった。露光後、常
温で３０分放置した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用
い２０℃で１００秒間スプレー現像を行なった。現像
後、水洗により基板上に残った現像液を除去し、空気乾
燥後、高圧水銀灯で５Ｊ／ｃｍ² の露光を行なった。次
いで、１５０℃で６０分間加熱処理し熱硬化を行なっ
た。

【００４５】このようにして得た基板上のレジストの性
能を以下の方法により評価した。結果を表２に示す。 感度 ネガマスクとして光学濃度段差０．１５のステップウェ
ッジを用い、現像後に残ったネガ像の段数を感度とし
た。 現像性 現像後感光性樹脂組成物が除去された部分を拡大鏡で観
察し次の基準で評価を行なった。 ○ ：残渣無し × ：残渣有り 解像度 現像後に形成されたライン／スペース（＝１／１）の最
小巾（μｍ）を解像度とした。 密着性 隣接する２本のパターンの間隔を４００μｍとしたとき
の独立した１本のパターンが断線、蛇行することなく形
成される最小巾（μｍ）を密着性とした。 耐無電解めっき液性 熱硬化後のレジストをｐＨ１２、７０℃の無電解銅めっ
き液に１５時間浸漬し外観を観察した。

【００４６】

【表２】

【００４７】○ ：変化なし × ：ふくれあり

【００４８】

【発明の効果】本発明は以下の効果を奏する。 （１）耐無電解めっき液性に優れている。 従来の感光性樹脂組成物を用いたレジストは、基板面と
の密着性に劣るため、７０℃、ｐＨ１２の無電解銅めっ
き液中に浸漬すると基板面からのはがれや膨れなどの現
象が現れる。本発明の感光性樹脂組成物は熱架橋による
強固な結合を形成して基板面との密着性を向上すること
により優れた耐無電解めっき液性を有するレジストを提
供することができる。

【００４９】（２）感度、解像度に優れている。 従来の感光性樹脂組成物を用いたレジストは、感度、解
像度が劣るため線幅が１００μｍ以下の微細加工用には
使用できなかった。本発明の感光性樹脂組成物は熱架橋
による強固な結合を形成して基板面との密着性が向上す
ることにより、また、現像性に優れたバインダーポリマ
ーを使用することにより感度、解像度の優れたレジスト
を提供することができる。

【００５０】（３）アルカリ水溶液による現像性が優れ
ている。 従来の感光性樹脂組成物を用いたレジストで上記２点の
効果を有するものは有機溶剤を現像液として使用してい
る。本発明の感光性樹脂組成物はアルカリ水溶液に対す
る現像性に優れたバインダーポリマーを使用しているた
め、現像液にアルカリ水溶液を使用することができ大気
汚染などの心配がない。

【００５１】上記効果を奏することから本発明の感光性
樹脂組成物はプリント配線板の製造時に用いられるソル
ダーレジスト、フルアディティブ法におけるめっきレジ
スト、エッチングレジスト、層間絶縁材料などのほか、
金属の微細加工、ＰＳ版、スクリーン印刷用の感光液お
よびレジストインキなどの用途に好適である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/028 7/038 ５０５ Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｆ 6921−4Ｅ 3/18 Ｄ 7511−4Ｅ 3/28 Ｄ 7511−4Ｅ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ａ．アルカリ水溶液に可溶または膨潤す
   るフィルム形成可能なバインダーポリマー、 Ｂ．尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、キシレ
   ン樹脂、フラン樹脂、下記一般式化１で表される化合
   物、 【化１】 （ただし、Ｒは水素またはアルキル基を示す。）およ
   び、下記一般式化２で表される化合物 【化２】 （ただし、Ｒは水素またはアルキル基を示す。）より選
   ばれる少なくとも１種以上の熱硬化性化合物、 Ｃ．少なくとも２個のエチレン性不飽和結合を有し、光
   重合開始剤により重合体の形成が可能な常温で液体また
   は固体のエチレン性不飽和化合物、および、 Ｄ．光重合性開始剤 からなる感光性樹脂組成物。