JPH0694990A - 半導体レーザ用集光光学系 - Google Patents
半導体レーザ用集光光学系Info
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- JPH0694990A JPH0694990A JP4243402A JP24340292A JPH0694990A JP H0694990 A JPH0694990 A JP H0694990A JP 4243402 A JP4243402 A JP 4243402A JP 24340292 A JP24340292 A JP 24340292A JP H0694990 A JPH0694990 A JP H0694990A
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
- G02B19/0009—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only
- G02B19/0014—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only at least one surface having optical power
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光軸に直交する両方向共に倍率を調整し、バ
ックフォーカスを両方向で等しくかつ十分大きくとり、
収差を小さくして集光効率を上げる。 【構成】 水平方向と垂直方向で異なる射出角を持つ半
導体レーザからの光束を、水平方向と垂直方向の径がほ
ぼ等しいスポットに集光させるための集光光学系におい
て、レーザからの射出角の大きい方向に正パワーを持つ
回転非対称なレンズを含む第１レンズ群Ｌ１と、負パワ
ーを持つレンズを少なくとも１枚含む第２レンズ群Ｌ２
と、回転非対称なレンズ群で、射出角が大きい方にも小
さい方にも正パワーを持つ第３レンズ群Ｌ３からなる。
ックフォーカスを両方向で等しくかつ十分大きくとり、
収差を小さくして集光効率を上げる。 【構成】 水平方向と垂直方向で異なる射出角を持つ半
導体レーザからの光束を、水平方向と垂直方向の径がほ
ぼ等しいスポットに集光させるための集光光学系におい
て、レーザからの射出角の大きい方向に正パワーを持つ
回転非対称なレンズを含む第１レンズ群Ｌ１と、負パワ
ーを持つレンズを少なくとも１枚含む第２レンズ群Ｌ２
と、回転非対称なレンズ群で、射出角が大きい方にも小
さい方にも正パワーを持つ第３レンズ群Ｌ３からなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザ用集光光
学系に関し、特に、半導体レーザから射出される光束を
効率よく集光させてエネルギーを得る半導体レーザ用集
光光学系に関するものである。
学系に関し、特に、半導体レーザから射出される光束を
効率よく集光させてエネルギーを得る半導体レーザ用集
光光学系に関するものである。
【０００２】
【従来技術】半導体レーザは小型、低価格、量産向き
で、レーザプリンタ、光ディスクピクアップ用光源とし
て利用され、また、高出力にしてエネルギー源としても
利用されてきている。しかし、多数の微小光源を集積し
た大出力の半導体レーザからなる光源の形状は線状であ
り、また、長手方向に垂直な方向の広がり角は、長手方
向に比べてかなり大きく、回転対称な光学系を用いては
効率よく集光させることができない。そこで、効率よく
集光させるために回転非対称な光学系を用いて、長手方
向とそれに垂直な方向の径がほぼ等しいスポットに集光
させることが知られている。このような作用を持つ光学
系は、特開昭６１−２５４９１５号公報に開示されてい
るが、収差補正やバックフォーカスの大きさ等、実用上
問題になることについては記載されていない。また、他
にも、実開平４−５５０１６号公報、特開平４−１５３
６１８号公報に回転非対称な光学系が開示されている。
で、レーザプリンタ、光ディスクピクアップ用光源とし
て利用され、また、高出力にしてエネルギー源としても
利用されてきている。しかし、多数の微小光源を集積し
た大出力の半導体レーザからなる光源の形状は線状であ
り、また、長手方向に垂直な方向の広がり角は、長手方
向に比べてかなり大きく、回転対称な光学系を用いては
効率よく集光させることができない。そこで、効率よく
集光させるために回転非対称な光学系を用いて、長手方
向とそれに垂直な方向の径がほぼ等しいスポットに集光
させることが知られている。このような作用を持つ光学
系は、特開昭６１−２５４９１５号公報に開示されてい
るが、収差補正やバックフォーカスの大きさ等、実用上
問題になることについては記載されていない。また、他
にも、実開平４−５５０１６号公報、特開平４−１５３
６１８号公報に回転非対称な光学系が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】線状のレーザ発光部か
ら出た光は、長手方向に比べ長手方向に垂直な方向で
は、その広がり角は非常に大きい。シリンドリカルレン
ズを単純に２枚組み合わせて、ビーム径を縦方向と横方
向で揃えることは、実開平４−５５０１６号公報で知ら
れている。しかし、長手方向で縮小系、長手方向に垂直
な方向で拡大系になる倍率で両方向のパワー配置を計算
し、その位置に正のシリンドリカルレイズを配置するだ
けでは、開口数が大きいとき、軸外光束が広がってしま
い、効率よく集光できないため、実用上問題がある。ま
た、特開平４−１５３６１８号公報に集光効率を考慮し
たレンズ系が開示されているが、線状光源の線幅を無限
小としているので、拡大系の倍率について考慮されてい
ない。また、バックフォーカスの大きさも考慮されてい
ないので、バックフォーカスが短い場合、周辺装置の実
装上の問題がある。
ら出た光は、長手方向に比べ長手方向に垂直な方向で
は、その広がり角は非常に大きい。シリンドリカルレン
ズを単純に２枚組み合わせて、ビーム径を縦方向と横方
向で揃えることは、実開平４−５５０１６号公報で知ら
れている。しかし、長手方向で縮小系、長手方向に垂直
な方向で拡大系になる倍率で両方向のパワー配置を計算
し、その位置に正のシリンドリカルレイズを配置するだ
けでは、開口数が大きいとき、軸外光束が広がってしま
い、効率よく集光できないため、実用上問題がある。ま
た、特開平４−１５３６１８号公報に集光効率を考慮し
たレンズ系が開示されているが、線状光源の線幅を無限
小としているので、拡大系の倍率について考慮されてい
ない。また、バックフォーカスの大きさも考慮されてい
ないので、バックフォーカスが短い場合、周辺装置の実
装上の問題がある。
【０００４】また、最近では、高出力のレーザとして、
線幅が無限小と見做せない層状の光源もあり、この場
合、垂直方向の倍率も調節しなければならない。また、
長手方向に垂直な像が層状にならないように、適度な収
差を持たせて集光させなければならない。
線幅が無限小と見做せない層状の光源もあり、この場
合、垂直方向の倍率も調節しなければならない。また、
長手方向に垂直な像が層状にならないように、適度な収
差を持たせて集光させなければならない。
【０００５】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、光軸に直交する両方向共に倍
率を調整し、バックフォーカスを両方向で等しくかつ十
分大きくとり、収差を小さくして集光効率を上げた半導
体レーザ用集光光学系を提供することにある。
ものであり、その目的は、光軸に直交する両方向共に倍
率を調整し、バックフォーカスを両方向で等しくかつ十
分大きくとり、収差を小さくして集光効率を上げた半導
体レーザ用集光光学系を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の半導体レーザ用集光光学系は、水平方向と垂直方向
で異なる射出角を持つ半導体レーザからの光束を、水平
方向と垂直方向の径がほぼ等しいスポットに集光させる
ための集光光学系において、レーザからの射出角の大き
い方向に正パワーを持つ回転非対称なレンズを含む第１
レンズ群と、負パワーを持つレンズを少なくとも１枚含
む第２レンズ群と、回転非対称なレンズ群で、射出角が
大きい方にも小さい方にも正パワーを持つ第３レンズ群
からなることを特徴とするものである。
明の半導体レーザ用集光光学系は、水平方向と垂直方向
で異なる射出角を持つ半導体レーザからの光束を、水平
方向と垂直方向の径がほぼ等しいスポットに集光させる
ための集光光学系において、レーザからの射出角の大き
い方向に正パワーを持つ回転非対称なレンズを含む第１
レンズ群と、負パワーを持つレンズを少なくとも１枚含
む第２レンズ群と、回転非対称なレンズ群で、射出角が
大きい方にも小さい方にも正パワーを持つ第３レンズ群
からなることを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】以下、上記のような構成を採用する理由と作用
について説明する。図１は、半導体レーザ１から射出さ
れる光束と光源の様子を示す斜視図である。光源２の長
手方向（以下ｘ方向とする。）の射出角θx に比べ、そ
れに垂直な方向（以下、ｙ方向とする。）の射出角θy
はかなり大きい（θx ＜θy ）。また、光源２の形状
は、長手方向の寸法をｘ0 、長手方向に垂直な方向の寸
法をｙ0 とすれば、ｘ0 ＞ｙ0 である。 この光束を以
下のような条件のｘ×ｙのスポットに集光させることを
考える。
について説明する。図１は、半導体レーザ１から射出さ
れる光束と光源の様子を示す斜視図である。光源２の長
手方向（以下ｘ方向とする。）の射出角θx に比べ、そ
れに垂直な方向（以下、ｙ方向とする。）の射出角θy
はかなり大きい（θx ＜θy ）。また、光源２の形状
は、長手方向の寸法をｘ0 、長手方向に垂直な方向の寸
法をｙ0 とすれば、ｘ0 ＞ｙ0 である。 この光束を以
下のような条件のｘ×ｙのスポットに集光させることを
考える。
【０００８】条件（１） ｘ＜ｘ0 ，ｙ＞ｙ0 ，ｘ≒ｙ これにより、ｘ方向は倍率をｂx とすると、｜ｂx ｜＜
１の縮小系であり、ｙ方向は倍率をｂy とすると、｜ｂ
y ｜＞１の拡大系である。ただし、拡大系において、本
発明はｙ0 ＝０とならない線状光源についても対象にし
ているので、ｂy は数倍程度である。
１の縮小系であり、ｙ方向は倍率をｂy とすると、｜ｂ
y ｜＞１の拡大系である。ただし、拡大系において、本
発明はｙ0 ＝０とならない線状光源についても対象にし
ているので、ｂy は数倍程度である。
【０００９】まず、光源と像面との距離を一定して、縮
小系と拡大系をそれぞれ１枚の正レンズで実現するため
に、その配置とパワーを計算すると、図２のようにな
る。ただし、ここで想定した倍率は、ｂx ＝−０．５、
ｂy ＝−３．０であり、光源と像面の距離をＬ、ｘ方
向、ｙ方向それぞれの正レンズの焦点距離をｆx 、ｆy
とする。
小系と拡大系をそれぞれ１枚の正レンズで実現するため
に、その配置とパワーを計算すると、図２のようにな
る。ただし、ここで想定した倍率は、ｂx ＝−０．５、
ｂy ＝−３．０であり、光源と像面の距離をＬ、ｘ方
向、ｙ方向それぞれの正レンズの焦点距離をｆx 、ｆy
とする。
【００１０】これによると、縮小系では、パワーを像側
に、拡大系では、レーザ側に配置させることが必要であ
る。ところが、ｙ方向の光束が高い開口数（ＮＡ）を持
つので、レーザのできるだけ近くでこの広がり角を小さ
くしないと、光束が広がりすぎて集光効率が下がるの
で、かなり強い正パワーをレーザの近くに配置する必要
がある。すると、正パワーがレーザ側に寄りすぎて倍率
が必要な拡大倍率よりもかなり大きくなってしまう。そ
こで、像側に弱い正パワーを入れて、パワーを像側に移
動させると、倍率を数倍程度に抑えることができる。一
方、縮小系は、倍率が適当な値になるように、適度な正
パワーを比較的像側に配置すればよい。
に、拡大系では、レーザ側に配置させることが必要であ
る。ところが、ｙ方向の光束が高い開口数（ＮＡ）を持
つので、レーザのできるだけ近くでこの広がり角を小さ
くしないと、光束が広がりすぎて集光効率が下がるの
で、かなり強い正パワーをレーザの近くに配置する必要
がある。すると、正パワーがレーザ側に寄りすぎて倍率
が必要な拡大倍率よりもかなり大きくなってしまう。そ
こで、像側に弱い正パワーを入れて、パワーを像側に移
動させると、倍率を数倍程度に抑えることができる。一
方、縮小系は、倍率が適当な値になるように、適度な正
パワーを比較的像側に配置すればよい。
【００１１】以上のように、結像倍率のみを考慮する
と、拡大系では、レーザ側に強い正パワー、像側に弱い
正パワーのレンズを配置し、縮小系では、倍率に合わせ
て像側に適度なパワーを配置させるとよい。しかし、こ
の配置では、拡大系では、合成の正パワーが強すぎて、
バックフォーカスがかなり短くなる。また、縮小系も、
正レンズ群のみではバックフォーカスがとれず、さら
に、ペッツバール和も大きいため、スポットからの漏れ
光量が多くなり、集光効率が下がる。
と、拡大系では、レーザ側に強い正パワー、像側に弱い
正パワーのレンズを配置し、縮小系では、倍率に合わせ
て像側に適度なパワーを配置させるとよい。しかし、こ
の配置では、拡大系では、合成の正パワーが強すぎて、
バックフォーカスがかなり短くなる。また、縮小系も、
正レンズ群のみではバックフォーカスがとれず、さら
に、ペッツバール和も大きいため、スポットからの漏れ
光量が多くなり、集光効率が下がる。
【００１２】これを解決するためには、拡大系、縮小系
共に、像側に配置した正パワーよりもレーザ側に負パワ
ーを配置することにより、一度光軸に対する光線高を高
くした後、正パワーで集光する、いわゆるレトロフォー
カスタイプにするとよい。より具体的には、拡大系で
は、レーザ側から、正パワーを持つレンズ群、負レンズ
を含むレンズ群、正パワーを持つレンズ群の順となるよ
うに、また、縮小系では、レーザ側から、負レンズを含
むレンズ群、正パワーを持つレンズ群の順になるように
配置すればよい。この構成によれば、負レンズにより、
拡大系、縮小系共、レトロフォーカスタイプになってバ
ックフォーカスをとることができ、さらに、ペッツバー
ル和も小さくなるので、スポットの集光効率が上がる。
共に、像側に配置した正パワーよりもレーザ側に負パワ
ーを配置することにより、一度光軸に対する光線高を高
くした後、正パワーで集光する、いわゆるレトロフォー
カスタイプにするとよい。より具体的には、拡大系で
は、レーザ側から、正パワーを持つレンズ群、負レンズ
を含むレンズ群、正パワーを持つレンズ群の順となるよ
うに、また、縮小系では、レーザ側から、負レンズを含
むレンズ群、正パワーを持つレンズ群の順になるように
配置すればよい。この構成によれば、負レンズにより、
拡大系、縮小系共、レトロフォーカスタイプになってバ
ックフォーカスをとることができ、さらに、ペッツバー
ル和も小さくなるので、スポットの集光効率が上がる。
【００１３】これらのパワー配置を１つの光学系で実現
するには、全レンズ系は、次のような３つのレンズ群で
構成すればよい。すなわち、ｘ方向は、レーザ側にｙ方
向ほど強いパワーは必要ないので、第１レンズ群は、ｙ
方向に正パワーを持つ回転非対称なレンズ群、第２レン
ズ群は、負パワーを持つレンズを含むレンズ群、第３レ
ンズ群は、ｘ方向、ｙ方向にどちらも正パワーを持つ
が、ｘ方向に強く、ｙ方向に弱い正パワーの回転非対称
なレンズ群にすればよい。
するには、全レンズ系は、次のような３つのレンズ群で
構成すればよい。すなわち、ｘ方向は、レーザ側にｙ方
向ほど強いパワーは必要ないので、第１レンズ群は、ｙ
方向に正パワーを持つ回転非対称なレンズ群、第２レン
ズ群は、負パワーを持つレンズを含むレンズ群、第３レ
ンズ群は、ｘ方向、ｙ方向にどちらも正パワーを持つ
が、ｘ方向に強く、ｙ方向に弱い正パワーの回転非対称
なレンズ群にすればよい。
【００１４】第２レンズ群の負パワーは、余り強くする
と光束が広がりすぎるので、正パワーを持つレンズと組
み合わせるとよい。
と光束が広がりすぎるので、正パワーを持つレンズと組
み合わせるとよい。
【００１５】
【実施例】次に、実施例を参照にして本発明の半導体レ
ーザ用集光光学系をさらに具体的に説明する。図３は本
発明の第１実施例の集光光学系の断面図を示すもので、
図（ａ）はｘ方向断面図、図（ｂ）はｙ方向断面図であ
る。この第１実施例は、レーザ側から順に、ｙ方向に強
い正パワーを持つ円柱レンズからなる第１レンズ群Ｌ
１、正単レンズと負単レンズを正負の順に並べた第２レ
ンズ群Ｌ２、ｘ方向に正のパワーを持つシリンドリカル
レンズと正のパワーを持つ単レンズからなる第３レンズ
群Ｌ３からなっている。ｙ方向では、第１レンズ群Ｌ１
の強い正パワーにより、軸外主光線の光線高を下げ、ま
た、軸外光束の幅を小さくする。そして、第２レンズ群
Ｌ２の正負のレンズの組み合わせにより、軸外光束の幅
が余り広がらない程度に軸外主光線の光線高を大きくし
た後、第３レンズ群Ｌ３で集光する。ｘ方向では、第１
レンズ群Ｌ１はパワーを持たず、第２レンズ群Ｌ２の正
負のレンズの組み合わせで軸外主光線高を上げ、第３レ
ンズ群Ｌ３のｘ方向に正のパワーを持つシリンドリカル
レンズと正パワー単レンズの組み合せにより、ｙ方向に
比べてｘ方向がより大きな正パワーを持っている。第２
レンズ群Ｌ２の正負の順序や枚数は任意であるが、特に
ｙ方向で、余り負のパワーを強くすると、軸外光束の幅
が大きくなりすぎて、像側のレンズ外径が極めて大型化
し、さらに、球面収差、コマ収差が大きくなる。また、
正パワーを余り強くすると、バックフォーカスがとれな
くなり、また、ペッツバール和が大きくなってしまう。
したがって、合成パワーとしては弱い方が望ましい。具
体には、 条件（２） ｜Ψ2yｆy ｜＜０．５ を満たすのが望ましい。ただし、Ψ2yは第２レンズ群Ｌ
２のｙ方向の合成パワー、ｆy はｙ方向のレンズ全系の
焦点距離である。また、ｙ方向の像が層状にならないよ
うに、パワーの強いレンズを用いることにより、適度な
収差を持たせてある。
ーザ用集光光学系をさらに具体的に説明する。図３は本
発明の第１実施例の集光光学系の断面図を示すもので、
図（ａ）はｘ方向断面図、図（ｂ）はｙ方向断面図であ
る。この第１実施例は、レーザ側から順に、ｙ方向に強
い正パワーを持つ円柱レンズからなる第１レンズ群Ｌ
１、正単レンズと負単レンズを正負の順に並べた第２レ
ンズ群Ｌ２、ｘ方向に正のパワーを持つシリンドリカル
レンズと正のパワーを持つ単レンズからなる第３レンズ
群Ｌ３からなっている。ｙ方向では、第１レンズ群Ｌ１
の強い正パワーにより、軸外主光線の光線高を下げ、ま
た、軸外光束の幅を小さくする。そして、第２レンズ群
Ｌ２の正負のレンズの組み合わせにより、軸外光束の幅
が余り広がらない程度に軸外主光線の光線高を大きくし
た後、第３レンズ群Ｌ３で集光する。ｘ方向では、第１
レンズ群Ｌ１はパワーを持たず、第２レンズ群Ｌ２の正
負のレンズの組み合わせで軸外主光線高を上げ、第３レ
ンズ群Ｌ３のｘ方向に正のパワーを持つシリンドリカル
レンズと正パワー単レンズの組み合せにより、ｙ方向に
比べてｘ方向がより大きな正パワーを持っている。第２
レンズ群Ｌ２の正負の順序や枚数は任意であるが、特に
ｙ方向で、余り負のパワーを強くすると、軸外光束の幅
が大きくなりすぎて、像側のレンズ外径が極めて大型化
し、さらに、球面収差、コマ収差が大きくなる。また、
正パワーを余り強くすると、バックフォーカスがとれな
くなり、また、ペッツバール和が大きくなってしまう。
したがって、合成パワーとしては弱い方が望ましい。具
体には、 条件（２） ｜Ψ2yｆy ｜＜０．５ を満たすのが望ましい。ただし、Ψ2yは第２レンズ群Ｌ
２のｙ方向の合成パワー、ｆy はｙ方向のレンズ全系の
焦点距離である。また、ｙ方向の像が層状にならないよ
うに、パワーの強いレンズを用いることにより、適度な
収差を持たせてある。
【００１６】本発明の第２実施例の集光光学系の図３と
同様な断面図を図４に示す。本実施例は、第１実施例で
第３レンズ群Ｌ３のシリンドリカルレンズと単レンズの
組み合せであるところを、１個のトロイダルレンズにし
たもので、その結果、レンズ枚数を減らすことが可能に
なった。
同様な断面図を図４に示す。本実施例は、第１実施例で
第３レンズ群Ｌ３のシリンドリカルレンズと単レンズの
組み合せであるところを、１個のトロイダルレンズにし
たもので、その結果、レンズ枚数を減らすことが可能に
なった。
【００１７】本発明の第３実施例の集光光学系の図３と
同様な断面図を図５に示す。本実施例は、第１実施例で
第２レンズ群Ｌ２の正負の組み合せであるところを、負
正の組み合せとしたものである。その結果、ｙ方向の収
差が少なくなっている。これは、第２レンズ群Ｌ２の正
レンズが第３実施例は第１実施例より像側にあるため、
正パワーを像側に移動できるので、最も光線高が高い第
３レンズ群Ｌ３でｙ方向正パワーを弱くできるためであ
る。
同様な断面図を図５に示す。本実施例は、第１実施例で
第２レンズ群Ｌ２の正負の組み合せであるところを、負
正の組み合せとしたものである。その結果、ｙ方向の収
差が少なくなっている。これは、第２レンズ群Ｌ２の正
レンズが第３実施例は第１実施例より像側にあるため、
正パワーを像側に移動できるので、最も光線高が高い第
３レンズ群Ｌ３でｙ方向正パワーを弱くできるためであ
る。
【００１８】本発明の第４実施例の集光光学系の図３と
同様な断面図を図６に示す。本実施例は、第１実施例で
第２レンズ群Ｌ２の正負の単レンズの組み合せであると
ころを、２枚の正パワーシリンドリカルレンズと１枚の
負単レンズを用いて、ｘ方向では正負、ｙ方向では負正
となるようにしたものである。その結果、ｙ方向は、光
線が低くなって収差が減り、また、ｘ方向は、物体高が
大きくなっても軸外の主光線幅が広がりすぎることはな
く、良好な集光作用を持つ。
同様な断面図を図６に示す。本実施例は、第１実施例で
第２レンズ群Ｌ２の正負の単レンズの組み合せであると
ころを、２枚の正パワーシリンドリカルレンズと１枚の
負単レンズを用いて、ｘ方向では正負、ｙ方向では負正
となるようにしたものである。その結果、ｙ方向は、光
線が低くなって収差が減り、また、ｘ方向は、物体高が
大きくなっても軸外の主光線幅が広がりすぎることはな
く、良好な集光作用を持つ。
【００１９】本発明の第５実施例の集光光学系の図３と
同様な断面図を図７に示す。本実施例は、第４実施例で
第３レンズ群Ｌ３の正パワー単レンズと正パワーシリン
ドリカルレンズの組み合せであるところを、シリンドリ
カルレンズ４枚と正パワーレンズ１枚の組み合せにした
ものである。その結果、光線高の高い第３レンズ群Ｌ３
で光線を徐々に曲げるので、収差がさらによく除かれ、
かつ、物体高をより大きくしても、適当な倍率でｘ、ｙ
両方向の径がほぼ等しいスポットに集光することができ
る。
同様な断面図を図７に示す。本実施例は、第４実施例で
第３レンズ群Ｌ３の正パワー単レンズと正パワーシリン
ドリカルレンズの組み合せであるところを、シリンドリ
カルレンズ４枚と正パワーレンズ１枚の組み合せにした
ものである。その結果、光線高の高い第３レンズ群Ｌ３
で光線を徐々に曲げるので、収差がさらによく除かれ、
かつ、物体高をより大きくしても、適当な倍率でｘ、ｙ
両方向の径がほぼ等しいスポットに集光することができ
る。
【００２０】次に、上記第１から第５実施例のレンズデ
ータを示す。なお、記号は、上記の他、ｒ1 、ｒ2 …は
各レンズ面の曲率半径、ｄ1 、ｄ2 …は各レンズ面間の
間隔、ｎ1,810 、ｎ2,810 …は各レンズの波長８１０ｎ
ｍにおける屈折率、ｆx 、ｆy はそれぞれｘ方向、ｙ方
向のレンズ全系の焦点距離、ＮＡx 、ＮＡy はそれぞれ
ｘ方向、ｙ方向の開口数、ｓ1 は第１面からの物体距離
を示す。
ータを示す。なお、記号は、上記の他、ｒ1 、ｒ2 …は
各レンズ面の曲率半径、ｄ1 、ｄ2 …は各レンズ面間の
間隔、ｎ1,810 、ｎ2,810 …は各レンズの波長８１０ｎ
ｍにおける屈折率、ｆx 、ｆy はそれぞれｘ方向、ｙ方
向のレンズ全系の焦点距離、ＮＡx 、ＮＡy はそれぞれ
ｘ方向、ｙ方向の開口数、ｓ1 は第１面からの物体距離
を示す。
【００２１】第１実施例 ＜ｘ方向＞ ｆx ＝41.786 ＮＡx ＝ 0.070 ｂx ＝-0.536 ｓ1 ＝-1.50 ｘ0 ＝ 6.00 ｒ1 = ∞ ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = ∞ ｄ2 = 2.00 ｒ3 = 15.00 ｄ3 = 7.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = ∞ ｄ4 = 8.00 ｒ5 = -15.57 ｄ5 = 2.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = 15.74 ｄ6 =22.00 ｒ7 = 42.00 ｄ7 = 6.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = ∞ ｄ8 =10.00 ｒ9 = 26.00 ｄ9 =10.00 ｎ5,810=1.51012 ｒ10= -26.00 ＜ｙ方向＞ ｆy ＝-5.397 ＮＡy ＝ 0.300 ｂy ＝-3.08084 ｓ1 ＝-1.50 y0 ＝ 1.00 ｜Ψ2yｆy ｜＝0.0135 ｒ1 = 5.00 ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = -5.00 ｄ2 = 2.00 ｒ3 = 15.00 ｄ3 = 7.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = ∞ ｄ4 = 8.00 ｒ5 = -15.57 ｄ5 = 2.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = 15.74 ｄ6 =22.00 ｒ7 = ∞ ｄ7 = 6.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = ∞ ｄ8 =10.00 ｒ9 = 26.00 ｄ9 =10.00 ｎ5,810=1.51012 ｒ10= -26.00 。
【００２２】第２実施例 ＜ｘ方向＞ ｆx ＝43.615 ＮＡx ＝ 0.070 ｂx ＝-0.51447 ｓ1 ＝-1.50 ｘ0 ＝ 6.00 ｒ1 = ∞ ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = ∞ ｄ2 = 2.00 ｒ3 = 15.00 ｄ3 = 7.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = ∞ ｄ4 = 8.00 ｒ5 = -15.57 ｄ5 = 2.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = 15.74 ｄ6 =38.00 ｒ7 = 23.00 ｄ7 =10.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = -26.00 ＜ｙ方向＞ ｆy ＝-5.261 ＮＡy ＝ 0.300 ｂy ＝-3.08217 ｓ1 ＝-1.50 ｙ0 ＝ 1.00 ｜Ψ2yｆy ｜＝0.0132 ｒ1 = 5.00 ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = -5.00 ｄ2 = 2.00 ｒ3 = 15.00 ｄ3 = 7.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = ∞ ｄ4 = 8.00 ｒ5 = -15.57 ｄ5 = 2.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = 15.74 ｄ6 =38.00 ｒ7 = 28.00 ｄ7 =10.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = -26.00 。
【００２３】第３実施例 ＜ｘ方向＞ ｆx ＝29.248 ＮＡx ＝ 0.070 ｂx ＝-0.57806 ｓ1 ＝-1.50 ｘ0 ＝ 6.00 ｒ1 = ∞ ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = ∞ ｄ2 = 5.20 ｒ3 = -15.57 ｄ3 = 3.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = 15.57 ｄ4 = 0.80 ｒ5 = 20.00 ｄ5 = 7.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = -12.00 ｄ6 =50.00 ｒ7 = 25.00 ｄ7 = 5.00 ｎ4,810=1.51012 r8 = ∞ ｄ8 = 1.00 ｒ9 = 35.00 ｄ9 =10.00 ｎ5,810=1.51012 ｒ10= -35.00 ＜ｙ方向＞ ｆy ＝-4.496 ＮＡy ＝ 0.300 ｂy ＝-3.58970 ｓ1 ＝-1.50 ｙ0 ＝ 1.00 ｜Ψ2yｆy ｜＝0.1739 ｒ1 = 5.00 ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = -5.00 ｄ2 = 5.20 ｒ3 = -15.57 ｄ3 = 3.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = 15.57 ｄ4 = 0.80 ｒ5 = 20.00 ｄ5 = 7.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = -12.00 ｄ6 =50.00 ｒ7 = ∞ ｄ7 = 5.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = ∞ ｄ8 = 1.00 ｒ9 = 35.00 ｄ9 =10.00 ｎ5,810=1.51012 ｒ10= -35.00 。
【００２４】第４実施例 ＜ｘ方向＞ ｆx ＝51.644 ＮＡx ＝ 0.070 ｂx ＝-0.57437 ｓ1 ＝-1.50 ｘ0 ＝ 6.00 ｒ1 = ∞ ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 r2 = ∞ ｄ2 = 2.00 ｒ3 = 12.975 ｄ3 = 7.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = ∞ ｄ4 = 8.00 ｒ5 = -15.57 ｄ5 = 2.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = 15.57 ｄ6 = 2.50 ｒ7 = ∞ ｄ7 = 6.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = ∞ ｄ8 =16.00 ｒ9 = 23.00 ｄ9 = 6.00 ｎ5,810=1.51012 ｒ10= ∞ ｄ10= 7.00 ｒ11= 15.00 ｄ11= 5.00 ｎ6,810=1.51012 ｒ12= ∞ ＜ｙ方向＞ ｆy ＝-10.804 ＮＡy ＝ 0.300 ｂy ＝-2.56330 ｓ1 ＝-1.50 ｙ0 ＝ 1.00 ｜Ψ2yｆy ｜＝0.0560 ｒ1 = 5.00 ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = -5.00 ｄ2 = 2.00 ｒ3 = ∞ ｄ3 = 7.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = ∞ ｄ4 = 8.00 ｒ5 = -15.57 ｄ5 = 2.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = 15.57 ｄ6 = 2.50 ｒ7 = 10.00 ｄ7 = 6.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = ∞ ｄ8 =16.00 ｒ9 = ∞ ｄ9 = 6.00 ｎ5,810=1.51012 ｒ10= ∞ ｄ10= 7.00 ｒ11= 15.00 ｄ11= 5.00 ｎ6,810=1.51012 r12= ∞ 。
【００２５】第５実施例 ＜ｘ方向＞ ｆx ＝78.856 ＮＡx ＝ 0.08715 ｂx ＝-0.41245 ｓ1 ＝-1.50 ｘ0 ＝10.00 ｒ1 = ∞ ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = ∞ ｄ2 = 2.00 ｒ3 = 12.975 ｄ3 = 7.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = ∞ ｄ4 = 8.00 ｒ5 = -15.57 ｄ5 = 2.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = 15.57 ｄ6 = 2.50 ｒ7 = ∞ ｄ7 = 6.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = ∞ ｄ8 =26.00 ｒ9 = ∞ ｄ9 = 6.00 ｎ5,810=1.51012 ｒ10= ∞ ｄ10= 1.00 ｒ11= ∞ ｄ11= 5.00 ｎ6,810=1.51012 ｒ12= ∞ ｄ12= 1.00 ｒ13= 31.14 ｄ13= 6.00 ｎ7,810=1.51012 ｒ14= ∞ ｄ14= 1.00 ｒ15= 31.14 ｄ15= 6.00 ｎ8,810=1.51012 ｒ16= ∞ ｄ16= 1.00 ｒ17= 41.52 ｄ17= 4.80 ｎ9,810=1.51012 ｒ18= ∞ ＜ｙ方向＞ ｆy ＝-6.676 NAy ＝ 0.342 ｂy ＝-1.90719 ｓ1 ＝-1.50 ｙ0 ＝ 1.20 ｜Ψ2yｆy ｜＝0.1821 ｒ1 = 5.00 ｄ1 =10.00 ｎ1,810=1.51012 ｒ2 = -5.00 ｄ2 = 2.00 ｒ3 = ∞ ｄ3 = 7.00 ｎ2,810=1.51012 ｒ4 = ∞ ｄ4 = 8.00 ｒ5 = -15.57 ｄ5 = 2.00 ｎ3,810=1.51012 ｒ6 = 15.57 ｄ6 = 2.50 ｒ7 = 15.57 ｄ7 = 6.00 ｎ4,810=1.51012 ｒ8 = ∞ ｄ8 =26.00 ｒ9 = 31.14 ｄ9 = 6.00 ｎ5,810=1.51012 ｒ10= ∞ ｄ10= 1.00 ｒ11= 36.33 ｄ11= 5.00 ｎ6,810=1.51012 ｒ12= ∞ ｄ12= 1.00 ｒ13= ∞ ｄ13= 6.00 ｎ7,810=1.51012 ｒ14= ∞ ｄ14= 1.00 ｒ15= ∞ ｄ15= 6.00 ｎ8,810=1.51012 ｒ16= ∞ ｄ16= 1.00 ｒ17= 41.52 ｄ17= 4.80 ｎ9,810=1.51012 ｒ18= ∞ 。
【００２６】次に、上記第１から第５実施例の球面収
差、非点収差を表す収差図を図８から図１２にそれぞれ
示す。ただし、各図（ａ）はｘ方向断面における収差図
であり、（ｂ）はｙ方向断面における収差図である。
差、非点収差を表す収差図を図８から図１２にそれぞれ
示す。ただし、各図（ａ）はｘ方向断面における収差図
であり、（ｂ）はｙ方向断面における収差図である。
【００２７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の半導体レー
ザ用集光光学系によると、線幅が無限小と見做せない線
状光源からの高ＮＡの光線を、水平方向と垂直方向の両
方向の倍率を調整して、両方向の径がほぼ等しいスポッ
トに集光させ、収差を小さくすることにより集光効率を
上げ、かつ、十分な大きさのバックフォーカスがとれる
集光光学系を実現することができる。
ザ用集光光学系によると、線幅が無限小と見做せない線
状光源からの高ＮＡの光線を、水平方向と垂直方向の両
方向の倍率を調整して、両方向の径がほぼ等しいスポッ
トに集光させ、収差を小さくすることにより集光効率を
上げ、かつ、十分な大きさのバックフォーカスがとれる
集光光学系を実現することができる。
【図１】半導体レーザから射出される光束と光源の様子
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】縮小系と拡大系をそれぞれ１枚の正レンズで実
現するためのパワーの大きさと位置の１例を示す図であ
る。
現するためのパワーの大きさと位置の１例を示す図であ
る。
【図３】本発明の第１実施例の集光光学系の断面図で、
（ａ）はｘ方向断面図、図（ｂ）は方向断面図である。
（ａ）はｘ方向断面図、図（ｂ）は方向断面図である。
【図４】第２実施例の集光光学系の図３と同様な断面図
である。
である。
【図５】第３実施例の集光光学系の図３と同様な断面図
である。
である。
【図６】第４実施例の集光光学系の図３と同様な断面図
である。
である。
【図７】第５実施例の集光光学系の図３と同様な断面図
である。
である。
【図８】第１実施例の球面収差、非点収差を表す収差図
で、（ａ）はｘ方向断面における収差図、（ｂ）はｙ方
向断面における収差図である。
で、（ａ）はｘ方向断面における収差図、（ｂ）はｙ方
向断面における収差図である。
【図９】第２実施例の図８と同様な収差図である。
【図１０】第３実施例の図８と同様な収差図である。
【図１１】第４実施例の図８と同様な収差図である。
【図１２】第５実施例の図８と同様な収差図である。
１…半導体レーザ ２…光源 Ｌ１…第１レンズ群 Ｌ２…第２レンズ群 Ｌ３…第３レンズ群
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１１月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり，その目的は、光軸に直交する両方向共に倍
率を調整し、バックフォーカスを両方向で等しくかつ十
分大きくとり、収差の大きさを調節して集光効率を上げ
た半導体レーザ用集光光学系を提供することにある。
ものであり，その目的は、光軸に直交する両方向共に倍
率を調整し、バックフォーカスを両方向で等しくかつ十
分大きくとり、収差の大きさを調節して集光効率を上げ
た半導体レーザ用集光光学系を提供することにある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】以上のように、結像倍率のみを考慮する
と、拡大系では、レーザ側に強い正パワー、像側に弱い
正パワーのレンズを配置し、縮小系では、倍率に合わせ
て像側に適度な正パワーを配置させるとよい。しかし、
この配置では、拡大系では、合成の正パワーが強すぎ
て、バックフォーカスがかなり短くなる。また、縮小系
も、正レンズ群のみではバックフォーカスがとれず、さ
らに、ペッツバール和も大きいため、スポットからの漏
れ光量が多くなり、集光効率が下がる。
と、拡大系では、レーザ側に強い正パワー、像側に弱い
正パワーのレンズを配置し、縮小系では、倍率に合わせ
て像側に適度な正パワーを配置させるとよい。しかし、
この配置では、拡大系では、合成の正パワーが強すぎ
て、バックフォーカスがかなり短くなる。また、縮小系
も、正レンズ群のみではバックフォーカスがとれず、さ
らに、ペッツバール和も大きいため、スポットからの漏
れ光量が多くなり、集光効率が下がる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２７】以上述べたように、本発明の半導体レーザ
用集光光学系によると、線幅が無限小と見做せない線状
光源からの高ＮＡの光線を、水平方向と垂直方向の両方
向の倍率を調整して、両方向の径がほぼ等しいスポット
に集光させ、収差の大きさを調節することにより集光効
率を上げ、かつ、十分な大きさのバックフォーカスがと
れる集光光学系を実現することができる。
用集光光学系によると、線幅が無限小と見做せない線状
光源からの高ＮＡの光線を、水平方向と垂直方向の両方
向の倍率を調整して、両方向の径がほぼ等しいスポット
に集光させ、収差の大きさを調節することにより集光効
率を上げ、かつ、十分な大きさのバックフォーカスがと
れる集光光学系を実現することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１０】
フロントページの続き (72)発明者 山中正宣 大阪府箕面市石丸３丁目25番Ｅ−205号 (72)発明者 石川浩司 大阪府寝屋川市高柳栄町６−10 (72)発明者 佐藤 毅 東京都豊島区南池袋１丁目20番１号金門電 気株式会社内 (72)発明者 山本公明 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリン パス光学工業株式会社内 (72)発明者 寺島幹彦 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリン パス光学工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 水平方向と垂直方向で異なる射出角を持
つ半導体レーザからの光束を、水平方向と垂直方向の径
がほぼ等しいスポットに集光させるための集光光学系に
おいて、レーザからの射出角の大きい方向に正パワーを
持つ回転非対称なレンズを含む第１レンズ群と、負パワ
ーを持つレンズを少なくとも１枚含む第２レンズ群と、
回転非対称なレンズ群で、射出角が大きい方にも小さい
方にも正パワーを持つ第３レンズ群からなることを特徴
とする半導体レーザ用集光光学系。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4243402A JPH0694990A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 半導体レーザ用集光光学系 |
| US08/118,791 US5465178A (en) | 1992-09-11 | 1993-09-10 | Focusing optical system for semiconductor lasers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4243402A JPH0694990A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 半導体レーザ用集光光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694990A true JPH0694990A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17103330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4243402A Pending JPH0694990A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 半導体レーザ用集光光学系 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5465178A (ja) |
| JP (1) | JPH0694990A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04190088A (ja) * | 1990-01-19 | 1992-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | イメージ加熱装置 |
| JP2011203739A (ja) * | 2011-04-26 | 2011-10-13 | Yokogawa Electric Corp | 光強度分布補正光学系およびそれを用いた光学顕微鏡 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09159572A (ja) * | 1995-12-04 | 1997-06-20 | Nikon Corp | 光学装置 |
| US6478452B1 (en) | 2000-01-19 | 2002-11-12 | Coherent, Inc. | Diode-laser line-illuminating system |
| US20020107510A1 (en) * | 2001-02-05 | 2002-08-08 | Andrews Robert R. | Laser apparatus useful for myocardial revascularization |
| US7272573B2 (en) * | 2001-11-13 | 2007-09-18 | International Business Machines Corporation | Internet strategic brand weighting factor |
| US7083337B2 (en) * | 2002-10-30 | 2006-08-01 | Finisar Corporation | Optical transceiver port |
| JP2006317508A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Yokogawa Electric Corp | 光強度分布補正光学系およびそれを用いた光学顕微鏡 |
| DE102013225310B3 (de) * | 2013-12-09 | 2015-05-07 | Trumpf Laser Gmbh | Optikanordnung zur Strahlformung eines Laserstrahls für eine Laserbearbeitungsmaschine |
| CN104849845B (zh) * | 2015-05-22 | 2017-07-04 | 山东神戎电子股份有限公司 | 高清大角度变焦激光照明器 |
| US11585902B2 (en) * | 2017-11-30 | 2023-02-21 | Cepton Technologies, Inc. | Optical designs using cylindrical lenses for improved resolution in lidar systems |
| US11592527B2 (en) | 2018-02-16 | 2023-02-28 | Cepton Technologies, Inc. | Systems for incorporating LiDAR sensors in a headlamp module of a vehicle |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4203652A (en) * | 1977-02-15 | 1980-05-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Beam shaping optical system |
| JPS61254915A (ja) * | 1985-05-03 | 1986-11-12 | Canon Inc | 光束径調整用の光学系 |
| JPH0729140B2 (ja) * | 1990-06-25 | 1995-04-05 | 新日本製鐵株式会社 | 長尺材の幅方向圧延用素材の製造方法及びその製造方法に用いるレーザー切断装置 |
| JP2793711B2 (ja) * | 1990-10-18 | 1998-09-03 | オリンパス光学工業株式会社 | 半導体レーザ用集光装置 |
| US5140608A (en) * | 1991-05-29 | 1992-08-18 | Optrotech Ltd, Israel Company | Optical system for focusing a light beam on to an image plane |
-
1992
- 1992-09-11 JP JP4243402A patent/JPH0694990A/ja active Pending
-
1993
- 1993-09-10 US US08/118,791 patent/US5465178A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04190088A (ja) * | 1990-01-19 | 1992-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | イメージ加熱装置 |
| JP2011203739A (ja) * | 2011-04-26 | 2011-10-13 | Yokogawa Electric Corp | 光強度分布補正光学系およびそれを用いた光学顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5465178A (en) | 1995-11-07 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020731 |