JPH0692743A - 焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法 - Google Patents

焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法

Info

Publication number
JPH0692743A
JPH0692743A JP4239501A JP23950192A JPH0692743A JP H0692743 A JPH0692743 A JP H0692743A JP 4239501 A JP4239501 A JP 4239501A JP 23950192 A JP23950192 A JP 23950192A JP H0692743 A JPH0692743 A JP H0692743A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
sintered body
hydroxide solution
alkali hydroxide
hot isostatic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4239501A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3048281B2 (ja
Inventor
Akira Ubukawa
章 生川
Mitsuyoshi Watanabe
光義 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP4239501A priority Critical patent/JP3048281B2/ja
Priority to US08/116,199 priority patent/US5425847A/en
Priority to DE69316687T priority patent/DE69316687T2/de
Priority to EP93307057A priority patent/EP0587409B1/en
Publication of JPH0692743A publication Critical patent/JPH0692743A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3048281B2 publication Critical patent/JP3048281B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/91After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics involving the removal of part of the materials of the treated articles, e.g. etching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64Burning or sintering processes
    • C04B35/645Pressure sintering
    • C04B35/6455Hot isostatic pressing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/53After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone involving the removal of at least part of the materials of the treated article, e.g. etching, drying of hardened concrete
    • C04B41/5338Etching
    • C04B41/5353Wet etching, e.g. with etchants dissolved in organic solvents

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Processing Of Solid Wastes (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】無機質の粉体または同粉体の予備成形体をほう
酸を3〜15重量%含有するガラスで被覆した状態で不
活性ガスを圧力媒体として、等方的に加圧しつつ高温状
態で焼結する熱間静水圧プレスにて形成された焼結体の
熱間静水圧プレス時に付着するガラスを確実に除去する
方法を提供する。 【構成】前記ガラスが付着する焼結体を少なくとも2重
量%の濃度の水酸化アルカリ溶液、例えば水酸化カリウ
ムまたは水酸化ナトリウムの水溶液の存在下、温度10
0℃以上で1時間以上保持すること。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、焼結体の熱間静水圧プ
レス時に付着するガラスの除去方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】熱間静水圧プレスの一方法として、無機
質の粉体または同粉体の予備成形体をガラスで被覆した
状態で不活性ガスを圧力媒体として等方的に加圧しつつ
高温状態で焼結する、ガラスをシール材として使用する
熱間静水圧プレスがある。当該熱間静水圧プレスは異形
成形が可能であること、通常のシール材である銅、鋼等
を使用する場合に比較して相当高温状態でも熱間静水圧
プレスが可能であることから、非常に有利な成形方法で
あるということができる。しかしながら、このような熱
間静水圧プレスにおいては、得られる焼結体の表面にシ
ール材として使用したガラスが付着することは避けられ
ず、付着するガラスの除去が大きな問題になっている。
【0003】このような焼結体に付着するガラス(以下
付着ガラスということがある)の除去方法としては、機
械的外力を付与するハンマー叩打法(第1の方法とい
う)、焼結体の焼結終了後の冷却温度を制御して付着ガ
ラスを結晶化して付着ガラスの離脱を容易にする結晶化
法(第2の方法という)、特公昭62−22953号公
報に示されているように熱間静水圧プレス時にガラスに
溶解した圧力媒体を焼結後気化させてガラスを発泡状態
として付着ガラスの離脱を容易にする発泡法(第3の方
法という)、ヨーロッパ特許第0320927A1号明
細書に示されているように高温の水または水蒸気で処理
する方法(第4の方法という)等がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した第
1の方法においては、ハンマー叩打に相当大きな力が必
要であって除去処理がコスト高となるとともに、焼結体
の表面の凹凸部に付着するガラスを除去することが非常
に困難である。上記した第2の方法においては、シリカ
ガラス等特殊なガラスを使用する場合にのみわずかに有
効であって、付着ガラスを完全に除去することは不可能
である。上記した第3の方法においては、熱間静水圧プ
レスの条件および使用するガラスの種類によっては付着
ガラスを十分に発泡させることが難しくてその除去が困
難であり、第1の方法と併用することになる。しかしな
がら、この第1方法であるハンマー叩打法と併用して
も、ガラスの焼結体に対する付着部位によっては付着ガ
ラスを確実に除去することは困難である。
【0005】上記した第4の方法においては、実際には
高温の水や水蒸気のみでは付着ガラスを除去することが
できず、上記明細書においても水酸化ナトリウム、その
他のアルカリ化合物を使用することを示唆している。し
かしながら、これらのアルカリ化合物の使用について
は、その詳細は全く示されていない。特に、使用するシ
ール材としてのガラスの種類とガラスの除去条件との関
係については全く不明であり、この開示された第4の方
法によっては焼結体の付着ガラスを確実に除去すること
ができない。従って、本発明の目的は、これらの各除去
方法によっては十分に除去することができない焼結体の
付着ガラスを、容易に除去することができる方法を提供
することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、無機質の粉体
または同粉体の予備成形体をほう酸を3〜15重量%含
有するガラスで被覆した状態で不活性ガスを圧力媒体と
して等方的に加圧しつつ高温状態で焼結する熱間静水圧
プレスにて形成された焼結体の熱間静水圧プレス時に付
着するガラスの除去方法であって、前記ガラスが付着す
る焼結体を少なくとも2重量%の濃度の水酸化アルカリ
溶液の存在下、温度100℃以上でかつ1時間以上保持
することを特徴とするものである。本発明においては、
前記水酸化アルカリ溶液が水酸化カリウム水溶液である
か、または水酸化ナトリウム水溶液であることが好まし
い。
【0007】本発明の除去方法においては、前記焼結体
および水酸化アルカリ溶液を密閉容器内に収容して、前
記水酸化アルカリ溶液を流動させることが好ましく、同
水酸化アルカリ溶液を流動させる手段としては、前記密
閉容器を回転または振動すること、または前記水酸化ア
ルカリ溶液を撹拌すること等の手段を採用することがで
きる。
【0008】
【発明の作用・効果】本発明において使用する無機質の
粉体は炭化珪素、窒化珪素等であり、シール材として使
用するガラスは上記した各無機質の粉体との焼結時の反
応性との関係で選定する必要があり、ガラスの焼結体の
表面との反応で形成される反応層の厚み、同反応層の焼
結体に対する結合強さ等を考慮し、さらにコストを考慮
してほう酸を3〜15重量%含有するガラスを使用す
る。
【0009】しかして、本発明においてはシール材とし
てこのような組成のガラスを使用した場合の焼結体の付
着ガラスの除去方法であって、ガラスが付着する焼結体
を上記した濃度の水酸化アルカリ溶液の存在下、温度1
00℃以上で1時間以上保持することにより焼結体に付
着するガラスを確実に除去することができる。この場
合、アルカリ水溶液として水酸化カリウムまたは水酸化
ナトリウムの水溶液を使用して密閉容器内で処理すれ
ば、さらには同密閉容器を回転または振動させることに
より、または前記水酸化アルカリ溶液を撹拌することに
より、同水酸化アルカリ溶液を流動させる手段を採用す
れば、付着ガラスの除去が短時間でより一層確実になさ
れる。また、このような除去処理により、焼結体の表面
に形成されているガラスとの反応層を除去することがで
き、焼結体の仕上げ加工時の表面研磨等加工代を少なく
して、仕上げ加工を容易にかつ加工時間を短縮すること
ができる。
【0010】
【実施例】炭化珪素粉体からなる予備成形体である縦5m
m、横10mm、高さ5mmの長方体(組成:SiC 98.7wt%,B4
C 0.8wt%,C 0.5wt%)を1000個準備し、これらの予備
成形体を約同じ体積のほう珪酸ガラス(パイレックスガ
ラス、組成:SiO2 80.8wt%,Al2O3 2.3wt%,Na2O 3.9
wt%,B2O3 12.5wt%)が内在する坩堝内に入れ、この
状態で熱間静水圧プレス装置内で2,000℃、700気圧で熱
間静水圧プレスを行った。熱間静水圧プレスの終了後、
ガラスと一体の焼結体群を約4cm径の大きさで約30gの塊
に砕いて試料とした。この試料を三愛科学株式会社製の
HU-100型加圧分解容器(外套:ステンレス,内套:テト
ラフルオロエチレン)に入れ、この加圧分解容器に表
1,表2および表3に示す各種濃度の各種処理剤(水,
水酸化カリウム,水酸化ナトリウム,水酸化リチウム,
炭酸ナトリウム)30mlを添加し、加圧分解容器を1分間
に1回転されて処理剤を流動させ、各表に示す条件で付
着ガラスの除去処理実験を行った。得られた結果を表
1,表2および表3に示すとともに、図1〜図6に示
す。また、処理剤を流動させる条件を変えた場合の付着
ガラスの除去実験を上記と同様に行った。得られた結果
を図7および図8に示す。
【0011】なお、各表における◎印は付着ガラスが完
全に除去されたことを意味し、○印は付着ガラスを相当
程度浸食していてハンマー叩打法を併用すれば除去可能
であることを意味し、×印は付着ガラスに何等変化がな
いことを意味する。
【0012】また、各図における図1および図2は、処
理剤として濃度40wt%の水酸化カリウム水溶液または水
酸化ナトリウムを使用した場合の付着ガラスの除去可能
な加熱温度と時間の関係を示すグラフ、図3および図4
は加熱時間を24時間とした場合の付着ガラスの除去可能
な加熱温度と処理剤である水酸化カリウムまたは水酸化
ナトリウム水溶液の濃度との関係を示すグラフ、図5お
よび図6は加熱温度を250℃とした場合の付着ガラスの
除去可能な加熱時間と処理剤である水酸化カリウムまた
は水酸化ナトリウム水溶液の濃度との関係を示すグラフ
である。
【0013】また、図7は処理剤として40wt%の水酸化
カリウム水溶液を使用して加熱温度を100℃とした場合
の付着ガラスの除去可能な加熱時間と加圧分解容器の回
転数との関係を示すグラフ、図8は処理剤として2wt%
および40wt%の水酸化カリウム水溶液を使用して加熱温
度を250℃とした場合の付着ガラスの除去可能な加熱温
度と加圧分解容器の回転数との関係を示すグラフであ
る。
【0014】
【表1】
【0015】
【表2】
【0016】
【表3】
【0017】各表および各グラフを参照すれば明らかな
ように、ガラスが付着する焼結体を少なくとも2重量%
の濃度の水酸化アルカリ溶液の存在下、温度100℃以上
で1時間以上保持することにより、付着ガラスが除去さ
れることが判明した。この場合、処理剤としては特に水
酸化カリウムまたは水酸化ナトリウムの水溶液が有効で
ある。また、付着ガラス除去後の焼結体の表面のガラス
反応層は極めて脆弱であって、焼結体の表面の研磨加工
が容易でかつ短時間に行うことがてきる。また、処理剤
を流動させることにより、全く流動させない場合と比較
して約半分の処理時間という短い時間で、付着ガラスの
除去が可能であることが判明した。
【図面の簡単な説明】
【図1】処理剤として濃度40wt%の水酸化カリウム水溶
液を使用した場合の付着ガラスの除去可能な加熱温度と
時間の関係を示すグラフである。
【図2】処理剤として濃度40wt%の水酸化ナトリウムを
使用した場合の付着ガラスの除去可能な加熱温度と時間
の関係を示すグラフである。
【図3】加熱時間を24時間とした場合の付着ガラスの除
去可能な加熱温度と処理剤である水酸化カリウム水溶液
の濃度との関係を示すグラフである。
【図4】加熱時間を24時間とした場合の付着ガラスの除
去可能な加熱温度と処理剤である水酸化ナトリウム水溶
液の濃度との関係を示すグラフである。
【図5】加熱温度を250℃とした場合の付着ガラスの除
去可能な加熱時間と処理剤である水酸化カリウム水溶液
の濃度との関係を示すグラフである。
【図6】加熱温度を250℃とした場合の付着ガラスの除
去可能な加熱時間と処理剤である水酸化ナトリウム水溶
液の濃度との関係を示すグラフである。
【図7】処理剤として40wt%の水酸化カリウム水溶液を
使用して加熱温度を100℃とした場合の付着ガラスの除
去可能な加熱時間と加圧分解容器の回転数との関係を示
すグラフである。
【図8】処理剤として2wt%および40wt%の水酸化カリ
ウム水溶液を使用して加熱温度を250℃とした場合の付
着ガラスの除去可能な加熱温度と加圧分解容器の回転数
との関係を示すグラフである。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】無機質の粉体または同粉体の予備成形体を
    ほう酸を3〜15重量%含有するガラスで被覆した状態
    で不活性ガスを圧力媒体として等方的に加圧しつつ高温
    状態で焼結する熱間静水圧プレスにて形成された焼結体
    の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法にお
    いて、前記ガラスが付着する焼結体を少なくとも2重量
    %の濃度の水酸化アルカリ溶液の存在下、温度100℃
    以上で1時間以上保持することを特徴とする焼結体の熱
    間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法。
  2. 【請求項2】前記焼結体および水酸化アルカリ溶液を密
    閉容器内に収容して、前記水酸化アルカリ溶液を流動さ
    せることを特徴とする請求項1に記載の焼結体の熱間静
    水圧プレス時に付着するガラスの除去方法。
  3. 【請求項3】前記水酸化アルカリ溶液の流動を、前記密
    閉容器の回転、同密閉容器の振動、または前記水酸化ア
    ルカリ溶液の撹拌により行うことを特徴とする請求項1
    または2に記載の焼結体の熱間静水圧プレス時に付着す
    るガラスの除去方法。
  4. 【請求項4】前記水酸化アルカリ溶液が水酸化カリウム
    水溶液であることを特徴とする請求項1,2または3に
    記載の焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの
    除去方法。
  5. 【請求項5】前記水酸化アルカリ溶液が水酸化ナトリウ
    ム水溶液であることを特徴とする請求項1,2または3
    に記載の焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラス
    の除去方法。
JP4239501A 1992-09-08 1992-09-08 焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法 Expired - Lifetime JP3048281B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4239501A JP3048281B2 (ja) 1992-09-08 1992-09-08 焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法
US08/116,199 US5425847A (en) 1992-09-08 1993-09-03 Removal method of glass adhered to sintered object
DE69316687T DE69316687T2 (de) 1992-09-08 1993-09-07 Verfahren zum Entfernen von an Sinterteilen anhaftendem Glas
EP93307057A EP0587409B1 (en) 1992-09-08 1993-09-07 Removal method of glass adhered to sintered object

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4239501A JP3048281B2 (ja) 1992-09-08 1992-09-08 焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0692743A true JPH0692743A (ja) 1994-04-05
JP3048281B2 JP3048281B2 (ja) 2000-06-05

Family

ID=17045729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4239501A Expired - Lifetime JP3048281B2 (ja) 1992-09-08 1992-09-08 焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5425847A (ja)
EP (1) EP0587409B1 (ja)
JP (1) JP3048281B2 (ja)
DE (1) DE69316687T2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010139722A1 (en) * 2009-06-03 2010-12-09 Agc Glass Europe Dry method for surface treatment
CN109304465B (zh) * 2018-10-30 2021-01-15 恒普(宁波)激光科技有限公司 一种金属增材制造过程中工件的锤击强化装置
WO2020243211A1 (en) * 2019-05-31 2020-12-03 Corning Incorporated Etching glass and glass ceramic materials in hydroxide containing molten salt

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3383255A (en) * 1964-11-05 1968-05-14 North American Rockwell Planar etching of fused silica
FR2444523A1 (fr) * 1978-12-19 1980-07-18 Asea Ab Procede pour la fabrication par pressage isostatique d'un corps preforme en une matiere metallique ou ceramique enrobe dans un materiau vitrifiable
US4446100A (en) * 1979-12-11 1984-05-01 Asea Ab Method of manufacturing an object of metallic or ceramic material
JPS5888177A (ja) * 1981-11-17 1983-05-26 株式会社神戸製鋼所 熱間静水圧プレスにおける付着ガラス除去方法
SE435272B (sv) * 1983-02-08 1984-09-17 Asea Ab Sett att framstella ett foremal av ett pulverformigt material genom isostatisk pressning
JPS63159258A (ja) * 1986-12-23 1988-07-02 工業技術院長 耐酸化性窒化ケイ素材料の製造方法
US4842840A (en) * 1987-01-08 1989-06-27 Agency Of Industrial Science & Technology, Ministry Of International Trade & Industry Method for production of oxidation-resistant sialon and silicon carbide materials
GB8701761D0 (en) * 1987-01-27 1987-03-04 Ae Plc Production of engineering materials
JPH01153579A (ja) * 1987-11-07 1989-06-15 Nagasaki Pref Gov ムライト質多孔体の製造方法
SE460025B (sv) * 1987-12-18 1989-09-04 Asea Cerama Ab Saett att framstaella foeremaal av pulverformi gt material genom varm isostatisk pressning i en glasomslutning
JPH0686338B2 (ja) * 1991-03-08 1994-11-02 日本碍子株式会社 焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5425847A (en) 1995-06-20
EP0587409B1 (en) 1998-01-28
JP3048281B2 (ja) 2000-06-05
EP0587409A2 (en) 1994-03-16
DE69316687D1 (de) 1998-03-05
EP0587409A3 (en) 1995-03-08
DE69316687T2 (de) 1998-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0118225B1 (en) Diamond abrasive products
US5578222A (en) Reclamation of abrasive grain
EP1570117B1 (en) Vessel for holding silicon and method of producing the same
KR0179982B1 (ko) 내화금속 산화물 코팅 연마제와 이 연마제로 제조된 연삭 숫돌차
CH695851A5 (fr) Outil vitrifié superabrasif et procédé de fabrication.
CN103991041B (zh) 一种高球形气孔率超细粒度陶瓷结合剂cbn砂轮的制备方法
KR20020073328A (ko) 탄화규소 복합물 및 그 제조 방법
JPH0692743A (ja) 焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法
JPH04315579A (ja) 研摩材
JPH02167667A (ja) 研摩製品の製法
US4951735A (en) Melting and casting of beta titanium alloys
JPH02252660A (ja) 難焼結性粉末の焼結体、その砥粒及び砥石、並びにそれらの製法
JPH04280872A (ja) 焼結体の熱間静水圧プレス時に付着するガラスの除去方法
JP2003041357A (ja) シリコン保持容器およびその製造方法
CN109909898A (zh) 一种半导体材料研磨用CeO2磨盘及其制备工艺
JPH0444596Y2 (ja)
JP3187968B2 (ja) ガラスセラミック焼結体の製造方法
JP3368088B2 (ja) ビトリファイド研削砥石の砥石片から超砥粒を回収する方法
JPS62152677A (ja) 砥石の製造方法
JPH0657843B2 (ja) 焼結機械部品の製造方法
JPH10128523A (ja) 金属−セラミックス複合材料及びその製造方法
JP2002339025A (ja) 金属−セラミックス複合材料の製造方法
CN117428691A (zh) 一种cbn砂轮的制备方法
CN116535240A (zh) 一种zta颗粒表面腐蚀方法
JP2002212657A (ja) 金属−セラミックス複合材料の製造方法