JPH0691577A - 吸着ヘッド - Google Patents
吸着ヘッドInfo
- Publication number
- JPH0691577A JPH0691577A JP23968692A JP23968692A JPH0691577A JP H0691577 A JPH0691577 A JP H0691577A JP 23968692 A JP23968692 A JP 23968692A JP 23968692 A JP23968692 A JP 23968692A JP H0691577 A JPH0691577 A JP H0691577A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- contact
- pusher
- lead
- suction head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ＩＣパッケ−ジの、電気特性の測定を行うテス
タ−に、ＩＣパッケ−ジを供給するハンドリング装置に
関し、コンタクトプッシャ−に、ＩＣパッケ−ジが、噛
み込むことがなく、測定部にＩＣパッケ−ジを接触させ
る。 【構成】コンタクトプッシャ−に、ＩＣパッケ−ジのハ
ンドリング用の、吸着ヘッドがスプリングなどの弾性体
で支持されて構成されている。吸着ヘッド１は通常、コ
ンタクトプッシャ−２と、ＩＣパッケ−ジ４はＩＣパッ
ケ−ジ４のリ−ド３が接触しない位置にあり、吸着ヘッ
ド１がコンタクトプッシャ−２にスプリングや板バネで
支持されており、測定部のＩＣソケットに押しつける際
に、吸着ヘッド１が動き、ＩＣパッケ−ジ４のリ−ド３
に接触させる。ＩＣパッケ−ジ４の測定が終わり、ＩＣ
パッケ−ジ４を排出する際に、ＩＣパッケ−ジ４をスプ
リングで支持された吸着ヘッド１が突き出すようにな
る。
タ−に、ＩＣパッケ−ジを供給するハンドリング装置に
関し、コンタクトプッシャ−に、ＩＣパッケ−ジが、噛
み込むことがなく、測定部にＩＣパッケ−ジを接触させ
る。 【構成】コンタクトプッシャ−に、ＩＣパッケ−ジのハ
ンドリング用の、吸着ヘッドがスプリングなどの弾性体
で支持されて構成されている。吸着ヘッド１は通常、コ
ンタクトプッシャ−２と、ＩＣパッケ−ジ４はＩＣパッ
ケ−ジ４のリ−ド３が接触しない位置にあり、吸着ヘッ
ド１がコンタクトプッシャ−２にスプリングや板バネで
支持されており、測定部のＩＣソケットに押しつける際
に、吸着ヘッド１が動き、ＩＣパッケ−ジ４のリ−ド３
に接触させる。ＩＣパッケ−ジ４の測定が終わり、ＩＣ
パッケ−ジ４を排出する際に、ＩＣパッケ−ジ４をスプ
リングで支持された吸着ヘッド１が突き出すようにな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣパッケ−ジの、電
気特性の測定を行うテスタ−に、ＩＣパッケ−ジを供給
するハンドリング装置に関する。
気特性の測定を行うテスタ−に、ＩＣパッケ−ジを供給
するハンドリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術では、ＩＣパッケ−ジの、電
気特性の測定を行うテスタ−に、ＩＣパッケ−ジを供給
するハンドリング装置において、測定部にＩＣパッケ−
ジを接触させるコンタクトプッシャ−は、図２のよう
に、ＩＣパッケ−ジ４のリ−ド３を、押しつけるように
なっており、リ−ドピッチの小さいＩＣパッケ−ジや、
リ−ド長さの短いＩＣパッケ−ジにおいて、コンタクト
プッシャ−２に、噛み込むような問題が、発生すること
がある。
気特性の測定を行うテスタ−に、ＩＣパッケ−ジを供給
するハンドリング装置において、測定部にＩＣパッケ−
ジを接触させるコンタクトプッシャ−は、図２のよう
に、ＩＣパッケ−ジ４のリ−ド３を、押しつけるように
なっており、リ−ドピッチの小さいＩＣパッケ−ジや、
リ−ド長さの短いＩＣパッケ−ジにおいて、コンタクト
プッシャ−２に、噛み込むような問題が、発生すること
がある。
【０００３】また、図２のようにＩＣパッケ−ジ４をハ
ンドリングする吸着ヘッド１とＩＣパッケ−ジ４を測定
部に接触させるコンタクトプッシャ−２が、それぞれ独
立しており、測定部に接触させる際に、ＩＣパッケ−ジ
４のリ−ド３を曲げたり、そのことによりコンタクトプ
ッシャ−２に噛み込ましてしまうことがあった。
ンドリングする吸着ヘッド１とＩＣパッケ−ジ４を測定
部に接触させるコンタクトプッシャ−２が、それぞれ独
立しており、測定部に接触させる際に、ＩＣパッケ−ジ
４のリ−ド３を曲げたり、そのことによりコンタクトプ
ッシャ−２に噛み込ましてしまうことがあった。
【０００４】とくに、ＩＣパッケ−ジ４のリ−ドピッチ
が小さくなればコンタクトプッシャ−２の加工精度も高
精度になり、前記問題も大きくなる。
が小さくなればコンタクトプッシャ−２の加工精度も高
精度になり、前記問題も大きくなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術による
と、ＩＣパッケ−ジ測定部に接触させる際に、ＩＣパッ
ケ−ジ４のリ−ド３を曲げたり、そのことによりコンタ
クトプッシャ−２に噛み込ましてしまうという課題があ
った。本発明は上記課題を解決し、コンタクトプッシャ
−に、ＩＣパッケ−ジが、噛み込むことがなく、測定部
にＩＣパッケ−ジを接触させ、さらにハンドリングさせ
る事を目的とする。
と、ＩＣパッケ−ジ測定部に接触させる際に、ＩＣパッ
ケ−ジ４のリ−ド３を曲げたり、そのことによりコンタ
クトプッシャ−２に噛み込ましてしまうという課題があ
った。本発明は上記課題を解決し、コンタクトプッシャ
−に、ＩＣパッケ−ジが、噛み込むことがなく、測定部
にＩＣパッケ−ジを接触させ、さらにハンドリングさせ
る事を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し上記目
的を達成するため、本発明はＩＣパッケ−ジを供給する
ハンドリング装置において、吸着ヘッドとコンタクトプ
ッシャ−を一体化する事により、ＩＣパッケ−ジが、噛
み込まないように、吸着ヘッドにより、ＩＣパッケ−ジ
を突き出す機能を持たす手段を有することを特徴とす
る。
的を達成するため、本発明はＩＣパッケ−ジを供給する
ハンドリング装置において、吸着ヘッドとコンタクトプ
ッシャ−を一体化する事により、ＩＣパッケ−ジが、噛
み込まないように、吸着ヘッドにより、ＩＣパッケ−ジ
を突き出す機能を持たす手段を有することを特徴とす
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を説明する。
【０００８】図１は、本発明による吸着ヘッドの断面図
である。吸着ヘッド１と、コンタクトプッシャ−２から
構成される。吸着ヘッド１は通常、コンタクトプッシャ
−２と、ＩＣパッケ−ジ４は図１のように、ＩＣパッケ
−ジ４のリ−ド３が接触しない位置にあり、吸着ヘッド
１がコンタクトプッシャ−２にスプリングや板バネで支
持されており、測定部のＩＣソケットに押しつける際
に、吸着ヘッド１が動き、ＩＣパッケ−ジ４のリ−ド３
に接触させるようになっている。
である。吸着ヘッド１と、コンタクトプッシャ−２から
構成される。吸着ヘッド１は通常、コンタクトプッシャ
−２と、ＩＣパッケ−ジ４は図１のように、ＩＣパッケ
−ジ４のリ−ド３が接触しない位置にあり、吸着ヘッド
１がコンタクトプッシャ−２にスプリングや板バネで支
持されており、測定部のＩＣソケットに押しつける際
に、吸着ヘッド１が動き、ＩＣパッケ−ジ４のリ−ド３
に接触させるようになっている。
【０００９】ＩＣパッケ−ジ４の測定が終わり、ＩＣパ
ッケ−ジ４を排出する際に、図１のようになり、ＩＣパ
ッケ−ジ４をスプリングで支持された吸着ヘッド１が突
き出すようになる。
ッケ−ジ４を排出する際に、図１のようになり、ＩＣパ
ッケ−ジ４をスプリングで支持された吸着ヘッド１が突
き出すようになる。
【００１０】こうすることにより、コンタクトプッシャ
−２にＩＣパッケ−ジ４のリ−ド３が噛み込むことな
く、移載することができる。
−２にＩＣパッケ−ジ４のリ−ド３が噛み込むことな
く、移載することができる。
【００１１】図３は、本発明の吸着ヘッド１が、板バネ
５で支持された一例である。
５で支持された一例である。
【００１２】図１と同様に、ＩＣパッケ−ジ４の測定
時、吸着ヘッド１の板バネがたわみ、コンタクトプッシ
ャ−２がリ−ド３に接触し、ＩＣパッケ−ジ４を排出す
る際、吸着ヘッド１がＩＣパッケ−ジ４を突き出す事が
出来る。
時、吸着ヘッド１の板バネがたわみ、コンタクトプッシ
ャ−２がリ−ド３に接触し、ＩＣパッケ−ジ４を排出す
る際、吸着ヘッド１がＩＣパッケ−ジ４を突き出す事が
出来る。
【００１３】この時、吸着ヘッド１が支持されている板
バネ５は、２枚の板バネにより平行バネが構成されてお
り、吸着ヘッド１がＩＣパッケ−ジ４にたいして垂直に
動くようになっている。
バネ５は、２枚の板バネにより平行バネが構成されてお
り、吸着ヘッド１がＩＣパッケ−ジ４にたいして垂直に
動くようになっている。
【００１４】図４は、本発明の吸着ヘッド１が、ゴム製
の吸着パッド６になっている一例である。
の吸着パッド６になっている一例である。
【００１５】吸着パッド６が、ゴムの弾性により、ＩＣ
パッケ−ジ４を吸着した際に、パッドが変形し、コンタ
クトプッシャ−２に、ＩＣパッケ−ジ４が密着する。
パッケ−ジ４を吸着した際に、パッドが変形し、コンタ
クトプッシャ−２に、ＩＣパッケ−ジ４が密着する。
【００１６】吸着が切られると、パッドが元の形に戻る
ことにより、吸着パッド６が、ＩＣパッケ−ジ４を突き
出し、コンタクトプッシャ−２に、ＩＣパッケ−ジ４の
リ−ド３が、噛み込む事無く離脱することができる。
ことにより、吸着パッド６が、ＩＣパッケ−ジ４を突き
出し、コンタクトプッシャ−２に、ＩＣパッケ−ジ４の
リ−ド３が、噛み込む事無く離脱することができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、微細ピッチのＩＣパッ
ケ−ジに対して、コンタクトプッシャ−に噛み込むこと
なく、ハンドリングすることができる。
ケ−ジに対して、コンタクトプッシャ−に噛み込むこと
なく、ハンドリングすることができる。
【図１】本発明の一実施例で、コンタクトプッシャ−の
中に吸着ヘッドがスプリングによって支持されている吸
着ヘッドの断面図である。
中に吸着ヘッドがスプリングによって支持されている吸
着ヘッドの断面図である。
【図２】従来のハンドリング装置における吸着ヘッドの
図で、（ａ）は、ＩＣパッケ−ジの搬送用の吸着ヘッド
の図であり、（ｂ）は、コンタクトプッシャ−の図であ
る。
図で、（ａ）は、ＩＣパッケ−ジの搬送用の吸着ヘッド
の図であり、（ｂ）は、コンタクトプッシャ−の図であ
る。
【図３】本発明の一実施例で、吸着ヘッドが、板バネで
支持された一例の断面図である。
支持された一例の断面図である。
【図４】本発明の一実施例で、吸着ヘッドが、ゴム製の
吸着パッドになっている一例の断面図である。
吸着パッドになっている一例の断面図である。
１ 吸着ヘッド ２ コンタクトプッシャ− ３ リ−ド ４ ＩＣパッケ−ジ ５ 板バネ ６ 吸着パッド
Claims (1)
- 【請求項１】 ＩＣパッケ−ジの、電気特性の測定を行
うテスタ−に、ＩＣパッケ−ジを供給するハンドリング
装置において、測定部にＩＣパッケ−ジを供給し、接触
させるコンタクトプッシャ−に、ＩＣパッケ−ジが付着
しないように、突き出し機能を兼ね備えたことを特徴と
する吸着ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23968692A JPH0691577A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 吸着ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23968692A JPH0691577A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 吸着ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0691577A true JPH0691577A (ja) | 1994-04-05 |
Family
ID=17048406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23968692A Pending JPH0691577A (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | 吸着ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691577A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5953812A (en) * | 1997-07-03 | 1999-09-21 | Schlumberger Technologies, Inc. | Misinsert sensing in pick and place tooling |
| KR100665065B1 (ko) * | 2005-05-13 | 2007-01-05 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 테스트장치 |
| CN104931088A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-23 | 谢博 | 一种铝塑泡罩包装机包装强度测量仪 |
| CN105109735A (zh) * | 2015-08-31 | 2015-12-02 | 苏州斯尔特微电子有限公司 | 一种贴膜机用的减震手动吸盘 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP23968692A patent/JPH0691577A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5953812A (en) * | 1997-07-03 | 1999-09-21 | Schlumberger Technologies, Inc. | Misinsert sensing in pick and place tooling |
| KR100665065B1 (ko) * | 2005-05-13 | 2007-01-05 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 테스트장치 |
| CN104931088A (zh) * | 2015-06-02 | 2015-09-23 | 谢博 | 一种铝塑泡罩包装机包装强度测量仪 |
| CN105109735A (zh) * | 2015-08-31 | 2015-12-02 | 苏州斯尔特微电子有限公司 | 一种贴膜机用的减震手动吸盘 |
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