JPH0691284B2 - 半導体発光素子の発光出力測定装置 - Google Patents
半導体発光素子の発光出力測定装置Info
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- JPH0691284B2 JPH0691284B2 JP18923485A JP18923485A JPH0691284B2 JP H0691284 B2 JPH0691284 B2 JP H0691284B2 JP 18923485 A JP18923485 A JP 18923485A JP 18923485 A JP18923485 A JP 18923485A JP H0691284 B2 JPH0691284 B2 JP H0691284B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明は半導体発光素子の発光出力測定装置に関す
る。
る。
[発明の技術的背景] 発光ダイオード等の半導体発光素子は、製造後に発光出
力が測定され、この測定結果に応じて良品、不良品に選
別されたり、発光レベル毎に分類される。このような測
定に使用される従来の発光出力測定装置の概略的な回路
構成を第2図に示す。この従来装置を使用した測定方法
は、平面状の電極21上に発光素子22の一方のオーミック
電極23を接触させ、さらに針状の電極24を発光素子22の
他方のオーミック電極25に圧接させ、平面状の電極21と
針状の電極24との間に電流供給回路26を挿入して発光素
子22に一定電流を印加し、また、大面積のフォトダイオ
ード等からなる受光素子27を前記針状の電極24の上方に
配置し、ここで発光素子22の発光を受けて光電変換し、
出力測定回路28の電圧計等で表示させるというものであ
る。
力が測定され、この測定結果に応じて良品、不良品に選
別されたり、発光レベル毎に分類される。このような測
定に使用される従来の発光出力測定装置の概略的な回路
構成を第2図に示す。この従来装置を使用した測定方法
は、平面状の電極21上に発光素子22の一方のオーミック
電極23を接触させ、さらに針状の電極24を発光素子22の
他方のオーミック電極25に圧接させ、平面状の電極21と
針状の電極24との間に電流供給回路26を挿入して発光素
子22に一定電流を印加し、また、大面積のフォトダイオ
ード等からなる受光素子27を前記針状の電極24の上方に
配置し、ここで発光素子22の発光を受けて光電変換し、
出力測定回路28の電圧計等で表示させるというものであ
る。
[背景技術の問題点] 従来の装置において、発光素子22と受光素子27との間の
距離は、針状の電極24を配置するスペースを確保するた
め、通常では数十ミリ以上とる必要がある。このため、
受光面積が有限な受光素子27では発光素子22のごく一部
の発光出力のみを検出することになる。また従来、針状
の電極24は光を透過しない材料で構成されているため、
この電極24は発光素子22の発光を一部遮断することにな
る。このため、従来の測定装置では発光素子22の発光出
力を正確に測定することが困難となる欠点がある。
距離は、針状の電極24を配置するスペースを確保するた
め、通常では数十ミリ以上とる必要がある。このため、
受光面積が有限な受光素子27では発光素子22のごく一部
の発光出力のみを検出することになる。また従来、針状
の電極24は光を透過しない材料で構成されているため、
この電極24は発光素子22の発光を一部遮断することにな
る。このため、従来の測定装置では発光素子22の発光出
力を正確に測定することが困難となる欠点がある。
[発明の目的] この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
ありその目的は、半導体発光素子の発光出力をできるだ
け正確に測定することができる半導体発光素子の発光出
力測定装置を提供することにある。
ありその目的は、半導体発光素子の発光出力をできるだ
け正確に測定することができる半導体発光素子の発光出
力測定装置を提供することにある。
[発明の概要] 上記目的を達成するためこの発明にあっては、半導体発
光素子に動作電流を供給するための二つ以上の外部電極
のうち、受光素子側のものを発光素子の発光波長に対し
て透明な材料で構成し、受光素子と発光素子との間の遮
光物を除去するとともに、両者の間隙をできる限り小さ
くすることによって発光出力の大部分を受光素子に入射
させることを可能とし、これにより測定の精度の向上を
達成するようにしている。
光素子に動作電流を供給するための二つ以上の外部電極
のうち、受光素子側のものを発光素子の発光波長に対し
て透明な材料で構成し、受光素子と発光素子との間の遮
光物を除去するとともに、両者の間隙をできる限り小さ
くすることによって発光出力の大部分を受光素子に入射
させることを可能とし、これにより測定の精度の向上を
達成するようにしている。
[発明の実施例] 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
第1図はこの発明の一実施例装置の概略的な構成を示す
回路図である。図において11は平面状の電極である。こ
の電極11は金属材料の表面を金メッキして構成されてい
る。この電極11上には発光素子12の一方のオーミック電
極13が接続される。この発光素子12の他方のオーミック
電極14には透明電極15が圧接される。この透明電極15は
発光素子12の発光波長を透過する、すなわち発光素子12
の発光波長に対して透明な材料、例えば酸化インジウ
ム、酸化スズ、酸化チタンのいずれか、もしくはこれら
を含む材料で構成されており、かつシリコンフォトダイ
オード等からなる受光素子16の受光面に貼り付けられ、
受光素子16と一体的に形成されている。すなわち、例え
ばこの受光素子16は受光面が透明絶縁物で被覆されてお
り、ここに透明ガラスの表面に酸化チタン層を被覆形成
したものが貼り付けられて構成されている。そして上記
電極11と透明電極15との間には定電流源および電流計等
からなる電流供給回路17が挿入されている。さらに上記
受光素子16の一対の電極間には電源、光電流−電圧変換
用の抵抗および電圧計からなる出力測定回路18が挿入さ
れている。
回路図である。図において11は平面状の電極である。こ
の電極11は金属材料の表面を金メッキして構成されてい
る。この電極11上には発光素子12の一方のオーミック電
極13が接続される。この発光素子12の他方のオーミック
電極14には透明電極15が圧接される。この透明電極15は
発光素子12の発光波長を透過する、すなわち発光素子12
の発光波長に対して透明な材料、例えば酸化インジウ
ム、酸化スズ、酸化チタンのいずれか、もしくはこれら
を含む材料で構成されており、かつシリコンフォトダイ
オード等からなる受光素子16の受光面に貼り付けられ、
受光素子16と一体的に形成されている。すなわち、例え
ばこの受光素子16は受光面が透明絶縁物で被覆されてお
り、ここに透明ガラスの表面に酸化チタン層を被覆形成
したものが貼り付けられて構成されている。そして上記
電極11と透明電極15との間には定電流源および電流計等
からなる電流供給回路17が挿入されている。さらに上記
受光素子16の一対の電極間には電源、光電流−電圧変換
用の抵抗および電圧計からなる出力測定回路18が挿入さ
れている。
また、上記透明電極15が一体形成された受光素子16は図
示しない移動機構により図中の上下方向に移動が可能に
されており、この移動機構により受光素子16が下降する
ことによって、上記透明電極15が発光素子12の他方のオ
ーミック電極14に圧接されるようになっている。
示しない移動機構により図中の上下方向に移動が可能に
されており、この移動機構により受光素子16が下降する
ことによって、上記透明電極15が発光素子12の他方のオ
ーミック電極14に圧接されるようになっている。
このような構成によれば、発光素子12の発光出力の測定
を行なう際、受光素子16は透明電極15を介して発光素子
12と接触するので、受光素子16と発光素子12との間の間
隙は数ミリ、例えば3ミリ程度にできる。また、受光素
子16と発光素子12との間には従来のような光遮蔽物が存
在しないので、発光素子12の発光出力の大部分を受光素
子16に入射させることができる。このため、従来装置に
おいて受光素子の入射率が約5%ないし10%であったの
に比べ、上記実施例装置では約50%ないし70%に向上し
た。この結果、発光素子12の発光出力を正確に測定する
ことができ、測定精度の大幅な向上を達成することがで
きる。
を行なう際、受光素子16は透明電極15を介して発光素子
12と接触するので、受光素子16と発光素子12との間の間
隙は数ミリ、例えば3ミリ程度にできる。また、受光素
子16と発光素子12との間には従来のような光遮蔽物が存
在しないので、発光素子12の発光出力の大部分を受光素
子16に入射させることができる。このため、従来装置に
おいて受光素子の入射率が約5%ないし10%であったの
に比べ、上記実施例装置では約50%ないし70%に向上し
た。この結果、発光素子12の発光出力を正確に測定する
ことができ、測定精度の大幅な向上を達成することがで
きる。
なお、透明電極15の光透過率が低いような場合には、予
め出力測定回路18で補正係数を設定しておけばよい。さ
らに透明電極15の構成材料、形成方法、各部の位置関係
等は上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形
が可能であることはいうまでもない。
め出力測定回路18で補正係数を設定しておけばよい。さ
らに透明電極15の構成材料、形成方法、各部の位置関係
等は上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形
が可能であることはいうまでもない。
[発明の効果] 以上説明したようにこの発明によれば、半導体発光素子
の発光出力を正確に測定することができる半導体発光素
子の発光出力測定装置を提供することができる。
の発光出力を正確に測定することができる半導体発光素
子の発光出力測定装置を提供することができる。
第1図はこの発明に係る測定装置の概略的な構成を示す
回路図、第2図は従来装置の回路図である。 11…平面状の電極、12…半導体発光素子、13,14…オー
ミック電極、15…透明電極、16…受光素子、17…電流供
給回路、18…出力測定回路。
回路図、第2図は従来装置の回路図である。 11…平面状の電極、12…半導体発光素子、13,14…オー
ミック電極、15…透明電極、16…受光素子、17…電流供
給回路、18…出力測定回路。
Claims (2)
- 【請求項1】半導体発光素子の発光面に圧接するように
設けられ、かつこの発光面と対向する表面に、半導体発
光素子の発光波長を透過する材料で構成され、半導体発
光素子に対して動作電流を供給するための外部電極が貼
り付けられた受光素子を具備したことを特徴とする半導
体発光素子の発光出力測定装置。 - 【請求項2】前記外部電極が酸化インジウム、酸化ス
ズ、酸化チタンのいずれか、もしくはこれらを含む材料
で構成されている特許請求の範囲第1項に記載の半導体
発光素子の発光出力測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18923485A JPH0691284B2 (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 半導体発光素子の発光出力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18923485A JPH0691284B2 (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 半導体発光素子の発光出力測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6248085A JPS6248085A (ja) | 1987-03-02 |
JPH0691284B2 true JPH0691284B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=16237845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18923485A Expired - Fee Related JPH0691284B2 (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 半導体発光素子の発光出力測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0691284B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005098460A2 (en) * | 2004-04-01 | 2005-10-20 | Wentworth Laboratories, Inc. | Double side probing of semiconductor devices |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5942666Y2 (ja) * | 1977-07-16 | 1984-12-14 | サンケン電気株式会社 | 発光素子用測光装置 |
JPS58105581A (ja) * | 1981-12-17 | 1983-06-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体光結合装置 |
-
1985
- 1985-08-28 JP JP18923485A patent/JPH0691284B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6248085A (ja) | 1987-03-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |