JPS6248085A - 半導体発光素子の発光出力測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は半導体発光素子の発光出力測定装置に関する
。

［発明の技術的背景］ 発光ダイオード等の半導体発光素子は、製造後に発光出
力が測定され、このａｌ１１定結果に応じて良品、不良
品に選別されたり、発光レベル毎に分類される。このよ
うなｉｕ＋＋定に使用される従来の発光出力測定装置の
概略的な回路構成を第２図に示す。

この従来装置を使用した測定方法は、平面状の電極２１
上に発光素子２２の一方のオーミック電極２３を接触さ
せ、さらに針状の電極２４を発光索子２２の他方のオー
ミック電極２５に圧接させ、平面状の電極２１と針状の
電極２４との間に電流供給回路２６を挿入して発光素子
２２に一定電流を印加し、また、大面積のフォトダイオ
ード等からなる受光素子２７を前記針状の電極２４の上
方に配置し、ここで発光索子２２の発光を受けて光電変
換し、出力測定回路２８の電圧計等で表示させるという
ものである。

［背景技術の問題点］ 従来の装置において、発光索子２２と受光索子２７との
間の距離は、針状の電極２４を配置するスペースを確保
するため、通常では数十ミリ以上とる必要かある。この
ため、受光面積が有限な受光索子２７では発光索子２２
のごく一部の発光出力のみを検出することになる。また
従来、針状の電極２４は光を透過しない材料で＋＋Ｘ１
成されているため、この電極２４は発光素子２２の発光
を一部遮断することになる。このため、従来の測定装置
では発光素子２２の発光出力を正確に測定することが困
難となる欠点がある。

［発明の目的］ この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
ありその目的は、半導体発光素子の発光出力をできるた
け正確にΔＩ１１定することができる半導体発光素子の
発光出力測定装置を提供することにある。

［発明のＬＥ要］ 上記目的を達成するためこの発明にあっては、半導体発
光素子に動作電流を供給するための二つ以上の外部電極
のうち、受光素子側のものを発光素子の発光波長に対し
て透明な材料で構成し、受光素子と発光素子との間の遮
光物を除去するとともに、両者の間隙をできる限り小さ
くすることによって発光出力の大部分を受光素子に入射
させることを可能とし、これにより測定の精度の向上を
達成するようにしている。

［発明の実施例コ 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。

第１図はこの発明の一実施例装置の概略的な構成を示す
回路図である。図において１１は平面状の電極である。

この電極ＩＩは金属材料の表面を金メッキ１て構成され
ている。この電極ｌｌ上には発光索子１２の一方のオー
ミック電極１３が接続される。

この発光素子１２の他方のオーミック電極１４には透明
電極１５が圧接される。この透明電極１５は発光素子１
２の発光波長を透過する、すなわち発光素子１２の発光
波長に対して透明な材料、例えば酸化インジューム、酸
化スズ、酸化チタンのいずれか、もしくはこれらを含む
材料で構成されており、かつシリコンフォトダイオード
等からなる受光素子１６の受光面に貼り付けられ、受光
素子１６と一体的に形成されている。すなわち、例えば
この受光素子１Ｇは受光面が透明絶縁物で被覆されてお
り、ここに透明ガラスの表面に酸化チタン層を被覆形成
したものが貼り付けられて構成されている。そして上記
電極１１と透明電極１５との間には定電流源および電流
計等からなる電流供給回路１７が挿入されている。さら
に上記受光素子１６の一対の電極間には電源、光電流−
電圧変換用の抵抗および電圧計からなる出力ａｌｌｌ回
定１８が挿入されている。

また、上記透明電極１５が一体形成された受光素子１６
は図示しない移動機構により図中の」−下方向に移動が
可能にされており、この移動機構により受光素子１６か
下降することによって、上記透明電極１５が発光素子１
２の他方のオーミック電極１４に圧接されるようになっ
ている。

このような構成によれば、発光素子１２の発光出力の測
定を行なう際、受光素子１６は透明電極１５を介して発
光素子１２と接触するので、受光素子１６と発光索子１
２との間の間隙は数ミリ、例えば３ミリ程度にてきる。

また、受光素子１６と発光素子１２との間には従来のよ
うな光遮蔽物が存在しないので、発光索子１２の発光出
力の大部分を受光素子１６に入射させることができる。

このため、従来装置において受光素子の入射率が約５％
ないし１０９６であったのに比べ、上記実施例装置では
約５０％ないし７０％に向上した。この結果、発光索子
１２の発光出力を正確に測定することができ、ｉ’１ｌ
１１定精度の大幅な向上を達成することかできる。

なお、透明電極１５の光透過率が低いような場合には、
予め出力測定回路１８で補正係数を設定しておけばよい
。さらに透明電極１５の構成材料、形成方法、各部の位
置関係等は上記実施例に限定されるものではなく、種々
の変形が可能であることはいうまでもない。

［発明の効果］ 以上説明したようにこの発明によれば、半導体発光素子
の発光出力を正確に測定することかできる半導体発光素
子の発光出カフｌ１ｌｌ定装置を提供することかできる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る測定装置の概略的な構成を示す
回路図、第２図は従来装置の回路図である。 １１・・平面状の電極、１２・・・半導体発光素子、１
３゜１４・・・オーミック電極、１５・・・透明電極、
１６・・・受光素子、１７・・・電流供給回路、１８・
・・出力Ａｌ１１定回路。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第　１　閣 第２０

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体発光素子の電極と接触するように配置され
   半導体発光素子に動作電流を供給するための二つ以上の
   外部電極と、上記半導体発光素子の発光出力を検出する
   受光素子とを備え、少なくとも一つの外部電極を上記半
   導体発光素子の発光波長を透過する材料で構成したこと
   を特徴とする半導体発光素子の発光出力測定装置。
2. （２）前記少なくとも一つの外部電極が酸化インジュー
   ム、酸化スズ、酸化チタンのいずれか、もしくはこれら
   を含む材料で構成された特許請求の範囲第１項に記載の
   半導体発光素子の発光出力測定装置。