JPH0690221B2 - 電子部品の検査のためのプローブ - Google Patents

電子部品の検査のためのプローブ

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JPH0690221B2
JPH0690221B2 JP63130065A JP13006588A JPH0690221B2 JP H0690221 B2 JPH0690221 B2 JP H0690221B2 JP 63130065 A JP63130065 A JP 63130065A JP 13006588 A JP13006588 A JP 13006588A JP H0690221 B2 JPH0690221 B2 JP H0690221B2
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JP
Japan
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probe
wire
guide plate
contact
support plate
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JP63130065A
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JPS6428565A (en
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ウォールター・フェルプス・カーン
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Teradyne Inc
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Teradyne Inc
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
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    • G01R1/067—Measuring probes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は電子部品の検査ためのプローブに関する。
発明の背景 本発明者による米国特許第4214201号は軸方向の、外側
の２点と中間の点との間のセグメントの長さが等しいよ
うな３点に電子部品のリード線を接触させるための３つ
のチップを有するプローブを開示している。３つの接点
はプラスチック支持体の凹溝内に支持され、凹溝から突
出した弾性の屈曲した接点端部を有している。接点の内
の２つはＬ形の捩りばね接点素子であり、Ｌ字の接触す
る端側脚部は停止位置と作動位置との間で軸に垂直な平
面内で移動可能で移動時に先端の間隔を維持するように
してある。
発明の概略 貫通する孔を有しワイヤの先端部がプローブ面から突出
するようにワイヤを孔内に位置決めする絶縁体のガイド
板を用いることによって、電子部品のリード線を電気的
に接触させるためのプローブに先端部の間の正確な間隔
が与えられることが見出された。かくして先端の位置決
めはガイド板内の孔の位置によって正確に維持され、ワ
イヤの屈曲によらない。
好ましい実施例において３本のワイヤがあり、ガイド板
は２つの外側の先端部と中心の先端部との間に等しい長
さのセグメントをなすように軸方向に間隔をおいた３つ
の孔を有している。ガイド板は平板であり、その下側に
支持板があり、ワイヤはこの両者の間に挾持されてい
る。支持板は絶縁性材料で形成され、ワイヤがはんだ付
けされる導体パッドを取付けている。ガイド板及び支持
板は先端部が突出しているガイド板の面に垂直な接点の
軸の方向に可撓性を与えるガラスを充填したエポキシの
ボードで形成されている。ワイヤはタングステンのワイ
ヤである。
本発明の他の特徴及び利点は以下の好ましい実施例の説
明から明らかとなろう。
構 造 第１〜３図を参照すると、ガイド板12（商品番号G10で
市販されている0.38mm（0.015インチ）の厚さのガラス
を充填したエポキシのボード）、支持板14（1.57m（0.0
62インチ）の厚さのG10の材料）、それらの間に挾持さ
れそれぞれガイド板12を通って孔28、30、32から出てい
る接点先端部22、24、26を有する直径0.5mm（0.020イン
チ）のタングステン・ワイヤ16、18、20（G.E.合金21
8）を含むプローブ10が示されている。ガイド板12及び
支持板14は孔38を通るねじ（図示せず）によってカバー
34と台板３との間に取付けられている。孔28、30、32は
直径0.5mm（0.020インチ）であり、0.76±0.025mm（0.0
30±0.001インチ）の中心間距離だけ軸方向に間隔をお
いている。先端部22、24、26は0.64±0.025mm（0.025±
0.005−0.0001インチ）だけガイド板12の上側プローブ
面42の上方に突出している。先端部は接触及び反復性を
改善するように尖端に向かってテーパ状になっている。
ワイヤ16、18、20は支持板14の上面で導体パッド44、4
6、48にはんだ付けされ、孔28、30、32に入る箇所で直
角の屈曲部を有している。ワイヤ18、20はまた他のワイ
ヤとの電気的接触を避けるためにそれぞれの孔の近くに
迂回部50、52を有している。
作 動 プローブ10の作動は概略的に前述の米国特許に示されて
いるのと同様である。接点先端部22,24,26,は、操作者
の扱うプローブ10によりカバー34及び台板36の近傍で被
検査IC回路のリード線に押当てられる。ガイド板12及び
支持板14はわずかに屈撓し、尖鋭なタングステン合金の
接触先端部がリード線内に食込んでリード線との良好な
電気的接触がなされる。孔28、30、32は測定の際に先端
部が正確に位置決めされ正確に間隔をおくように保持し
て反復性を改善する。ワイヤ16、18、20を導体パッド4
4、46、48にはんだ付けすることによりそれらが固着さ
れる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明によるプローブの破断した概略的な垂直
断面図である。 第２図は第１図のガイド板の平面図である。 第３図は第１図の支持板及び取付けられたワイヤの平面
図である。 10……プローブ、12……ガイド板、 14……支持板、16、18、20……ワイヤ、 22、24、26……接点先端部、 28、30、32……孔。42……プローブ面。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】電子部品のリード線に沿って相互に間隔を
    おいた、複数の接点先端部の間に所望の長さのセグメン
    トをなすように上記接点先端部に上記リード線を電気的
    に接触させるためのプローブにおいて、上記リード線に
    近接した位置に搬入されるようにプローブ面を有するガ
    イド板であって上記プローブ面から他の面まで貫通する
    孔を有する絶縁性のガイド板と、上記孔内に配置され上
    記プローブ面から突出する接点先端部を有するワイヤと
    を備え、上記孔がこれから突出する上記ワイヤの接点先
    端部の間に所望の距離をなすような上記プローブ面上の
    位置にあり、上記接点先端部が上記所望の距離だけ相互
    に間隔をおくようにするとともに、上記プローブ面が平
    坦であり、上記他の面が上記プローブ面に平行な平坦な
    面であり、さらに、上記ガイド板に取付けられる支持板
    を有し、上記ワイヤが上記支持板の他の面と上記ガイド
    板の対向する面との間に挾持され、上記孔が上記他の面
    で終端となる箇所で上記ワイヤが屈曲していること、お
    よび上記支持板が絶縁性材料で形成され上記対向する面
    に導体パッドを取付けてあり、上記ワイヤが上記導体パ
    ッドにはんだ付けされており、さらに、上記ガイド板の
    プローブ面は上記接点先端部から間隔をおいた位置で保
    持された状態で上記プローブ面に垂直な接点の軸線の方
    向に可撓性をもって移動し得るように構成されたことを
    特徴とするプローブ。
  2. 【請求項２】前記ワイヤがタングステンを含有すること
    を特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  3. 【請求項３】上記ガイド板及び支持板がガラスを充填し
    たエポキシ・ボードで形成されることを特徴とする請求
    項１に記載のプローブ。
JP63130065A 1987-05-29 1988-05-27 電子部品の検査のためのプローブ Expired - Lifetime JPH0690221B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/056,102 US4812745A (en) 1987-05-29 1987-05-29 Probe for testing electronic components
US56102 1993-05-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6428565A JPS6428565A (en) 1989-01-31
JPH0690221B2 true JPH0690221B2 (ja) 1994-11-14

Family

ID=22002159

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63130065A Expired - Lifetime JPH0690221B2 (ja) 1987-05-29 1988-05-27 電子部品の検査のためのプローブ

Country Status (6)

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US (1) US4812745A (ja)
JP (1) JPH0690221B2 (ja)
CA (1) CA1284181C (ja)
DE (1) DE3818119A1 (ja)
FR (1) FR2615955B1 (ja)
GB (1) GB2207301B (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0367178A (ja) * 1989-08-07 1991-03-22 Giga Puroobu Kk プローブカード
US5066907A (en) * 1990-02-06 1991-11-19 Cerprobe Corporation Probe system for device and circuit testing
US20030048108A1 (en) * 1993-04-30 2003-03-13 Beaman Brian Samuel Structural design and processes to control probe position accuracy in a wafer test probe assembly
US6037787A (en) * 1998-03-24 2000-03-14 Teradyne, Inc. High performance probe interface for automatic test equipment
WO2000074108A2 (en) * 1999-05-28 2000-12-07 Spire Technologies Pte Ltd. An interface device
US6789238B2 (en) 2002-07-02 2004-09-07 Texas Instruments Incorporated System and method to improve IC fabrication through selective fusing
JP2004215771A (ja) 2003-01-10 2004-08-05 Ykk Corp スライドファスナーの仕上装置
US9182425B2 (en) 2012-05-21 2015-11-10 Lenovo Enterprise Solutions (Singapore) Pte. Ltd. Probe supporting and aligning apparatus

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1129550B (de) * 1960-11-26 1962-05-17 Telefunken Patent Verfahren zum UEbermitteln von Kriterien fuer das Einstellen einander zugeordneter Waehleinrichtungen in Fernmelde-, insbesondere Fernsprechanlagen mit Vorfeldeinrichtungen
US3445770A (en) * 1965-12-27 1969-05-20 Philco Ford Corp Microelectronic test probe with defect marker access
US3361865A (en) * 1965-12-27 1968-01-02 Ibm Coaxial micro probe
US3493858A (en) * 1966-01-14 1970-02-03 Ibm Inflatable probe apparatus for uniformly contacting and testing microcircuits
GB1080941A (en) * 1966-04-07 1967-08-31 Standard Telephones Cables Ltd Probe
US3445766A (en) * 1966-05-16 1969-05-20 Edward G Valliere Electrical probe device having a plurality of adjustable contacting elements for testing transistors and the like
US3684960A (en) * 1969-05-15 1972-08-15 Ibm Probe and guide assembly for testing printed circuit cards
US3731191A (en) * 1969-12-22 1973-05-01 Ibm Micro-miniature probe assembly
US3911361A (en) * 1974-06-28 1975-10-07 Ibm Coaxial array space transformer
JPS5170456A (ja) * 1974-12-16 1976-06-18 Seiko Instr & Electronics Puroobaa
US4035722A (en) * 1975-03-17 1977-07-12 Anatoly Leonidovich Ryabov Multiprobe head for checking electrical parameters of semiconductor instruments and microcircuits
US4214201A (en) * 1978-02-24 1980-07-22 Teradyne, Inc. Integrated circuit testing probe
US4523144A (en) * 1980-05-27 1985-06-11 Japan Electronic Materials Corp. Complex probe card for testing a semiconductor wafer
EP0068986A1 (en) * 1981-06-23 1983-01-05 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION Two-part contact probe assembly
US4491788A (en) * 1981-07-27 1985-01-01 Tektronix, Inc. Miniature electrical probe
JPS58148935U (ja) * 1982-03-31 1983-10-06 日本電子材料株式会社 プロ−ブカ−ド
JPS58173841A (ja) * 1982-04-03 1983-10-12 Nippon Denshi Zairyo Kk プロ−ブカ−ド
JPS58168137U (ja) * 1982-05-06 1983-11-09 長谷川　義栄 固定プロ−ブ・ボ−ド
GB2157507A (en) * 1984-04-11 1985-10-23 Standard Telephones Cables Ltd Testing apparatus for printed circuit boards
JPS62276846A (ja) * 1986-05-26 1987-12-01 Hitachi Ltd プロ−ブ装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE3818119C2 (ja) 1992-04-23
FR2615955A1 (fr) 1988-12-02
GB8812484D0 (en) 1988-06-29
CA1284181C (en) 1991-05-14
JPS6428565A (en) 1989-01-31
GB2207301A (en) 1989-01-25
FR2615955B1 (fr) 1992-07-24
US4812745A (en) 1989-03-14
DE3818119A1 (de) 1988-12-08
GB2207301B (en) 1991-02-06

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