JPH0685001U - 脱気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】減圧下の密封槽内で液体の脱気時に発生する泡
を減圧手段に吸入させず、液体にして回収できる脱気装
置を提供する。 【構成】第１密封槽６に減圧手段７を設け、密封槽６、
減圧手段７間に第２密封槽８を設ける。液体４を密封槽
６に導入する液体導入手段１１を設ける。液体４を排出
する液体排出手段１５を設ける。消泡手段は密封槽８内
を減圧解除する減圧解除手段ＳＶ５である。密封槽６に
液体４を導入、排出する液体導入排出制御手段２３を設
け、密封槽６，８内の減圧を制御する圧力制御手段２４
を設ける。圧力制御手段２４で密封槽６，８内を減圧し
て液体導入排出制御手段２３で密封槽６に液体４を導入
し、泡が密封槽８内に吸引されたら圧力制御手段２４で
密封槽８内を減圧解除して消泡する。圧力制御手段２４
で密封槽６を減圧解除して液体導入排出制御手段２３で
液体４を排出する。液体４を回収する液体回収手段１８
を設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、液体を減圧された密封槽内に導入することにより該液体の溶存気体 を該密封槽内の空間に放出させて脱気する脱気装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

超音波洗浄装置等の各種洗浄装置に使用する洗浄液、リンス水等を脱気して、 超音波洗浄の効率を向上したり、ワークの発錆を防止するために使用される脱気 装置が知られている。

【０００３】 従来、前記脱気装置として、複数の中空糸状気体分離膜を収容してなるモジュ ールが一般に使用されている。前記脱気装置は、前記モジュールに収容された中 空糸状気体分離膜内部に脱気される液体を流通するとともに、前記モジュールの 外周部を減圧して中空糸状気体分離膜の内外に気圧差を設けることにより、前記 液体中の溶存気体を中空糸状気体分離膜を介して外部に放出させるものである。

【０００４】 ところが、前記中空糸状気体分離膜は、前記洗浄液に含まれる界面活性剤、高 級アルコール等によって劣化されることがあり、寿命が短いとの問題がある。

【０００５】 そこで、本考案者は前記問題について検討を重ねた結果、脱気される液体を減 圧された密封槽内に導入することにより前記液体中の溶存気体を前記密封槽内の 空間に放出させて容易に脱気できることを見い出し、このような脱気装置につい ては既に実用新案登録出願及び特許出願をしている（実開平４−１２２６８５号 公報、特願平４−２５１６８０号明細書参照）。このような脱気装置によれば、 気体分離膜を用いる脱気装置のように洗浄液により劣化されることがないので、 洗浄液の種類、含有物質に係わりなく使用でき、効率よく脱気することができる 。

【０００６】 しかしながら、前記脱気装置では減圧された密封槽に脱気される液体を導入す ると、前記液体中の溶存気体が気化して微細な気泡となって前記密封層内の空間 に放出されるため、前記液体の液面で泡を発生し、この泡が前記密封槽内に充満 すると、前記密封槽に設けられた真空ポンプ等の減圧手段に吸入されて故障の原 因となるという不都合がある。また、前記液体が、界面活性剤、高級アルコール を含んでいたり、第３石油類等の炭化水素系有機溶剤であるときには、前記泡が 水封式真空ポンプに吸入されて冷却水とともに排出されると、廃水が激しく発泡 したり、有機物によりＢＯＤが高くなって環境を汚染する虞れがある。さらに、 高級アルコールまたは炭化水素系有機溶剤が排出されると引火する虞れがある。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、かかる不都合を解消して、液体を減圧された密封槽内に導入するこ とにより該液体の溶存気体を該密封槽内の空間に放出させて脱気する脱気装置に おいて、該液体が脱気される際に発生する泡の減圧手段による吸入を防止するこ とができる脱気装置を提供することを目的とする。また、本考案は前記泡が消滅 して生じる液体を回収することができる脱気装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

かかる目的を達成するために、本考案の脱気装置は液体を減圧された密封槽内 に導入することにより該液体の溶存気体を該密封槽内の空間に放出させて脱気す る脱気装置であって、脱気される液体が導入される第１の密封槽に該槽内を減圧 する減圧手段を設け、該第１の密封槽と該減圧手段との間に第１の密封槽と独立 に第２の密封槽を設け、第１及び第２の密封槽内が該減圧手段により減圧された ときに該液体を第１の密封槽内に導入する液体導入手段を設け、該減圧手段によ り減圧された第１の密封槽内で脱気された液体を排出する液体排出手段を設け、 該液体が第１の密封槽内で脱気された際に生じる泡が該減圧手段により第２の密 封槽内に吸引されたときに第２の密封槽内の泡を消滅させる消泡手段を設けてな ることを特徴とする。

【０００９】 また、本考案の脱気装置は、前記消泡手段は、前記泡が前記減圧手段により第 ２の密封槽内に吸引されたときに、第２の密封槽内の減圧を解除して前記泡を消 滅させる減圧解除手段であることを特徴とする。

【００１０】 本考案の脱気装置は、前記消泡手段が前記減圧解除手段であるときには、前記 第１の密封槽に前記液体を導入し、脱気された液体を第１の密封槽から排出する 液体導入排出制御手段を設け、前記第１及び第２の密封槽内の減圧状態を制御す る圧力制御手段を設け、該圧力制御手段により第１及び第２の両密封槽内を減圧 して該液体導入排出制御手段により第１の密封槽に前記液体を導入し、前記液体 が第１の密封槽内で脱気された際に生じる泡が第２の密封槽内に吸引されたとき に該圧力制御手段により第２の密封槽を第１の密封槽と独立させて前記減圧解除 手段により第２の密封槽内の減圧を解除して泡を消滅させ、泡の消滅後に該圧力 制御手段により第１の密封槽の減圧を解除して該液体導入排出制御手段により第 １の密封槽から前記脱気された液体を排出することを特徴とする。

【００１１】 さらに、本考案の脱気装置は、前記第２の密封槽に、前記泡が前記消泡手段に より消滅されて生じる液体を回収する液体回収手段を設けてなる。

【００１２】

【作用】

本考案の脱気装置によれば、まず、前記減圧手段により第１及び第２の密封槽 が減圧され、前記液体導入手段により脱気される液体が第１の密封槽に導入され る。すると、前記液体中の溶存気体が気化して微細な気泡になって前記第１の密 封槽中の空間に放出される。この結果、前記液体は脱気されるが、前記第１の密 封槽中の空間には前記気泡から発生した泡が充満する。

【００１３】 このとき、第１の密封槽と前記減圧手段の間には第２の密封槽が介在している ので、前記泡は前記減圧手段により前記第２の密封槽内に吸引され、該槽内で前 記消泡手段により消滅させられる。従って、前記泡は前記減圧手段に吸入される ことがない。

【００１４】 本考案の脱気装置では、前記消泡手段として前記減圧解除手段を用い、前記泡 が前記第２の密封槽に吸引されたときに第２の密封槽内の減圧を解除して第２の 密封槽内の気圧を常圧に戻すことにより、減圧下で泡となっていた液体成分が一 瞬にして液状に戻される。

【００１５】 本考案の脱気装置では、前記第１の密封槽における前記液体の導入及び脱気、 脱気された液体の排出と、第２の密封槽における消泡との諸動作を手動により行 ってもよいが、前記消泡手段が前記減圧解除手段であるときには、前記第１の密 封槽に前記液体を導入し、脱気された液体を第１の密封槽から排出する液体導入 排出制御手段を設けると共に、前記第１及び第２の密封槽内の減圧状態を制御す る圧力制御手段を設けることにより、第１の密封槽における前記液体の導入及び 脱気、脱気された液体の排出、第２の密封槽における消泡がタイミングよく行わ れる。

【００１６】 即ち、まず、前記圧力制御手段により第１及び第２の両密封槽内を減圧して前 記液体導入排出制御手段により第１の密封槽に前記液体が導入される。そして、 前記のように第１の密封槽内で前記液体が脱気されると共に、脱気時に発生した 泡が第２の密封槽に吸引される。

【００１７】 次に、前記泡が第２の密封槽内に吸引されたときに、前記圧力制御手段により 第２の密封槽を第１の密封槽と独立させて前記減圧解除手段により第２の密封槽 内の減圧を解除して泡を消滅させる。このとき第２の密封槽は第１の密封槽と独 立しているので、前記減圧解除手段による減圧の解除は第２の密封槽に対してだ け行われ、第１の密封槽では減圧が維持されるので前記液体の脱気には何ら影響 がない。

【００１８】 次に、前記泡の消滅後に前記圧力制御手段により第１の密封槽の減圧を解除し て、前記液体導入排出制御手段により第１の密封槽から前記脱気された液体を排 出する。

【００１９】 さらに、本考案の脱気装置では、前記第２の密封槽に前記泡が前記消泡手段に より消滅されて生じる液体を回収する液体回収手段を設けることにより、該液体 が廃水に混入する虞れがなく、環境汚染が防止される。

【００２０】

【実施例】

次に、添付の図面を参照しながら本考案の脱気装置についてさらに詳しく説明 する。図１は本実施例の脱気装置の概略を示す説明図であり、図２は図１示の制 御装置の構成を示すブロック図、図３は本実施例の脱気装置の作動を示すフロー チャートである。

【００２１】 図１に示すように、本実施例の脱気装置１は、底部に超音波振動子２を備える 超音波洗浄槽３に供給された洗浄水４にワークＷを浸漬し、超音波振動子２から 洗浄水４に超音波を放射することにより前記ワークＷを洗浄する超音波洗浄装置 ５に接続され、洗浄水４を脱気するために使用されるものである。

【００２２】 脱気装置１は、洗浄水４が導入される第１密封槽６、減圧手段としての水封式 真空ポンプ７、第１密封槽６と水封式真空ポンプ７との間に設けられた第２密封 槽８からなり、第１密封槽６の上部と第２密封槽８の下部とは減圧用導管９ａに より電磁弁ＳＶ１を介して接続されており、また第２密封槽８の上部と水封式真 空ポンプ７とは減圧用導管９ｂにより電磁弁ＳＶ２を介して接続されている。水 封式真空ポンプ７には冷却水を供給する冷却水供給導管１０ａ、冷却水を排出す る冷却水排出導管１０ｂが接続されている。

【００２３】 第１密封槽６の上部には、第１密封槽６及び第２密封槽８の内部が水封式真空 ポンプ７により減圧されたときに洗浄水４を第１密封槽６内に導入する液体導入 手段として洗浄水導入導管１１が電磁弁ＳＶ３を介して接続されている。洗浄水 導入導管１１は、超音波洗浄槽３の側面に設けられた洗浄水取出し口１２と第１ 密封槽６とを接続するもので、その途中には洗浄水取出し口１２から洗浄水４を 取出して第１密封槽６内に導入する洗浄水導入ポンプ１３が設けられ、洗浄水導 入ポンプ１３の下流側に洗浄水４に含まれる異物を濾別するためのフィルター１ ４が設けられている。

【００２４】 また、第１密封槽６の底部には、第１密封槽６内で脱気された洗浄水４を排出 する排出手段として洗浄水排出導管１５が、電磁弁ＳＶ４を介して接続されてい る。洗浄水排出導管１５は、第１密封槽６と超音波洗浄槽３の側面に洗浄水取出 し口１２に相対向して設けられた洗浄水供給口１６とを接続するもので、その途 中には第１密封槽６から脱気された洗浄水４を排出する洗浄水排出ポンプ１７が 設けられている。脱気された洗浄水４は、洗浄水排出導管１５により洗浄水供給 口１６から超音波洗浄槽３に供給される。

【００２５】 第２密封槽８の天井部には、洗浄水４が第１密封槽６内で脱気されるときに生 じる泡が水封式真空ポンプ７により第２密封槽８内に吸引されたときに、該泡を 消滅させる消泡手段として電磁弁ＳＶ５が設けられている。電磁弁ＳＶ５は大気 開放弁であり、前記泡が第２密封槽８内に吸引されたときに開放されて、第２密 封槽８内の減圧を解除し、前記泡を消滅させるようになっている。

【００２６】 また、第２密封槽８の底部には、電磁弁ＳＶ５により該第２密封槽８内の減圧 が解除されたときに前記泡が消滅させられて生じる液体（洗浄水）４を回収する 液体回収手段として洗浄水回収導管１８が、電磁弁ＳＶ６を介して接続されてい る。洗浄水回収導管１８は、洗浄水排出ポンプ１７を介してその上流側の洗浄水 排出導管１５に接続されている。

【００２７】 第１密封槽６の外側面には第１密封槽６内の洗浄水４の水位を検知するレベル センサ１９が設けられ、第１密封槽６内で予め定められた洗浄水４の液面の上限 位置Ｈｗ及び下限位置Ｌｗ₁ をフロートの上下により検知するようになっている 。また、第２密封槽８の外側面には第２密封槽８内に吸引された泡及び該泡が消 滅して生じる液体（洗浄水）４の液面を検知するレベルセンサ２０が設けられ、 第２密封槽８内で減圧用導管９ｂの取付部の下方に設定された泡の上限位置Ｈｂ 及び減圧用導管９ａの取付部の下方に設定された前記泡が消滅して生じる洗浄液 ４の液面の下限位置Ｌｗ₂ をフロートの上下により検知するようになっている。

【００２８】 そして、電磁弁ＳＶ１〜ＳＶ６及びレベルセンサ１９，２０は、制御装置２１ に電気的に接続されている。制御装置２１は、図２に示すように、主制御装置２ ２と、主制御装置２２に接続されている液体導入排出制御装置２３及び圧力制御 装置２４とからなり、レベルセンサ１９，２０が主制御装置２２に、液体導入排 出制御装置２３が電磁弁ＳＶ３，ＳＶ４，ＳＶ６に、圧力制御装置２４が電磁弁 ＳＶ１，ＳＶ２，ＳＶ５にそれぞれ接続されている。

【００２９】 尚、洗浄水導入導管１１にはフィルター１４の下流側で分岐するバイパス導管 ２５が設けられており、バイパス導管２５は流量調整弁２６ａを介して洗浄水供 給口１６に接続されている。また、洗浄水導入導管１１には洗浄水導入ポンプ１ ３の上流側にストレーナー２７が設けられているとともに、フィルター１４の前 後に流量調整弁２６ｂ，２６ｃが設けられている。また、洗浄水排出導管１５に は、流量調整弁２６ｄ及び逆止弁２８が設けられており、洗浄水４が超音波洗浄 槽３から洗浄水排出導管１５に逆流しないようになっている。

【００３０】 次に、本実施例の脱気装置１の作動について、図３のフローチャートを参照し ながら説明する。

【００３１】 本実施例の脱気装置１は、作動されると、まず図３のステップ１に示すように 、主制御装置２２の指示に従って液体導入排出制御装置２３により電磁弁ＳＶ３ ，ＳＶ４，ＳＶ６が閉鎖され、次いでステップ２に示すように圧力制御装置２４ により電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２が開放されると共に電磁弁（大気開放弁）ＳＶ５が 閉鎖される。

【００３２】 前記状態で、図３のステップ３で水封式真空ポンプ７を作動することにより、 第１密封槽６及び第２密封槽８の内部が減圧される。このとき、超音波洗浄装置 ５では、洗浄水導入導管１１に設けられた電磁弁ＳＶ３が閉じられているので、 洗浄水４は超音波洗浄槽３の洗浄水取出し口１２から洗浄水導入ポンプ１３によ り取出されたバイパス導管２１を通じて洗浄水供給口１６に送給されて超音波洗 浄槽３に循環されており、脱気装置１には供給されていない。

【００３３】 次に、図３のステップ４で、主制御装置２２の指示に従って液体導入排出制御 装置２３により洗浄水導入導管１１に設けられた電磁弁ＳＶ３が開かれ、超音波 洗浄槽３の洗浄水取出し口１２から洗浄水導入ポンプ１３により取出された洗浄 水４が、洗浄水導入導管１１から第１密封槽６内に導入される。第１密封槽６の 内部は前記のように減圧されているので、導入された洗浄水４中の溶存気体は気 化して微細な気泡となり、この気泡が第１密封槽６内の空間に放出されることに より洗浄水４が脱気される。

【００３４】 ところが、前記気泡は洗浄水４の水面から第１密封槽６内の空間に放出される 際に泡を発生し、前記泡が第１密封槽６内に充満する。前記泡の発生は洗浄水４ が界面活性剤または高級アルコールを含んでいる場合に特に激しい。第１密封槽 ６内の空間に充満した泡は減圧用導管９ａにより吸引されるが、第１密封槽６と 水封式真空ポンプ７との間には第２密封槽８が設けられているので、前記泡は第 ２密封槽８内に止められ、水封式真空ポンプ７に直接吸引されることが防止され る。

【００３５】 第２密封槽８に設けられているレベルセンサ２０では、第２密封槽８内に吸引 された泡が水封式真空ポンプ７に吸引されないように、泡の上限位置Ｈｂが減圧 用導管９ｂの取付部の下方に設定されている。そこで、第２密封槽８内に吸引さ れた泡が上限位置Ｈｂに達したことがレベルセンサ２０により検知されると、図 ３のステップ５で主制御装置２２が第２密封槽８に泡が吸引されたものと判断し 、圧力制御装置２４に消泡を指示する。

【００３６】 前記指示を受けて、図３のステップ６で、圧力制御装置２４により電磁弁ＳＶ １，ＳＶ２が閉じられ、代わって電磁弁（大気開放弁）ＳＶ５が開かれる。電磁 弁ＳＶ１，ＳＶ２の閉鎖により、第２密封槽８は第１密封槽６及び真空ポンプ７ から独立されるので、電磁弁（大気開放弁）ＳＶ５の開放により第２密封槽８内 の減圧だけが解除され常圧に戻される。第２密封槽８内に吸引されている泡は、 前記のように減圧下で発生したものであるので、第２密封槽８の内部が常圧に戻 されると、泡の形態を維持することができず液体（洗浄水）４になって消滅する 。この結果、第２密封槽８の底部に前記泡が液化した洗浄水４が貯留される。

【００３７】 次に、図３のステップ７で、レベルセンサ２０により上限位置Ｈｂに前記泡が 検知されないと、主制御装置２２は前記泡が消滅したものと判断し、次いでステ ップ８で第１密封槽６内に導入されている洗浄水４の量を判断する。

【００３８】 ステップ８で、レベルセンサ１９により上限位置Ｈｗに前記洗浄水４が検知さ れないときには、主制御装置２２はまだ第１密封槽６内に洗浄水４を導入するこ とが可能であると判断し、圧力制御装置２４に再び第２密封槽８内を減圧にする よう指示する。前記指示を受けて、図３のステップ９で、圧力制御装置２４によ り電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２が開かれ、代わって電磁弁（大気開放弁）ＳＶ５が閉じ られる。

【００３９】 前記ステップ５〜７の消泡動作では第１密封槽６の減圧状態は維持されている ので、前記ステップ９の動作により再び第２密封槽８が第１密封槽６及び真空ポ ンプ７と連通されると、第１密封槽６及び第２密封槽８内部の減圧が速やかに回 復される。そして、第１密封槽６内の空間に発生した泡が第２密封槽８内に吸引 され、前記ステップ５〜７の泡の吸引、消滅の動作が繰り返される。第１密封槽 ６内に導入される洗浄水４の容積は前記第１密封槽６内の空間に発生する泡の容 積より遙かに小さいので、前記ステップ５〜７の消泡動作はステップ８で第１密 封槽６内で脱気された洗浄水４の水面が前記上限位置Ｈｗに達したことがレベル センサ１９により検知されるまで繰り返される。

【００４０】 次に、図３のステップ８で、脱気された洗浄水４の水面が前記上限位置Ｈｗに 達したことがレベルセンサ１９により検知されると、主制御装置２２は第１密封 槽６内での脱気が限界であると判断し、液体導入排出手段２３に脱気された洗浄 水４の排出を指示する。

【００４１】 前記指示を受けて、まず、ステップ１０で液体導入排出手段２３によりＳＶ３ が閉じられると共に電磁弁ＳＶ６が開かれる。このとき、第２密封槽８ではステ ップ５〜７の消泡動作の状態が維持されているので、電磁弁ＳＶ１，ＳＶ２が閉 じられ電磁弁（大気開放弁）ＳＶ５が開かれている。従って、第２密封槽８内の 減圧は解除されたままであり、電磁弁ＳＶ６の開放により第２密封槽８内で消泡 された液体に戻った洗浄水４が洗浄水排出ポンプ１７により第２密封槽８から排 出され、洗浄水回収導管１８及び洗浄水排出導管１５を通じて洗浄水供給口１６ から超音波洗浄槽３に供給され回収される。

【００４２】 次に、図３のステップ１１で第２密封槽８内の洗浄水４の水面が前記下限位置 Ｌｗ₂ に達したことがレベルセンサ２０により検知されると、ステップ１２で圧 力制御装置２４により電磁弁ＳＶ１が開放され、第１密封槽６が第２密封槽８と 連通される。第２密封槽８内の洗浄水４の水面の下限位置Ｌｗ₂ は減圧用導管９ ａの取付部の下方に設定されているので、電磁弁ＳＶ１の開放により第１密封槽 ６内の減圧が解除され、第２密封槽８同様に常圧に戻される。

【００４３】 次いで、ステップ１３で液体導入排出制御装置２３により電磁弁ＳＶ６が閉じ られ、代わって電磁弁ＳＶ４が開かれると、第１密封槽６内の脱気された洗浄水 ４が洗浄水排出ポンプ１７により排出され、洗浄水排出導管１５を通じて洗浄水 供給口１６から超音波洗浄槽３に供給される。

【００４４】 次に、図３のステップ１４で脱気された洗浄水４の水面が第１密封槽６内で前 記下限位置Ｌｗ₁ に達したことがレベルセンサ１９により検知されると、主制御 装置２２は脱気された洗浄水４の排出が完了したものと判断して、液体導入排出 手段２３及び圧力制御装置２４に第１密封槽６への洗浄水４の導入、脱気の再開 を指示する。

【００４５】 前記指示を受けて、まずステップ１５で液体導入排出手段２３により電磁弁Ｓ Ｖ４が閉じられ、次いでステップ１６で圧力制御装置により電磁弁（大気開放弁 ）ＳＶ５が閉じられると共に電磁弁ＳＶ２が開かれる。電磁弁ＳＶ１はステップ １２で開放されているので、ステップ１５，１６の動作により再び第１密封槽６ 及び第２密封槽８の内部が減圧される。そして、ステップ４以下の動作が繰り返 される。

【００４６】 尚、前記実施例では、第１密封槽６内で脱気された洗浄水４の水面が前記上限 位置Ｈｗに達したとき（ステップ８）に、第２密封槽内の洗浄水４を回収し（ス テップ１０〜１１）、次いで第１密封槽６内で脱気された洗浄水４を超音波洗浄 槽３に供給する（ステップ１２〜１４）ようにしているが、電磁弁（大気開放弁 ）ＳＶ５の開放により第２密封槽８内の減圧が解除され泡が消泡される毎に、第 ２密封槽内の洗浄水４を回収し、第１密封槽６内で脱気された洗浄水４を超音波 洗浄槽３に供給するようにしてもよい。このときには、図３のステップ７の後、 直ちにステップ１０以下の動作を行う。

【００４７】 また、電磁弁（大気開放弁）ＳＶ５の開放により第２密封槽８内の泡が消泡さ れて生じる洗浄水４が第２密封槽８の底部にある程度貯留された時点で、例えば 前記下限位置Ｌｗ₂ に達したことがレベルセンサ２０により検知されたときに、 第２密封槽内の洗浄水４を回収し、第１密封槽６内で脱気された洗浄水４を超音 波洗浄槽３に供給するようにしてもよい。

【００４８】

【考案の効果】

以上のことから明らかなように、本考案の脱気装置によれば、液体が脱気され る際に生じる泡が前記第２の密封槽内で前記消泡手段により消滅されるので、前 記減圧手段に吸入されることがなく、該泡の吸入による前記減圧手段の故障を防 止することができる。

【００４９】 また、本考案の脱気装置では、前記消泡手段として前記減圧解除手段を用いる ことにより、減圧下で泡となっていた成分を大気圧下で一瞬にして液体に戻して 前記泡を消滅させることができ、複雑な装置を用いることなく、短時間で容易に 消泡することができる。

【００５０】 本考案の脱気装置では、前記消泡手段が前記減圧解除手段であるときには、前 記第１の密封槽に前記液体を導入し、脱気された液体を第１の密封槽から排出す る液体導入排出制御手段を設けると共に、前記第１及び第２の密封槽内の減圧状 態を制御する圧力制御手段を設けることにより、第１の密封槽における前記液体 の導入及び脱気、脱気された液体の排出、第２の密封槽における消泡をタイミン グよく行うことができる。

【００５１】 さらに、本考案の脱気装置では、第２の密封槽に前記泡が前記消泡手段により 消滅されて生じる液体を回収する液体回収手段を設けることにより、該液体が廃 水に混入することを避けることができ、前記液体が界面活性剤や高級アルコール を含んでいたり、炭化水素系溶剤であるときにも、環境汚染を防止することがで きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係わる脱気装置の一構成例を示す説明
図。

【図２】図１示の脱気装置の制御装置の構成を示すブロ
ック図。

【図３】本考案に係わる脱気装置の一構成例の作動を示
すフローチャート。

【符号の説明】

１…脱気装置、 ４…液体、 ６…第１の密封槽、 ７
…減圧手段、８…第２の密封槽、 １１…液体導入手
段、 １５…液体排出手段、１８…液体回収手段、 ２
３…液体導入排出制御手段、２４…圧力制御手段、 Ｓ
Ｖ５…消泡手段（減圧解除手段）。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】液体を減圧された密封槽内に導入すること
   により該液体の溶存気体を該密封槽内の空間に放出させ
   て脱気する脱気装置であって、 脱気される液体が導入される第１の密封槽に該槽内を減
   圧する減圧手段を設け、該第１の密封槽と該減圧手段と
   の間に第１の密封槽と独立に第２の密封槽を設け、第１
   及び第２の密封槽内が該減圧手段により減圧されたとき
   に該液体を第１の密封槽内に導入する液体導入手段を設
   け、該減圧手段により減圧された第１の密封槽内で脱気
   された液体を排出する液体排出手段を設け、該液体が第
   １の密封槽内で脱気された際に生じる泡が該減圧手段に
   より第２の密封槽内に吸引されたときに第２の密封槽内
   の泡を消滅させる消泡手段を設けてなることを特徴とす
   る脱気装置。
2. 【請求項２】前記消泡手段は、前記泡が前記減圧手段に
   より第２の密封槽内に吸引されたときに、第２の密封槽
   内の減圧を解除して前記泡を消滅させる減圧解除手段で
   あることを特徴とする請求項１記載の脱気装置。
3. 【請求項３】前記第１の密封槽に前記液体を導入し、脱
   気された液体を第１の密封槽から排出する液体導入排出
   制御手段を設け、前記第１及び第２の密封槽内の減圧状
   態を制御する圧力制御手段を設け、 該圧力制御手段により第１及び第２の両密封槽内を減圧
   して該液体導入排出制御手段により第１の密封槽に前記
   液体を導入し、 前記液体が第１の密封槽内で脱気された際に生じる泡が
   第２の密封槽内に吸引されたときに該圧力制御手段によ
   り第２の密封槽を第１の密封槽と独立させて前記減圧解
   除手段により第２の密封槽内の減圧を解除して泡を消滅
   させ、 泡の消滅後に該圧力制御手段により第１の密封槽の減圧
   を解除して該液体導入排出制御手段により第１の密封槽
   から前記脱気された液体を排出することを特徴とする請
   求項２記載の脱気装置。
4. 【請求項４】前記第２の密封槽に、前記泡が前記消泡手
   段により消滅されて生じる液体を回収する液体回収手段
   を設けてなることを特徴とする請求項１記載の脱気装
   置。