JPH0682472A - 歪ゲージ式加速度センサ - Google Patents
歪ゲージ式加速度センサInfo
- Publication number
- JPH0682472A JPH0682472A JP23723092A JP23723092A JPH0682472A JP H0682472 A JPH0682472 A JP H0682472A JP 23723092 A JP23723092 A JP 23723092A JP 23723092 A JP23723092 A JP 23723092A JP H0682472 A JPH0682472 A JP H0682472A
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- Japan
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- acceleration sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 所望とする方向の加速度のみを高精度に検出
可能とする。 【構成】 基台２４の中央部２４ａから相互に離反する
方向に延びて薄肉に形成される一対の梁２６ａ，２６ｂ
の先端に重錘２５ａ，２５ｂをそれぞれ取付ける。前記
梁２６ａ，２６ｂの表面２８には、ブリッジ回路２９を
構成する歪ゲージＲＡ〜ＲＨを形成する。したがって、
矢符Ｆ１方向の加速度に対しては歪ゲージＲＡ，ＲＤ，
ＲＥ，ＲＨは共に伸縮し、これに対して矢符Ｆ２方向の
加速度に対しては、歪ゲージＲＡ，ＲＤとＲＥ，ＲＨと
は相互に逆相に伸縮する。こうして所望とする矢符Ｆ１
方向の加速度のみを高精度に検出することができる。
可能とする。 【構成】 基台２４の中央部２４ａから相互に離反する
方向に延びて薄肉に形成される一対の梁２６ａ，２６ｂ
の先端に重錘２５ａ，２５ｂをそれぞれ取付ける。前記
梁２６ａ，２６ｂの表面２８には、ブリッジ回路２９を
構成する歪ゲージＲＡ〜ＲＨを形成する。したがって、
矢符Ｆ１方向の加速度に対しては歪ゲージＲＡ，ＲＤ，
ＲＥ，ＲＨは共に伸縮し、これに対して矢符Ｆ２方向の
加速度に対しては、歪ゲージＲＡ，ＲＤとＲＥ，ＲＨと
は相互に逆相に伸縮する。こうして所望とする矢符Ｆ１
方向の加速度のみを高精度に検出することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば自動車のアン
チロックブレーキ制御装置において、推定車体速度の演
算や旋回判定のために用いられる歪ゲージ式加速度セン
サに関する。
チロックブレーキ制御装置において、推定車体速度の演
算や旋回判定のために用いられる歪ゲージ式加速度セン
サに関する。
【０００２】
【従来の技術】前記アンチロックブレーキ制御装置は、
各車輪速度が、たとえば車体速度から５ｋｍ／ｈだけ低
い値に設定されるスリップ基準以下となると、車輪がロ
ックしかかっていると判断して制動油圧の減圧制御を行
い、車輪と路面との間のスリップ率を最適に保持する装
置である。このようなアンチロックブレーキ制御装置に
おいて、車輪のスリップの影響を除去するために、前記
車体速度として、加速度センサの出力を積算して求めら
れる推定車体速度が用いられる。また旋回時に生じる左
側車輪と右側車輪との車輪速度の差を補償するために、
加速度センサによって横方向の加速度を検出し、旋回判
定を行うように構成されている。このようにして用いら
れる加速度センサには、小形であり、かつ高精度である
ことが望まれており、したがって従来から半導体歪ゲー
ジ式の加速度センサが用いられている。
各車輪速度が、たとえば車体速度から５ｋｍ／ｈだけ低
い値に設定されるスリップ基準以下となると、車輪がロ
ックしかかっていると判断して制動油圧の減圧制御を行
い、車輪と路面との間のスリップ率を最適に保持する装
置である。このようなアンチロックブレーキ制御装置に
おいて、車輪のスリップの影響を除去するために、前記
車体速度として、加速度センサの出力を積算して求めら
れる推定車体速度が用いられる。また旋回時に生じる左
側車輪と右側車輪との車輪速度の差を補償するために、
加速度センサによって横方向の加速度を検出し、旋回判
定を行うように構成されている。このようにして用いら
れる加速度センサには、小形であり、かつ高精度である
ことが望まれており、したがって従来から半導体歪ゲー
ジ式の加速度センサが用いられている。
【０００３】図６は、典型的な従来技術の歪ゲージ式加
速度センサ１の平面図であり、図７は図６の切断面線Ａ
−Ａから見た断面図である。この加速度センサ１は、大
略的に、シリコン製の基板２にＵ字状の長孔３が形成さ
れて構成されている。前記長孔３によって基板２は、固
定位置に取付けられる基台４と重錘５とに分離されてお
り、重錘５は薄肉の梁６によって前記基台４に揺動変位
自在に支持されている。
速度センサ１の平面図であり、図７は図６の切断面線Ａ
−Ａから見た断面図である。この加速度センサ１は、大
略的に、シリコン製の基板２にＵ字状の長孔３が形成さ
れて構成されている。前記長孔３によって基板２は、固
定位置に取付けられる基台４と重錘５とに分離されてお
り、重錘５は薄肉の梁６によって前記基台４に揺動変位
自在に支持されている。
【０００４】梁６において、前記基台４が取付けられる
支持台７とは反対側の表面８には、該梁６の延びる矢符
ｆ２方向に延びる歪ゲージｒ１，ｒ２と、前記矢符ｆ２
方向とは垂直な矢符ｆ３方向に延びる歪ゲージｒ３，ｒ
４とが形成されている。これらの歪ゲージｒ１〜ｒ４
は、図８で示されるようなブリッジ回路９を構成し、加
速度が印加されていない定常状態では、各歪ゲージｒ１
〜ｒ４の抵抗値は、たとえば５ｋΩ程度である。
支持台７とは反対側の表面８には、該梁６の延びる矢符
ｆ２方向に延びる歪ゲージｒ１，ｒ２と、前記矢符ｆ２
方向とは垂直な矢符ｆ３方向に延びる歪ゲージｒ３，ｒ
４とが形成されている。これらの歪ゲージｒ１〜ｒ４
は、図８で示されるようなブリッジ回路９を構成し、加
速度が印加されていない定常状態では、各歪ゲージｒ１
〜ｒ４の抵抗値は、たとえば５ｋΩ程度である。
【０００５】このように構成された加速度センサ１に矢
符ｆ１ａ方向に加速度が印加されると、歪ゲージｒ１，
ｒ２が伸長し、前記ブリッジ回路９の入力端子ｐ１，ｐ
２間にたとえば５Ｖが印加されているとき、出力端子ｐ
３，ｐ４間には１０ｍｍＶの電位差を生じる。こうして
矢符ｆ１方向の加速度を検出することができる。
符ｆ１ａ方向に加速度が印加されると、歪ゲージｒ１，
ｒ２が伸長し、前記ブリッジ回路９の入力端子ｐ１，ｐ
２間にたとえば５Ｖが印加されているとき、出力端子ｐ
３，ｐ４間には１０ｍｍＶの電位差を生じる。こうして
矢符ｆ１方向の加速度を検出することができる。
【０００６】しかしながら、この従来技術では矢符ｆ２
方向の加速度に対しても重錘５が揺動変位して歪ゲージ
ｒ１，ｒ２が伸縮してしまい、前記矢符ｆ１方向のみの
加速度を正確に検出することができない。
方向の加速度に対しても重錘５が揺動変位して歪ゲージ
ｒ１，ｒ２が伸縮してしまい、前記矢符ｆ１方向のみの
加速度を正確に検出することができない。
【０００７】図９は、上述のような問題点を解決するた
めの他の従来技術の歪ゲージ式加速度センサ１１の平面
図であり、図１０は図９の切断面線Ｂ−Ｂから見た断面
図である。この加速度センサ１１は、大略的に、基板１
２に、一対のＵ字状の長孔１３ａ，１３ｂが形成されて
構成されている。前記長孔１３ａ，１３ｂによって基板
１２は、支持台７に固定される該基板１２の外周縁部の
基台１４と、該基台１４の両側部１４ａ，１４ｂから延
設される一対の梁１６ａ，１６ｂと、この梁１６ａ，１
６ｂによって支持される重錘１５とに区分されている。
めの他の従来技術の歪ゲージ式加速度センサ１１の平面
図であり、図１０は図９の切断面線Ｂ−Ｂから見た断面
図である。この加速度センサ１１は、大略的に、基板１
２に、一対のＵ字状の長孔１３ａ，１３ｂが形成されて
構成されている。前記長孔１３ａ，１３ｂによって基板
１２は、支持台７に固定される該基板１２の外周縁部の
基台１４と、該基台１４の両側部１４ａ，１４ｂから延
設される一対の梁１６ａ，１６ｂと、この梁１６ａ，１
６ｂによって支持される重錘１５とに区分されている。
【０００８】梁１６ａ，１６ｂの支持台７とは反対側の
表面１８には、矢符ｆ２方向に延びて、それぞれ歪ゲー
ジｒａ，ｒｂ，ｒｃ，ｒｄ；ｒｅ，ｒｆ，ｒｇ，ｒｈが
形成されている。これらの歪ゲージｒａ〜ｒｈは、図１
１で示されるブリッジ回路１９を構成している。これに
よって、図１２で示されるような、矢符ｆ２ａ方向の加
速度に対して、歪ゲージｒａ，ｒｄの縮小は歪ゲージｒ
ｅ，ｒｈの伸長によって打消され、また歪ゲージｒｂ，
ｒｃの伸長は歪ゲージｒｆ，ｒｇの縮小によって打消さ
れる。こうして矢符ｆ１方向のみの加速度を検出するこ
とができる。
表面１８には、矢符ｆ２方向に延びて、それぞれ歪ゲー
ジｒａ，ｒｂ，ｒｃ，ｒｄ；ｒｅ，ｒｆ，ｒｇ，ｒｈが
形成されている。これらの歪ゲージｒａ〜ｒｈは、図１
１で示されるブリッジ回路１９を構成している。これに
よって、図１２で示されるような、矢符ｆ２ａ方向の加
速度に対して、歪ゲージｒａ，ｒｄの縮小は歪ゲージｒ
ｅ，ｒｈの伸長によって打消され、また歪ゲージｒｂ，
ｒｃの伸長は歪ゲージｒｆ，ｒｇの縮小によって打消さ
れる。こうして矢符ｆ１方向のみの加速度を検出するこ
とができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述の加速度センサ１
１では、矢符ｆ２方向の加速度に対する感度を零として
矢符ｆ１方向の加速度のみを検出することができるけれ
ども、矢符ｆ１方向に同じ加速度が印加されている場合
には、加速度センサ１に比べてその感度が低いという問
題がある。
１では、矢符ｆ２方向の加速度に対する感度を零として
矢符ｆ１方向の加速度のみを検出することができるけれ
ども、矢符ｆ１方向に同じ加速度が印加されている場合
には、加速度センサ１に比べてその感度が低いという問
題がある。
【００１０】本発明の目的は、所望とする方向の加速度
のみを高精度に検出することができる歪ゲージ式加速度
センサを提供することである。
のみを高精度に検出することができる歪ゲージ式加速度
センサを提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、固定位置に取
付けられる基台と、前記基台から相互に離反する方向に
延びる一対の取付部材と、前記取付部材を介してそれぞ
れ基台に揺動自在に支持される重錘と、各取付部材にお
いて、該取付部材の延びる方向と平行に延びて形成され
る歪ゲージとを含むことを特徴とする歪ゲージ式加速度
センサである。
付けられる基台と、前記基台から相互に離反する方向に
延びる一対の取付部材と、前記取付部材を介してそれぞ
れ基台に揺動自在に支持される重錘と、各取付部材にお
いて、該取付部材の延びる方向と平行に延びて形成され
る歪ゲージとを含むことを特徴とする歪ゲージ式加速度
センサである。
【００１２】
【作用】本発明に従えば、固定位置に取付けられる基台
には一対の重錘が揺動変位自在に取付けられている。前
記各重錘は、前記基台から相互に離反する方向に延びる
一対の取付部材によって支持されており、この取付部材
において該取付部材の延びる方向と平行に歪ゲージが形
成されている。
には一対の重錘が揺動変位自在に取付けられている。前
記各重錘は、前記基台から相互に離反する方向に延びる
一対の取付部材によって支持されており、この取付部材
において該取付部材の延びる方向と平行に歪ゲージが形
成されている。
【００１３】したがって、前記取付部材が延びる方向と
は垂直に印加される加速度に対しては、各重錘は同一方
向に揺動変位し、これによって各取付部材に形成された
歪ゲージは共に伸長または縮小する。これに対して、前
記取付部材の延びる方向と平行に加わる加速度に対して
は、各重錘は相互に逆方向に揺動変位、すなわち基台を
中心として点対称に変位し、これによって各取付部材に
形成された歪ゲージは相互に逆の伸縮状態となる。
は垂直に印加される加速度に対しては、各重錘は同一方
向に揺動変位し、これによって各取付部材に形成された
歪ゲージは共に伸長または縮小する。これに対して、前
記取付部材の延びる方向と平行に加わる加速度に対して
は、各重錘は相互に逆方向に揺動変位、すなわち基台を
中心として点対称に変位し、これによって各取付部材に
形成された歪ゲージは相互に逆の伸縮状態となる。
【００１４】したがって、前記取付部材の延びる方向と
は平行な方向の加速度に関しては各歪ゲージの出力が逆
相となって打消され、前記垂直な方向のみの加速度を高
精度に検出することができる。
は平行な方向の加速度に関しては各歪ゲージの出力が逆
相となって打消され、前記垂直な方向のみの加速度を高
精度に検出することができる。
【００１５】
【実施例】図１は本発明の一実施例の歪ゲージ式加速度
センサ２１の平面図であり、図２は図１の切断面線Ｃ−
Ｃから見た断面図である。この加速度センサ２１は、大
略的に、シリコン製の基板２２に、一対のＵ字状の長孔
２３ａ，２３ｂが形成されて構成されている。前記長孔
２３ａ，２３ｂによって基板２２は、基台２４と、一対
の重錘２５ａ，２５ｂとに分割される。前記重錘２５
ａ，２５ｂは、基台２４の中央部２４ａから相互に離反
する方向に延びて薄肉に形成される一対の取付部材であ
る梁２６ａ，２６ｂによってそれぞれ支持されている。
梁２６ａ，２６ｂの厚さＷ１はたとえば２０〜３０μｍ
であり、重錘２５ａ，２５ｂの厚さＷ２は３００μｍで
ある。また、基台２４の幅Ｗ３は８〜１０ｍｍであり、
奥行きＷ４は４〜５ｍｍである。
センサ２１の平面図であり、図２は図１の切断面線Ｃ−
Ｃから見た断面図である。この加速度センサ２１は、大
略的に、シリコン製の基板２２に、一対のＵ字状の長孔
２３ａ，２３ｂが形成されて構成されている。前記長孔
２３ａ，２３ｂによって基板２２は、基台２４と、一対
の重錘２５ａ，２５ｂとに分割される。前記重錘２５
ａ，２５ｂは、基台２４の中央部２４ａから相互に離反
する方向に延びて薄肉に形成される一対の取付部材であ
る梁２６ａ，２６ｂによってそれぞれ支持されている。
梁２６ａ，２６ｂの厚さＷ１はたとえば２０〜３０μｍ
であり、重錘２５ａ，２５ｂの厚さＷ２は３００μｍで
ある。また、基台２４の幅Ｗ３は８〜１０ｍｍであり、
奥行きＷ４は４〜５ｍｍである。
【００１６】前記梁２６ａ，２６ｂにおいて、基台２４
が固定される支持台２７とは反対側の表面２８には、該
梁２６ａ，２６ｂが延びる矢符Ｆ２方向に延びて歪ゲー
ジＲＡ，ＲＤ；ＲＥ，ＲＨがそれぞれ形成され、また前
記矢符Ｆ２方向とは垂直な矢符Ｆ３方向に延びて歪ゲー
ジＲＢ，ＲＣ；ＲＦ，ＲＧがそれぞれ形成される。これ
らの歪ゲージＲＡ〜ＲＤは、シリコン製の基板２２の結
晶の方位と、不純物の濃度とを選択することによって形
成され、歪が発生すると、その量に対応して抵抗値が変
化する。これらの歪ゲージＲＡ〜ＲＨは、図３で示され
るようなブリッジ回路２９に構成されており、入力端子
Ｐ１，Ｐ２間に電圧を印加し、矢符Ｆ１方向の加速度が
印加されることによって、その加速度に対応した電位差
が出力端子Ｐ３，Ｐ４から出力される。
が固定される支持台２７とは反対側の表面２８には、該
梁２６ａ，２６ｂが延びる矢符Ｆ２方向に延びて歪ゲー
ジＲＡ，ＲＤ；ＲＥ，ＲＨがそれぞれ形成され、また前
記矢符Ｆ２方向とは垂直な矢符Ｆ３方向に延びて歪ゲー
ジＲＢ，ＲＣ；ＲＦ，ＲＧがそれぞれ形成される。これ
らの歪ゲージＲＡ〜ＲＤは、シリコン製の基板２２の結
晶の方位と、不純物の濃度とを選択することによって形
成され、歪が発生すると、その量に対応して抵抗値が変
化する。これらの歪ゲージＲＡ〜ＲＨは、図３で示され
るようなブリッジ回路２９に構成されており、入力端子
Ｐ１，Ｐ２間に電圧を印加し、矢符Ｆ１方向の加速度が
印加されることによって、その加速度に対応した電位差
が出力端子Ｐ３，Ｐ４から出力される。
【００１７】上述のように構成された加速度センサ２１
において、図４で示されるように参照符Ｆ１ａ方向の加
速度が印加されると、重錘２５ａ，２５ｂはそれぞれ矢
符Ｆ１０ａ，Ｆ１０ｂ方向に揺動変位する。したがって
歪ゲージＲＡ，ＲＤ，ＲＥ，ＲＨは共に伸長し、ブリッ
ジ回路２９の出力端子Ｐ３，Ｐ４間には、印加された加
速度に対応した電位差を生じる。
において、図４で示されるように参照符Ｆ１ａ方向の加
速度が印加されると、重錘２５ａ，２５ｂはそれぞれ矢
符Ｆ１０ａ，Ｆ１０ｂ方向に揺動変位する。したがって
歪ゲージＲＡ，ＲＤ，ＲＥ，ＲＨは共に伸長し、ブリッ
ジ回路２９の出力端子Ｐ３，Ｐ４間には、印加された加
速度に対応した電位差を生じる。
【００１８】これに対して図５で示されるように、矢符
Ｆ２ａ方向に加速度が印加されると、重錘２５ａ，２５
ｂはそれぞれ矢符Ｆ２０ａ，Ｆ２０ｂで示されように、
すなわち基台２４の中央部２４ａを中心として点対称に
揺動変位する。したがって、歪ゲージＲＡ，ＲＤは縮小
するのに対して、歪ゲージＲＥ，ＲＨは伸長し、これら
の伸縮による抵抗値の変化は前記ブリッジ回路２９で打
消されて、前記出力端子Ｐ３，Ｐ４間には電位差を生じ
ることはない。
Ｆ２ａ方向に加速度が印加されると、重錘２５ａ，２５
ｂはそれぞれ矢符Ｆ２０ａ，Ｆ２０ｂで示されように、
すなわち基台２４の中央部２４ａを中心として点対称に
揺動変位する。したがって、歪ゲージＲＡ，ＲＤは縮小
するのに対して、歪ゲージＲＥ，ＲＨは伸長し、これら
の伸縮による抵抗値の変化は前記ブリッジ回路２９で打
消されて、前記出力端子Ｐ３，Ｐ４間には電位差を生じ
ることはない。
【００１９】このように本発明に従う加速度センサ２１
では、所望とする矢符Ｆ１方向以外の残余の矢符Ｆ２，
Ｆ３方向の加速度を検出することなく、前記矢符Ｆ１方
向の加速度のみを高精度に検出することができる。
では、所望とする矢符Ｆ１方向以外の残余の矢符Ｆ２，
Ｆ３方向の加速度を検出することなく、前記矢符Ｆ１方
向の加速度のみを高精度に検出することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、一対の重
錘を、固定位置に取付けられる基台から相互に離反する
方向に延びる一対の取付部材によってそれぞれ支持し、
この取付部材において該取付部材の延びる方向と平行に
歪ゲージを形成するので、前記取付部材が延びる方向と
は垂直に加わる加速度に対しては各重錘は同一方向に揺
動変位し、これに対して前記取付部材の延びる方向と平
行に加わる加速度に対しては各重錘は相互に逆方向に揺
動変位する。
錘を、固定位置に取付けられる基台から相互に離反する
方向に延びる一対の取付部材によってそれぞれ支持し、
この取付部材において該取付部材の延びる方向と平行に
歪ゲージを形成するので、前記取付部材が延びる方向と
は垂直に加わる加速度に対しては各重錘は同一方向に揺
動変位し、これに対して前記取付部材の延びる方向と平
行に加わる加速度に対しては各重錘は相互に逆方向に揺
動変位する。
【００２１】したがって、前記取付部材の延びる方向と
は平行な方向の加速度に関しては各歪ゲージの出力が逆
相となって打消され、前記垂直な方向のみの加速度を高
精度に検出することができる。
は平行な方向の加速度に関しては各歪ゲージの出力が逆
相となって打消され、前記垂直な方向のみの加速度を高
精度に検出することができる。
【図１】本発明の一実施例の歪ゲージ式加速度センサ２
１の平面図である。
１の平面図である。
【図２】図１の切断面線Ｃ−Ｃから見た断面図である。
【図３】前記加速度センサ２１の電気回路図である。
【図４】前記加速度センサ２１に検出方向Ｆ１ａの加速
度が印加された状態を示す断面図である。
度が印加された状態を示す断面図である。
【図５】前記加速度センサ２１に非検出方向Ｆ２ａの加
速度が印加された状態を示す断面図である。
速度が印加された状態を示す断面図である。
【図６】典型的な従来技術の歪ゲージ式加速度センサ１
の平面図である。
の平面図である。
【図７】図６の切断面線Ａ−Ａから見た断面図である。
【図８】前記加速度センサ１の電気回路図である。
【図９】他の従来技術の歪ゲージ式加速度センサ１１の
平面図である。
平面図である。
【図１０】図９の切断面線Ｂ−Ｂから見た断面図であ
る。
る。
【図１１】前記加速度センサ１１の電気回路図である。
【図１２】加速度センサ１１に非検出方向ｆ２ａの加速
度が印加された状態を示す断面図である。
度が印加された状態を示す断面図である。
２１ 歪ゲージ式加速度センサ ２２ 基板 ２３ａ，２３ｂ 長孔 ２４ 基台 ２５ａ，２５ｂ 重錘 ２６ａ，２６ｂ 梁 ２７ 支持台 ２９ ブリッジ回路 ＲＡ，ＲＢ，ＲＣ，ＲＤ，ＲＥ，ＲＦ，ＲＧ，ＲＨ 歪
ゲージ
ゲージ
Claims (1)
- 【請求項１】 固定位置に取付けられる基台と、 前記基台から相互に離反する方向に延びる一対の取付部
材と、 前記取付部材を介してそれぞれ基台に揺動自在に支持さ
れる重錘と、 各取付部材において、該取付部材の延びる方向と平行に
延びて形成される歪ゲージとを含むことを特徴とする歪
ゲージ式加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23723092A JPH0682472A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 歪ゲージ式加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23723092A JPH0682472A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 歪ゲージ式加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0682472A true JPH0682472A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=17012316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23723092A Withdrawn JPH0682472A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 歪ゲージ式加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682472A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07325104A (ja) * | 1994-06-01 | 1995-12-12 | Zexel Corp | 加速度センサ |
| DE19522651A1 (de) * | 1994-10-12 | 1996-04-18 | Mitsubishi Electric Corp | Halbleiterbeschleunigungssensor |
| JP2002243759A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 半導体加速度センサ素子 |
| US7631559B2 (en) | 2005-04-06 | 2009-12-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acceleration sensor |
| WO2011158707A1 (ja) * | 2010-06-15 | 2011-12-22 | 株式会社村田製作所 | 力学センサ |
-
1992
- 1992-09-04 JP JP23723092A patent/JPH0682472A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07325104A (ja) * | 1994-06-01 | 1995-12-12 | Zexel Corp | 加速度センサ |
| DE19522651A1 (de) * | 1994-10-12 | 1996-04-18 | Mitsubishi Electric Corp | Halbleiterbeschleunigungssensor |
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