JPH068005B2 - 脆性工作物の加工方法 - Google Patents
脆性工作物の加工方法Info
- Publication number
- JPH068005B2 JPH068005B2 JP4302237A JP30223792A JPH068005B2 JP H068005 B2 JPH068005 B2 JP H068005B2 JP 4302237 A JP4302237 A JP 4302237A JP 30223792 A JP30223792 A JP 30223792A JP H068005 B2 JPH068005 B2 JP H068005B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- grinding
- robot
- brittle
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 7
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、脆性材料から成る工作
物を加工する脆性工作物の加工方法に関する。
物を加工する脆性工作物の加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ファインセラミック等の脆性材
料からなる工作物には、成形あるいは焼結時に脆性材料
の粒間の結晶粒界に接着剤等の添加物の他に不純物が集
まってしまい、この結晶粒界には若干の亀裂が発生して
いる。このため、この工作物を研削または切削し所望の
形状に加工する場合、研削抵抗または切削抵抗により亀
裂が広がってしまい加工面にひび割れを起こしクラック
が発生してしまうので、これを防止するために工具の切
込みを微小にし、加工時に工作物と工具との間の抵抗を
極力少なくしている。
料からなる工作物には、成形あるいは焼結時に脆性材料
の粒間の結晶粒界に接着剤等の添加物の他に不純物が集
まってしまい、この結晶粒界には若干の亀裂が発生して
いる。このため、この工作物を研削または切削し所望の
形状に加工する場合、研削抵抗または切削抵抗により亀
裂が広がってしまい加工面にひび割れを起こしクラック
が発生してしまうので、これを防止するために工具の切
込みを微小にし、加工時に工作物と工具との間の抵抗を
極力少なくしている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】工具の切込みを微小に
しなければならないため加工能率が悪く、この微小切込
みにより加工を行っても、クラックが発生してしまい工
作物の強度低下が避けられなかった。
しなければならないため加工能率が悪く、この微小切込
みにより加工を行っても、クラックが発生してしまい工
作物の強度低下が避けられなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した問題
点を解決するためになされたもので、工作物に含まれて
いる添加物を溶融する程度の熱容量を持つレーザ光を、
工具によって加工された工作物の加工箇所へ照射するも
のである。
点を解決するためになされたもので、工作物に含まれて
いる添加物を溶融する程度の熱容量を持つレーザ光を、
工具によって加工された工作物の加工箇所へ照射するも
のである。
【０００５】
【作用】工作物を工具によって加工し、この加工した箇
所へレーザ光を照射する。レーザ光によって工作物に含
まれている添加物が溶融し、加工によって発生したクラ
ックが前記添加物で埋められる。よって、工作物の強度
が回復する。
所へレーザ光を照射する。レーザ光によって工作物に含
まれている添加物が溶融し、加工によって発生したクラ
ックが前記添加物で埋められる。よって、工作物の強度
が回復する。
【０００６】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１および図２に示すように、１０は実施例におけ
る平面研削盤を示し、ベット１１と、このベット１１上
で摺動可能に載置されたテーブル１２と、ベット１１上
に設けられた図略の支持柱により支持され砥石Ｇを軸承
する主軸台１３により主に構成されている。
る。図１および図２に示すように、１０は実施例におけ
る平面研削盤を示し、ベット１１と、このベット１１上
で摺動可能に載置されたテーブル１２と、ベット１１上
に設けられた図略の支持柱により支持され砥石Ｇを軸承
する主軸台１３により主に構成されている。
【０００７】前記主軸台１３には、砥石Ｇと工作物Ｗと
の研削点にクーラントを供給するクーラントノズル１４
が取付けられている。前記テーブル１２は、サーボモー
タ１５によりボールネジ１６を介して進退制御される。
２０はロボットで、ロボット本体を固定する図略のベー
ス上に固設されたコラム２１と、このコラム２１により
支持されＺ方向に昇降可能なシリンダ２２と、シリンダ
２２に軸支され図中ａ軸を中心に旋回自在の第１アーム
２３と、第１アームに軸支され図中ｂ軸を中心に旋回自
在の第２アーム２４により主に構成されている。
の研削点にクーラントを供給するクーラントノズル１４
が取付けられている。前記テーブル１２は、サーボモー
タ１５によりボールネジ１６を介して進退制御される。
２０はロボットで、ロボット本体を固定する図略のベー
ス上に固設されたコラム２１と、このコラム２１により
支持されＺ方向に昇降可能なシリンダ２２と、シリンダ
２２に軸支され図中ａ軸を中心に旋回自在の第１アーム
２３と、第１アームに軸支され図中ｂ軸を中心に旋回自
在の第２アーム２４により主に構成されている。
【０００８】２６は、前記第２アーム２４の手首部２５
に取付けられたレーザトーチで、後述するレーザ発振器
から発振されるレーザ光を工作物Ｗに照射する。２７は
エアノズルで、ブラケット２８により、レーザトーチ２
６に取付けられている。図３は平面研削盤１０とロボッ
ト２０を制御するための電気的構成図である。
に取付けられたレーザトーチで、後述するレーザ発振器
から発振されるレーザ光を工作物Ｗに照射する。２７は
エアノズルで、ブラケット２８により、レーザトーチ２
６に取付けられている。図３は平面研削盤１０とロボッ
ト２０を制御するための電気的構成図である。
【０００９】３０は平面研削盤１０の制御をする研削制
御装置で、前記テーブル１２を進退移動させるサーボモ
ータ１５と、前記クーラントノズル１４にクーラントを
供給するクーラント装置３１等が接続されている。４０
はロボット２０の制御をするロボット制御装置で、レー
ザトーチ２６に図略の導光路を介してレーザ光を供給す
るレーザ発振器４１と、エアーノズル２７にエアーを供
給するエアーブロー装置４２が接続されている。
御装置で、前記テーブル１２を進退移動させるサーボモ
ータ１５と、前記クーラントノズル１４にクーラントを
供給するクーラント装置３１等が接続されている。４０
はロボット２０の制御をするロボット制御装置で、レー
ザトーチ２６に図略の導光路を介してレーザ光を供給す
るレーザ発振器４１と、エアーノズル２７にエアーを供
給するエアーブロー装置４２が接続されている。
【００１０】また、このロボット制御装置４０は、前記
研削制御装置３０に記憶された加工データに基づいて、
ロボットの各軸に設けられた図略のサーボモータを制御
するようになっている。上記した構成において、平面研
削盤１０により研削加工された工作物Ｗのクラックを消
滅させる動作について説明する。
研削制御装置３０に記憶された加工データに基づいて、
ロボットの各軸に設けられた図略のサーボモータを制御
するようになっている。上記した構成において、平面研
削盤１０により研削加工された工作物Ｗのクラックを消
滅させる動作について説明する。
【００１１】砥石車Ｇにより、工作物Ｗの研削加工が終
了すると、研削制御装置３０からロボット制御装置４０
に研削終了を示す信号が与えられる。すると、ロボット
制御装置４０は、研削制御装置３０からこの研削加工に
使用した研削データを読込み工作物Ｗ上の加工面位置を
求め、研削加工した加工面にエアーブロー装置４２を駆
動させエアーノズル２７から工作物Ｗに向けてエアー吹
きつけ加工面の水切りを行う。
了すると、研削制御装置３０からロボット制御装置４０
に研削終了を示す信号が与えられる。すると、ロボット
制御装置４０は、研削制御装置３０からこの研削加工に
使用した研削データを読込み工作物Ｗ上の加工面位置を
求め、研削加工した加工面にエアーブロー装置４２を駆
動させエアーノズル２７から工作物Ｗに向けてエアー吹
きつけ加工面の水切りを行う。
【００１２】次に、レーザ光をレーザ発振器４１からレ
ーザトーチ２６に導き、同様にロボットを駆動させ、加
工面にレーザ光を照射する。このレーザ光によって工作
物Ｗに含まれている添加物を溶融し、研削加工で生じた
クラックを添加物で埋め、クラックを消滅させる。この
ように、加工面にレーザ光を照射することにり、加工面
に発生したクラックを消滅でき、工作物Ｗの強度を回復
させることができる。
ーザトーチ２６に導き、同様にロボットを駆動させ、加
工面にレーザ光を照射する。このレーザ光によって工作
物Ｗに含まれている添加物を溶融し、研削加工で生じた
クラックを添加物で埋め、クラックを消滅させる。この
ように、加工面にレーザ光を照射することにり、加工面
に発生したクラックを消滅でき、工作物Ｗの強度を回復
させることができる。
【００１３】
【発明の効果】以上述べたように本発明は、脆性材料か
ら成る工作物を加工した後の加工面にレーザ光を照射
し、結晶粒界の添加物を溶解させクラックを埋めるよう
にしたので、加工面に発生したクラックを消滅でき、脆
性工作物の強度を低下させることがない利点がある。
ら成る工作物を加工した後の加工面にレーザ光を照射
し、結晶粒界の添加物を溶解させクラックを埋めるよう
にしたので、加工面に発生したクラックを消滅でき、脆
性工作物の強度を低下させることがない利点がある。
【図１】本発明の実施例としての平面研削盤の側面図。
【図２】図１の平面図。
【図３】 本発明の実施例としての平面研削盤の電気的構成図。 １０ 平面研削盤 １４ クーラントノズル ２０ ロボット ２６ レーザトーチ ２７ エアーノズル ３０ 研削制御装置 ３１ クーラント装置 ４０ ロボット制御装置 ４１ レーザ発振器 ４２ エアーブロー装置 Ｇ 砥石（工具） Ｗ 工作物
Claims (1)
- 【請求項１】 脆性材料から成る工作物と工具を相対移
動させることにより、工作物の加工を行う脆性工作物の
加工方法において、前記工作物に含まれている添加物を
溶融する程度の熱容量を持つレーザ光を、前記工具によ
って加工された工作物の加工箇所へ照射することを特徴
とする脆性工作物の加工方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4302237A JPH068005B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 脆性工作物の加工方法 |
| US08/149,793 US5491541A (en) | 1992-11-12 | 1993-11-10 | Developing apparatus having adjacent similar magnetic poles |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4302237A JPH068005B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 脆性工作物の加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05208406A JPH05208406A (ja) | 1993-08-20 |
| JPH068005B2 true JPH068005B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=17906606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4302237A Expired - Lifetime JPH068005B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 脆性工作物の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH068005B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3789802B2 (ja) | 2001-10-19 | 2006-06-28 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
| CN120828476B (zh) * | 2025-09-17 | 2025-11-21 | 泰州市深晶科技有限公司 | 一种半导体封装加工晶圆分切装置 |
-
1992
- 1992-11-12 JP JP4302237A patent/JPH068005B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05208406A (ja) | 1993-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05104366A (ja) | 複合工作機械 | |
| JPS5927284B2 (ja) | 鋳物バリ取り機 | |
| US4980534A (en) | Method and device for treating machined surface of workpiece | |
| JP3500049B2 (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH05329679A (ja) | レーザ加工方法及び装置 | |
| CN118205112A (zh) | 一种多能场耦合切削加工设备与加工方法 | |
| WO1990002020A1 (fr) | Dispositif d'usinage par electro-erosion a fil de coupe | |
| JPH068005B2 (ja) | 脆性工作物の加工方法 | |
| JP3482331B2 (ja) | 仕上げ加工方法 | |
| JPH0655391A (ja) | 医療材料加工用複合加工装置 | |
| JP4462731B2 (ja) | 砥石の上下ドレッシング方法および研削装置 | |
| JPH1177493A (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
| KR102185089B1 (ko) | 방전연삭을 이용한 pcd 재료로 이루어지는 가공용 공구의 제작방법 | |
| JP4425441B2 (ja) | マシニングセンタの工具修正または再生加工方法、およびマシニングセンタ | |
| JP3401861B2 (ja) | 曲面加工方法 | |
| JP2002331433A (ja) | 切削加工ユニット | |
| JPH07328879A (ja) | 焼入れ機能付きマシニングセンタ | |
| JP2003236691A (ja) | 熱切断加工機及び熱切断加工方法 | |
| JPH0627318Y2 (ja) | 工作物加熱装置を有する加工装置 | |
| JPH02224928A (ja) | 複合加工装置及びその加工方法 | |
| JPH0224047A (ja) | 内面研削方法 | |
| JPH0623405Y2 (ja) | 工作物加熱装置を有する研削装置 | |
| JPH04138886A (ja) | レーザ加工機の制御装置 | |
| JPS63212448A (ja) | 工作機械の択一式複列ヘツド装置 | |
| JP2009090390A (ja) | 工作物外径面および平面のセンタレス研削方法およびセンタレス研削装置 |