JPH0677343B2 - 光磁気メモリ用媒体 - Google Patents

光磁気メモリ用媒体

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JPH0677343B2
JPH0677343B2 JP15971986A JP15971986A JPH0677343B2 JP H0677343 B2 JPH0677343 B2 JP H0677343B2 JP 15971986 A JP15971986 A JP 15971986A JP 15971986 A JP15971986 A JP 15971986A JP H0677343 B2 JPH0677343 B2 JP H0677343B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、耐食性が改善された光磁気メモリ用媒体に関
する。
〔従来の技術〕
希土類−鉄族非晶質合金薄膜を用いた光磁気メモリは、
その読み出し特性が充分ではなく、その改善方法につい
てさまざまな提案がなされている。その一つに記録特性
が良い膜と読み出し特性が良い膜からなる交換結合二層
膜がある(例えば特開昭57-78652号)。従来の交換結合
二層膜では、記録層にはTb−Fe、Dy−Fe、読み出し層に
はGd−Fe、Gd−Fe−Coなどが用いられていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
光磁気メモリの実用化に対しては、その磁性膜の耐食性
がかなり重要な問題となっている。希土類−鉄族非晶質
合金薄膜では、鉄族元素としてCoを多量に含むほど耐食
性が改善されることがわかっている。交換結合二層磁性
膜では、その読み出し層にはGd−Fe−Coを用いることが
でき、Coの濃度を高くして、読み出し特性の改善ととも
に耐食性の改善を行なうことができる。しかし、その記
録層にはTb−FeやDy−Feが用いられていて、これにCoを
添加すると少量でもキュリー温度がかなり上昇し、記録
感度が悪くなる欠点があった。
本発明は、上記従来の欠点を改良するためになされたも
のであり、その目的は記録層としてTb−Feを用い、読み
出し層にGd−Fe−Coを用いて、記録層を読み出し層では
さんで、耐食性を改善した光磁気メモリ用媒体を提供す
ることにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的達成可能な本発明は室温において高い保磁力と
低いキュリー温度を有する記録層を、低い保磁力と高い
キュリー温度を有する読み出し層ではさんだ交換結合を
した三層構造の磁性膜を有して成る光磁気メモリ用媒体
であって、前記記録層がTb−Feであり、前記読み出し層
がGd−Fe−Coであることを特徴とする光磁気メモリ用媒
体である。
以下に、従来例と本発明の光磁気メモリ用媒体の違いに
ついて詳しく説明する。
希土類−鉄族非晶質合金薄膜から成る磁性膜の腐食過程
には、膜中に存在する遊離酸素が主に希土類元素と結合
し酸化されたり、磁性膜と保護膜の界面を通して酸素や
水分が膜中に拡散し酸化されることなどが考えられる。
このうちの前者に関しては、スパッタリングにおけるタ
ーゲットや蒸着における蒸発源の中の酸素濃度を減らし
たり、真空装置の残留ガス圧、Arガス中の不純物を減ら
すことによりかなり改善される。一方、後者について
は、緻密で酸素を含まない保護膜によってかなり抑えら
れるものの、磁性膜そのものの耐食性の改善が望まれ
る。特に、基板にプラスチックを用いる場合には、基板
にある程度の吸水性があり、保護膜だけでなく磁性膜の
耐食性の改善が特に望まれる。交換結合二層磁性膜で
は、その読み出し層はキュリー点が高くてよいのでGd−
Fe−Coを用いることができ、Coの濃度を高くして耐食性
の改善を行なうことができる。しかし、従来の媒体の記
録層にはTb−FeやDy−Feが用いられていて、これにCoを
添加すると少量でもキュリー温度がかなり上昇し、記録
感度が悪くなる欠点があった。
本発明では、Tb−Feの記録層を、耐食性の良い読み出し
層のGd−Fe−Coではさむことによって、磁性層と保護層
の界面からの腐食に対して改善を行なったものである。
本発明の光磁気メモリ媒体は磁性膜を上記のように構成
したことに特徴を有するもので、磁性膜以外に光を有効
に利用するための反射層、磁性膜を保護してさらに保護
機能を高めるための保護層など、各種の補助層が所望に
応じて任意に配設されてよい。
〔実施例〕
通常のスパッタリング法を用いて、従来例と本発明の、
130mmφのディスク状光磁気メモリ用媒体を作製し、耐
食性の実験を行った。従来例において磁性膜はGd−Fe−
Co(Gd:Fe:Co=18:62:20膜厚500Å)の読み出し層と、T
b−Fe(Tb:Fe=22:78、膜厚500Å)の記録層との二層膜
とし、本発明におけるものの磁性膜は、Gd−Fe−Co(G
d:Fe:Co=18:62:20、膜厚300Å)の読み出し層で、Tb−
Dy(Tb:Fe=22:78、膜厚400Å)の記録層をはさんだ三
層膜とした。基板にはポリカーボネートを用いた。
1規定のNaCl水溶液を用いた耐食性の試験では、従来例
では15分間浸した後には、目視でかなりのピンホールが
見られたが、本発明のものは、目視でピンホールの発生
は見られなかった。
〔発明の効果〕
以上説明したように、記録層にTb−Feを用い、読み出し
層にGd−Fe−Coを用いて、記録層を読み出し層ではさん
だ本発明の光磁気メモリ用媒体により、耐食性が改善さ
れた。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】室温において高い保磁力と低いキュリー温
    度を有する記録層を、低い保磁力と高いキュリー温度を
    有する読み出し層ではさんだ交換結合をした三層構造の
    磁性膜を有して成る光磁気メモリ用媒体であって、前記
    記録層がTb−Feであり、前記読み出し層がGd−Fe−Coで
    あることを特徴とする光磁気メモリ用媒体。
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