JPH0675021B2 - Ｘ線透視法による融液の対流可視化用トレーサ - Google Patents
Ｘ線透視法による融液の対流可視化用トレーサInfo
- Publication number
- JPH0675021B2 JPH0675021B2 JP62218812A JP21881287A JPH0675021B2 JP H0675021 B2 JPH0675021 B2 JP H0675021B2 JP 62218812 A JP62218812 A JP 62218812A JP 21881287 A JP21881287 A JP 21881287A JP H0675021 B2 JPH0675021 B2 JP H0675021B2
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- JP
- Japan
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- melt
- tracer
- convection
- coating layer
- ray fluoroscopy
- Prior art date
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Aerodynamic Tests, Hydrodynamic Tests, Wind Tunnels, And Water Tanks (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、Ｘ線透視法により対流を直接観察するために
用いるトレーサに関するものである。
用いるトレーサに関するものである。
（従来の技術） シリコンなどの半導体の基板結晶は、主として引上法に
より成長されている。この引上法を制御して結晶の品質
をさらに良くするためには、結晶成長中の原料融液の挙
動を観察する技術が要求されている。このような半導体
融液の対流を直接観察する手段としてＸ線透視法による
方法が注目されている（第34回応用物理学会予稿集−29
a−ｘ−７）。
より成長されている。この引上法を制御して結晶の品質
をさらに良くするためには、結晶成長中の原料融液の挙
動を観察する技術が要求されている。このような半導体
融液の対流を直接観察する手段としてＸ線透視法による
方法が注目されている（第34回応用物理学会予稿集−29
a−ｘ−７）。
（発明が解決しようとする問題点） ここで対象としている半導体の融液の対流をＸ線透視法
により観察するためには、高温で長時間の観察ができる
ように、熱的、化学的に安定であり加えてＸ線吸収係数
の高い物質をトレーサーとして用いる必要がある。さら
にこのトレーサーは融液と共に移動し、融液の挙動を反
映する性質を持たなければならない。こうした特性を備
えたトレーサーはまだ開発されていない。
により観察するためには、高温で長時間の観察ができる
ように、熱的、化学的に安定であり加えてＸ線吸収係数
の高い物質をトレーサーとして用いる必要がある。さら
にこのトレーサーは融液と共に移動し、融液の挙動を反
映する性質を持たなければならない。こうした特性を備
えたトレーサーはまだ開発されていない。
本発明の目的は長時間にわたって、Ｘ線透視法により融
液の対流を挙動を観察できるトレーサーを提供するもの
である。
液の対流を挙動を観察できるトレーサーを提供するもの
である。
（問題点を解決するための手段） 本発明は融液の対流をＸ線透視法により観察する目的で
用いるトレーサにおいて、Ｘ線吸収係数の大きい物質か
ら成る核と、この核のまわりに、上記融液に対して不活
性の高融点の被覆層が一層以上設けられ、さらにこの被
覆層の厚さを調節することによりトレーサ全体の比重を
融液と等しくし、かつ外殻の被覆層は上記融液に対して
ぬれやすい物質から成ることを特徴とするＸ線透視法に
よる融液対流可視化用トレーサを提供することにある。
用いるトレーサにおいて、Ｘ線吸収係数の大きい物質か
ら成る核と、この核のまわりに、上記融液に対して不活
性の高融点の被覆層が一層以上設けられ、さらにこの被
覆層の厚さを調節することによりトレーサ全体の比重を
融液と等しくし、かつ外殻の被覆層は上記融液に対して
ぬれやすい物質から成ることを特徴とするＸ線透視法に
よる融液対流可視化用トレーサを提供することにある。
（作用） 本発明においてはタングステンやモリブデン、白金等を
核とし、その周囲には融液より高い融点を持ち且つ不活
性な物質で被覆し、この被覆層の厚さを融液とトレーサ
の比重がほぼ等しくなる様に調節し、再に最外周を融液
に対して濡れやすい物質を被覆する構造とした。このよ
うなトレーサを用いることにより融液中に長時間にわた
り存在存在し得る可能となる。
核とし、その周囲には融液より高い融点を持ち且つ不活
性な物質で被覆し、この被覆層の厚さを融液とトレーサ
の比重がほぼ等しくなる様に調節し、再に最外周を融液
に対して濡れやすい物質を被覆する構造とした。このよ
うなトレーサを用いることにより融液中に長時間にわた
り存在存在し得る可能となる。
（実施例） 以下本発明のトレーサを用いてＸ線透視法によりシリコ
ン融液中の対流を観測した例を示す。第１図はシリコン
の融液観察するために用いた本発明のトレーサの断面図
である。
ン融液中の対流を観測した例を示す。第１図はシリコン
の融液観察するために用いた本発明のトレーサの断面図
である。
第１図において核１はタングステン線（比重19.3）で線
径0.5nm長さ0.5nmより形成しトレーサ全体の密度が溶融
シリコンの比重（2.52）とほぼ同一となる様に石英ガラ
ス（比重2.2）管を溶融することにより内殻の被覆層２
の厚さを調節し被覆した。再に外殻の被覆層３としてカ
ーボン粉末を塗布し溶融シリコンとトレーサーの濡れが
良くなるような構造とした。
径0.5nm長さ0.5nmより形成しトレーサ全体の密度が溶融
シリコンの比重（2.52）とほぼ同一となる様に石英ガラ
ス（比重2.2）管を溶融することにより内殻の被覆層２
の厚さを調節し被覆した。再に外殻の被覆層３としてカ
ーボン粉末を塗布し溶融シリコンとトレーサーの濡れが
良くなるような構造とした。
石英るつぼ中にシリコン多結晶原料を入れ、その上に上
記のトレーサーを載せ、アルゴンガス中で多結晶原料を
溶融し温度を1500℃に保持しＸ線透視法により融液中の
対流を観測したところ長時間にわたり融液の対流に対応
してトレーサの移動が観測され対流の観測が可能であっ
た。
記のトレーサーを載せ、アルゴンガス中で多結晶原料を
溶融し温度を1500℃に保持しＸ線透視法により融液中の
対流を観測したところ長時間にわたり融液の対流に対応
してトレーサの移動が観測され対流の観測が可能であっ
た。
以上、実施例においてはタングステンを核とし、内殻の
被覆層として石英ガラス、外殻の被覆層としてカーボン
を用いたが、材料はこれらに限定されたものではないこ
とは言うまでもない。核はＸ線吸収係数の高い物質、例
えばモリブデンや白金など、また内殻の被覆層は耐熱性
が高く不活性な物質、窒化ボロン等、さらに外殻の被覆
層は融体に帯して濡れ易い物質例えば窒化シリコンなど
を適宜、選択し得る。また測定する融液は半導体に限る
ものではないことは明らかである。
被覆層として石英ガラス、外殻の被覆層としてカーボン
を用いたが、材料はこれらに限定されたものではないこ
とは言うまでもない。核はＸ線吸収係数の高い物質、例
えばモリブデンや白金など、また内殻の被覆層は耐熱性
が高く不活性な物質、窒化ボロン等、さらに外殻の被覆
層は融体に帯して濡れ易い物質例えば窒化シリコンなど
を適宜、選択し得る。また測定する融液は半導体に限る
ものではないことは明らかである。
また被覆層は２層としたが、２層である必要はなく１つ
の被覆層が熱的化学的に安定で融体とのぬれが良好でか
つ、トレーサ全体の比重を融体と等しくすることが可能
であれば、１層の被覆層によっても本発明の効果は得ら
れる。
の被覆層が熱的化学的に安定で融体とのぬれが良好でか
つ、トレーサ全体の比重を融体と等しくすることが可能
であれば、１層の被覆層によっても本発明の効果は得ら
れる。
（発明の効果） 以上のように本発明によるトレーサを用いれば、融液の
対流を長時間、Ｘ線透視法により観察することが可能と
なる。
対流を長時間、Ｘ線透視法により観察することが可能と
なる。
第１図は本発明の一実施例におけるトレーサの断面図で
ある。 １……核、２……内殻の被覆層、３……外殻の被覆層
ある。 １……核、２……内殻の被覆層、３……外殻の被覆層
Claims (1)
- 【請求項１】融液の対流をＸ線透視法により可視化する
目的で用いるトレーサにおいて、Ｘ線吸収係数の大きい
物質から成る核と、この核のまわりに、上記融液に対し
て不活性でかつ高融点の被覆層が一層以上設けられ、こ
の被覆層の厚さを調節することによりトレーサ全体の比
重を融液と等しくし、かつ外殻の被覆層は上記融液に対
してぬれやすい物質から成ることを特徴とするＸ線透視
法による融液の対流可視化用トレーサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62218812A JPH0675021B2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 | Ｘ線透視法による融液の対流可視化用トレーサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62218812A JPH0675021B2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 | Ｘ線透視法による融液の対流可視化用トレーサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6461657A JPS6461657A (en) | 1989-03-08 |
| JPH0675021B2 true JPH0675021B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=16725728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62218812A Expired - Fee Related JPH0675021B2 (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 | Ｘ線透視法による融液の対流可視化用トレーサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0675021B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2782796B2 (ja) * | 1989-06-15 | 1998-08-06 | 日本電気株式会社 | 融体観察用トレーサの作製方法 |
| CN112254925B (zh) * | 2020-10-16 | 2021-08-17 | 中国科学院力学研究所 | 一种基于熔流示踪的流场显示方法 |
-
1987
- 1987-08-31 JP JP62218812A patent/JPH0675021B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6461657A (en) | 1989-03-08 |
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Legal Events
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