JPH06723A - 細穴放電加工装置 - Google Patents
細穴放電加工装置Info
- Publication number
- JPH06723A JPH06723A JP20420392A JP20420392A JPH06723A JP H06723 A JPH06723 A JP H06723A JP 20420392 A JP20420392 A JP 20420392A JP 20420392 A JP20420392 A JP 20420392A JP H06723 A JPH06723 A JP H06723A
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- JP
- Japan
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- machining
- electric discharge
- liquid
- pipe electrode
- pump
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 直径１ｍｍφ程度以下の細穴加工が高精度で
高速度に加工でき、ポンプ等の加工液供給装置のコスト
も低下させることにある。 【構成】 細い中空パイプ電極１を被加工体４に対向し
た間隙に、ポンプ９によってパイプ電極１を通して加工
液を噴流供給しながら加工電源６から供給されるパルス
によってパルス放電を行なって穴明け加工する細穴放電
加工装置に於て、前記被加工体４の加工部分の周りを囲
むように液溜１１を設け、これにポンプ９による分流加
工液を供給して常に一定の加工液を介在させるようにし
たことを特徴とする。
高速度に加工でき、ポンプ等の加工液供給装置のコスト
も低下させることにある。 【構成】 細い中空パイプ電極１を被加工体４に対向し
た間隙に、ポンプ９によってパイプ電極１を通して加工
液を噴流供給しながら加工電源６から供給されるパルス
によってパルス放電を行なって穴明け加工する細穴放電
加工装置に於て、前記被加工体４の加工部分の周りを囲
むように液溜１１を設け、これにポンプ９による分流加
工液を供給して常に一定の加工液を介在させるようにし
たことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は細穴放電加工装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、直径約１ｍｍφ程度以下の細穴放
電加工するものに、パイプ電極を設け、該パイプ電極か
ら加工間隙に加工液を噴射しながら加工することが知ら
れているが、加工中被加工体内に侵入した電極の側面と
加工穴入口部分でしばしば放電を起し、加工穴を拡大し
て細穴精度を低下させ、電極消耗比を増大すると共に加
工速度を減少する欠点がある。又、この欠点を除去する
ために前記パイプ電極から噴射する加工液圧を２０ｋｇ
／ｃｍ２以上の高圧噴射させることが提案されたが、こ
のような高圧噴射をするためには高パワーで、高性能の
ポンプを必要とし、極めてコストアップになる。又、細
いパイプ電極が振動しないために強固に支持し、ガイド
しなければならず、装置の構造が極めて複雑になる。
電加工するものに、パイプ電極を設け、該パイプ電極か
ら加工間隙に加工液を噴射しながら加工することが知ら
れているが、加工中被加工体内に侵入した電極の側面と
加工穴入口部分でしばしば放電を起し、加工穴を拡大し
て細穴精度を低下させ、電極消耗比を増大すると共に加
工速度を減少する欠点がある。又、この欠点を除去する
ために前記パイプ電極から噴射する加工液圧を２０ｋｇ
／ｃｍ２以上の高圧噴射させることが提案されたが、こ
のような高圧噴射をするためには高パワーで、高性能の
ポンプを必要とし、極めてコストアップになる。又、細
いパイプ電極が振動しないために強固に支持し、ガイド
しなければならず、装置の構造が極めて複雑になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来の点に鑑
み、直径１ｍｍφ程度以下の細穴加工が高精度で、高速
度に加工でき、ポンプ等の装置のコストも低下させるこ
とを目的とするものである。
み、直径１ｍｍφ程度以下の細穴加工が高精度で、高速
度に加工でき、ポンプ等の装置のコストも低下させるこ
とを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】細い中空パイプ電極を被
加工体に対向した間隙に、前記中空パイプ電極から加工
液を噴流供給しながらパルス放電を行なって穴明け加工
する細穴放電加工装置に於て、前記被加工体の加工部分
の周りを囲むように液溜を設けたことを特徴とする。
加工体に対向した間隙に、前記中空パイプ電極から加工
液を噴流供給しながらパルス放電を行なって穴明け加工
する細穴放電加工装置に於て、前記被加工体の加工部分
の周りを囲むように液溜を設けたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】本発明は前記のように被加工体の加工部分の周
りを囲むように液溜を設け、この液溜に加工液を溜めな
がら放電加工するようにしたので、加工穴の入口部分に
常に一定の加工液を介在させることができ、パイプ電極
の側面とで発生する気中放電等を防止することができ
る。したがって、放電はパイプ電極の先端部分に集中さ
せて発生でき、加工精度を向上し加工速度を高めること
ができる。又、前記のように加工穴入口部分の放電を防
止できるから、噴流する液圧を下げることができ、これ
によりポンプ等のコストを低下させて安定加工すること
ができる。
りを囲むように液溜を設け、この液溜に加工液を溜めな
がら放電加工するようにしたので、加工穴の入口部分に
常に一定の加工液を介在させることができ、パイプ電極
の側面とで発生する気中放電等を防止することができ
る。したがって、放電はパイプ電極の先端部分に集中さ
せて発生でき、加工精度を向上し加工速度を高めること
ができる。又、前記のように加工穴入口部分の放電を防
止できるから、噴流する液圧を下げることができ、これ
によりポンプ等のコストを低下させて安定加工すること
ができる。
【０００６】
【実施例】以下、図面の一実施例により本発明を説明す
る。図１おいて、１は細いパイプ電極で、通常径が０．
１〜１ｍｍφ程度のＣｕ，Ｂｓパイプ等が用いられる。
このパイプ電極を加工ヘッド２の先端のチャック３に取
付固定して加工する。４は被加工体で、Ｘ，Ｙ駆動テー
ブル５に固定され、前記パイプ電極１の対向により細穴
放電加工が行なわれる。６は電極１と被加工体４間にパ
ルス電圧を加える加工電源、７は電極の駆動防止のガイ
ド、８はガイドを貫通する通電子、９はタンク１０に貯
蔵された水等の加工液を供給するポンプで、パイプ電極
１のチャック３部分からパイプ１を通して加工間隙に噴
流する。１１は被加工体４の加工穴部分の周りを囲むよ
うに設けた液溜で、ポンプ９による分流液を供給する。
１２及び１３は加工テーブル５をＸ軸及びＹ軸に駆動す
るモーター、１４は加工ヘッド２をＺ軸に駆動するモー
ターで、いずれもＮＣ制御装置１５により制御される。
る。図１おいて、１は細いパイプ電極で、通常径が０．
１〜１ｍｍφ程度のＣｕ，Ｂｓパイプ等が用いられる。
このパイプ電極を加工ヘッド２の先端のチャック３に取
付固定して加工する。４は被加工体で、Ｘ，Ｙ駆動テー
ブル５に固定され、前記パイプ電極１の対向により細穴
放電加工が行なわれる。６は電極１と被加工体４間にパ
ルス電圧を加える加工電源、７は電極の駆動防止のガイ
ド、８はガイドを貫通する通電子、９はタンク１０に貯
蔵された水等の加工液を供給するポンプで、パイプ電極
１のチャック３部分からパイプ１を通して加工間隙に噴
流する。１１は被加工体４の加工穴部分の周りを囲むよ
うに設けた液溜で、ポンプ９による分流液を供給する。
１２及び１３は加工テーブル５をＸ軸及びＹ軸に駆動す
るモーター、１４は加工ヘッド２をＺ軸に駆動するモー
ターで、いずれもＮＣ制御装置１５により制御される。
【０００７】ポンプ９によってパイプ電極１から被加工
体４の加工間隙に供給噴出する加工液圧は２０ｋｇ／ｃ
ｍ２以下に下げることができ、通常１０〜１５ｋｇ／ｃ
ｍ２程度の噴出圧力で供給する。この加工液噴出状態で
加工電源６から加工パルスを供給して放電を繰返すこと
により放電加工するが、加工パルスはパルス幅が仕上条
件によって５〜３０μＦ程度のパルスを供給する。加工
の進行にしたがってＺ軸モーター１４を駆動してパイプ
電極１に送りを与えながら加工するが、この加工進行速
度はほぼ定速に進行し、ＮＣ制御装置１５の設定速度で
モーター１４を駆動することによってパイプ電極１を定
速で被加工体４内に侵入させて加工を行なう。勿論、間
隙の放電状態に送りの停止、及び後退バック等の制御装
置を設けることによって安定加工ができる。
体４の加工間隙に供給噴出する加工液圧は２０ｋｇ／ｃ
ｍ２以下に下げることができ、通常１０〜１５ｋｇ／ｃ
ｍ２程度の噴出圧力で供給する。この加工液噴出状態で
加工電源６から加工パルスを供給して放電を繰返すこと
により放電加工するが、加工パルスはパルス幅が仕上条
件によって５〜３０μＦ程度のパルスを供給する。加工
の進行にしたがってＺ軸モーター１４を駆動してパイプ
電極１に送りを与えながら加工するが、この加工進行速
度はほぼ定速に進行し、ＮＣ制御装置１５の設定速度で
モーター１４を駆動することによってパイプ電極１を定
速で被加工体４内に侵入させて加工を行なう。勿論、間
隙の放電状態に送りの停止、及び後退バック等の制御装
置を設けることによって安定加工ができる。
【０００８】加工中の被加工体加工穴の入口は液溜１１
の設置によって常に加工液が一定に介在する状態にあ
り、したがって加工液の噴流圧力を低下させてもこの部
分でパイプ電極１の側面と気中放電が発生するようなこ
とはなく、又、ガイド７によってパイプ電極１を安定に
ガイドしているので電極側面の短絡の発生もなく、追従
する電極１の先端に集中的に放電を発生することがで
き、高精度で高速度に加工を進めることができる。これ
により加工される細穴の加工深さは、穴径の１００倍か
ら２００倍程度に深穴加工することができる。始めの位
置の穴加工が終えたら電極１を上昇して後、モーター１
２，１３駆動により次の穴明け位置に位置出し制御して
同様の穴明加工をすることができる。なお、液溜１１に
はパイプ電極１から加工間隙に噴出する加工液が自然に
溜められるが、ポンプ９によるレリーフバルグによる分
流液を供給するようにしたことによって常に、一定量の
加工液を安定して溜めることができる。
の設置によって常に加工液が一定に介在する状態にあ
り、したがって加工液の噴流圧力を低下させてもこの部
分でパイプ電極１の側面と気中放電が発生するようなこ
とはなく、又、ガイド７によってパイプ電極１を安定に
ガイドしているので電極側面の短絡の発生もなく、追従
する電極１の先端に集中的に放電を発生することがで
き、高精度で高速度に加工を進めることができる。これ
により加工される細穴の加工深さは、穴径の１００倍か
ら２００倍程度に深穴加工することができる。始めの位
置の穴加工が終えたら電極１を上昇して後、モーター１
２，１３駆動により次の穴明け位置に位置出し制御して
同様の穴明加工をすることができる。なお、液溜１１に
はパイプ電極１から加工間隙に噴出する加工液が自然に
溜められるが、ポンプ９によるレリーフバルグによる分
流液を供給するようにしたことによって常に、一定量の
加工液を安定して溜めることができる。
【０００９】次に実験例を説明すれば、０．５ｍｍφの
パイプ電極でＴｉ材の加工するとき、加工液を１０ｋｇ
／ｃｍ２で噴流し、被加工体面上に５ｍｍの深さで加工
液を溜めたとき、加工電流２Ａで加速度が約８ｍｍ／ｍ
ｉｎであった。又被加工体上に１０ｍｍの深さの加工液
を溜めたとき、加工速度は約１２ｍｍ／ｍｉｎが得られ
た。尚、加工液は貯蔵タンクにおいて水を電気伝導度を
１０４Ωｃｍオーダにイオン交換樹脂で処理しながら循
環して利用した。又、前記実施例に於て、パイプ電極１
に回転を与えることも、超音波振動を与えることも有効
であり、加工チップの排除効果が高まり加工速度を高め
ることができる。
パイプ電極でＴｉ材の加工するとき、加工液を１０ｋｇ
／ｃｍ２で噴流し、被加工体面上に５ｍｍの深さで加工
液を溜めたとき、加工電流２Ａで加速度が約８ｍｍ／ｍ
ｉｎであった。又被加工体上に１０ｍｍの深さの加工液
を溜めたとき、加工速度は約１２ｍｍ／ｍｉｎが得られ
た。尚、加工液は貯蔵タンクにおいて水を電気伝導度を
１０４Ωｃｍオーダにイオン交換樹脂で処理しながら循
環して利用した。又、前記実施例に於て、パイプ電極１
に回転を与えることも、超音波振動を与えることも有効
であり、加工チップの排除効果が高まり加工速度を高め
ることができる。
【００１０】
【発明の効果】以上のように本発明は被加工体の加工部
分の周りを囲むように液溜を設け、この液溜に加工液を
溜めながら細穴放電加工を行なうようにしたので、加工
穴の入口部分に常に一定の加工液を介在させることがで
き、パイプ電極の側面と発生する気中放電等を防止する
ことができる。したがって放電はパイプ電極の先端部分
に集中させて発生でき、加工精度を向上し加工速度を高
めることができる。又、前記のように加工穴入口部分の
放電を防止できるから、噴流する液圧を充分に低下させ
ることができ、これによりポンプ等の加工液噴流装置の
コストを低下させ、安定した細穴加工をすることができ
る。
分の周りを囲むように液溜を設け、この液溜に加工液を
溜めながら細穴放電加工を行なうようにしたので、加工
穴の入口部分に常に一定の加工液を介在させることがで
き、パイプ電極の側面と発生する気中放電等を防止する
ことができる。したがって放電はパイプ電極の先端部分
に集中させて発生でき、加工精度を向上し加工速度を高
めることができる。又、前記のように加工穴入口部分の
放電を防止できるから、噴流する液圧を充分に低下させ
ることができ、これによりポンプ等の加工液噴流装置の
コストを低下させ、安定した細穴加工をすることができ
る。
【図１】本発明の一実施例構成図。
１ パイプ電極 ２ 加工ヘッド ３ チャック ４ 被加工体 ５ 加工テーブル ６ 加工電源 ７ ガイド ８ 通電子 ９ ポンプ １０ 加工液タンク １１ 液溜 １２，１３，１４ モーター １５ ＮＣ制御装置
Claims (2)
- 【請求項１】 細い中空パイプ電極を被加工体に対向し
た間隙に、前記中空パイプ電極から加工液を噴流供給し
ながらパルス放電を行なって穴明け加工する細穴放電加
工装置に於て、前記被加工体の加工部分の周りを囲むよ
うに液溜を設けたことを特徴とする細穴放電加工装置。 - 【請求項２】 請求項１に於て、前記液溜に加工液を供
給するようにしたことを特徴とする細穴放電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20420392A JPH06723A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 細穴放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20420392A JPH06723A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 細穴放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06723A true JPH06723A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=16486545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20420392A Pending JPH06723A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 細穴放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06723A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100574081B1 (ko) * | 2004-05-31 | 2006-04-27 | 주식회사 대산정밀 | 3차원 마이크로 방전 가공 장치를 제어하여 가공물을생산하는 방법 |
-
1992
- 1992-06-22 JP JP20420392A patent/JPH06723A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100574081B1 (ko) * | 2004-05-31 | 2006-04-27 | 주식회사 대산정밀 | 3차원 마이크로 방전 가공 장치를 제어하여 가공물을생산하는 방법 |
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