JPH0670565A - 超音波振動子及び超音波アクチュエータ - Google Patents
超音波振動子及び超音波アクチュエータInfo
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- JPH0670565A JPH0670565A JP4241301A JP24130192A JPH0670565A JP H0670565 A JPH0670565 A JP H0670565A JP 4241301 A JP4241301 A JP 4241301A JP 24130192 A JP24130192 A JP 24130192A JP H0670565 A JPH0670565 A JP H0670565A
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/202—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
-
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- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
-
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- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡易かつ小型で、振幅出力の大きな超音波振
動子を提供することを目的としている。 【構成】 一端が固定支持された第一の積層圧電素子２
と、第一の積層圧電素子２の他端に固着された共振器１
と、前記第一の積層圧電素子２の振動方向以外の方向で
前記共振器１に一端が固着された第二の積層圧電素子３
と、前記第二の積層圧電素子３の他端に固着された付加
質量体８とからなる。
動子を提供することを目的としている。 【構成】 一端が固定支持された第一の積層圧電素子２
と、第一の積層圧電素子２の他端に固着された共振器１
と、前記第一の積層圧電素子２の振動方向以外の方向で
前記共振器１に一端が固着された第二の積層圧電素子３
と、前記第二の積層圧電素子３の他端に固着された付加
質量体８とからなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧電素子や電歪素子等の
電気−機械エネルギー変換素子により超音波振動を発生
させる超音波振動子及び超音波アクチュエータに関す
る。
電気−機械エネルギー変換素子により超音波振動を発生
させる超音波振動子及び超音波アクチュエータに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の超音波振動子としては、
例えば、特開平２−７８７５号公報に開示された振動子
が知られている。この振動子では、図１７に示すよう
に、共振器１の上面に積層圧電素子２を固着するととも
に、共振器１の側面にはバイモルフ型の圧電素子３ａ、
３ｂを接着固定する。積層圧電素子２の上面には上台４
を固着し、この上に突起部５を設ける。そして、この超
音波振動子を使用するときには、積層圧電素子２と圧電
素子３ａ、３ｂとに互いに９０度位相のずれた交流電圧
を印加して、突起部５に楕円運動を行わせる。
例えば、特開平２−７８７５号公報に開示された振動子
が知られている。この振動子では、図１７に示すよう
に、共振器１の上面に積層圧電素子２を固着するととも
に、共振器１の側面にはバイモルフ型の圧電素子３ａ、
３ｂを接着固定する。積層圧電素子２の上面には上台４
を固着し、この上に突起部５を設ける。そして、この超
音波振動子を使用するときには、積層圧電素子２と圧電
素子３ａ、３ｂとに互いに９０度位相のずれた交流電圧
を印加して、突起部５に楕円運動を行わせる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の従来
の超音波振動子では、共振時のＹ方向（屈曲方向）振幅
を十分に得るのが難しいという問題点があった。これ
は、Ｙ方向の駆動にバイモルフ構造の圧電素子３ａ、３
ｂを用いているため、構造上、共振器厚みＴをあまり薄
くすることができず、このため共振器自体の剛性が高く
なり、十分な屈曲運動が得られないためである。
の超音波振動子では、共振時のＹ方向（屈曲方向）振幅
を十分に得るのが難しいという問題点があった。これ
は、Ｙ方向の駆動にバイモルフ構造の圧電素子３ａ、３
ｂを用いているため、構造上、共振器厚みＴをあまり薄
くすることができず、このため共振器自体の剛性が高く
なり、十分な屈曲運動が得られないためである。
【０００４】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、簡易かつ小型で、振幅出力の大きな超音波振動子を
提供することを目的としている。
で、簡易かつ小型で、振幅出力の大きな超音波振動子を
提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に係る本発明の超音波振動子は、一端が固定
支持された第一の積層圧電素子と、前記第一の積層圧電
素子の他端に固着された共振器と、前記第一の積層圧電
素子の振動方向以外の方向で前記共振器に一端が固着さ
れた第二の積層圧電素子と、前記第二の積層圧電素子の
他端に固着された付加質量体とから構成した。
に請求項１に係る本発明の超音波振動子は、一端が固定
支持された第一の積層圧電素子と、前記第一の積層圧電
素子の他端に固着された共振器と、前記第一の積層圧電
素子の振動方向以外の方向で前記共振器に一端が固着さ
れた第二の積層圧電素子と、前記第二の積層圧電素子の
他端に固着された付加質量体とから構成した。
【０００６】そして、請求項２に係る本発明の超音波振
動子は、一端が固定支持された第一の積層圧電素子と、
前記第一の積層圧電素子の他端に固着された共振器と、
前記第一の積層圧電素子の振動方向以外の方向で前記共
振器に一端が固着された左右対称で一対をなす第二の積
層圧電素子と、前記第二の積層圧電素子の他端に固着さ
れた付加質量体とから構成した。
動子は、一端が固定支持された第一の積層圧電素子と、
前記第一の積層圧電素子の他端に固着された共振器と、
前記第一の積層圧電素子の振動方向以外の方向で前記共
振器に一端が固着された左右対称で一対をなす第二の積
層圧電素子と、前記第二の積層圧電素子の他端に固着さ
れた付加質量体とから構成した。
【０００７】また、請求項３に係る本発明の超音波振動
子は、一端が固定支持された第一の積層圧電素子と、前
記第一の積層圧電素子の他端に固着された四角柱形状の
共振器と、前記第一の積層圧電素子の振動方向以外の方
向で前記共振器の４側面にそれぞれ一端が固着された第
二の積層圧電素子と、前記各々の第二の積層圧電素子の
他端に固着された付加質量体とから構成した。
子は、一端が固定支持された第一の積層圧電素子と、前
記第一の積層圧電素子の他端に固着された四角柱形状の
共振器と、前記第一の積層圧電素子の振動方向以外の方
向で前記共振器の４側面にそれぞれ一端が固着された第
二の積層圧電素子と、前記各々の第二の積層圧電素子の
他端に固着された付加質量体とから構成した。
【０００８】そして請求項４に記載したように、請求項
１乃至３記載の超音波振動子では、前記第一の積層圧電
素子の一端を保持部材を介して固定支持するとともに、
該保持部材にくびれ部を設けるようにしてもよい。
１乃至３記載の超音波振動子では、前記第一の積層圧電
素子の一端を保持部材を介して固定支持するとともに、
該保持部材にくびれ部を設けるようにしてもよい。
【０００９】また、請求項５に係る本発明の超音波振動
子は、一端が固定支持された共振器と、前記共振器の他
端に固着された第一の積層圧電素子と、前記第一の積層
圧電素子の振動方向以外の方向で前記共振器に一端が固
着された第二の積層圧電素子と、前記第二の積層圧電素
子の他端に固着された付加質量体とから構成した。
子は、一端が固定支持された共振器と、前記共振器の他
端に固着された第一の積層圧電素子と、前記第一の積層
圧電素子の振動方向以外の方向で前記共振器に一端が固
着された第二の積層圧電素子と、前記第二の積層圧電素
子の他端に固着された付加質量体とから構成した。
【００１０】さらに、請求項６に係る本発明の超音波振
動子は、一端に弾性部を有するとともに該弾性部を介し
て固定支持された共振器と、前記共振器の他端に固着さ
れた第一の積層圧電素子と、前記第一の積層圧電素子の
振動方向以外の方向で前記共振器に一端が固着された左
右対称で一対をなす第二の積層圧電素子と、前記第二の
積層圧電素子の他端を固定する保持部材とから構成し
た。
動子は、一端に弾性部を有するとともに該弾性部を介し
て固定支持された共振器と、前記共振器の他端に固着さ
れた第一の積層圧電素子と、前記第一の積層圧電素子の
振動方向以外の方向で前記共振器に一端が固着された左
右対称で一対をなす第二の積層圧電素子と、前記第二の
積層圧電素子の他端を固定する保持部材とから構成し
た。
【００１１】
【作用】上記構成からなる本発明の超音波振動子では、
第一の積層圧電素子による非共振縦振動と、第二の積層
圧電素子並びに付加質量体による屈曲共振振動とを合成
して振動子先端部に楕円振動を励起する。ここで付加質
量体は屈曲共振振動を増幅するように働く。
第一の積層圧電素子による非共振縦振動と、第二の積層
圧電素子並びに付加質量体による屈曲共振振動とを合成
して振動子先端部に楕円振動を励起する。ここで付加質
量体は屈曲共振振動を増幅するように働く。
【００１２】そして、請求項２に記載したように、第二
の積層圧電素子と付加質量体とを左右対称に対をなして
設けると、非対称による不要振動の発生が防止される。
の積層圧電素子と付加質量体とを左右対称に対をなして
設けると、非対称による不要振動の発生が防止される。
【００１３】また、請求項３に記載したように、第二の
積層圧電素子と付加質量体とを共振器の４側面に取り付
けると、合成された楕円振動が任意方向に向けられるよ
うになる。
積層圧電素子と付加質量体とを共振器の４側面に取り付
けると、合成された楕円振動が任意方向に向けられるよ
うになる。
【００１４】そして、請求項４に記載したように、第一
の積層圧電素子の一端を保持部材を介して固定支持する
とともに、該保持部材にくびれ部を設けるようにすれ
ば、屈曲振動により第一の積層圧電素子に加わる曲げ応
力が軽減される。
の積層圧電素子の一端を保持部材を介して固定支持する
とともに、該保持部材にくびれ部を設けるようにすれ
ば、屈曲振動により第一の積層圧電素子に加わる曲げ応
力が軽減される。
【００１５】また、請求項５に記載したように、第二の
積層圧電素子により屈曲振動する共振器の上面に第一の
積層圧電素子を取り付けるようにしても、第一の積層圧
電素子に曲げ応力が加わるのを防止できる。
積層圧電素子により屈曲振動する共振器の上面に第一の
積層圧電素子を取り付けるようにしても、第一の積層圧
電素子に曲げ応力が加わるのを防止できる。
【００１６】さらに、請求項６に記載したように、共振
器に弾性部を形成すれば、第一および第二の積層圧電素
子に曲げ応力が加わるのが防止される。
器に弾性部を形成すれば、第一および第二の積層圧電素
子に曲げ応力が加わるのが防止される。
【００１７】以下、添付図面を参照して本発明に係る超
音波振動子及び超音波アクチュエータのいくつかの実施
例を説明する。なお、図面の説明において同一の要素に
は同一符号を付し、重複する説明を省略する。
音波振動子及び超音波アクチュエータのいくつかの実施
例を説明する。なお、図面の説明において同一の要素に
は同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１８】
【実施例１】まず、本発明の実施例１を説明する。図１
は実施例１の超音波振動子を示す正面図である。図にお
いて、１は共振器で金属材を四角柱形状に加工したも
の、２及び３はいずれも積層圧電素子で板状の圧電素子
を複数積層したものである。第一の積層圧電素子２は底
面が基台７に接着固定され、上面には共振器１が接着固
定されている。共振器１の側面には第二の積層圧電素子
３の一端が接着固定されるとともに、第二の積層圧電素
子３の他端には付加質量体８が固着されている。ここ
で、共振器１の材質としては振動特性のよいアルミ、ジ
ュラルミン、ステンレス、真鍮などが適しており、一
方、付加質量体８の材質としては質量効果を得るために
比重の大きい材質が好ましく、鉄、銅、鉛、ステンレ
ス、真鍮などの金属、またはセラミックが適している。
は実施例１の超音波振動子を示す正面図である。図にお
いて、１は共振器で金属材を四角柱形状に加工したも
の、２及び３はいずれも積層圧電素子で板状の圧電素子
を複数積層したものである。第一の積層圧電素子２は底
面が基台７に接着固定され、上面には共振器１が接着固
定されている。共振器１の側面には第二の積層圧電素子
３の一端が接着固定されるとともに、第二の積層圧電素
子３の他端には付加質量体８が固着されている。ここ
で、共振器１の材質としては振動特性のよいアルミ、ジ
ュラルミン、ステンレス、真鍮などが適しており、一
方、付加質量体８の材質としては質量効果を得るために
比重の大きい材質が好ましく、鉄、銅、鉛、ステンレ
ス、真鍮などの金属、またはセラミックが適している。
【００１９】次に、本実施例を使用するに際しては、積
層圧電素子２及び３に互いに９０度位相のずれた正弦波
交流電圧を印加する。すると超音波振動子９の先端部
は、第一の積層圧電素子２による非共振振動で上下方向
に振動すると同時に、第二の積層圧電素子３による屈曲
共振振動で水平方向に振動し、これらの振動の合成によ
り楕円運動を行う。ここで駆動交流の周波数を、第二の
積層圧電素子３により励起される超音波振動子９の屈曲
共振周波数に一致させれば、積層圧電素子３に取り付け
た付加質量体８が屈曲共振振動を増幅するように働い
て、図２に示す如く、振動子全体を左右に大きく振動さ
せることができる。なお、楕円運動の回転方向を反転さ
せるには、第一の積層圧電素子２へ印加する交流の位相
を１８０度反転すればよい。
層圧電素子２及び３に互いに９０度位相のずれた正弦波
交流電圧を印加する。すると超音波振動子９の先端部
は、第一の積層圧電素子２による非共振振動で上下方向
に振動すると同時に、第二の積層圧電素子３による屈曲
共振振動で水平方向に振動し、これらの振動の合成によ
り楕円運動を行う。ここで駆動交流の周波数を、第二の
積層圧電素子３により励起される超音波振動子９の屈曲
共振周波数に一致させれば、積層圧電素子３に取り付け
た付加質量体８が屈曲共振振動を増幅するように働い
て、図２に示す如く、振動子全体を左右に大きく振動さ
せることができる。なお、楕円運動の回転方向を反転さ
せるには、第一の積層圧電素子２へ印加する交流の位相
を１８０度反転すればよい。
【００２０】本実施例によれば、積層圧電素子３により
屈曲振動を励起するので、従来のバイモルフ型の圧電素
子に比べて大きな振幅が得られる。そして積層圧電素子
３に取り付けた付加質量体８により屈曲共振振動を増幅
することができる。
屈曲振動を励起するので、従来のバイモルフ型の圧電素
子に比べて大きな振幅が得られる。そして積層圧電素子
３に取り付けた付加質量体８により屈曲共振振動を増幅
することができる。
【００２１】
【実施例２】次に、本発明の実施例２を説明する。図３
は実施例２の超音波振動子を示す正面図である。本実施
例は請求項２に対応するもので、前記共振器１に左右対
称で一対をなす第二の積層圧電素子３及び１０を取り付
けることとした。即ち、実施例２は、実施例１に積層圧
電素子１０及び付加質量体８を取り付けた構造となって
いる。
は実施例２の超音波振動子を示す正面図である。本実施
例は請求項２に対応するもので、前記共振器１に左右対
称で一対をなす第二の積層圧電素子３及び１０を取り付
けることとした。即ち、実施例２は、実施例１に積層圧
電素子１０及び付加質量体８を取り付けた構造となって
いる。
【００２２】次に、本実施例を使用するに際しては、積
層圧電素子３と積層圧電素子１０とに互いに１８０度位
相の異なる正弦波交流電圧を印加する。すると、積層圧
電素子３が伸張するときに積層圧電素子１０が収縮し
（図３（ｂ））、逆に積層圧電素子３が収縮するときに
積層圧電素子１０が伸張する（図３（ｃ））。そして実
施例１と同様に、積層圧電素子２に対しては積層圧電素
子３と互いに９０度位相のずれた正弦波交流電圧を印加
すれば、超音波振動子９の先端部は、第一の積層圧電素
子２による非共振振動で上下方向に振動すると同時に、
第二の積層圧電素子３、１０による屈曲共振振動で水平
方向に振動し、これらの振動の合成により楕円運動を行
う。
層圧電素子３と積層圧電素子１０とに互いに１８０度位
相の異なる正弦波交流電圧を印加する。すると、積層圧
電素子３が伸張するときに積層圧電素子１０が収縮し
（図３（ｂ））、逆に積層圧電素子３が収縮するときに
積層圧電素子１０が伸張する（図３（ｃ））。そして実
施例１と同様に、積層圧電素子２に対しては積層圧電素
子３と互いに９０度位相のずれた正弦波交流電圧を印加
すれば、超音波振動子９の先端部は、第一の積層圧電素
子２による非共振振動で上下方向に振動すると同時に、
第二の積層圧電素子３、１０による屈曲共振振動で水平
方向に振動し、これらの振動の合成により楕円運動を行
う。
【００２３】本実施例によれば、第二の積層圧電素子と
付加質量体とを左右対称に一対設けたので、振動子が左
右対称となって、形状のアンバランスによる不要振動の
発生が抑制される。しかも屈曲振動力が２倍となるの
で、より大きな振幅を得ることができる。
付加質量体とを左右対称に一対設けたので、振動子が左
右対称となって、形状のアンバランスによる不要振動の
発生が抑制される。しかも屈曲振動力が２倍となるの
で、より大きな振幅を得ることができる。
【００２４】
【実施例３】次に、本発明の実施例３を説明する。図４
は実施例３の超音波振動子を示す斜視図である。本実施
例は請求項３に対応するもので、四角柱形状の共振器１
の４側面にそれぞれ第二の積層圧電素子３、１０、１
１、１２を取り付けることとした。そして、これら積層
圧電素子の他端にはそれぞれ付加質量体８が接着固定さ
れている。
は実施例３の超音波振動子を示す斜視図である。本実施
例は請求項３に対応するもので、四角柱形状の共振器１
の４側面にそれぞれ第二の積層圧電素子３、１０、１
１、１２を取り付けることとした。そして、これら積層
圧電素子の他端にはそれぞれ付加質量体８が接着固定さ
れている。
【００２５】本実施例では、積層圧電素子２の上下振動
と、積層圧電素子３、１０によるＸ軸方向の屈曲振動と
を合成して、ＸＺ面での楕円振動を励起する。また、同
様に積層圧電素子２と積層圧電素子１１、１２との組み
合わせによりＹＺ面での楕円振動を励起する。そして、
積層圧電素子３、１０と積層圧電素子１１、１２との駆
動電圧と位相を調整すれば、任意方向の楕円振動を励起
することができる。
と、積層圧電素子３、１０によるＸ軸方向の屈曲振動と
を合成して、ＸＺ面での楕円振動を励起する。また、同
様に積層圧電素子２と積層圧電素子１１、１２との組み
合わせによりＹＺ面での楕円振動を励起する。そして、
積層圧電素子３、１０と積層圧電素子１１、１２との駆
動電圧と位相を調整すれば、任意方向の楕円振動を励起
することができる。
【００２６】
【実施例４】次に、本発明の実施例４を説明する。図５
は実施例４の超音波振動子を示す正面図である。本実施
例では、四角柱形状の共振器１の側面に溝部１３を形成
した。これにより、共振器１の屈曲振動方向の曲げ剛性
が低下して、積層圧電素子２に加わる曲げ応力を軽減す
ることができる。なお、実施例３のように共振器１の４
側面に第二の積層圧電素子を張り付けた場合には、溝部
１３も４側面に形成する。
は実施例４の超音波振動子を示す正面図である。本実施
例では、四角柱形状の共振器１の側面に溝部１３を形成
した。これにより、共振器１の屈曲振動方向の曲げ剛性
が低下して、積層圧電素子２に加わる曲げ応力を軽減す
ることができる。なお、実施例３のように共振器１の４
側面に第二の積層圧電素子を張り付けた場合には、溝部
１３も４側面に形成する。
【００２７】
【実施例５】次に、本発明の実施例５を説明する。図６
は実施例５の超音波振動子を一部破断して示す正面図で
ある。本実施例は請求項４に対応するもので、第一の積
層圧電素子２の一端を保持部材１４を介して基台７に固
定支持するとともに、保持部材１４にくびれ部１６を形
成した。なお１５は保持部材を基台７に固定するための
ボルトである。
は実施例５の超音波振動子を一部破断して示す正面図で
ある。本実施例は請求項４に対応するもので、第一の積
層圧電素子２の一端を保持部材１４を介して基台７に固
定支持するとともに、保持部材１４にくびれ部１６を形
成した。なお１５は保持部材を基台７に固定するための
ボルトである。
【００２８】本実施例によれば、保持部材１４のくびれ
部１６により、振動子全体の曲げ剛性が低下して屈曲振
幅を大きくすることができる。そして、曲げ応力はくび
れ部に集中して加わるようになり、積層圧電素子２に加
わる曲げ応力を軽減し、超音波振動子の信頼性を高める
ことができる。また、くびれ部１６には超音波振動子の
振動が基台７に伝わるのを絶縁遮断する効果もある。
部１６により、振動子全体の曲げ剛性が低下して屈曲振
幅を大きくすることができる。そして、曲げ応力はくび
れ部に集中して加わるようになり、積層圧電素子２に加
わる曲げ応力を軽減し、超音波振動子の信頼性を高める
ことができる。また、くびれ部１６には超音波振動子の
振動が基台７に伝わるのを絶縁遮断する効果もある。
【００２９】
【実施例６】次に、本発明の実施例６を説明する。図７
は実施例６の超音波振動子を一部破断して示す正面図で
ある。本実施例は請求項５に対応するもので、共振器１
と第一の積層圧電素子２とを上下逆にしたものである。
本実施例によれば、前述の実施例５よりもさらに、積層
圧電素子２に加わる応力を軽減することが可能となる。
は実施例６の超音波振動子を一部破断して示す正面図で
ある。本実施例は請求項５に対応するもので、共振器１
と第一の積層圧電素子２とを上下逆にしたものである。
本実施例によれば、前述の実施例５よりもさらに、積層
圧電素子２に加わる応力を軽減することが可能となる。
【００３０】
【実施例７】次に、本発明の実施例７を説明する。図８
は実施例７の超音波振動子を一部破断して示す正面図で
ある。図のように、この実施例では、積層圧電素子２の
上面に受け座１７を接着固定し、この受け座１７の中央
部には焼入されたステンレスボール１８がガタなく置け
るように凹面１９が加工され、共振器１の下面にも同様
の凹面２０が加工されている。また、積層圧電素子３、
１０の取り付けられた共振器１の本体部２１には、側面
２２、２３より下方に向けて薄板状の脚部２４が延設さ
れ、脚部２４の下端はボルト２５により基台７に締め付
けられ、これにより積層圧電素子２に圧縮方向の押圧力
が加わるようになっている。
は実施例７の超音波振動子を一部破断して示す正面図で
ある。図のように、この実施例では、積層圧電素子２の
上面に受け座１７を接着固定し、この受け座１７の中央
部には焼入されたステンレスボール１８がガタなく置け
るように凹面１９が加工され、共振器１の下面にも同様
の凹面２０が加工されている。また、積層圧電素子３、
１０の取り付けられた共振器１の本体部２１には、側面
２２、２３より下方に向けて薄板状の脚部２４が延設さ
れ、脚部２４の下端はボルト２５により基台７に締め付
けられ、これにより積層圧電素子２に圧縮方向の押圧力
が加わるようになっている。
【００３１】本実施例では、Ｙ方向の振動が、いままで
説明した屈曲振動と異なり、ボール１８を支点とした首
振り振動となる。従って、積層圧電素子２には曲げ応力
が全く働かない。しかも積層圧電素子２には常時圧縮方
向の力が付勢されているので超音波振動子の信頼性を高
めることができる。
説明した屈曲振動と異なり、ボール１８を支点とした首
振り振動となる。従って、積層圧電素子２には曲げ応力
が全く働かない。しかも積層圧電素子２には常時圧縮方
向の力が付勢されているので超音波振動子の信頼性を高
めることができる。
【００３２】
【実施例８】次に、本発明の実施例８を説明する。図９
は実施例８の超音波振動子を一部破断して示す正面図で
ある。本実施例は請求項６に対応するもので、共振器２
６の左右側面に固着された第二の積層圧電素子３、１０
の他端が保持部材２７により固定されている。そして、
保持部材２７はボルト２８により基台７に固定されてい
る。また、共振器２６には板状の弾性支持部２９が形成
され、共振器２６はＹ方向のみに傾動自在に支持され、
Ｘ、Ｚ方向には変位しないように支持されている。
は実施例８の超音波振動子を一部破断して示す正面図で
ある。本実施例は請求項６に対応するもので、共振器２
６の左右側面に固着された第二の積層圧電素子３、１０
の他端が保持部材２７により固定されている。そして、
保持部材２７はボルト２８により基台７に固定されてい
る。また、共振器２６には板状の弾性支持部２９が形成
され、共振器２６はＹ方向のみに傾動自在に支持され、
Ｘ、Ｚ方向には変位しないように支持されている。
【００３３】本実施例では、第二の積層圧電素子３、１
０の他端を変位しないように固定したので、質量無限大
の付加質量体を取り付けたのと同等の効果を有し、Ｙ方
向の振動力を強化することができる。また、共振器２６
に板状の弾性支持部２９を設けたので共振器２６の振動
が基台７に伝わるのを絶縁遮断することができて、効率
のよい超音波振動子を提供することができる。
０の他端を変位しないように固定したので、質量無限大
の付加質量体を取り付けたのと同等の効果を有し、Ｙ方
向の振動力を強化することができる。また、共振器２６
に板状の弾性支持部２９を設けたので共振器２６の振動
が基台７に伝わるのを絶縁遮断することができて、効率
のよい超音波振動子を提供することができる。
【００３４】
【実施例９】次に、本発明の実施例９を説明する。図１
０は実施例９の超音波振動子を一部破断して示す正面図
である。図のように、この実施例では、共振器１、積層
圧電素子３、１０、付加質量体８がボルト３１により貫
通締付されている。そして、積層圧電素子３、１０の貫
通穴３２はボルト３１の外径よりも大きく形成され、締
結時に積層圧電素子３、１０とボルト３１とが接触しな
いようになっている。
０は実施例９の超音波振動子を一部破断して示す正面図
である。図のように、この実施例では、共振器１、積層
圧電素子３、１０、付加質量体８がボルト３１により貫
通締付されている。そして、積層圧電素子３、１０の貫
通穴３２はボルト３１の外径よりも大きく形成され、締
結時に積層圧電素子３、１０とボルト３１とが接触しな
いようになっている。
【００３５】本実施例では、ボルト３１に締付力による
引張方向の弾性変形が生じ、この反力が積層圧電素子
３、１０に圧縮力として働く。従って、屈曲共振振動に
よる引張応力が積層圧電素子３、１０に作用することが
なくなって、圧電素子の破壊を防止し、超音波振動子の
信頼性を高めることができる。
引張方向の弾性変形が生じ、この反力が積層圧電素子
３、１０に圧縮力として働く。従って、屈曲共振振動に
よる引張応力が積層圧電素子３、１０に作用することが
なくなって、圧電素子の破壊を防止し、超音波振動子の
信頼性を高めることができる。
【００３６】なお、本実施例は、図１１または図１２に
示すように実施してもよい。図１１では２組のボルト３
３とナット３４にて締め付けを行った。この場合、積層
圧電素子３、１０に穴をあける必要がなく素子の厚み縦
振動面積を大きく確保できるので超音波振動子の出力が
増大する。また図１２では、弾性変形可能な締結部材３
５と付加質量体３６とを一体形成した。この例では共振
器１と積層圧電素子３、１０とを挟み込んで両側から付
加質量体３６を押圧し、レーザー溶接により２つの締結
部材を一体に固定した。本実施例は形状が簡単で製造の
工程を簡略化することができる。また、レーザーにより
強固に固定するので超音波振動子の信頼性を向上させる
ことができる。
示すように実施してもよい。図１１では２組のボルト３
３とナット３４にて締め付けを行った。この場合、積層
圧電素子３、１０に穴をあける必要がなく素子の厚み縦
振動面積を大きく確保できるので超音波振動子の出力が
増大する。また図１２では、弾性変形可能な締結部材３
５と付加質量体３６とを一体形成した。この例では共振
器１と積層圧電素子３、１０とを挟み込んで両側から付
加質量体３６を押圧し、レーザー溶接により２つの締結
部材を一体に固定した。本実施例は形状が簡単で製造の
工程を簡略化することができる。また、レーザーにより
強固に固定するので超音波振動子の信頼性を向上させる
ことができる。
【００３７】
【実施例１０】次に、本発明の実施例１０を説明する。
図１３は実施例１０の超音波振動子を一部破断して示す
正面図である。図のように、この実施例では、付加質量
体保持板３７を介して付加質量体３９を着脱自在に取り
付けた。３８は付加質量体３７に設けたネジ穴、４０は
取付のためのボルトである。
図１３は実施例１０の超音波振動子を一部破断して示す
正面図である。図のように、この実施例では、付加質量
体保持板３７を介して付加質量体３９を着脱自在に取り
付けた。３８は付加質量体３７に設けたネジ穴、４０は
取付のためのボルトである。
【００３８】本実施例では、付加質量体を着脱自在にし
たので、左右の積層圧電素子３、１０による屈曲振動の
共振周波数を調整することができる。従って、共振駆動
用の電気回路との調整が取りやすくなる。
たので、左右の積層圧電素子３、１０による屈曲振動の
共振周波数を調整することができる。従って、共振駆動
用の電気回路との調整が取りやすくなる。
【００３９】
【実施例１１】次に、本発明の実施例１１を説明する。
図１４は実施例１１の超音波振動子を示す正面図であ
る。図のように、この実施例では、共振器１の積層圧電
素子３、１０の張付面に、振動検出用の圧電素子４１を
接着固定した。圧電素子４１の上面には検出端子４２
が、共振器１にはグランド端子４３が接続されている。
図１４は実施例１１の超音波振動子を示す正面図であ
る。図のように、この実施例では、共振器１の積層圧電
素子３、１０の張付面に、振動検出用の圧電素子４１を
接着固定した。圧電素子４１の上面には検出端子４２
が、共振器１にはグランド端子４３が接続されている。
【００４０】本実施例では屈曲共振振動の周波数を圧電
素子４１により検出し、駆動回路へフィードバックをか
けて周波数の追尾を行うことにより、駆動効率を最大に
高めることができる。
素子４１により検出し、駆動回路へフィードバックをか
けて周波数の追尾を行うことにより、駆動効率を最大に
高めることができる。
【００４１】
【実施例１２】次に、本発明の実施例１２を説明する。
図１５は実施例１２の超音波アクチュエータを示す正面
図である。図のように、この装置では、共振器１の先端
部４４に面取りを施し、有機摺動材４５を貼着した。摺
動材４５はポリイミドをマトリクスとした材料に炭素繊
維、マイカ等の無機材料を含有させたもので、厚さ０．
５ｍｍ以下、好ましくは０．１ｍｍ程度のものである。
そして表面は、表面粗さ３μｍ以下に研磨仕上げがなさ
れている。ここで、４６は被駆動体で、超音波振動子９
と押圧機構４７とに挟まれるように配置されている。ま
た押圧機構４７は、固定部材４８の摺動穴４９にガタな
く摺動自在に挿通されたピン５０と、ピン５０の下端に
固定された板５１、並びに板５１に取り付けられた回転
自在なローラ５２とからなり、固定部材４８のネジ穴に
螺入する押圧ネジ５４とバネ５５により押圧力を調整す
るようになっている。そして被駆動体４６は、固定部５
７に回転自在に取付られたガイドローラ５６によりＹ方
向に移動可能に支持されている。
図１５は実施例１２の超音波アクチュエータを示す正面
図である。図のように、この装置では、共振器１の先端
部４４に面取りを施し、有機摺動材４５を貼着した。摺
動材４５はポリイミドをマトリクスとした材料に炭素繊
維、マイカ等の無機材料を含有させたもので、厚さ０．
５ｍｍ以下、好ましくは０．１ｍｍ程度のものである。
そして表面は、表面粗さ３μｍ以下に研磨仕上げがなさ
れている。ここで、４６は被駆動体で、超音波振動子９
と押圧機構４７とに挟まれるように配置されている。ま
た押圧機構４７は、固定部材４８の摺動穴４９にガタな
く摺動自在に挿通されたピン５０と、ピン５０の下端に
固定された板５１、並びに板５１に取り付けられた回転
自在なローラ５２とからなり、固定部材４８のネジ穴に
螺入する押圧ネジ５４とバネ５５により押圧力を調整す
るようになっている。そして被駆動体４６は、固定部５
７に回転自在に取付られたガイドローラ５６によりＹ方
向に移動可能に支持されている。
【００４２】本実施例では、超音波振動子９の先端部４
４の摺動部材４５を楕円運動させて被駆動体４６をＹ方
向に移動させる。このように、本発明の超音波振動子に
より簡単な構成で超音波アクチュエータを実現すること
ができる。また超音波振動子を円形状の物体に押圧接触
させれば、回転型の超音波アクチュエータを構成するこ
ともできる。
４の摺動部材４５を楕円運動させて被駆動体４６をＹ方
向に移動させる。このように、本発明の超音波振動子に
より簡単な構成で超音波アクチュエータを実現すること
ができる。また超音波振動子を円形状の物体に押圧接触
させれば、回転型の超音波アクチュエータを構成するこ
ともできる。
【００４３】
【実施例１３】次に、本発明の実施例１３を説明する。
図１６は実施例１３の超音波アクチュエータを示す正面
図である。図のように、この実施例では、押圧ネジ５４
により直接、板５１を押圧することとした。一方、被駆
動体４６はステンレス製の磨き板５８とステンレスの薄
板製をロ字状に形成した弾性体６０とからなり、両者間
には防振用ウレタンゴム５９が挟着されている。本実施
例では弾性体６０を被駆動体４６に一体構成したので押
圧機構６１の構造がより簡易になる。
図１６は実施例１３の超音波アクチュエータを示す正面
図である。図のように、この実施例では、押圧ネジ５４
により直接、板５１を押圧することとした。一方、被駆
動体４６はステンレス製の磨き板５８とステンレスの薄
板製をロ字状に形成した弾性体６０とからなり、両者間
には防振用ウレタンゴム５９が挟着されている。本実施
例では弾性体６０を被駆動体４６に一体構成したので押
圧機構６１の構造がより簡易になる。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波振
動子及び超音波アクチュエータによれば、積層圧電素子
にて屈曲振動を行うので屈曲共振振動の振幅を拡大する
ことが可能となり、簡易かつ小型でありながら、振幅出
力の大きな超音波振動子及び超音波アクチュエータを提
供することができる。
動子及び超音波アクチュエータによれば、積層圧電素子
にて屈曲振動を行うので屈曲共振振動の振幅を拡大する
ことが可能となり、簡易かつ小型でありながら、振幅出
力の大きな超音波振動子及び超音波アクチュエータを提
供することができる。
【図１】本発明による実施例１の超音波振動子を示す正
面図である。
面図である。
【図２】実施例１の超音波振動子の屈曲振動を説明する
ための図である。
ための図である。
【図３】本発明による実施例２の超音波振動子を示す正
面図である。
面図である。
【図４】本発明による実施例３の超音波振動子を示す斜
視図である。
視図である。
【図５】本発明による実施例４の超音波振動子を示す正
面図である。
面図である。
【図６】本発明による実施例５の超音波振動子を一部破
断して示す正面図である。
断して示す正面図である。
【図７】本発明による実施例６の超音波振動子を一部破
断して示す正面図である。
断して示す正面図である。
【図８】本発明による実施例７の超音波振動子を一部破
断して示す正面図である。
断して示す正面図である。
【図９】本発明による実施例８の超音波振動子を一部破
断して示す正面図である。
断して示す正面図である。
【図１０】本発明による実施例９の超音波振動子を一部
破断して示す正面図である。
破断して示す正面図である。
【図１１】本発明による実施例９の超音波振動子の変形
例を示す図である。
例を示す図である。
【図１２】本発明による実施例９の超音波振動子の変形
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図１３】本発明による実施例１０の超音波振動子を一
部破断して示す正面図である。
部破断して示す正面図である。
【図１４】本発明による実施例１１の超音波振動子を示
す正面図である。
す正面図である。
【図１５】本発明による実施例１２の超音波アクチュエ
ータを示す正面図である。
ータを示す正面図である。
【図１６】本発明による実施例１３の超音波アクチュエ
ータを示す正面図である。
ータを示す正面図である。
【図１７】従来の超音波振動子を示す斜視図である。
１，２６ 共振器 ２，３，１０，１１，１２ 積層圧電素子 ３ａ，３ｂ 圧電素子 ４ 上台 ５ 突起部 ７ 基台 ８，３６，３９ 付加質量体 ９ 超音波振動子 １３ 溝部 １４，２７，３０ 保持部材 １５，２５，２８，３１，３３，４０ ボルト １６ くびれ部 １７ 受け座 １８ ステンレスボール １９，２０ 凹面 ２１ 本体部 ２２，２３ 側面部 ２４ 脚部 ２９ 弾性支持部 ３２ 貫通穴 ３４ ナット ３５ 締結部材 ３７ 付加質量体保持板 ３８，５３ ネジ穴 ４１ 圧電素子 ４２ 検出端子 ４３ グランド端子 ４４ 先端部 ４５ 摺動材 ４６ 被駆動体 ４７ 押圧機構 ４８ 固定部材 ４９ 摺動穴 ５０ ピン ５１，５８ 板 ５２ ローラ ５４ 押圧ネジ ５５ バネ ５６ ガイドローラ ５７ 固定部 ５９ ウレタンゴム ６０ 弾性体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 津幡 敏晴 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 谷口 芳久 束京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 大内 孝司 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 今林 浩之 束京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 若林 勝裕 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 沢田 之彦 束京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 一端が固定支持された第一の積層圧電素
子と、前記第一の積層圧電素子の他端に固着された共振
器と、前記第一の積層圧電素子の振動方向以外の方向で
前記共振器に一端が固着された第二の積層圧電素子と、
前記第二の積層圧電素子の他端に固着された付加質量体
とからなる超音波振動子。 - 【請求項２】 一端が固定支持された第一の積層圧電素
子と、前記第一の積層圧電素子の他端に固着された共振
器と、前記第一の積層圧電素子の振動方向以外の方向で
前記共振器に一端が固着された左右対称で一対をなす第
二の積層圧電素子と、前記第二の積層圧電素子の他端に
固着された付加質量体とからなる超音波振動子。 - 【請求項３】 一端が固定支持された第一の積層圧電素
子と、前記第一の積層圧電素子の他端に固着された四角
柱形状の共振器と、前記第一の積層圧電素子の振動方向
以外の方向で前記共振器の４側面にそれぞれ一端が固着
された第二の積層圧電素子と、前記各々の第二の積層圧
電素子の他端に固着された付加質量体とからなる超音波
振動子。 - 【請求項４】 前記第一の積層圧電素子の一端を保持部
材を介して固定支持するとともに、該保持部材にくびれ
部を設けたことを特徴とする請求項１乃至３記載の超音
波振動子。 - 【請求項５】 一端が固定支持された共振器と、前記共
振器の他端に固着された第一の積層圧電素子と、前記第
一の積層圧電素子の振動方向以外の方向で前記共振器に
一端が固着された第二の積層圧電素子と、前記第二の積
層圧電素子の他端に固着された付加質量体とからなる超
音波振動子。 - 【請求項６】 一端に弾性部を有するとともに該弾性部
を介して固定支持された共振器と、前記共振器の他端に
固着された第一の積層圧電素子と、前記第一の積層圧電
素子の振動方向以外の方向で前記共振器に一端が固着さ
れた左右対称で一対をなす第二の積層圧電素子と、前記
第二の積層圧電素子の他端を固定する保持部材とからな
る超音波振動子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4241301A JPH0670565A (ja) | 1992-08-18 | 1992-08-18 | 超音波振動子及び超音波アクチュエータ |
| US08/480,885 US5523643A (en) | 1992-08-18 | 1995-06-07 | Ultrasonic piezoelectric transducer and ultrasonic actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005124377A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-05-12 | Kyocera Corp | 駆動装置 |
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| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |