JPH0669685A - 基板有無検出装置 - Google Patents

基板有無検出装置

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Publication number
JPH0669685A
JPH0669685A JP4102657A JP10265792A JPH0669685A JP H0669685 A JPH0669685 A JP H0669685A JP 4102657 A JP4102657 A JP 4102657A JP 10265792 A JP10265792 A JP 10265792A JP H0669685 A JPH0669685 A JP H0669685A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pallet
substrate
supply
sensor
display
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP4102657A
Other languages
English (en)
Inventor
Shu Ikuta
周 幾田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP4102657A priority Critical patent/JPH0669685A/ja
Publication of JPH0669685A publication Critical patent/JPH0669685A/ja
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  • Special Conveying (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】コンベアラインにおいて、基板の供給及び収納
を正確に行う。 【構成】供給収納位置の手前で、パレット2に固定され
ている、パレット2上での基板3の有無を表示する表示
部4の内容をセンサ5により検出する。センサ5が表示
部の内容を検出すると、ストッパ9が上昇し、パレット
2はストッパ9に突き当てられ、供給収納位置で停止す
る。供給収納位置では、光電センサ6によりパレット2
上で基板3の有無を再度検出する。このときセンサ5の
検出内容と光電センサ6の検出内容が一致すれば、供給
収納機8により供給収納動作を行い、ストッパ9を下降
させパレット2を発送する。センサ5と光電センサ6の
検出内容が異なる場合には、設定部7により表示部4に
異常と設定し、供給収納動作を行なわずにストッパ9を
下降させ、パレット2を搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は基板有無検出装置に関
し、特に基板の検査を行うコンベアラインにおいて、コ
ンベア上を搬送される空パレットに基板を正しく供給
し、検査終了後の基板をパレットから正しく収納するた
め、基板の供給収納位置において、パレット上の基板の
有無を検出する際の、基板有無検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図2は、従来の基板有無検出装置を示す
斜視図である。図2に示す基板有無検出装置は、コンベ
ア1と、コンベア1上を搬送されるパレット2に固定さ
れており、パレット2上での基板3の有無を表示可能な
表示部4と、供給収納位置手前でコンベア1に固定され
ており、表示部4の表示内容を検出するセンサ5と、供
給収納機8と、供給収納位置で、パレット2を停止させ
るためのエアシリンダで上下するストッパ9で構成され
る。
【0003】次にこの基板有無検出装置の動作について
説明する。パレット2はコンベア1上を搬送される。供
給収納位置手前において、パレット2に固定されている
パレット2上での基板3の有無を表示する表示部4の内
容を、センサ5により検出する。センサ5が表示部4の
内容を検出すると、ストッパ9が上昇し、パレット2は
ストッパ9に突き当てられ、供給収納位置で停止する。
センサ5で検出した結果により、パレット2上に基板3
が無い場合は、供給収納機8により、基板3をパレット
2へ供給する。また、センサ5で検出した結果により、
基板3が有る場合は、供給収納機8により基板3をパレ
ット2から収納する。供給収納動作完了後ストッパ9は
下降し、パレット2は再び搬送される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の基板有
無検出装置は、パレット2に固定された表示部4の表示
内容を、供給収納位置手前でセンサ5により検出し、そ
の検出内容によって基板をパレット2へ供給し、または
収納している。このように搬送中のパレット2に固定さ
れた表示部4をセンサで検出しているため、搬送中の振
動等により検出結果の信頼性が低いという欠点があっ
た。
【0005】例えば、パレット2上に基板が有るにもか
かわらず、センサ5により基板無しと検出された場合に
は、供給収納機8は基板の供給動作を行なうので、基板
をパレット2上に重ねて供給することになり、基板を損
傷する恐れがあるという欠点があった。逆に、パレット
2上に基板が無いにもかかわらず、センサ3により基板
有りと検出された場合には、供給収納機は基板の収納動
作を行なうので、動作に無駄が生ずるという欠点があっ
た。
【0006】また、通常このようなコンベアラインは、
無人で長時間運転させているので、上述したようなセン
サの誤動作による移載ミスが発生すると、作業者が確認
を行なう必要があり、システムを停止しなければならな
いという欠点もあった。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の基板有無検出シ
ステムは、コンベア上で基板の搬送が可能であり且つ基
板の有無を表示可能な表示部を有したパレットと、該パ
レットの前記表示部の表示内容を検出可能な第1の検出
手段と、前記パレット上における基板の有無を検出可能
でコンベアに固定された第2の検出手段と、コンベア上
で前記パレットを停止させる手段と、前記第1及び第2
の検出手段によって検出された内容が異なる場合に前記
表示部に異常を表示させる設定手段とを含んで構成され
る。
【0008】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。
【0009】図1は、本発明の一実施例を示す斜視図で
ある。図1に示す基板有無検出装置は、コンベア1と、
コンベア1上で基板3の搬送が可能なパレット2と、パ
レット2に固定されていてパレット2上での基板3の有
無を表示可能な表示部4と、供給収納位置手前でコンベ
ア1に固定されており、表示部4の内容を検出可能なセ
ンサ5と、供給及び収納位置でパレット2における基板
3の有無を検出可能で、コンベア1に固定されている光
電センサ6と、光電センサ6のアンプ11と、センサ5
で検出した内容と光電センサ6で検出した内容が異なる
場合に、表示部4に異常を表示させることが可能な設定
部7と、供給収納機8と、供給収納位置で、パレット2
を停止させるためのエアシリンダで上下するストッパ9
を含んで構成される。
【0010】次に動作について説明する。まず供給収納
位置の手前で、パレット2に固定されているパレット2
上での基板3の有無を表示する表示部4の内容を、セン
サ5により検出する。センサ5が表示部4の内容を検出
すると、ストッパ9が上昇し、パレット2はストッパ9
に突き当てられ、供給収納位置で停止する。次に供給収
納位置において、光電センサ6により、パレット2上で
の基板3の有無を再度検出する。このとき、センサ5の
検出内容と光電センサ6で検出した内容が一致してお
り、基板3が無い場合は、供給収納機8によりパレット
2へ基板を供給する。また基板3が有る場合は、供給収
納機8によりパレット2から基板3を収納する。供給収
納動作完了後ストップ9は下降し、パレット2は再び搬
送される。
【0011】センサ5の検出内容と光電センサ6で検出
した内容が異なる場合には、設定部7によってパレット
2上の表示部4に異常表示を設定した後、ストッパ9を
下降させ、供給収納動作を行なわずにパレット2を搬送
する。また、センサ5でパレット2上の表示部4の内容
を異常と検出した場合には、光電センサ6による検出動
作を行なわず、そのままパレット2を搬送する。
【0012】
【発明の効果】本発明の基板有無検出装置は供給収納位
置において、パレットが停止した状態で基板の有無を検
出する検出手段を設けているので、搬送中のパレットに
固定された表示部を検出した結果よりも検出結果の信頼
性が高いという効果と、供給収納位置における検出内容
と、パレット上の基板有無表示部の検出内容とが異なる
場合、パレット上の基板有無表示部に、異常を表示させ
る手段を設けているので表示部の検出内容が誤っていて
も、供給収納機による基板の供給収納動作に支障が無い
という効果がある。例えば、パレット上に基板が有る場
合に、センサで表示部を検出し、基板が無いと検出され
ても、供給収納位置にある光電センサでパレット上の基
板の有無を再度検出し、基板が有ると検出されると、供
給収納機は基板の供給動作を行なわないので、パレット
上で基板を重ねて供給することによる基板の損傷を防ぐ
ことが出来るという効果がある。逆に、パレット上に基
板が無い場合に、センサで表示部を検出し、基板が有る
と検出されても、供給収納位置にある光電センサでパレ
ット上の基板の有無を再度検出し、基板が無いと検出さ
れると、供給収納機は基板の収納動作を行なわないの
で、動作に無駄がなくなるという効果がある。
【0013】また、パレット上の基板有無表示部に異常
と設定されていた場合には、光電センサによる検出動作
及び供給収納動作を行なわないので、コンベア上でパレ
ットが渋滞し、搬送に支障が出ることがないため、コン
ベアラインとしてのシステムを停止する必要がないとい
う効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図2】従来の基板有無検出装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 コンベア 2 パレット 3 基板 4 表示部 5 センサ 6 光電センサ 7 設定部 8 供給収納機 9 ストッパ 11 アンプ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コンベア上で基板の搬送が可能であり且
    つ基板の有無を表示可能な表示部を有したパレットと、
    該パレットの前記表示部の表示内容を検出可能な第1の
    検出手段と、前記パレット上における基板の有無を検出
    可能でコンベアに固定された第2の検出手段と、コンベ
    ア上で前記パレットを停止させる手段と、前記第1及び
    第2の検出手段によって検出された内容が異なる場合に
    前記表示部に異常を表示させる設定手段とを含むことを
    特徴とする基板有無検出装置。
JP4102657A 1992-04-22 1992-04-22 基板有無検出装置 Withdrawn JPH0669685A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4102657A JPH0669685A (ja) 1992-04-22 1992-04-22 基板有無検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4102657A JPH0669685A (ja) 1992-04-22 1992-04-22 基板有無検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0669685A true JPH0669685A (ja) 1994-03-11

Family

ID=14333306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4102657A Withdrawn JPH0669685A (ja) 1992-04-22 1992-04-22 基板有無検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0669685A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102154171B1 (ko) * 2019-12-16 2020-09-09 에스아이에스 주식회사 분체 일괄처리 시스템

Cited By (1)

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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990706