JPH0666484A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
- Publication number
- JPH0666484A JPH0666484A JP23890592A JP23890592A JPH0666484A JP H0666484 A JPH0666484 A JP H0666484A JP 23890592 A JP23890592 A JP 23890592A JP 23890592 A JP23890592 A JP 23890592A JP H0666484 A JPH0666484 A JP H0666484A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- temperature
- control
- furnace
- thermocouple
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Heat Treatment Processes (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明の目的は、１つの制御用熱電対が断線
しても、炉内温度の制御ができ、被処理物にダメージを
与えない熱処理装置を提供することである。 【構成】この発明は、熱処理炉内に配設された被処理物
を加熱源からの熱で加熱する熱処理装置において、上記
熱処理炉内に複数の制御用熱電対を並列に配設すると共
に、ある１つの制御用熱電対が断線したとき、断線して
いないその他の制御用熱電対に自動的に切り替えること
のできる温度調節計を上記熱処理炉外に配設し、上記複
数の制御用熱電対の各々を上記温度調節計に並列に接続
したことを特徴とするものである。
しても、炉内温度の制御ができ、被処理物にダメージを
与えない熱処理装置を提供することである。 【構成】この発明は、熱処理炉内に配設された被処理物
を加熱源からの熱で加熱する熱処理装置において、上記
熱処理炉内に複数の制御用熱電対を並列に配設すると共
に、ある１つの制御用熱電対が断線したとき、断線して
いないその他の制御用熱電対に自動的に切り替えること
のできる温度調節計を上記熱処理炉外に配設し、上記複
数の制御用熱電対の各々を上記温度調節計に並列に接続
したことを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は複数の制御用熱電対の
各々を温度調節システムに並列に接続した熱処理装置に
関するものである。
各々を温度調節システムに並列に接続した熱処理装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の熱処理装置は図２に示されてお
り、同図において、熱処理炉１内には被処理物２が配設
され、その被処理物２の廻りには加熱源３が配置され、
加熱源３からの熱で被処理物２が加熱されるようになっ
ている。加熱源３には加熱源用電源４が接続されてい
る。熱処理炉１内には１つの制御用熱電対５が配設さ
れ、その制御用熱電対５によって炉内温度が測定可能に
なっている。熱処理炉１外には温度調節システム６が配
設され、その温度調節システム６に制御用熱電対５が接
続されている。制御用熱電対５で測定された炉内温度は
温度調節システム６に送られ、そこで設定温度と比較さ
れ、その比較に基づいて制御される制御信号が温度調節
システム６より加熱源用電源４に送られ、加熱源３の加
熱温度を調節して、炉内温度を制御している。
り、同図において、熱処理炉１内には被処理物２が配設
され、その被処理物２の廻りには加熱源３が配置され、
加熱源３からの熱で被処理物２が加熱されるようになっ
ている。加熱源３には加熱源用電源４が接続されてい
る。熱処理炉１内には１つの制御用熱電対５が配設さ
れ、その制御用熱電対５によって炉内温度が測定可能に
なっている。熱処理炉１外には温度調節システム６が配
設され、その温度調節システム６に制御用熱電対５が接
続されている。制御用熱電対５で測定された炉内温度は
温度調節システム６に送られ、そこで設定温度と比較さ
れ、その比較に基づいて制御される制御信号が温度調節
システム６より加熱源用電源４に送られ、加熱源３の加
熱温度を調節して、炉内温度を制御している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の熱処理装置は、
上記のように炉内温度の測定を１つの制御用熱電対５で
行っているため、被処理物２の加熱中に、制御用熱電対
５が断線したときには、炉内温度の測定が出来なくな
り、それが原因で、加熱源３の加熱温度の調節が困難と
なり、炉内温度を制御出来ず、被処理物２にダメージを
与えるようになる等の問題が起きた。
上記のように炉内温度の測定を１つの制御用熱電対５で
行っているため、被処理物２の加熱中に、制御用熱電対
５が断線したときには、炉内温度の測定が出来なくな
り、それが原因で、加熱源３の加熱温度の調節が困難と
なり、炉内温度を制御出来ず、被処理物２にダメージを
与えるようになる等の問題が起きた。
【０００４】この発明の目的は、上記問題を解決して、
１つの制御用熱電対が断線しても、炉内温度の制御がで
き、被処理物にダメージを与えない熱処理装置を提供す
るものである。
１つの制御用熱電対が断線しても、炉内温度の制御がで
き、被処理物にダメージを与えない熱処理装置を提供す
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、熱処理炉内に配設された被処理物を加
熱源からの熱で加熱する熱処理装置において、上記熱処
理炉内に複数の制御用熱電対を並列に配設すると共に、
ある１つの制御用熱電対が断線したとき、ある１つの制
御用熱電対が断線したとき又は断線と判断されたとき、
断線していないその他の制御用熱電対に自動的且つ短時
間で切り替えることのできる温度調節システムを上記熱
処理炉外に配設し、上記複数の制御用熱電対の各々を上
記温度調節システムに並列に接続したことを特徴とする
ものである。
に、この発明は、熱処理炉内に配設された被処理物を加
熱源からの熱で加熱する熱処理装置において、上記熱処
理炉内に複数の制御用熱電対を並列に配設すると共に、
ある１つの制御用熱電対が断線したとき、ある１つの制
御用熱電対が断線したとき又は断線と判断されたとき、
断線していないその他の制御用熱電対に自動的且つ短時
間で切り替えることのできる温度調節システムを上記熱
処理炉外に配設し、上記複数の制御用熱電対の各々を上
記温度調節システムに並列に接続したことを特徴とする
ものである。
【０００６】
【作用】この発明においては、ある１つの制御用熱電対
が断線したとき又は断線と判断されたとき、温度調節シ
ステムで断線していないその他の制御用熱電対に自動的
に切り替えるようにしているので、被処理物の加熱温度
を制御することが可能になる。
が断線したとき又は断線と判断されたとき、温度調節シ
ステムで断線していないその他の制御用熱電対に自動的
に切り替えるようにしているので、被処理物の加熱温度
を制御することが可能になる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の熱処理装置は図
１に示されており、同図において、熱処理炉１内には被
処理物２が配設され、その被処理物２の廻りには加熱源
３が配置され、加熱源３からの熱で被処理物２が加熱さ
れるようになっている。加熱源３には加熱源用電源４が
接続されている。熱処理炉１内には２つの制御用熱電対
５ａ、５ｂが配設され、そのうちの１つの制御用熱電対
５ａで炉内温度が測定され、もう１つの制御用熱電対５
ｂが炉内温度を測定する予備用とされている。熱処理炉
１外には制御用熱電対５ａ、５ｂに接続された温度調節
システム６が配設されていて、１つの制御用熱電対５ａ
が断線したとき、測定値が設定値から高温側へ急激にず
れていくので、設定値から約１００℃ずれた時点で、こ
の温度調節システム６のマイクロコンピュータが制御用
熱電対の切替信号を出し、断線していないもう１つの制
御用熱電対５ｂに自動的に切り替える。制御用熱電対５
ａで測定された炉内温度は温度調節計６に送られ、そこ
で設定温度と比較され、その比較に基づいて制御される
制御信号が温度調節計６より加熱源用電源４に送られ、
加熱源３の加熱温度を調節して、あらがじめ定められた
温度プログラムにそって、炉内温度を制御している。
しながら説明する。この発明の実施例の熱処理装置は図
１に示されており、同図において、熱処理炉１内には被
処理物２が配設され、その被処理物２の廻りには加熱源
３が配置され、加熱源３からの熱で被処理物２が加熱さ
れるようになっている。加熱源３には加熱源用電源４が
接続されている。熱処理炉１内には２つの制御用熱電対
５ａ、５ｂが配設され、そのうちの１つの制御用熱電対
５ａで炉内温度が測定され、もう１つの制御用熱電対５
ｂが炉内温度を測定する予備用とされている。熱処理炉
１外には制御用熱電対５ａ、５ｂに接続された温度調節
システム６が配設されていて、１つの制御用熱電対５ａ
が断線したとき、測定値が設定値から高温側へ急激にず
れていくので、設定値から約１００℃ずれた時点で、こ
の温度調節システム６のマイクロコンピュータが制御用
熱電対の切替信号を出し、断線していないもう１つの制
御用熱電対５ｂに自動的に切り替える。制御用熱電対５
ａで測定された炉内温度は温度調節計６に送られ、そこ
で設定温度と比較され、その比較に基づいて制御される
制御信号が温度調節計６より加熱源用電源４に送られ、
加熱源３の加熱温度を調節して、あらがじめ定められた
温度プログラムにそって、炉内温度を制御している。
【０００８】したがって、炉内温度を測定している１つ
の制御用熱電対５ａが断線したときには、温度調節シス
テム６によって、断線していないもう１つの制御用熱電
対５ｂに自動的に切り替えられ、そして、加熱源３の加
熱温度を調節して、炉内温度が制御されるようになる。
の制御用熱電対５ａが断線したときには、温度調節シス
テム６によって、断線していないもう１つの制御用熱電
対５ｂに自動的に切り替えられ、そして、加熱源３の加
熱温度を調節して、炉内温度が制御されるようになる。
【０００９】ところで、上記実施例では、２つの制御用
熱電対５ａ、５ｂを使用しているが、制御用熱電対の数
は２つ以上であってもよい。
熱電対５ａ、５ｂを使用しているが、制御用熱電対の数
は２つ以上であってもよい。
【００１０】
【発明の効果】この発明においては、ある１つの制御用
熱電対が断線したとき、温度調節システムで、断線して
いないその他の制御用熱電対にマイクロコンピューター
が自動的に切り替えるようにしているので、被処理物の
加熱温度を精密に制御することができ、被処理物にダメ
ージを与えなくなる効果を奏するようになる。
熱電対が断線したとき、温度調節システムで、断線して
いないその他の制御用熱電対にマイクロコンピューター
が自動的に切り替えるようにしているので、被処理物の
加熱温度を精密に制御することができ、被処理物にダメ
ージを与えなくなる効果を奏するようになる。
【図１】この発明の実施例の説明図
【図２】従来の熱処理装置の説明図
１・・・・・・・・熱処理炉 ２・・・・・・・・被処理物 ３・・・・・・・・加熱源 ４・・・・・・・・加熱源用電源 ５ａ、５ｂ・・・・制御用熱電対 ６・・・・・・・・温度調節システム
Claims (1)
- 【請求項１】熱処理炉内に配設された被処理物を加熱源
からの熱で加熱する熱処理装置において、上記熱処理炉
内に複数の制御用熱電対を並列に配設すると共に、ある
１つの制御用熱電対が断線したとき又は断線と判断され
たとき、断線していないその他の制御用熱電対に自動的
に切り替えることのできる温度調節システムを上記熱処
理炉外に配設し、上記複数の制御用熱電対の各々を上記
温度調節システムに並列に接続したことを特徴とする熱
処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23890592A JPH0666484A (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23890592A JPH0666484A (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666484A true JPH0666484A (ja) | 1994-03-08 |
Family
ID=17037016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23890592A Pending JPH0666484A (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666484A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999059196A1 (en) * | 1998-05-11 | 1999-11-18 | Semitool, Inc. | Temperature control system for a thermal reactor |
| JP2010045340A (ja) * | 2009-07-10 | 2010-02-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法及び温度制御装置 |
| JP2012231145A (ja) * | 2012-05-22 | 2012-11-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法、温度制御装置及び半導体製造装置のコントローラ |
-
1992
- 1992-08-14 JP JP23890592A patent/JPH0666484A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999059196A1 (en) * | 1998-05-11 | 1999-11-18 | Semitool, Inc. | Temperature control system for a thermal reactor |
| JP2010045340A (ja) * | 2009-07-10 | 2010-02-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法及び温度制御装置 |
| JP2012231145A (ja) * | 2012-05-22 | 2012-11-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造システム、半導体製造方法、温度制御方法、温度制御装置及び半導体製造装置のコントローラ |
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