JPH0664714B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH0664714B2 JPH0664714B2 JP58221840A JP22184083A JPH0664714B2 JP H0664714 B2 JPH0664714 B2 JP H0664714B2 JP 58221840 A JP58221840 A JP 58221840A JP 22184083 A JP22184083 A JP 22184083A JP H0664714 B2 JPH0664714 B2 JP H0664714B2
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- detection mark
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
- G11B5/3166—Testing or indicating in relation thereto, e.g. before the fabrication is completed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、２チヤンネルトラック用として構成された
薄膜磁気ヘッドに係り、特に両チヤンネル間出力特性の
均一化を計り得る薄膜磁気ヘッドに関するものである。
薄膜磁気ヘッドに係り、特に両チヤンネル間出力特性の
均一化を計り得る薄膜磁気ヘッドに関するものである。
従来、薄膜磁気ヘッドを作成する際、ギャップデプスを
調節するため複数個の検知マークを設けることが知られ
ている（特公昭52−38402号参照）。このように検知マ
ークを複数個設けると、薄膜ヘッドの磁気媒体対向面と
ギヤップデプス方向の傾きが垂直であるか否かの検出に
有効である。
調節するため複数個の検知マークを設けることが知られ
ている（特公昭52−38402号参照）。このように検知マ
ークを複数個設けると、薄膜ヘッドの磁気媒体対向面と
ギヤップデプス方向の傾きが垂直であるか否かの検出に
有効である。
ところで、回転磁気シートを対象とする２チヤンネルヘ
ッド記録装置（例えば、隣接トラックに各々１フィール
ド記録してフレームメモリとする）に用いる２チヤンネ
ル薄膜磁気ヘッドを作成する場合、同じ出力特性を得る
ためには両チヤンネルのヘッド部のギヤップデプスを同
一寸法に形成する必要がある。
ッド記録装置（例えば、隣接トラックに各々１フィール
ド記録してフレームメモリとする）に用いる２チヤンネ
ル薄膜磁気ヘッドを作成する場合、同じ出力特性を得る
ためには両チヤンネルのヘッド部のギヤップデプスを同
一寸法に形成する必要がある。
しかし、回転磁気シートとの良好なインターフエイスを
得るためには、ヘッドの磁気シート対向面の形状はギヤ
ップを頂上として丸みをおびた形が望ましく、トラック
幅方向も両側にゆるやかな彎曲を有することが要求され
るので、両チヤンネルヘッド部の両側にデプス検知マー
クを設けることは難かしい。
得るためには、ヘッドの磁気シート対向面の形状はギヤ
ップを頂上として丸みをおびた形が望ましく、トラック
幅方向も両側にゆるやかな彎曲を有することが要求され
るので、両チヤンネルヘッド部の両側にデプス検知マー
クを設けることは難かしい。
なぜかといえば、ヘッドの両側に彎曲面を形成する場
合、微妙な曲率半径を正確に実現することは不可能であ
り、したがって検知マークの位置を予め設定することが
困難となるからである。
合、微妙な曲率半径を正確に実現することは不可能であ
り、したがって検知マークの位置を予め設定することが
困難となるからである。
このような理由から、２チヤンネル薄膜磁気ヘッドにお
いて新しいギヤップデプス調整手段が要望されていた。
いて新しいギヤップデプス調整手段が要望されていた。
この発明は上記の事情に基づきなされたもので、磁気記
録媒体対向面の形状に悪影響を与えることなくギヤップ
デプス長の調整が容易でありしかも両チヤンネルのヘッ
ド部の特性を均一化することのできる薄膜磁気ヘッドを
提供しようとするものである。
録媒体対向面の形状に悪影響を与えることなくギヤップ
デプス長の調整が容易でありしかも両チヤンネルのヘッ
ド部の特性を均一化することのできる薄膜磁気ヘッドを
提供しようとするものである。
この発明は、ヘッド形成用基板上に１対の薄膜磁気ヘッ
ド部を形成しこれらのヘッド部間のガード部の中央に底
辺が磁気記録媒体対向面にある二等辺三角形で、かつ底
辺の長さと底辺からの高さすなわち底辺の中心から頂角
を形成する頂点までの長さがギヤップデプス長とほぼ同
じであるデプス検知マークを形成したことを特徴として
いる。
ド部を形成しこれらのヘッド部間のガード部の中央に底
辺が磁気記録媒体対向面にある二等辺三角形で、かつ底
辺の長さと底辺からの高さすなわち底辺の中心から頂角
を形成する頂点までの長さがギヤップデプス長とほぼ同
じであるデプス検知マークを形成したことを特徴として
いる。
この発明によれば、薄膜磁気記録媒体対向面側からデプ
ス検知マークを見ることができ、このマークと両側のヘ
ッド部との１対の距離が等しい場合にデプス検出マーク
がギヤップデプス長と等しくなるので、このマークを基
準として１対のヘッド部のギヤップデプス長を均一に保
ちながらその長さを容易に調節することができる。
ス検知マークを見ることができ、このマークと両側のヘ
ッド部との１対の距離が等しい場合にデプス検出マーク
がギヤップデプス長と等しくなるので、このマークを基
準として１対のヘッド部のギヤップデプス長を均一に保
ちながらその長さを容易に調節することができる。
さらに、この発明においてデプス検出マークを磁性体薄
膜で形成することにより、両チヤンネル間のシールドの
役目を果すことができクロストークを低減できる特長が
ある。
膜で形成することにより、両チヤンネル間のシールドの
役目を果すことができクロストークを低減できる特長が
ある。
以下図面を参照し、この発明の一実施例について説明す
る。
る。
第１図および第２図において、１は非磁性材料よりなる
ヘッド形成図基板であり、この基板１上にガード部２を
挾み、両チヤンネルトラックに対応するための１対のヘ
ッド部3a,3bが対称的に形成されている。
ヘッド形成図基板であり、この基板１上にガード部２を
挾み、両チヤンネルトラックに対応するための１対のヘ
ッド部3a,3bが対称的に形成されている。
ヘッド部3aは例えばパーマロイ、センダストアモルファ
ス合金等軟磁性薄膜からなる第１の磁気コア4aおよび第
２の磁気コア5aと、磁気ギヤップｇを形成するZrO２,Si
O２,Al２Ｏ３等の比較的硬い材質からなる非磁性層6a
と、Cu,Au,Al等の非磁性導体からなりスパイラル状に形
成された巻線7aによって構成されている。
ス合金等軟磁性薄膜からなる第１の磁気コア4aおよび第
２の磁気コア5aと、磁気ギヤップｇを形成するZrO２,Si
O２,Al２Ｏ３等の比較的硬い材質からなる非磁性層6a
と、Cu,Au,Al等の非磁性導体からなりスパイラル状に形
成された巻線7aによって構成されている。
第２の磁気コア5aは第１の磁気コア4aに対して１部が間
隔を保って形成され、この間隙部を巻線7aの破線で示し
た部分が通過するように構成されている。巻線7aはまた
その両側に端子8a,9aを備えている。
隔を保って形成され、この間隙部を巻線7aの破線で示し
た部分が通過するように構成されている。巻線7aはまた
その両側に端子8a,9aを備えている。
ヘッド部3bも、第１の磁気コア4bおよび第２の磁気コア
5b、磁気ギヤップｇを形成する非磁性層6b、並びに両端
に端子8b,9bを備えた巻線7bよりなり同一材料によって
ヘッド部3aと対称的に形成されている。
5b、磁気ギヤップｇを形成する非磁性層6b、並びに両端
に端子8b,9bを備えた巻線7bよりなり同一材料によって
ヘッド部3aと対称的に形成されている。
次にこの発明の特徴的構成であり、ギヤップデプス長ｄ
を検知するためのデプス検知用マーク10がガード部２の
中央部に設けられている。すなわち、デプス検知用マー
ク10は磁気記録媒体対向部に長さｄの底辺をもつ２等辺
三角形として構成され、底辺に相対する頂角（角度２
θ）を形成する頂点10Aは両ヘッド部3a,3b間の中心線上
長さｄの位置にある。したがって、頂点10Aは両チャン
ネルのヘッド部3a,3bのギヤップ下端すなわちデプス線
ＬＡおよびＬＢをほぼ一直線に並ぶように形成されてい
る。したがって の関係にある。
を検知するためのデプス検知用マーク10がガード部２の
中央部に設けられている。すなわち、デプス検知用マー
ク10は磁気記録媒体対向部に長さｄの底辺をもつ２等辺
三角形として構成され、底辺に相対する頂角（角度２
θ）を形成する頂点10Aは両ヘッド部3a,3b間の中心線上
長さｄの位置にある。したがって、頂点10Aは両チャン
ネルのヘッド部3a,3bのギヤップ下端すなわちデプス線
ＬＡおよびＬＢをほぼ一直線に並ぶように形成されてい
る。したがって の関係にある。
このデプス検知マーク10の材質については特定しない
が、磁気コア4a,4b,5a,5bと同じ材料を用いる場合に
は、第３図に示すように例えば第１の磁気コア4a,4bを
形成する際、同一マスクを用いて同時に形成することが
できる。こうすることによりデプス検知マーク10のヘッ
ド部3a,3bに対する位置精度を上げることができる。第
３図の状態に軟磁性薄膜11を形成した後、適当なデプス
位置のＢ−Ｂ′線までラッピングすることにより所望の
形状のディプス検知マークを得ることができる。なお、
ラッピングは第３図から明らかなように、ガード部２の
幅とギヤップデプス長が等しいＡ−Ａ′線以上行なう必
要がある。これは、構造上デプス長は常にガード部２の
幅より小さくなつているからである。
が、磁気コア4a,4b,5a,5bと同じ材料を用いる場合に
は、第３図に示すように例えば第１の磁気コア4a,4bを
形成する際、同一マスクを用いて同時に形成することが
できる。こうすることによりデプス検知マーク10のヘッ
ド部3a,3bに対する位置精度を上げることができる。第
３図の状態に軟磁性薄膜11を形成した後、適当なデプス
位置のＢ−Ｂ′線までラッピングすることにより所望の
形状のディプス検知マークを得ることができる。なお、
ラッピングは第３図から明らかなように、ガード部２の
幅とギヤップデプス長が等しいＡ−Ａ′線以上行なう必
要がある。これは、構造上デプス長は常にガード部２の
幅より小さくなつているからである。
両チヤンネルのヘッド部3a,3bのデグス長が同一である
かどうかは、ヘッド3a,3bからデフス検知マーク10まで
の距離ａ１,a２を観測しながら、ａ１＝ａ２となるよう
にラッピングすることにより可能である。ａ１＝ａ２で
あれば、デプス検知マーク10は２等辺三角形をなし、磁
気記録媒体面の傾きはないので、両ヘッド3a,3bのギヤ
ップデプスの長さを均一にすることができる。しかも、
この際２等辺三角形の底辺と高さは等しく、この高さは
ギヤップデプス長ｄと等しいので、底辺の長さを観測す
ることにより実際のギヤップデプス長ｄを知ることがで
きる。ａ≠ａ２であればデプス検知マーク10は２等辺三
角形とならず、磁気記録媒体面が傾くので両ヘッド3a,3
bのギヤップデプス長は等しくならない。
かどうかは、ヘッド3a,3bからデフス検知マーク10まで
の距離ａ１,a２を観測しながら、ａ１＝ａ２となるよう
にラッピングすることにより可能である。ａ１＝ａ２で
あれば、デプス検知マーク10は２等辺三角形をなし、磁
気記録媒体面の傾きはないので、両ヘッド3a,3bのギヤ
ップデプスの長さを均一にすることができる。しかも、
この際２等辺三角形の底辺と高さは等しく、この高さは
ギヤップデプス長ｄと等しいので、底辺の長さを観測す
ることにより実際のギヤップデプス長ｄを知ることがで
きる。ａ≠ａ２であればデプス検知マーク10は２等辺三
角形とならず、磁気記録媒体面が傾くので両ヘッド3a,3
bのギヤップデプス長は等しくならない。
なおヘッド形成基板１の反対側には、この基板１との間
にヘッド3a,3bおよびデプス検知マーク10を挾み、第２
図に２点鎖線で示したように非磁性材料よりなる保持板
12が添着される。
にヘッド3a,3bおよびデプス検知マーク10を挾み、第２
図に２点鎖線で示したように非磁性材料よりなる保持板
12が添着される。
この発明の薄膜磁気ヘッドは、磁気記録媒体対向側から
デプス検知マーク10を見ることができるので、この検知
マーク10の長さと両ヘッド3a,3bから検知マーク10まで
の距離ａ１,a２を観測しながら、ａ１＝ａ２となるよう
にラッピングすることにより、両ヘッド3a,3bのギヤッ
プデプスの長さを均一化し、しかも所望のギヤップ長ｄ
のヘッドを正確かつ容易に製作することができる。
デプス検知マーク10を見ることができるので、この検知
マーク10の長さと両ヘッド3a,3bから検知マーク10まで
の距離ａ１,a２を観測しながら、ａ１＝ａ２となるよう
にラッピングすることにより、両ヘッド3a,3bのギヤッ
プデプスの長さを均一化し、しかも所望のギヤップ長ｄ
のヘッドを正確かつ容易に製作することができる。
また、このヘッドを記録再生に使用中でも、必要に応じ
てデプス検知マーク10の底辺の長さおよび両ヘッド3a,3
bから検知マーク10までの距離を観測しその結果に基づ
き再調整を行なうことができる。
てデプス検知マーク10の底辺の長さおよび両ヘッド3a,3
bから検知マーク10までの距離を観測しその結果に基づ
き再調整を行なうことができる。
さらに、この発明のヘッドにおいて、デプス検知マーク
10を磁気コア4a,4b、5a,5bと同様に例えば軟磁性薄膜で
形成することにより、シールドの役目を果させることが
できるので、両チヤンネル間のクロストークを低減でき
る利点がある。
10を磁気コア4a,4b、5a,5bと同様に例えば軟磁性薄膜で
形成することにより、シールドの役目を果させることが
できるので、両チヤンネル間のクロストークを低減でき
る利点がある。
第４図はこの発明の異なる実施例を示すものである。第
１図および第２図に示した実施例は１対の磁気コア4a,5
aおよび4b,5bを用いてヘッド部3a,3bを形成した場合を
示したが、この実施例はヘッド形成基板１にＭｎＺｎフ
エライトのような軟磁性材料のものを用い、これを第１
の磁気コア4a,4bに代用させ第２の磁気コア5a,5bとによ
ってヘッド部3a,3bを構成したものである。この実施例
によっても、第１の実施例の場合と同様の効果を挙げる
ことができる。第４図においては、理解の便宜上第１図
および第２図に対応する部分を同一符号によって表示し
た。
１図および第２図に示した実施例は１対の磁気コア4a,5
aおよび4b,5bを用いてヘッド部3a,3bを形成した場合を
示したが、この実施例はヘッド形成基板１にＭｎＺｎフ
エライトのような軟磁性材料のものを用い、これを第１
の磁気コア4a,4bに代用させ第２の磁気コア5a,5bとによ
ってヘッド部3a,3bを構成したものである。この実施例
によっても、第１の実施例の場合と同様の効果を挙げる
ことができる。第４図においては、理解の便宜上第１図
および第２図に対応する部分を同一符号によって表示し
た。
なお、この発明は上記各実施例のみに限定されるもので
はなく、要旨を変更しない範囲において種々変形して実
施することができる。
はなく、要旨を変更しない範囲において種々変形して実
施することができる。
第１図はこの発明の一実施例の保持板を取り去った状態
の正面図、第２図は同実施例を磁気記録媒体対向側から
見た拡大平面図、第３図は同一マスクを用い第１の磁気
コアとデプス検知マークを同時に形成する場合の説明
図、第４図はこの発明の他の実施例を示す拡大平面図で
ある。 １……ヘッド形成用基板、２……ガード部 3a,3b……ヘッド部、4a,4b……第１の磁気コア 5a,5b……第２の磁気コア、6a,6b……非磁性層 7a,7b……巻線、8a,9a、8b,9b……端子 10……デプス検出マーク、10A……頂点 11……軟磁性薄膜、12……保持板
の正面図、第２図は同実施例を磁気記録媒体対向側から
見た拡大平面図、第３図は同一マスクを用い第１の磁気
コアとデプス検知マークを同時に形成する場合の説明
図、第４図はこの発明の他の実施例を示す拡大平面図で
ある。 １……ヘッド形成用基板、２……ガード部 3a,3b……ヘッド部、4a,4b……第１の磁気コア 5a,5b……第２の磁気コア、6a,6b……非磁性層 7a,7b……巻線、8a,9a、8b,9b……端子 10……デプス検出マーク、10A……頂点 11……軟磁性薄膜、12……保持板
Claims (5)
- 【請求項１】ヘッド形成用基板と、この基板上に所定長
さのガード部をおきその両側に形成された１対のヘッド
部と、前記ガード部の中央に形成されたギャップデプス
長検出用のデプス検出マークと、前記ヘッド部およびデ
プス検出マークを挾み前記ヘッド形成用基板に対し対向
して設けられた非磁性材料製の保持板とを備え、前記検
出マークは磁気記録媒体対向側から見て前記ヘッド形成
用基板に沿った，長さが前記１対のヘッド部のギャップ
デプス長とほぼ一致した，一辺を底辺とし、この底辺に
対向した頂角を構成する頂点が前記１対のヘッド部のギ
ャップ下端線とほぼ一直線に並びかつ前記ガード部のほ
ぼ中心線上に位置した二等辺三角形として構成されてい
ることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】ヘッド形成用基板が非磁性材料よりなるも
のであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項３】ヘッド形成用基板が磁性材料よりなるもの
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄
膜磁気ヘッド。 - 【請求項４】検出マークがヘッド部を形成する磁気コア
と同一磁性材料からなることを特徴とする特許請求の範
囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッ
ド。 - 【請求項５】検出マークは１対のヘッド部を形成する磁
気コアと同一磁性材料により同時に形成されたものであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項
のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58221840A JPH0664714B2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 薄膜磁気ヘッド |
| US06/673,799 US4622616A (en) | 1983-11-25 | 1984-11-21 | Thin film magnetic head for equalizing outputs of a two-channel tracking device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58221840A JPH0664714B2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60115010A JPS60115010A (ja) | 1985-06-21 |
| JPH0664714B2 true JPH0664714B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=16773010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58221840A Expired - Lifetime JPH0664714B2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4622616A (ja) |
| JP (1) | JPH0664714B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60163214A (ja) * | 1984-02-03 | 1985-08-26 | Canon Electronics Inc | 磁気ヘツド及びその製造方法 |
| KR930008776B1 (ko) * | 1984-10-31 | 1993-09-15 | 상요 덴기 가부시기가이샤 | 자기헤드 및 그 제조 방법 |
| JPS61142517A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
| JPS6467709A (en) * | 1987-09-09 | 1989-03-14 | Alps Electric Co Ltd | Thin film magnetic head and manufacture thereof |
| US4967301A (en) * | 1988-08-22 | 1990-10-30 | International Business Machines Corporation | Shallow magnetic head shield for reducing feedthrough |
| JPH06203317A (ja) * | 1992-11-13 | 1994-07-22 | Hitachi Metals Ltd | 浮上型複合磁気ヘッド及びその製造方法 |
| JPWO2002037480A1 (ja) * | 2000-10-26 | 2004-03-11 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置 |
| US20040173679A1 (en) * | 2001-08-03 | 2004-09-09 | Hajime Oki | Card reader |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5238402A (en) * | 1975-09-22 | 1977-03-25 | Furukawa Kogyo Kk | Tunnel excavator |
| JPS5629832A (en) * | 1979-08-10 | 1981-03-25 | Nec Corp | Manufacture for thin film magnetic head |
| JPS5674811A (en) * | 1979-11-20 | 1981-06-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head |
| US4458279A (en) * | 1981-03-23 | 1984-07-03 | Magnex Corporation | Thin film transducer and method of making same |
-
1983
- 1983-11-25 JP JP58221840A patent/JPH0664714B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1984
- 1984-11-21 US US06/673,799 patent/US4622616A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4622616A (en) | 1986-11-11 |
| JPS60115010A (ja) | 1985-06-21 |
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