JPH06243429A - 薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド - Google Patents

薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド

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JPH06243429A
JPH06243429A JP2807993A JP2807993A JPH06243429A JP H06243429 A JPH06243429 A JP H06243429A JP 2807993 A JP2807993 A JP 2807993A JP 2807993 A JP2807993 A JP 2807993A JP H06243429 A JPH06243429 A JP H06243429A
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JP
Japan
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tracks
thin film
magnetic head
magnetic core
channel
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Application number
JP2807993A
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Masakatsu Saito
正勝 斎藤
Katsuo Konishi
捷雄 小西
Hiroyuki Nagatomo
浩之 長友
Yuko Shibayama
優子 柴山
Hitoshi Yanagihara
仁 柳原
Yoshio Ikeda
由夫 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
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    • G11B5/3176Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
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    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
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    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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    • G11B5/488Disposition of heads
    • G11B5/4893Disposition of heads relative to moving tape

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 良好な実装性能を実現し、任意のトラック数
に対応可能な水平型の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド
を提供する。 【構成】 1個のマルチチャンネルヘッド当たりのトラ
ック数について、トラック幅方向のトラック数は最大2
個、走行方向のトラック数は最大4個の構成とし、さら
に、ウエーハ状態で、システムに必要なだけのトラック
数をトラック幅方向に最大2トラック、残りを走行方向
に展開して形成した水平型の薄膜マルチチャンネル磁気
ヘッドを、ギャップ深さGdの差が問題にならないトラ
ック数毎にチップ化し、1個のヘッドベース10上に複
数のヘッドチップを搭載する。 【効果】 摺動面に最適なR形状をもたせられるため、
良好な実装性能を実現するとともに、トラック配置やア
ジマス角度等を高精度に維持したまま、任意のトラック
数に対応可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はVTRなどの磁気記録再
生装置に用いられる薄膜マルチチャンネル磁気ヘッドに
係り、特に、同一基板上に複数の磁気ヘッドを形成した
薄膜マルチチャンネル磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】VTRは家庭用、業務用を問わず、高画
質で、長時間録画できることが求められ、広帯域化が図
られてきた。さらに、次世代VTR機器では一層の広帯
域伝送が必要とされるが、デジタル化によって、その広
帯域信号を複数の磁気ヘッドに分割、振り分けて記録す
る多チャンネル記録方式が一般的となる。このためには
マルチチャンネル磁気ヘッドが必要となり、しかも高密
度記録の必要性からトラック幅は10μm以下でその精
度としては1μm程度、また各チャンネルの位置決め精
度も当然のことながら1μm程度の高精度が要求され
る。これらのことからマルチチャンネル磁気ヘッドの1
つの方向として、薄膜磁気ヘッドが考えられている。
【0003】その例として、特開平4−11314号公
報に記載の水平型薄膜マルチヘッドがある。この薄膜磁
気ヘッドは下部磁気コア、導体コイル及び上部磁気コア
をそなえ、該上部磁気コアが磁気ギャップを介して突き
合わされた一対の磁性コア半体で形成され、この表面が
記録媒体との摺動面となっている。この従来例によれ
ば、トラック幅となる上部磁気コアを高精度で形成でき
るばかりでなく、マルチチャンネル化したときのトラッ
クピッチ及びアジマス角度についても高精度で任意に形
成できるとしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来技術
は、安定なテープタッチを得るためにヘッド先端(走行
方向及びトラック方向とも)に適度なR形状をもたせる
必要がある、という点についての配慮がなされていな
い。
【0005】このことは、前記従来の水平型薄膜磁気ヘ
ッドは、全トラックのコイル形成面及びギャップ深さゼ
ロ面がそれぞれ同一平面上になってしまう、という点と
絡んで、以下のような問題を生じる。
【0006】ヘッド先端にR形状をもたせた水平型薄膜
マルチヘッドの概念図を図10に示す。同図において、
1は基板、11は基板表面、2は薄膜コイルの表面を結
ぶ平面、3はギャップ深さゼロを結ぶ平面、4はテープ
と接触する適当なR形状を持つ摺動面、5は磁気ギャッ
プであり、磁気コアは省略してある。この図9の概念図
では、トラック幅方向に3チャンネル、走行方向に6チ
ャンネルのマルチトラック構成を示している。ヘッド先
端の初期のR形状は、走行方向及びトラック幅方向の曲
率半径Rx,Ryがそれぞれ1mm,10mm程度に設定さ
れる。このR形状の影響について以下に述べる。
【0007】前述した特開平4−11314号公報に記
載されているように、水平型磁気ヘッドは基板1上に順
次所定の薄膜を積層していくことで形成されることか
ら、図10に示したコイル表面を結ぶ平面2やギャップ
深さゼロを結ぶ平面3などは基板表面11と平行にな
る。すなわち、これらの平面2,3は摺動面4までの距
離が場所によって異なってしまい、甚だしい場合には、
その面積を大きくすれば平面2,3は摺動面4と交差し
てしまうことになる。
【0008】したがって、Ry<Rxに設定されるた
め、図10から明かなように、コイル形成可能な面積は
トラック幅方向の幅(概略チップ幅)の制限を受け、ト
ラック幅方向に配置可能なトラック数は制限されてしま
う。また、ギャップ深さゼロを結ぶ平面3と摺動面4と
の距離が場所によって異なることから、走行方向に配置
したトラック数が2チャンネルを越える場合、各ヘッド
のギャップ深さは、場所によって変わってしまい、性能
がばらつくという問題を生じる。あるいは逆に、以上の
ような問題を生じないように考えると、1つのマルチヘ
ッドにおいて、走行方向及びトラック幅方向ともに形成
可能なトラック数は制限されてしまう。
【0009】このように、水平型の薄膜マルチチャンネ
ル磁気ヘッドにおいて良好な実装性能を得るために摺動
面4に適度なRをもたせると、従来技術では各トラック
の性能がばらつき、あるいは任意の数のトラックを形成
できなくなる、という問題がある。
【0010】本発明の目的は、前述した従来技術の課題
を解決し、良好な実装性能を実現し、任意のトラック数
に対応可能な水平型の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド
を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記目的は、基板上に下
部磁気コア、薄膜コイル導体、コイル絶縁層、上部磁気
コア及び保護膜、等を順次積層して形成され、前記上部
磁気コアが一対の上部磁気コア半体を前記下部磁気コア
の表面に対して略直行する磁気ギャップを介して突き合
わせて形成され、該上部磁気コアの表面が記録媒体との
摺動面となる薄膜磁気ヘッド素子を1チップ上に複数個
形成してなる薄膜マルチチャンネル磁気ヘッドにおい
て、トラック幅方向及び走行方向にそれぞれ最大2個及
び4個のトラックを配置した構成とし、かつ、前記摺動
面に、トラック幅方向及び走行方向それぞれの曲率半径
Ry,Rxが、Ry<Rxなる関係の曲面を持たせた第
1の手段により達成される。
【0012】前記目的は、基板上に下部磁気コア、薄膜
コイル導体、コイル絶縁層、上部磁気コア及び保護膜、
等を順次積層して形成され、前記上部磁気コアが一対の
上部磁気コア半体を前記下部磁気コアの表面に対して略
直行する磁気ギャップを介して突き合わせて形成され、
該上部磁気コアの表面が記録媒体との摺動面となる薄膜
磁気ヘッド素子を1チップ上に複数個形成してなる薄膜
マルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、前記チップ形状
がその走行方向に2つの先端部が並んだ凹型で、該2つ
の先端部にトラック幅方向及び走行方向にそれぞれ最大
2個及び4個のトラックを配置したマルチチャンネルヘ
ッドを形成し、かつ、前記2つの先端部の走行方向の曲
率半径Rx1,Rx2は、走行方向に同一の仮想曲率半径
を持たず、それぞれ独立したR形状の曲面を持つ摺動面
を構成した第2の手段により達成される。
【0013】前記目的は、基板上に下部磁気コア、薄膜
コイル導体、コイル絶縁層、上部磁気コア及び保護膜、
等を順次積層して形成され、前記上部磁気コアが一対の
上部磁気コア半体を前記下部磁気コアの表面に対して略
直行する磁気ギャップを介して突き合わせて形成され、
該上部磁気コアの表面が記録媒体との摺動面となる薄膜
磁気ヘッド素子を1チップ上に複数個形成してなる薄膜
マルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、トラック幅方向
及び走行方向にそれぞれ最大2個及び4個のトラックを
配置した構成とし、かつ、前記摺動面に、トラック幅方
向及び走行方向それぞれの曲率半径Ry,Rxが、Ry
<Rxなる関係の曲面を持たせたマルチチャンネル磁気
ヘッドを1個のヘッドベース上に複数個搭載した第3の
手段により達成される。
【0014】前記目的は、基板上に下部磁気コア、薄膜
コイル導体、コイル絶縁層、上部磁気コア及び保護膜、
等を順次積層して形成され、前記上部磁気コアが一対の
上部磁気コア半体を前記下部磁気コアの表面に対して略
直行する磁気ギャップを介して突き合わせて形成され、
該上部磁気コアの表面が記録媒体との摺動面となる薄膜
磁気ヘッド素子を1チップ上に複数個形成してなる薄膜
マルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、前記チップ形状
がその走行方向に2つの先端部が並んだ凹型で、該2つ
の先端部にトラック幅方向及び走行方向にそれぞれ最大
2個及び4個のトラックを配置したマルチチャンネルヘ
ッドを形成し、かつ、前記2つの先端部の走行方向の曲
率半径Rx1,Rx2は、走行方向に同一の仮想曲率半径
を持たず、それぞれ独立したR形状の曲面を持つ摺動面
を構成するマルチチャンネル磁気ヘッドを1個のヘッド
ベース上に複数個搭載した第4の手段により達成され
る。
【0015】前記目的は、前記第1ないし4の手段にお
いて、トラック幅方向に配置した1個または2個の前記
薄膜磁気ヘッド素子の最外周コイル間の最大距離は、3
00μm以下である第5の手段により達成される。
【0016】前記目的は、前記第1ないし5の手段にお
いて、1つの独立した摺動面に、走行方向に3個または
4個のトラックを配置した薄膜マルチチャンネル磁気ヘ
ッドにおいて、各トラックの磁気ギャップ間隔が200
μm以下である第6の手段により達成される。
【0017】前記目的は、前記第3または4の手段にお
いて、前記1つのヘッドベースに搭載した複数のチップ
は、摺動面に露出し、各チップのトラックとの関係が所
定の関係にある共通の基準面ないし基準となるマーカー
を有している第7の手段により達成される。
【0018】前記目的は、前記第1ないし7の手段にお
いて、前記チップ先端部近傍において、トラック幅方向
のチップ両側に切欠き部を設け、摺動面の幅W’をチッ
プ幅Wより狭くした第8の手段により達成される。
【0019】前記目的は、前記第1ないし8の手段にお
いて、前記保護膜は、磁気ギャップの両側とトラック間
とでは異なる材料構成とし、前記磁気ギャップの両側と
の摩耗速度が前記トラック間との摩耗速度より早い材料
の組合せとした第9の手段により達成される。
【0020】前記目的は、前記第1ないし9の手段にお
いて、トラック幅方向に2個のトラックを配置した薄膜
マルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、2つの上部磁気
コアがそれぞれ摺動幅の中心よりにその磁路を曲げて形
成されている第10の手段により達成される。
【0021】前記目的は、前記第1ないし9の手段にお
いて、トラック幅方向に1個、走行方向に複数個のトラ
ックを配置した薄膜マルチチャンネル磁気ヘッドにおい
て、走行方向に並ぶ各トラックが摺動面のほぼ中央に1
直線に並んでいる第11の手段により達成される。
【0022】前記目的は、前記第1ないし9または11
の手段において、トラック幅方向に1個、走行方向に複
数個のトラックを配置した薄膜マルチチャンネル磁気ヘ
ッドにおいて、走行方向に並ぶ各トラックが階段状に並
んでいる第12の手段により達成される。
【0023】前記目的は、前記第12の手段において、
トラック幅方向に1個、走行方向に複数個のトラックを
配置した薄膜マルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、走
行方向に並ぶ各トラックの上部磁気コアの磁路を前記摺
動面の中心に対して点対称的に曲げて、各トラックを階
段状に並べた第13の手段により達成される。
【0024】前記目的は、前記第1ないし13の手段に
おいて、前記薄膜コイル導体の端子をトラック幅方向と
直交するチップ側面に設けた第14の手段により達成さ
れる。
【0025】
【作用】前記手段により、前述した1個のマルチチャン
ネルヘッド当たりのコイル形成幅及び各トラックのギャ
ップ間隔の制限によって、トラック幅方向の摺動面の曲
率半径Ryを1mm程度まで小さくでき、また、走行方向
についてはRx10mm程度と小さい曲率半径において、
トラック間のギャップ深さのばらつきを4μm程度にで
きる。これによって、各トラックの出力のばらつき幅を
実用上問題ないレベルである1dB程度に抑えた最大8
トラック(トラック幅方向に最大2個、走行方向に最大
4個のトラック配置)の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッ
ドを実現できる。
【0026】前記手段により、システムに必要なトラッ
ク数をウエーハ状態で、トラック幅方向に最大2トラッ
ク、残りを走行方向に展開して形成した水平型のマルチ
チャンネル磁気ヘッドを、ギャップ深さの差が問題にな
らないトラック数毎に1チップに分割して、1つのヘッ
ドベース上に搭載することによって、トラック数の制限
をはずすことができる。この時にあらかじめ、ウエーハ
状態で各トラックとの関係が所定の関係にある全トラッ
クに共通に設けた基準面がヘッドベースへの張り付け面
となるため、ヘッドチップをヘッドベースに搭載すると
き、各ヘッドチップの平行度及び高さ等の調整の必要が
ほとんど無く、作業性及び水平型薄膜磁気ヘッドの持つ
高精度なトラック配置やアジマス角度が容易に得られる
という特徴を損なうことはない。
【0027】
【実施例】以下、本発明に係る薄膜マルチチャンネル磁
気ヘッドの実施例を詳細に説明する。
【0028】図1及び図2は本発明に係る薄膜マルチチ
ャンネル磁気ヘッドの第1の実施例を示し、図1(a)
はヘッドチップ全体の斜視図、図1(b)は摺動面の正
面図、図2は図1に示すヘッドチップの1個のヘッド素
子の走行方向の断面図である。これらの図において、1
は基板、11は基板1の表面で、ヘッド素子形成面であ
る。4は磁気テープとの摺動面で、この摺動面4は走行
方向の曲率半径Rx、トラック幅方向の曲率半径Ryを
有し、また摺動面4の表面に磁気ギャップ5を挟んで突
き合わされた上部磁気コア半体6a,6bが露出されて
上部磁気コア6が構成されている。この磁気ギャップ5
は、コンター効果低減のため、摺動面4に露出している
上部磁気コア6の端部とは非平行に形成されている。ま
た、61は下部磁気コア、7は各ヘッド素子の保護及び
良好なテープタッチを得るために素子上に形成された保
護膜、8は基板1上に形成された薄膜コイル導体8a,
8bの形成領域(スぺース)、71はコイル導体8a,
8bの絶縁膜、9はコイル導体8a,8bから基板1に
明けた貫通穴9’を介して基板裏面側の側面に引き出さ
れた電極端子、2はコイル表面を結ぶ平面、3はギャッ
プ深さ零(ゼロ)を結ぶ平面である。このチップ側面に
コイル端子9を設けたのは、後述の他の実施例で示す
が、ヘッドベース上の電極端子との接続を容易にするた
めである。
【0029】本実施例では、チップ幅Wは300μm以
下、トラック幅方向のコイル形成幅は約200μm以
下、各ギャップ間隔Lは200μm以下に設定され、ト
ラック幅方向に1トラック、走行方向に4トラックがア
ジマス角が交互に変わるように、一直線上に並んで配さ
れている。回転シリンダへの実装状態では該ヘッドとテ
ープとは、所定の角度だけ交差するように走行すること
になるが、この角度の設定の仕方によってガードバンド
有り、無しの記録再生が選べる。このようなコイル形成
幅及びギャップ間隔Lで、走行方向のトラック数を最大
で4個とすることによって、初期の摺動面4のR形状を
曲率半径Ryを1mm程度、曲率半径Rxを10mm程度に
設定した場合でも、コイル形成には何等支障はなく、ま
た、各ヘッドのギャップ深さGdの差は4μm程度とな
り、出力にして1dB程度のばらつきに抑えられ、且
つ、実装状態で良好なテープタッチを容易に実現できる
ようになる。
【0030】以下に、ヘッド先端のR形状とコイル形成
面2との関係やギャップ間隔Lとギャップ深さGdの差
等について図3,図4を用いて説明することで、この効
果をより詳細に述べる。
【0031】図3はヘッド先端部のトラック幅方向断面
の曲率半径Ryによる変化を示したものである。図の横
軸は摺動面中心からのチップ幅方向の距離を、縦軸は摺
動面中心からの素子奥行き方向の距離を表している。
【0032】図2における上部磁気コア半体6a,6b
及びコイル絶縁膜の厚さを適当に設定し、ギャップ深さ
Gdを寿命を考慮して10〜15μm、また、摺動面4
からコイル表面を結ぶ平面2までの距離を15〜20μ
mとすれば、図3より、曲率半径Ryを1mmにした場
合、コイル形成可能な幅は約200μm確保できること
がわかる。これだけのスぺースがあれば、10〜20タ
ーンのコイル巻数は容易に形成できる。トラック幅方向
に複数トラックを配した場合でも、複数のトラック分の
コイル形成幅をこの範囲内にすればよい。しかし、曲率
半径Ryは曲率半径Rxより約1桁小さく設定されるた
め、3トラック以上になると後述するギャップ深さGd
による問題が曲率半径Rxによる場合より大きく生じ、
実際にはトラック幅方向には最大で2トラックしか配置
できず、しかもこの場合には、性能ばらつきを抑え、テ
ープタッチを安定化するために、トラック幅方向に対し
て対称に2トラックを配置するのが良い。
【0033】図4は走行方向に4トラック配置した場合
に、内側の2トラックと外側の2トラックとの間に生じ
るギャップ深さGdの差を曲率半径Rx及びギャップ間
隔Lをパラメータにして示したものである。ここで、各
トラックの出力ばらつき仕様を1dB以内にした場合、
出力のギャップ深さ依存性が0.2〜0.3dB/μm
程度であるから、4個のヘッドのギャップ深さGdを4
μm以下程度にする必要がある。したがって、図4よ
り、ギャップ間隔Lを約150μm程度に設定すれば良
いことがわかる。逆に、このことから、必要なコイル巻
数及びそのためのコイル形成領域8を考えると、走行方
向に配置可能なトラック数は4個が限度であるといえ
る。走行方向に3個トラックを配置した場合は、4個配
置の場合と同じである。なお、走行方向に2トラックし
か配置しない場合は、説明のようもなくギャップ深さG
dの差の問題は生じなく、ギャップ間隔は適当に設定す
れば良い。
【0034】以上説明したように、このようなコイル形
成幅(概略チップ幅)及びギャップ間隔Lで、トラック
幅方向に最大2個、走行方向に最大で4個のトラック配
置とすることによって、曲率半径Ryを1mm程度、曲率
半径Rxを10mm程度に設定できるようになるため、各
ヘッドのギャップ深さGdの差による性能ばらつきを1
dB程度に抑えながら、実装状態で良好なテープタッチ
を容易に実現できるようになった。
【0035】各トラックの配置等はコイル形成幅やギャ
ップ間隔Lの制限を守れば、前記の例に限られるわけで
はなく、種々考えられる。その例を図5に示す。
【0036】図5(a)はトラック幅方向に2トラック
配置した例であるが、上部磁気コア6がトラック幅方向
の中心よりに曲がり、ギャップ位置を近づけた配置とな
っている点に特徴がある。このようにトラック方向のギ
ャップ位置を所定の位置に近接して配置することによっ
て、ガードバンド無しの方式にも対応可能となる。
【0037】図5(b),(c)はギャップ位置を階段
状に配置した構造であるが、図5(c)は上部磁気コア
のパターンを点対称に曲げてある。図5(c)の方がチ
ップ幅を狭くできるので、テープタッチにとって好まし
い。また、以上説明した例では8の字型に巻いたコイル
で示したが、片側に巻いたコイルでも同様であることは
言うまでもない。
【0038】更に、本発明の技術課題である安定なテー
プタッチの確保という点に関しては、ヘッド先端のR形
状以外に、摺動幅Wや摺動面4の材料構成も影響する。
前記第1の実施例に更に、これらを考慮した第2,第3
の実施例を2トラックの例で図6,図7を用いて説明す
る。
【0039】図6は第2の実施例の摺動面の正面図で、
前記図1及び図2と同一部分には同一符号を付して詳細
な説明を省略する。7a,7bは共に非磁性絶縁材から
なる保護膜で、保護膜7aの摩耗速度は大体上部磁気コ
ア6と同じに選定され、また、保護膜7bは保護膜7a
及び上部磁気コア6より耐摩耗性のある材料に選定さ
れ、寿命確保の役割を担う。例えば、保護膜7a,7b
としてはそれぞれフオルステライト、SiO2を主体と
した材料、上部磁気コア6としてはCo系非晶質材を用
いた。また、この保護膜7bのトラック幅方向の幅は材
料の摩耗速度との兼ね合いで適正に決定すれば良い。
【0040】図1及び図2において、上部磁気コア6以
外に摺動面4に露出する保護膜7は、テープタッチを安
定なものにするという役割と寿命の確保という半ば相反
する役割を担つており、テープタッチをやや犠牲にして
も寿命は譲れない。したがって、保護膜7には耐摩耗性
の高い材料を選定することになる。このとき、磁気ギャ
ップ5の両側の保護膜7が上部磁気コア6より凸となる
ため、ヘッドとテープ間のスぺーシングは大きくなる方
向である。これに対して、図6に示した材料構成にする
ことによって、磁気ギャップ5近傍の偏摩耗を減少でき
るため、スぺーシングロスを低減することができる。
【0041】図7は第3の実施例を示し、図1に相当す
るヘッドチップ全体の斜視図で、前記図1と同一部分に
は同一符号を付して詳細な説明を省略する。この第3の
実施例は、ヘッド先端部のトラック幅方向両側にコイル
が露出しない程度に切り込み部15を形成し、テープと
摺動する摺動幅W’を狭くした構造で、テープタッチ安
定化に効果的である。ヘッド先端部の摺動幅W’として
は、寿命との兼ね合いで決定されるが50〜100μm
が望ましい。なお、この構造に前記第2の実施例を適用
すれば一層効果があることは言うまでもない。
【0042】次に、トラック数に、より自由度をもたせ
られる方法について説明する。図8は本発明になる第4
の実施例で、図8(a)はヘッドベースに搭載した状態
の斜視図、図8(b)は本実施例の作成方法を説明する
ための一部の工程を示す斜視図である。なお、前記図1
と同じ部分には同一符号を付して詳細な説明を省略す
る。10はヘッドベース、12は2個のヘッドチップの
共通の基準面でヘッドベース10への張り付け面、91
はヘッドベース10上の電極端子で、チップ上のコイル
端子9とは作業性の良いワイヤボンデイングで接続され
ている。
【0043】この第4の実施例は、システムに必要なト
ラック数が4個の場合について示してある。1チップに
2トラックが形成されたマルチヘッド2個を1個のヘッ
ドベース10上に搭載し、トラック数を倍にしている。
この2個のヘッドチップはウエーハ上で同時に作成さ
れ、さらにヘッドベース10への張り付け面が共通の基
準面12となるように2チップを同時に高精度に切断
後、2つに分割されたものである。
【0044】したがって、2個のヘッドチップのヘッド
ベース10への搭載に当たっては、トラックの高さやア
ジマス角の調整はほとんど必要なく、例えば、基板表面
11をマーカーとして使い、これとヘッドベース10端
部との距離を所定の寸法になるように、突き出しの調整
を行うだけでよい。以上の例では、2チップであった
が、ヘッドベースの形状を変えて、回転シリンダのRを
考慮して円弧上に並べれば何チップでも良い。
【0045】次に、基準面12の作り方について図8
(b)により説明する。その考え方の基本は、角型ない
し丸型基板上に多数の磁気ヘッド素子を作成するととも
に、各トラックとの位置関係が所定の関係にあるマーカ
ーを走行方向に沿って作り込み、このマーカーに合わせ
て必要なヘッドチップを一度に短冊上に切断した切断
面、またはマーカーそのものを基準にするというもので
ある。
【0046】図8(b)には、このマーカーに沿って切
断された短冊を示してある。13はマーカーで、12は
このマーカー13に沿った切断面で、各チップ共通の基
準面である。14はさらにチップ毎に切り離すときの切
断面である。このマーカー13を上部磁気コア6と同じ
工程で一度に形成すれば、全ヘッドチップの基準面を共
通にできるため、チップに切断後のハンドリング時の管
理が容易になる。また、コイル等に不良が発生した場
合、別のチップを流用することができるというメリット
がある。
【0047】このように、第4の実施例によれば、水平
型薄膜磁気ヘッドの持っている高精度なトラック配置や
アジマス角度制御が可能という特徴を損なわずに任意の
数のトラックに対応可能となる。
【0048】次に、第5の実施例について図9により説
明する。図9は図8(a)に相当するヘッドベースに搭
載後の状態を示す斜視図で、前記図8(a)と同一部分
には同一符号を付して詳細な説明を省略する。この第5
の実施例は、前記第4の実施例(図8)におけるそれぞ
れ走行方向に2トラック配した2チップが、摺動面4よ
り下がった部分でつながって1チップになっている点に
特徴がある。すなわち、本実施例は、走行方向に4トラ
ックが内側の2トラックの間隔を他より大きくあけて1
チップ上に配されたマルチトラックヘッドにおいて、中
央部のギャップ間隔の広い部分に前記第4の実施例にお
けるチップ間隔に相当するような切り込み部16を設
け、2つの摺動面がそれぞれ独立したヘッドチップのよ
うなR形状を有している。
【0049】本実施例では、1つの摺動面4に走行方向
に2トラックを配した例で説明したが、2つの摺動面は
独立したチップと同じであるので、前記第1の実施例で
説明したように各摺動面に最大8トラック、合計16ト
ラックまで配置可能で、これより多数のトラックが必要
な場合には、前記第4の実施例と組み合わせれば良い。
しかも、ヘッドベース10への搭載に当たっては、前記
第4の実施例より更に作業性がよく、ほとんど無調整で
済むため、精度の確保という点からも確実である。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
摺動面に最適なR形状をもたせられるため、良好な実装
性能を実現するとともに、トラック配置やアジマス角度
等の精度を損なうことなく、任意のトラック数に対応可
能な水平型の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッドを提供で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド
の第1の実施例で、(a)はヘッドチップ全体の斜視
図、(b)は摺動面の正面図である。
【図2】図1に示すヘッドチップの1個のヘッド素子の
走行方向の断面図である。
【図3】ヘッド先端部のトラック幅方向断面形状の曲率
半径Ryによる変化を示す図である。
【図4】走行方向に4トラックを配置した場合のギャッ
プ深さの差と曲率半径Rx及びギャップ間隔との関係を
示す図である。
【図5】種々のトラックの配置例を示す摺動面の正面図
である。
【図6】本発明に係る薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド
の第2の実施例を示す摺動面の正面図で、図1(b)に
相当する図である。
【図7】本発明に係る薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド
の第3の実施例のヘッドチップ全体の斜視図で、図1
(a)に相当する図である。
【図8】本発明に係る薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド
の第4の実施例で、(a)はヘッドベースに搭載した状
態の斜視図、(b)はその作成方法を説明するための1
工程図である。
【図9】本発明に係る薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド
の第5の実施例を示すヘッドベースに搭載した状態の斜
視図である。
【図10】従来の水平型薄膜マルチチャンネル磁気ヘッ
ドの斜視図である。
【符号の説明】
1 基板 2 薄膜コイル表面を結ぶ平面 3 ギャップ深さゼロを結ぶ平面 4 摺動面 5 磁気ギャップ 6 上部磁気コア 6a,6b 上部磁気コア半体 61 下部磁気コア 7,7a,7b 非磁性絶縁膜からなる保護膜 71 コイル絶縁膜 8 コイル形成領域 8a,8b コイル導体 9 コイル端子 10 ヘッドベース 11 基板表面 12 各トラック共通の基準面 13 マーカー 14 チップ切り離しライン 15,16 切欠き部 91 ヘッドベース上の電極端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴山 優子 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像メディア研究所内 (72)発明者 柳原 仁 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像メディア研究所内 (72)発明者 池田 由夫 茨城県勝田市大字稲田1410番地 株式会社 日立製作所AV機器事業部内

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に下部磁気コア、薄膜コイル導
    体、コイル絶縁層、上部磁気コア及び保護膜、等を順次
    積層して形成され、前記上部磁気コアが一対の上部磁気
    コア半体を前記下部磁気コアの表面に対して略直行する
    磁気ギャップを介して突き合わせて形成され、該上部磁
    気コアの表面が記録媒体との摺動面となる薄膜磁気ヘッ
    ド素子を1チップ上に複数個形成してなる薄膜マルチチ
    ャンネル磁気ヘッドにおいて、 トラック幅方向及び走行方向にそれぞれ最大2個及び4
    個のトラックを配置した構成とし、かつ、前記摺動面
    に、トラック幅方向及び走行方向それぞれの曲率半径R
    y,Rxが、Ry<Rxなる関係の曲面を持たせたこと
    を特徴とする薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 基板上に下部磁気コア、薄膜コイル導
    体、コイル絶縁層、上部磁気コア及び保護膜、等を順次
    積層して形成され、前記上部磁気コアが一対の上部磁気
    コア半体を前記下部磁気コアの表面に対して略直行する
    磁気ギャップを介して突き合わせて形成され、該上部磁
    気コアの表面が記録媒体との摺動面となる薄膜磁気ヘッ
    ド素子を1チップ上に複数個形成してなる薄膜マルチチ
    ャンネル磁気ヘッドにおいて、 前記チップ形状がその走行方向に2つの先端部が並んだ
    凹型で、該2つの先端部にトラック幅方向及び走行方向
    にそれぞれ最大2個及び4個のトラックを配置したマル
    チチャンネルヘッドを形成し、かつ、前記2つの先端部
    の走行方向の曲率半径Rx1,Rx2は、走行方向に同一
    の仮想曲率半径を持たず、それぞれ独立したR形状の曲
    面を持つ摺動面を構成したことを特徴とする薄膜マルチ
    チャンネル磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 基板上に下部磁気コア、薄膜コイル導
    体、コイル絶縁層、上部磁気コア及び保護膜、等を順次
    積層して形成され、前記上部磁気コアが一対の上部磁気
    コア半体を前記下部磁気コアの表面に対して略直行する
    磁気ギャップを介して突き合わせて形成され、該上部磁
    気コアの表面が記録媒体との摺動面となる薄膜磁気ヘッ
    ド素子を1チップ上に複数個形成してなる薄膜マルチチ
    ャンネル磁気ヘッドにおいて、 トラック幅方向及び走行方向にそれぞれ最大2個及び4
    個のトラックを配置した構成とし、かつ、前記摺動面
    に、トラック幅方向及び走行方向それぞれの曲率半径R
    y,Rxが、Ry<Rxなる関係の曲面を持たせたマル
    チチャンネル磁気ヘッドを1個のヘッドベース上に複数
    個搭載したことを特徴とする薄膜マルチチャンネル磁気
    ヘッド。
  4. 【請求項4】 基板上に下部磁気コア、薄膜コイル導
    体、コイル絶縁層、上部磁気コア及び保護膜、等を順次
    積層して形成され、前記上部磁気コアが一対の上部磁気
    コア半体を前記下部磁気コアの表面に対して略直行する
    磁気ギャップを介して突き合わせて形成され、該上部磁
    気コアの表面が記録媒体との摺動面となる薄膜磁気ヘッ
    ド素子を1チップ上に複数個形成してなる薄膜マルチチ
    ャンネル磁気ヘッドにおいて、 前記チップ形状がその走行方向に2つの先端部が並んだ
    凹型で、該2つの先端部にトラック幅方向及び走行方向
    にそれぞれ最大2個及び4個のトラックを配置したマル
    チチャンネルヘッドを形成し、かつ、前記2つの先端部
    の走行方向の曲率半径Rx1,Rx2は、走行方向に同一
    の仮想曲率半径を持たず、それぞれ独立したR形状の曲
    面を持つ摺動面を構成するマルチチャンネル磁気ヘッド
    を1個のヘッドベース上に複数個搭載したことを特徴と
    する薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  5. 【請求項5】 トラック幅方向に配置した1個または2
    個の前記薄膜磁気ヘッド素子の最外周コイル間の最大距
    離は、300μm以下であることを特徴とする請求項1
    ないし4に記載の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  6. 【請求項6】 1つの独立した摺動面に、走行方向に3
    個または4個のトラックを配置した薄膜マルチチャンネ
    ル磁気ヘッドにおいて、 各トラックの磁気ギャップ間隔が200μm以下である
    ことを特徴とする請求項1ないし5に記載の薄膜マルチ
    チャンネル磁気ヘッド。
  7. 【請求項7】 前記1つのヘッドベースに搭載した複数
    のチップは、摺動面に露出し、各チップのトラックとの
    関係が所定の関係にある共通の基準面ないし基準となる
    マーカーを有していることを特徴とする請求項3または
    4記載の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  8. 【請求項8】 前記チップ先端部近傍において、トラッ
    ク幅方向のチップ両側に切欠き部を設け、摺動面の幅
    W’をチップ幅Wより狭くしたことを特徴とする請求項
    1ないし7記載の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  9. 【請求項9】 前記保護膜は、磁気ギャップの両側とト
    ラック間とでは異なる材料構成とし、前記磁気ギャップ
    の両側との摩耗速度が前記トラック間との摩耗速度より
    早い材料の組合せとしたことを特徴とする請求項1ない
    し8に記載の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  10. 【請求項10】 トラック幅方向に2個のトラックを配
    置した薄膜マルチチャンネル磁気ヘッドにおいて、 2つの上部磁気コアがそれぞれ摺動幅の中心よりにその
    磁路を曲げて形成されていることを特徴とする請求項1
    ないし9に記載の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  11. 【請求項11】 トラック幅方向に1個、走行方向に複
    数個のトラックを配置した薄膜マルチチャンネル磁気ヘ
    ッドにおいて、 走行方向に並ぶ各トラックが摺動面のほぼ中央に1直線
    に並んでいることを特徴とする請求項1ないし9に記載
    の薄膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  12. 【請求項12】 トラック幅方向に1個、走行方向に複
    数個のトラックを配置した薄膜マルチチャンネル磁気ヘ
    ッドにおいて、 走行方向に並ぶ各トラックが階段状に並んでいることを
    特徴とする請求項1ないし9または11に記載の薄膜マ
    ルチチャンネル磁気ヘッド。
  13. 【請求項13】 トラック幅方向に1個、走行方向に複
    数個のトラックを配置した薄膜マルチチャンネル磁気ヘ
    ッドにおいて、 走行方向に並ぶ各トラックの上部磁気コアの磁路を前記
    摺動面の中心に対して点対称的に曲げて、各トラックを
    階段状に並べたことを特徴とする請求項12に記載の薄
    膜マルチチャンネル磁気ヘッド。
  14. 【請求項14】 前記薄膜コイル導体の端子をトラック
    幅方向と直交するチップ側面に設けたことを特徴とする
    請求項1ないし13記載の薄膜マルチチャンネル磁気ヘ
    ッド。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7701665B2 (en) * 1999-12-30 2010-04-20 Advanced Research Corporation Wear pads for timing-based surface film servo heads

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7701665B2 (en) * 1999-12-30 2010-04-20 Advanced Research Corporation Wear pads for timing-based surface film servo heads

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