JPH0664254B2 - レ−ザ光走査装置 - Google Patents
レ−ザ光走査装置Info
- Publication number
- JPH0664254B2 JPH0664254B2 JP62010279A JP1027987A JPH0664254B2 JP H0664254 B2 JPH0664254 B2 JP H0664254B2 JP 62010279 A JP62010279 A JP 62010279A JP 1027987 A JP1027987 A JP 1027987A JP H0664254 B2 JPH0664254 B2 JP H0664254B2
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- Japan
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- light
- mirror
- laser beam
- polygon mirror
- laser
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ光走査装置、特に、レーザビームプリン
タ等に用いられるレーザ光走査装置に関する。
タ等に用いられるレーザ光走査装置に関する。
近年のレーザ光走査装置は、レーザビームプリンタ等の
高速化、高印字品質化のため、高速走査時における走査
線の走査方向に対して垂直方向のずれを小さく抑えるこ
とが要求されている。
高速化、高印字品質化のため、高速走査時における走査
線の走査方向に対して垂直方向のずれを小さく抑えるこ
とが要求されている。
〔従来の技術〕 従来のレーザ光走査装置は、回転多面鏡に照射するレー
ザ光を回転軸に直角方向に偏向走査する回転多面鏡装置
と、この偏向走査されたレーザ光を照射体上に結像する
結像レンズユニットとを含んで構成される。
ザ光を回転軸に直角方向に偏向走査する回転多面鏡装置
と、この偏向走査されたレーザ光を照射体上に結像する
結像レンズユニットとを含んで構成される。
次に従来のレーザ光走査装置について図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第３図は従来のレーザ光走査装置の一実施例を示す概念
図でレーザビームプリンタの走査部分に用いられた一例
を示している。第３図に示すレーザ光走査装置はレーザ
光源１４から発せられたレーザ光（レーザビーム）１６
を回転多面鏡１により回転軸に直角方向に偏向走査する
回転多面鏡装置７と、この偏向走査されたレーザ光１６
を照射体である予め一様に帯電された感光体１８上に結
像する結像レンズユニット（−θレンズ）１７とを含
んでいる。以上の構成において、回転する回転多面鏡１
により偏向走査されるレーザ光１６は、結像レンズユニ
ット１７を通して予め一様に帯電された感光体１８上を
走査し、この感光体１８上に静電潜像を形成するように
なっている。
図でレーザビームプリンタの走査部分に用いられた一例
を示している。第３図に示すレーザ光走査装置はレーザ
光源１４から発せられたレーザ光（レーザビーム）１６
を回転多面鏡１により回転軸に直角方向に偏向走査する
回転多面鏡装置７と、この偏向走査されたレーザ光１６
を照射体である予め一様に帯電された感光体１８上に結
像する結像レンズユニット（−θレンズ）１７とを含
んでいる。以上の構成において、回転する回転多面鏡１
により偏向走査されるレーザ光１６は、結像レンズユニ
ット１７を通して予め一様に帯電された感光体１８上を
走査し、この感光体１８上に静電潜像を形成するように
なっている。
第４図は、レーザビームプリンタにおけるレーザ光走査
装置の走査線のずれを説明する説明図である。
装置の走査線のずれを説明する説明図である。
回転多面鏡装置７の軸の角度振れが生じ回転多面鏡１が
傾くと、または回転多面鏡１の反射面２１が回転軸に対
し傾斜していると、レーザ光１６は走査方向とは直角方
向にも振られるため、結像レンズユニット１７を通して
感光体１８上に結像される走査線１９は、走査方向とは
直角方向に１９ａ，１９ｂというように位置ずれを生ず
ることになる。
傾くと、または回転多面鏡１の反射面２１が回転軸に対
し傾斜していると、レーザ光１６は走査方向とは直角方
向にも振られるため、結像レンズユニット１７を通して
感光体１８上に結像される走査線１９は、走査方向とは
直角方向に１９ａ，１９ｂというように位置ずれを生ず
ることになる。
上述した従来のレーザ光走査装置は、回転多面体装置の
回転軸に角度振れが生じたり、回転多面鏡の各反射面が
傾斜していると、照射体上の走査線が走査方向とは直角
方向に位置ずれを生じてしまうので、位置ずれを小さく
抑えるために、回転多面鏡装置の軸受部に高剛性、高精
度のものを使用しなければならず、バランス調整も高精
度に行う必要があり、さらに回転多面鏡に面傾れの少な
いものを使用しなければならないというように、必常に
高価なものになるという欠点があった。
回転軸に角度振れが生じたり、回転多面鏡の各反射面が
傾斜していると、照射体上の走査線が走査方向とは直角
方向に位置ずれを生じてしまうので、位置ずれを小さく
抑えるために、回転多面鏡装置の軸受部に高剛性、高精
度のものを使用しなければならず、バランス調整も高精
度に行う必要があり、さらに回転多面鏡に面傾れの少な
いものを使用しなければならないというように、必常に
高価なものになるという欠点があった。
本発明のレーザ光走査装置は、回転多面鏡に照射する第
１のレーザ光を回転多面鏡の回転軸方向に微小角度偏向
可能な偏向器と、前記第１のレーザ光を前記回転多面鏡
により回転軸に直角方向に偏向走査する回転多面鏡装置
と、この偏向走査された第１のレーザ光を照射体上に結
像する結像レンズユニットと、前記回転多面鏡装置に回
転軸と同軸に設けられた円柱鏡と、前記第１のレーザ光
が前記回転多面鏡に照射する位置に対し、１８０°回転
した位置の前記円柱鏡に照射する第２のレーザ光の反射
光を受光し、その受光量に応じた電気信号を出力する受
光器と、前記回転軸の角度振れにより変化する第２のレ
ーザ光の反射光の向きと垂直にその反射光の一部を遮断
するように前記受光器の前面に配設されたナイフエッジ
と、各回転角度に応じた前記受光器の出力を複数回転分
平均化し記憶するとともに、各回転角度に応じた前記受
光器の出力と、その角度における前記記憶した平均値と
の差から前記回転多面鏡装置の軸の角度振れを測定する
信号処理装置と、該信号処理装置からの信号に応じて前
記偏向器を駆動する駆動装置とを含んで構成される。
１のレーザ光を回転多面鏡の回転軸方向に微小角度偏向
可能な偏向器と、前記第１のレーザ光を前記回転多面鏡
により回転軸に直角方向に偏向走査する回転多面鏡装置
と、この偏向走査された第１のレーザ光を照射体上に結
像する結像レンズユニットと、前記回転多面鏡装置に回
転軸と同軸に設けられた円柱鏡と、前記第１のレーザ光
が前記回転多面鏡に照射する位置に対し、１８０°回転
した位置の前記円柱鏡に照射する第２のレーザ光の反射
光を受光し、その受光量に応じた電気信号を出力する受
光器と、前記回転軸の角度振れにより変化する第２のレ
ーザ光の反射光の向きと垂直にその反射光の一部を遮断
するように前記受光器の前面に配設されたナイフエッジ
と、各回転角度に応じた前記受光器の出力を複数回転分
平均化し記憶するとともに、各回転角度に応じた前記受
光器の出力と、その角度における前記記憶した平均値と
の差から前記回転多面鏡装置の軸の角度振れを測定する
信号処理装置と、該信号処理装置からの信号に応じて前
記偏向器を駆動する駆動装置とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す概念図であり、レー
ザビームプリンタの走査部分に用いられた一例を示して
いる。
ザビームプリンタの走査部分に用いられた一例を示して
いる。
第１図に示す、レーザ光走査装置は、第１のレーザ光源
１４から発せられた第１のレーザ光１６を回転多面鏡１
の回転軸方向に微小角度偏向可能な偏向器１５と、第１
のレーザ光１６を回転多面鏡１により回転軸に直角方向
に偏向走査する回転多面鏡装置６と、この偏向走査され
た第１のレーザ光１６を照射体である予め一様に帯電さ
れた感光体１８上に結像する結像レンズユニット（−
θレンズ）１７と、回転多面鏡装置６に回転軸と同軸に
設けられた円柱鏡２と、第１のレーザ光１６が回転多面
鏡１に照射する位置に対し１８０°回転した位置の円柱
鏡２に第２のレーザ光９を照射する第２のレーザ光源８
と、第２のレーザ光９の円柱鏡２による反射光を受光
し、その受光量に応じた電気信号を出力する受光器１０
と、回転多面鏡装置６の回転軸の角度振れにより変化す
る第２のレーザ光９の反射光の向きと垂直にその反射光
の一部を遮断するように受光器１０の前面に配設された
ナイフエッジ１１（図示せず）と、各回転角度に応じた
受光器１０の出力を複数回転分平均化し記憶するととも
に、各回転角度に応じた受光器１０の出力とその角度に
おける記憶した平均値との差から回転多面鏡装置６の回
転軸の角度振れを測定する信号処理装置１２と、信号処
理装置１２からの信号に応じて偏向器１５を駆動する駆
動装置１３とを含んで構成される。
１４から発せられた第１のレーザ光１６を回転多面鏡１
の回転軸方向に微小角度偏向可能な偏向器１５と、第１
のレーザ光１６を回転多面鏡１により回転軸に直角方向
に偏向走査する回転多面鏡装置６と、この偏向走査され
た第１のレーザ光１６を照射体である予め一様に帯電さ
れた感光体１８上に結像する結像レンズユニット（−
θレンズ）１７と、回転多面鏡装置６に回転軸と同軸に
設けられた円柱鏡２と、第１のレーザ光１６が回転多面
鏡１に照射する位置に対し１８０°回転した位置の円柱
鏡２に第２のレーザ光９を照射する第２のレーザ光源８
と、第２のレーザ光９の円柱鏡２による反射光を受光
し、その受光量に応じた電気信号を出力する受光器１０
と、回転多面鏡装置６の回転軸の角度振れにより変化す
る第２のレーザ光９の反射光の向きと垂直にその反射光
の一部を遮断するように受光器１０の前面に配設された
ナイフエッジ１１（図示せず）と、各回転角度に応じた
受光器１０の出力を複数回転分平均化し記憶するととも
に、各回転角度に応じた受光器１０の出力とその角度に
おける記憶した平均値との差から回転多面鏡装置６の回
転軸の角度振れを測定する信号処理装置１２と、信号処
理装置１２からの信号に応じて偏向器１５を駆動する駆
動装置１３とを含んで構成される。
以上の構成において、第１のレーザ光１６は回転する回
転多面鏡１により偏向走査され結像レンズユニット１７
を通して予め一様に帯電された感光体１８上を走査し、
この感光体１８上に静電潜像を形成するようになってい
る。一方第２のレーザ光９は、回転する円柱鏡２によっ
て反射され受光器１０に入射する。そして円柱鏡２の反
射面が垂直で回転多面鏡装置６の軸振れがないときに、
円柱鏡２で反射されるレーザ光９は、その中心点を通る
位置に配置されたナイフエッジ１１により略１／２遮断
されて受光器１０に入射するようになっているため、円
柱鏡２の反射面が傾斜しているか、または回転多面鏡装
置６の軸振れにより、反射されたレーザ光９の中心位置
が移動してナイフエッジ１１により遮ぎられる光量が変
化する。
転多面鏡１により偏向走査され結像レンズユニット１７
を通して予め一様に帯電された感光体１８上を走査し、
この感光体１８上に静電潜像を形成するようになってい
る。一方第２のレーザ光９は、回転する円柱鏡２によっ
て反射され受光器１０に入射する。そして円柱鏡２の反
射面が垂直で回転多面鏡装置６の軸振れがないときに、
円柱鏡２で反射されるレーザ光９は、その中心点を通る
位置に配置されたナイフエッジ１１により略１／２遮断
されて受光器１０に入射するようになっているため、円
柱鏡２の反射面が傾斜しているか、または回転多面鏡装
置６の軸振れにより、反射されたレーザ光９の中心位置
が移動してナイフエッジ１１により遮ぎられる光量が変
化する。
第２図はこの状態を表わしており、横軸が回転多面鏡装
置６の回転角度、縦軸が、受光器１０で検出される光量
である。回転角度による光出力は、平均値Ａを中心にあ
る幅Ｂのばらつきを示す。ここで平均値Ａは、円柱鏡２
の反射面の傾斜に対応し、測定値のばらつきＢは、回転
多面鏡装置６の軸の角度振れに起因している。すなわ
ち、各回転角度に応じた光出力を複数回転分平均化し、
平均値Ａとして記憶しておき、各回転角度に応じた光出
力とその角度における記憶した平均値Ａとの差から信号
処理装置１２で演算することにより、その時点での回転
多面鏡装置６の軸の角度振れを求めることができる。さ
らに信号処理装置１２からの回転多面鏡装置６の軸の角
度振れ信号に応じて偏向器１５を駆動して、回転多面鏡
装置６に照射するレーザ光１６の角度を変えることによ
り、回転多面鏡装置６の軸の角度振れによって生じる感
光体１８上の走査線１９の走査方向と直角方向のずれを
打ち消すことができる。
置６の回転角度、縦軸が、受光器１０で検出される光量
である。回転角度による光出力は、平均値Ａを中心にあ
る幅Ｂのばらつきを示す。ここで平均値Ａは、円柱鏡２
の反射面の傾斜に対応し、測定値のばらつきＢは、回転
多面鏡装置６の軸の角度振れに起因している。すなわ
ち、各回転角度に応じた光出力を複数回転分平均化し、
平均値Ａとして記憶しておき、各回転角度に応じた光出
力とその角度における記憶した平均値Ａとの差から信号
処理装置１２で演算することにより、その時点での回転
多面鏡装置６の軸の角度振れを求めることができる。さ
らに信号処理装置１２からの回転多面鏡装置６の軸の角
度振れ信号に応じて偏向器１５を駆動して、回転多面鏡
装置６に照射するレーザ光１６の角度を変えることによ
り、回転多面鏡装置６の軸の角度振れによって生じる感
光体１８上の走査線１９の走査方向と直角方向のずれを
打ち消すことができる。
また、駆動装置１３に、回転多面鏡１の各反射面の傾斜
量に応じた固定の補正データを組み込んでおけば、回転
多面鏡の各反射面の傾斜に起因する、感光体１８上の走
査線１９の走査方向と直角方向のずれも打ち消すことが
できることは明らかである。
量に応じた固定の補正データを組み込んでおけば、回転
多面鏡の各反射面の傾斜に起因する、感光体１８上の走
査線１９の走査方向と直角方向のずれも打ち消すことが
できることは明らかである。
以上の説明において、第１のレーザ光１６と第２のレー
ザ光９は異なるレーザ光源１４，８から出射されるもの
としたが、同一のレーザ光源から出射されるレーザ光を
ビームスプリッタにより分離し、第１のレーザ光１６、
第２のレーザ光９として用いることもできる。
ザ光９は異なるレーザ光源１４，８から出射されるもの
としたが、同一のレーザ光源から出射されるレーザ光を
ビームスプリッタにより分離し、第１のレーザ光１６、
第２のレーザ光９として用いることもできる。
本発明のレーザ光走査装置は、回転多面鏡装置の回転軸
に同軸の円柱鏡に第２のレーザ光を照射し、その反射光
の振れから各回転角度に応じた平均的な振れ量を求め各
回転角度に応じた振れ量とその角度における平均振れ量
との差を求めることにより、円柱鏡の反射面の回転軸に
対する平行度のずれの影響を受けず回転多面鏡装置の軸
の角度振れのみを求めることができ回転多面鏡の各反射
面の傾斜量とを合わせ回転多面鏡装置に入射する第１の
レーザ光の角度を連続的に補正することにより照射体上
での走査線のずれを打ち消すことができるので、回転多
面鏡装置の軸受部がそれほど高剛性、高精度のものでな
く、バランス調整もそれほど高精度に行なうことなく、
さらに回転多面鏡の面傾れが多少大きくても、走査線の
ずれが生じないという効果があり、レーザビームプリン
タ等に使用した場合には、大幅な印字品質の向上が計れ
るという効果がある。
に同軸の円柱鏡に第２のレーザ光を照射し、その反射光
の振れから各回転角度に応じた平均的な振れ量を求め各
回転角度に応じた振れ量とその角度における平均振れ量
との差を求めることにより、円柱鏡の反射面の回転軸に
対する平行度のずれの影響を受けず回転多面鏡装置の軸
の角度振れのみを求めることができ回転多面鏡の各反射
面の傾斜量とを合わせ回転多面鏡装置に入射する第１の
レーザ光の角度を連続的に補正することにより照射体上
での走査線のずれを打ち消すことができるので、回転多
面鏡装置の軸受部がそれほど高剛性、高精度のものでな
く、バランス調整もそれほど高精度に行なうことなく、
さらに回転多面鏡の面傾れが多少大きくても、走査線の
ずれが生じないという効果があり、レーザビームプリン
タ等に使用した場合には、大幅な印字品質の向上が計れ
るという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す概念図、第２図は第１
図に示す検出器の測定結果の一例を示すグラフ、第３図
は、従来のレーザ光走査装置の一実施例を示す概念図、
第４図は、レーザ光走査装置の走査線のずれを説明する
説明図である。 １……回転多面鏡、２……円柱鏡、６，７……回転多面
鏡装置、８，１４……レーザ光源、１０……受光器、１
２……信号処理装置、１３……駆動装置、１５……偏向
器、１７……結像レンズユニット、１８……感光体。
図に示す検出器の測定結果の一例を示すグラフ、第３図
は、従来のレーザ光走査装置の一実施例を示す概念図、
第４図は、レーザ光走査装置の走査線のずれを説明する
説明図である。 １……回転多面鏡、２……円柱鏡、６，７……回転多面
鏡装置、８，１４……レーザ光源、１０……受光器、１
２……信号処理装置、１３……駆動装置、１５……偏向
器、１７……結像レンズユニット、１８……感光体。
Claims (1)
- 【請求項１】回転多面鏡に照射する第１のレーザ光を回
転多面鏡の回転軸方向に微小角度偏向可能な偏向器と、
前記第１のレーザ光を前記回転多面鏡により回転軸に直
角方向に偏向走査する回転多面鏡装置と、前記偏向走査
された第１のレーザ光を照射体上に結像する結像レンズ
ユニットと、前記回転多面鏡装置に回転軸と同軸に設け
られた円柱鏡と、前記第１のレーザ光が前記回転多面鏡
に照射する位置に対し１８０°回転した位置の前記円柱
鏡に照射する第２のレーザ光の反射光を受光しその受光
量に応じた電気信号を出力する受光器と、前記回転軸の
角度振れにより変化する第２のレーザ光の反射光の向き
と垂直にその反射光の一部を遮断するように前記受光器
の前面に配設されたナイフエッジと、各回転角度に応じ
た前記受光器の出力を複数回転分平均化し、記憶すると
ともに各回転角度に応じた前記受光器の出力とその角度
における前記記憶した平均値との差から前記回転多面鏡
装置の軸の角度振れを測定する信号処理装置と、該信号
処理装置からの信号に応じて前記偏向器を駆動する駆動
装置とを含むことを特徴とするレーザ光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62010279A JPH0664254B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | レ−ザ光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62010279A JPH0664254B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | レ−ザ光走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63178208A JPS63178208A (ja) | 1988-07-22 |
| JPH0664254B2 true JPH0664254B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=11745869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62010279A Expired - Lifetime JPH0664254B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | レ−ザ光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0664254B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0363931B1 (en) * | 1988-10-11 | 1995-10-04 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Scanning laser microscope system and methods of use |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209417A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の軸ぶれ検出方法 |
| JPS62133416A (ja) * | 1985-12-05 | 1987-06-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の軸ぶれ検出方法および軸ぶれ検出装置 |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP62010279A patent/JPH0664254B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209417A (ja) * | 1985-03-14 | 1986-09-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の軸ぶれ検出方法 |
| JPS62133416A (ja) * | 1985-12-05 | 1987-06-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の軸ぶれ検出方法および軸ぶれ検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63178208A (ja) | 1988-07-22 |
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