JPH0663799B2 - 熱型流量検出装置 - Google Patents
熱型流量検出装置Info
- Publication number
- JPH0663799B2 JPH0663799B2 JP62251350A JP25135087A JPH0663799B2 JP H0663799 B2 JPH0663799 B2 JP H0663799B2 JP 62251350 A JP62251350 A JP 62251350A JP 25135087 A JP25135087 A JP 25135087A JP H0663799 B2 JPH0663799 B2 JP H0663799B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- electrodes
- heating
- type flow
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
- G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/6888—Thermoelectric elements, e.g. thermocouples, thermopiles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、液体あるいは気体の流量を熱起電力を利用
することにより検出する熱型流量検出装置の改良に関す
る。
することにより検出する熱型流量検出装置の改良に関す
る。
［従来の技術］ 従来より公知の熱型流量検出装置は大別して２つの形式
に分けられる。第１の形式は、たとえば白金抵抗体より
なる検知部を加熱し、該検知部を流体中に配置し、流体
の冷却作用により生じる検知部の電気抵抗の変化を測定
することにより、流量を検出するものである。第２の形
式は、検知部と別個にヒータを配置し、該ヒータと検知
部との間に生じる流体による熱伝達により引き起こされ
る検知部の電気的特性の変化を測定することにより、流
量を知るものである。この第２の形式において利用され
る電気的特性変化としては、抵抗値変化、あるいは起電
力変化あるいは焦電流変化等が用いられている。
に分けられる。第１の形式は、たとえば白金抵抗体より
なる検知部を加熱し、該検知部を流体中に配置し、流体
の冷却作用により生じる検知部の電気抵抗の変化を測定
することにより、流量を検出するものである。第２の形
式は、検知部と別個にヒータを配置し、該ヒータと検知
部との間に生じる流体による熱伝達により引き起こされ
る検知部の電気的特性の変化を測定することにより、流
量を知るものである。この第２の形式において利用され
る電気的特性変化としては、抵抗値変化、あるいは起電
力変化あるいは焦電流変化等が用いられている。
［発明が解決しようとする問題点］ 第１の形式、すなわち自己加熱タイプでは、白金抵抗体
よりなる検知部自体が加熱される。したがって、素子寿
命が短い。また、感度を向上させるためには、検知部す
なわち発熱する部分を小さくすることが求められるが、
その場合には機械的強度が低下する。したがって機械的
な衝撃が加わりやすい環境や、流体が高速で流れるよう
な環境のもとでは用いることができない。さらに、白金
等の貴金属を用いるためコストが高くつくという問題も
あった。
よりなる検知部自体が加熱される。したがって、素子寿
命が短い。また、感度を向上させるためには、検知部す
なわち発熱する部分を小さくすることが求められるが、
その場合には機械的強度が低下する。したがって機械的
な衝撃が加わりやすい環境や、流体が高速で流れるよう
な環境のもとでは用いることができない。さらに、白金
等の貴金属を用いるためコストが高くつくという問題も
あった。
他方、第２の形式の熱型流量検出装置では、ヒータとし
て抵抗加熱体を用いることが多く、検知部としてはサー
ミスタや金属抵抗体を用いるもの、あるいは熱電対を用
いるものなどがある。しかしながら、感度の改善や応答
速度を上げるために検知部を小形化することが難しい。
すなわち、抵抗体を用いたものでは薄膜化等により小形
化・薄形化を図り得るが、サーミスタや金属抵抗体を用
いたものについては、小形化によって製造工程が増加し
たり、抵抗値を高めた場合には素子および信号処理回路
の構成が複雑となりコストが高くつくおそれがある。
て抵抗加熱体を用いることが多く、検知部としてはサー
ミスタや金属抵抗体を用いるもの、あるいは熱電対を用
いるものなどがある。しかしながら、感度の改善や応答
速度を上げるために検知部を小形化することが難しい。
すなわち、抵抗体を用いたものでは薄膜化等により小形
化・薄形化を図り得るが、サーミスタや金属抵抗体を用
いたものについては、小形化によって製造工程が増加し
たり、抵抗値を高めた場合には素子および信号処理回路
の構成が複雑となりコストが高くつくおそれがある。
また、検知部として熱電対を用いた形式のものでは、金
属熱電対の起電力は小さく、したがって検出感度をさほ
ど高めることはできない。
属熱電対の起電力は小さく、したがって検出感度をさほ
ど高めることはできない。
よって、この発明の目的は、小形かつ高感度の熱型流量
検出装置を提供することにある。
検出装置を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ この発明の熱型流量検出装置は、正特性サーミスタ特性
を有するセラミックス半導体よりなる基材とこの基材上
において距離を隔てて形成された少なくとも１対の検知
電熱とを有し、それによって少なくとも１つの熱電素子
が構成されている熱電検知素子、ならびに基材の対をな
す検知電極間部分を部分的に加熱する加熱手段を備え
る。
を有するセラミックス半導体よりなる基材とこの基材上
において距離を隔てて形成された少なくとも１対の検知
電熱とを有し、それによって少なくとも１つの熱電素子
が構成されている熱電検知素子、ならびに基材の対をな
す検知電極間部分を部分的に加熱する加熱手段を備え
る。
加熱手段は、上記基材に自己加熱するために、基材上に
形成された対をなす電極間部分において、基材を挟んで
対向するように形成された加熱用電極を用いて構成され
る。
形成された対をなす電極間部分において、基材を挟んで
対向するように形成された加熱用電極を用いて構成され
る。
［作用］ 正特性サーミスタ特性を有するセラミックス半導体より
なる基材上に距離を隔てて少なくとも１対の検知電極が
形成されて少なくとも１つの熱電素子が構成されてい
る。そして、この対をなす検知電極間が加熱用電極によ
り部分的に自己加熱されているため、流体が流れていな
い場合と流れている場合とでは、セラミックス半導体を
介して両検知電極に伝えられる加熱手段からの熱量が異
なる。したがって、両検知電極が対向している方向に流
体を流した場合、両検知電極の温度に差が生じるため、
該温度差を利用して流速を検出することができる。セラ
ミックス半導体よりなる基材上に少なくとも１対の検知
電極および加熱用電極を設けただけで構成されるため、
小形化が容易であり、したがって感度および応答速度を
容易に改善することができる。
なる基材上に距離を隔てて少なくとも１対の検知電極が
形成されて少なくとも１つの熱電素子が構成されてい
る。そして、この対をなす検知電極間が加熱用電極によ
り部分的に自己加熱されているため、流体が流れていな
い場合と流れている場合とでは、セラミックス半導体を
介して両検知電極に伝えられる加熱手段からの熱量が異
なる。したがって、両検知電極が対向している方向に流
体を流した場合、両検知電極の温度に差が生じるため、
該温度差を利用して流速を検出することができる。セラ
ミックス半導体よりなる基材上に少なくとも１対の検知
電極および加熱用電極を設けただけで構成されるため、
小形化が容易であり、したがって感度および応答速度を
容易に改善することができる。
［実施例の説明］ 第１図は、この発明の一実施例の熱型流量検出装置を示
す斜視図である。たとえば半導体化されたチタン酸バリ
ウムを用いて構成されたセラミックス半導体よりなる基
材１の一方主面において、所定距離を隔てて検知電極2,
3が形成されている。ここでは、後述する加熱用電極４
との間の距離を長くすることによって感度を向上させる
ために、両検知電極2,3は基材１の主面上において長手
方向両端部近傍に配置されている。また、検知電極2,3
間の中心部において基材１の両面に加熱用の電極４が基
材１を挟んで対向するように形成されている。加熱用電
極４は、基材１を自己加熱するために設けられているも
のである。
す斜視図である。たとえば半導体化されたチタン酸バリ
ウムを用いて構成されたセラミックス半導体よりなる基
材１の一方主面において、所定距離を隔てて検知電極2,
3が形成されている。ここでは、後述する加熱用電極４
との間の距離を長くすることによって感度を向上させる
ために、両検知電極2,3は基材１の主面上において長手
方向両端部近傍に配置されている。また、検知電極2,3
間の中心部において基材１の両面に加熱用の電極４が基
材１を挟んで対向するように形成されている。加熱用電
極４は、基材１を自己加熱するために設けられているも
のである。
上記した検知電極2,3および加熱用電極４は、半導体セ
ラミックスよりなる基材１とオーミックな接触を形成す
る材料で構成することが好ましく、たとえばNiを蒸着す
ることにより形成することができる。好ましくは、Ni層
の上に、さらに補強用にAgを蒸着することにより、電極
強度を高めることができる。
ラミックスよりなる基材１とオーミックな接触を形成す
る材料で構成することが好ましく、たとえばNiを蒸着す
ることにより形成することができる。好ましくは、Ni層
の上に、さらに補強用にAgを蒸着することにより、電極
強度を高めることができる。
セラミックス半導体よりなる基材１は正特性サーミスタ
としての特性をも示すものであり、したがって中心部に
形成された加熱用電極４に通電した場合、該加熱用電極
４の形成されている部分の温度は一定温度で安定する。
たとえば、上記したチタン酸バリウムからなり、２×10
×0.5mmの大きさの基材１において、２×1mmの加熱用電
極４を形成した場合、該加熱用電極４が形成されている
部分の温度は約120℃で安定する。
としての特性をも示すものであり、したがって中心部に
形成された加熱用電極４に通電した場合、該加熱用電極
４の形成されている部分の温度は一定温度で安定する。
たとえば、上記したチタン酸バリウムからなり、２×10
×0.5mmの大きさの基材１において、２×1mmの加熱用電
極４を形成した場合、該加熱用電極４が形成されている
部分の温度は約120℃で安定する。
次に、第１図実施例の動作を説明する。流体が流れてい
ない状態における流量検出装置内の温度分布を第２図
（ａ）に示す。流体が流れていないので、検知電極2,3
への熱伝達は同等となり、したがって加熱用電極４を中
心として対称な温度勾配が基材１内に生じる。この場合
検知電極2,3間には温度差が生じない。したがって、熱
起電力出力は生じない。
ない状態における流量検出装置内の温度分布を第２図
（ａ）に示す。流体が流れていないので、検知電極2,3
への熱伝達は同等となり、したがって加熱用電極４を中
心として対称な温度勾配が基材１内に生じる。この場合
検知電極2,3間には温度差が生じない。したがって、熱
起電力出力は生じない。
他方、流体が両検知電極2,3と交差する方向に流れてい
る場合には、第２図（ｂ）示すように、流体による熱伝
達が影響し、温度勾配は加熱用電極４の上流側と下流側
とで異なることになる。したがって、検知電極2,3間に
は温度差が生じ、該温度差により熱起電力が生じる。こ
の両検知電極2,3間の温度差により生じる熱起電力に基
づいて、流体の流速を検出することができる。すなわ
ち、第３図に示すように、両検知電極2,3間の温度差に
基づく熱起電力出力は、流速と相関しており、特に低流
速域では、ほぼ線形な出力特性を示すことがわかる。な
お、第３図は、流体として25℃の温度の空気を用いた場
合の特性である。
る場合には、第２図（ｂ）示すように、流体による熱伝
達が影響し、温度勾配は加熱用電極４の上流側と下流側
とで異なることになる。したがって、検知電極2,3間に
は温度差が生じ、該温度差により熱起電力が生じる。こ
の両検知電極2,3間の温度差により生じる熱起電力に基
づいて、流体の流速を検出することができる。すなわ
ち、第３図に示すように、両検知電極2,3間の温度差に
基づく熱起電力出力は、流速と相関しており、特に低流
速域では、ほぼ線形な出力特性を示すことがわかる。な
お、第３図は、流体として25℃の温度の空気を用いた場
合の特性である。
ところで、第１図実施例では単一の基材１上に検知電極
2,3および加熱用電極４を形成したため、検知電極2,3が
正確に等価な位置に形成されていない場合や、基材１の
均質性が十分でない場合には、両検知電極2,3間にオフ
セット電圧が発生する。これは、熱的および電気的なバ
ランスが、両検知電極2,3間において同一でないために
生じるためである。すなわち、第１図実施例の等価回路
を示す第４図において、抵抗Ｒ１〜Ｒ８は、基材１上の
各電極の位置により決まり、起電力ｅ１,e２は両検知電
極間の熱的なバランスが決定されるものである。
2,3および加熱用電極４を形成したため、検知電極2,3が
正確に等価な位置に形成されていない場合や、基材１の
均質性が十分でない場合には、両検知電極2,3間にオフ
セット電圧が発生する。これは、熱的および電気的なバ
ランスが、両検知電極2,3間において同一でないために
生じるためである。すなわち、第１図実施例の等価回路
を示す第４図において、抵抗Ｒ１〜Ｒ８は、基材１上の
各電極の位置により決まり、起電力ｅ１,e２は両検知電
極間の熱的なバランスが決定されるものである。
したがって、上述した両検知電極間のオフセット電圧を
軽減するためには、両検知電極2,3間の熱的及び電気的
なバランスを調整する必要がある。第５図は、このよう
なオフセット電圧を軽減する手段が講じられた実施例を
示す。ここでは、検知電極2,3と基準電圧との間に抵抗
部材11,12が接続されており、第３図において二点鎖線
で示す位置に抵抗Ｒ９,R１ ０が挿入されている。抵抗部
材11,12の抵抗値を調整することにより、両検知電極2,3
の出力を基準電圧に対して等しくすることができる。好
ましくは、抵抗部材11,12として可変抵抗素子を用いれ
ば、両検知電極2,3間のバランスを容易にとることがで
きる。
軽減するためには、両検知電極2,3間の熱的及び電気的
なバランスを調整する必要がある。第５図は、このよう
なオフセット電圧を軽減する手段が講じられた実施例を
示す。ここでは、検知電極2,3と基準電圧との間に抵抗
部材11,12が接続されており、第３図において二点鎖線
で示す位置に抵抗Ｒ９,R１ ０が挿入されている。抵抗部
材11,12の抵抗値を調整することにより、両検知電極2,3
の出力を基準電圧に対して等しくすることができる。好
ましくは、抵抗部材11,12として可変抵抗素子を用いれ
ば、両検知電極2,3間のバランスを容易にとることがで
きる。
上述した実施例では、単一のセラミックス半導体よりな
る基材を用いて熱電検知素子を構成したが、熱電素子の
構成されたセラミックス半導体層を積層した積層型のも
のを用い、各熱電素子を直列に接続すれば、より大きな
熱起電力出力を得ることができる。したがって、より高
感度の熱型流量検出装置を得ることができる。
る基材を用いて熱電検知素子を構成したが、熱電素子の
構成されたセラミックス半導体層を積層した積層型のも
のを用い、各熱電素子を直列に接続すれば、より大きな
熱起電力出力を得ることができる。したがって、より高
感度の熱型流量検出装置を得ることができる。
なお、上述した両検知電極間のオフセット電圧を軽減す
るには、加熱用電極４に印加する電圧を直流電圧に代え
てパルス電圧とすることによっても可能である。
るには、加熱用電極４に印加する電圧を直流電圧に代え
てパルス電圧とすることによっても可能である。
第１図実施例では、単一の基板上に１対の検知電極2,3
が形成されており、それによって１つの熱電素子が構成
されていたが、複数対の検知電極を形成して複数の熱電
素子を構成してもよい。
が形成されており、それによって１つの熱電素子が構成
されていたが、複数対の検知電極を形成して複数の熱電
素子を構成してもよい。
その場合には複数の熱電素子を直列に接続することによ
り、より大きな熱起電力出力を得ることができる。した
がって、より一層高感度の熱型流量検出装置を得ること
ができる。
り、より大きな熱起電力出力を得ることができる。した
がって、より一層高感度の熱型流量検出装置を得ること
ができる。
さらに、セラミックス半導体よりなる基材の形状につい
ても、図示例のような平板型とする必要は必ずしもな
く、筒状体等の任意の形状にすることができる。
ても、図示例のような平板型とする必要は必ずしもな
く、筒状体等の任意の形状にすることができる。
また、両検知電極は、加熱部分に対して熱的に等価な位
置に形成される必要は必ずしもない。すなわち、流体が
流れない状態において、両検知電極の温度に差があって
もよい。その場合であっても、流体が両検知電極の対向
する方向と交差する方向に流れた場合には、初期状態と
異なる温度勾配が基材に生じるため、両検知電極間の温
度差は流体の流速に従って変化するからである。
置に形成される必要は必ずしもない。すなわち、流体が
流れない状態において、両検知電極の温度に差があって
もよい。その場合であっても、流体が両検知電極の対向
する方向と交差する方向に流れた場合には、初期状態と
異なる温度勾配が基材に生じるため、両検知電極間の温
度差は流体の流速に従って変化するからである。
［発明の効果］ セラミックス半導体よりなる基材を用いた熱電検知素子
において、対をなす検知電極間に部分的に加熱用電極を
設けて自己加熱するようにするだけで熱型の流量検出装
置を構成することができるので、従来の熱型流量検出装
置に比べて小形化が容易であり、したがってより高感度
の熱型流量検出装置を得ることができる。しかも、白金
抵抗体を用いたもののように、コストが高くつくことも
ない。また、セラミックス半導体として正特性サーミス
タ特性を有するものが用いられるので、加熱用電極によ
る自己加熱において基材の温度を一定に制御することが
容易である。
において、対をなす検知電極間に部分的に加熱用電極を
設けて自己加熱するようにするだけで熱型の流量検出装
置を構成することができるので、従来の熱型流量検出装
置に比べて小形化が容易であり、したがってより高感度
の熱型流量検出装置を得ることができる。しかも、白金
抵抗体を用いたもののように、コストが高くつくことも
ない。また、セラミックス半導体として正特性サーミス
タ特性を有するものが用いられるので、加熱用電極によ
る自己加熱において基材の温度を一定に制御することが
容易である。
さらに、複数対の検知電極を構成し相互に直列に接続す
れば、より高感度の熱型流量検出装置を得ることも容易
である。
れば、より高感度の熱型流量検出装置を得ることも容易
である。
第１図は、この発明の一実施例の斜視図、第２図は第１
図実施例において流体が流れていない場合および流体が
流れている場合の温度勾配を示す図、第３図は第１図実
施例の熱起電力出力−流速の関係を示す図、第４図は第
１図実施例の等価回路を示す図、第５図はこの発明の第
２の実施例を示す斜視図である。 図において、１はセラミックス半導体よりなる基材、2,
3は検知電極、４は加熱手段としての加熱用電極を示
す。
図実施例において流体が流れていない場合および流体が
流れている場合の温度勾配を示す図、第３図は第１図実
施例の熱起電力出力−流速の関係を示す図、第４図は第
１図実施例の等価回路を示す図、第５図はこの発明の第
２の実施例を示す斜視図である。 図において、１はセラミックス半導体よりなる基材、2,
3は検知電極、４は加熱手段としての加熱用電極を示
す。
Claims (2)
- 【請求項１】正特性サーミスタ特性を有するセラミック
ス半導体よりなる基材および前記基材上において距離を
隔てて形成された少なくとも１対の検知電極を有し、そ
れによって少なくとも１つの熱電素子が構成されている
熱電検知素子と、 前記基材の対をなす前記検知電極間を部分的に加熱する
加熱手段とを備え、 前記加熱手段は、前記基材の対をなす前記検知電極間部
分において前記基材を挟んで対向するように形成され
た、前記基材を自己加熱するための加熱用電極を有す
る、熱型流量検出装置。 - 【請求項２】少なくとも１つの前記検知電極に、検知電
極間の電気的平衡をとるために、抵抗部材が接続されて
おり、該抵抗部材の他端は基準電圧に接続されており、
１対の検知電極との間で出力が取出される、特許請求の
範囲第１項記載の熱型流量検出装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62251350A JPH0663799B2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 熱型流量検出装置 |
| GB8823415A GB2210696B (en) | 1987-10-05 | 1988-10-05 | Thermal type flow detecting apparatus |
| DE3833929A DE3833929A1 (de) | 1987-10-05 | 1988-10-05 | Thermisches durchfluss-messelement |
| US07/545,095 US5038609A (en) | 1987-10-05 | 1990-06-27 | Thermal type flow detecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62251350A JPH0663799B2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 熱型流量検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0194218A JPH0194218A (ja) | 1989-04-12 |
| JPH0663799B2 true JPH0663799B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=17221519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62251350A Expired - Lifetime JPH0663799B2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 熱型流量検出装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5038609A (ja) |
| JP (1) | JPH0663799B2 (ja) |
| DE (1) | DE3833929A1 (ja) |
| GB (1) | GB2210696B (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2314161A (en) * | 1996-06-10 | 1997-12-17 | Freeze Master Ltd | Detecting liquid flow in a pipe subjected to freeze blocking or heating |
| US6365880B1 (en) | 2000-12-19 | 2002-04-02 | Delphi Technologies, Inc. | Heater patterns for planar gas sensors |
| US6435005B1 (en) | 2000-12-19 | 2002-08-20 | Delphi Technologies, Inc. | Heater patterns for planar gas sensors |
| ES2214122B1 (es) * | 2002-12-20 | 2005-11-01 | Universidad De Jaen | Sensor de microflujo bidireccional. |
| JP4519423B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2010-08-04 | 創世理工株式会社 | 半導体を用いた光デバイス |
| JP4603370B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2010-12-22 | 創世理工株式会社 | 基板上に作製された半導体光デバイスおよびその作製方法 |
| JP5089020B2 (ja) * | 2005-01-19 | 2012-12-05 | 創世理工株式会社 | 基板上に作製された半導体電子デバイス |
| DE102006049667A1 (de) * | 2006-10-18 | 2008-04-24 | Günther Heisskanaltechnik Gmbh | Elektrische Heizeinrichtung für Heißkanalsysteme |
| DE102012209225A1 (de) * | 2012-05-31 | 2013-12-05 | Ifm Electronic Gmbh | Thermischer Strömungssensor |
| KR102150579B1 (ko) * | 2014-03-31 | 2020-09-01 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 열식 질량 유량 측정 방법, 당해 방법을 사용하는 열식 질량 유량계 및 당해 열식 질량 유량계를 사용하는 열식 질량 유량 제어 장치 |
| CN105675917B (zh) * | 2016-01-19 | 2018-11-16 | 东南大学 | 一种热式风速传感器及其封装方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57118161A (en) * | 1980-08-29 | 1982-07-22 | Univ Pennsylvania | Pyro electric air blow meter |
| JPS6013220A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Esutetsuku:Kk | ガス流量センサ−及びその製造方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI52500C (fi) * | 1973-05-17 | 1977-09-12 | Outokumpu Oy | Ilman tai kaasun virtaussuunnan anturi kaivos- tai vastaavia olosuhtei ta varten |
| US4306453A (en) * | 1979-01-04 | 1981-12-22 | Wolfshoerndl Egon | Apparatuses for measuring the flow rate of a flowing medium |
| NL177629C (nl) * | 1979-07-09 | 1985-10-16 | Brooks Instr Bv | Richtingsgevoelige stroomsnelheidsmeter. |
| JPS60183825U (ja) * | 1984-04-28 | 1985-12-06 | トヨタ自動車株式会社 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
| US4637253A (en) * | 1984-05-22 | 1987-01-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor flow detector for detecting the flow rate and flowing direction of fluid |
| US4576050A (en) * | 1984-08-29 | 1986-03-18 | General Motors Corporation | Thermal diffusion fluid flow sensor |
| US4561303A (en) * | 1984-12-06 | 1985-12-31 | Ford Motor Company | Mass airflow sensor with backflow detection |
| NL8702229A (nl) * | 1987-09-18 | 1989-04-17 | Bronkhorst High Tech Bv | Richtingsgevoelige stroomsnelheidsmeter. |
| JPS6478116A (en) * | 1987-09-19 | 1989-03-23 | Univ Kyushu | Measuring instrument for water flow rate in plant stem |
-
1987
- 1987-10-05 JP JP62251350A patent/JPH0663799B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-10-05 GB GB8823415A patent/GB2210696B/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-05 DE DE3833929A patent/DE3833929A1/de active Granted
-
1990
- 1990-06-27 US US07/545,095 patent/US5038609A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57118161A (en) * | 1980-08-29 | 1982-07-22 | Univ Pennsylvania | Pyro electric air blow meter |
| JPS6013220A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Esutetsuku:Kk | ガス流量センサ−及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3833929C2 (ja) | 1992-09-03 |
| JPH0194218A (ja) | 1989-04-12 |
| US5038609A (en) | 1991-08-13 |
| DE3833929A1 (de) | 1989-04-20 |
| GB2210696A (en) | 1989-06-14 |
| GB8823415D0 (en) | 1988-11-09 |
| GB2210696B (en) | 1991-10-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4920805A (en) | Pressure sensor having baffling means | |
| US6589433B2 (en) | Accelerometer without proof mass | |
| US6666088B2 (en) | Accelerometer without proof mass | |
| JPH0663799B2 (ja) | 熱型流量検出装置 | |
| US6629456B2 (en) | Thermal flowmeter for detecting rate and direction of fluid flow | |
| US4561303A (en) | Mass airflow sensor with backflow detection | |
| US6863438B2 (en) | Microstructured thermosensor | |
| JPH02259527A (ja) | 流体の流量検出センサー | |
| US12085526B2 (en) | Sensor device and electronic assembly | |
| JP2002039856A (ja) | 赤外線センサ | |
| US5148707A (en) | Heat-sensitive flow sensor | |
| JP2529895B2 (ja) | フロ―センサ | |
| JP3668921B2 (ja) | 流量検出素子 | |
| JP3345695B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPH01204383A (ja) | 複合熱素子 | |
| JPS645260B2 (ja) | ||
| JP4258080B2 (ja) | フローセンサ | |
| GB2240627A (en) | Microbridge flow sensor | |
| RU215318U1 (ru) | Тепловой датчик расхода газов калориметрического типа | |
| JPS6113121A (ja) | 熱流センサ | |
| JPH11118567A (ja) | フローセンサ | |
| JPH08219836A (ja) | マスフローセンサ | |
| JPS61112935A (ja) | 熱流センサ | |
| JPH0643915B2 (ja) | 連続式液位計 | |
| JPH0812097B2 (ja) | 流速センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080822 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080822 Year of fee payment: 14 |