JPS60183825U - 感熱抵抗型流量検出装置 - Google Patents
感熱抵抗型流量検出装置Info
- Publication number
- JPS60183825U JPS60183825U JP6217184U JP6217184U JPS60183825U JP S60183825 U JPS60183825 U JP S60183825U JP 6217184 U JP6217184 U JP 6217184U JP 6217184 U JP6217184 U JP 6217184U JP S60183825 U JPS60183825 U JP S60183825U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- flow rate
- detection device
- resistor
- rate detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案による感熱抵抗型流量検出器チップの平
面図、第2図は第1図の線■−Hに沿った断面図、第3
図は第1図の検出器チップを流体流通管に取付けた断面
図、第4図は第3図のベンチュリ管の横断面図、第5図
はベンチュリ管の一方の部材の接合面の平面図である。 1・・・検出器チップ、2・・・基材、3・・・温度補
償用蓄熱抵抗体、4・・・発熱用抵抗体、5・・・感熱
抵抗体、6・・・溝、8・・・流通管、9・・・ベンチ
ュリ管。
面図、第2図は第1図の線■−Hに沿った断面図、第3
図は第1図の検出器チップを流体流通管に取付けた断面
図、第4図は第3図のベンチュリ管の横断面図、第5図
はベンチュリ管の一方の部材の接合面の平面図である。 1・・・検出器チップ、2・・・基材、3・・・温度補
償用蓄熱抵抗体、4・・・発熱用抵抗体、5・・・感熱
抵抗体、6・・・溝、8・・・流通管、9・・・ベンチ
ュリ管。
Claims (1)
- 被測定気体の温度を感じる第1の感熱抵抗体と、電源か
らの電気を受けて発熱する発熱用抵抗体と、該発熱用抵
抗体からの熱を感じる第2の感熱抵抗体とが、一定の方
向に順番に単一のほぼ一様の厚さの基材上に付着形成さ
れ、該基材には前記第1の感熱抵抗体と前記発熱用抵抗
体との間で前記一定の方向と交差する方向に延びる溝又
はスリットが設けられることを特徴とする感熱抵抗型流
量検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6217184U JPS60183825U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6217184U JPS60183825U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60183825U true JPS60183825U (ja) | 1985-12-06 |
JPH0428023Y2 JPH0428023Y2 (ja) | 1992-07-07 |
Family
ID=30591130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6217184U Granted JPS60183825U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60183825U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0194218A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-12 | Murata Mfg Co Ltd | 熱型流量検出装置 |
JPH0469521A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 流量計 |
JP2009014601A (ja) * | 2007-07-06 | 2009-01-22 | Yamatake Corp | 流量計 |
JP2012137505A (ja) * | 2012-04-16 | 2012-07-19 | Azbil Corp | 流量計 |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP6217184U patent/JPS60183825U/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0194218A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-12 | Murata Mfg Co Ltd | 熱型流量検出装置 |
JPH0469521A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 流量計 |
JP2009014601A (ja) * | 2007-07-06 | 2009-01-22 | Yamatake Corp | 流量計 |
JP2012137505A (ja) * | 2012-04-16 | 2012-07-19 | Azbil Corp | 流量計 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0428023Y2 (ja) | 1992-07-07 |
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