JPS60174837U - 感熱抵抗型流量検出装置 - Google Patents
感熱抵抗型流量検出装置Info
- Publication number
- JPS60174837U JPS60174837U JP6217084U JP6217084U JPS60174837U JP S60174837 U JPS60174837 U JP S60174837U JP 6217084 U JP6217084 U JP 6217084U JP 6217084 U JP6217084 U JP 6217084U JP S60174837 U JPS60174837 U JP S60174837U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- heat
- detection device
- rate detection
- sensitive resistance
- Prior art date
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- Granted
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による流量検出装置の断面図、第２図は
第１図の要部の分解斜視図、第３図は検出器チップの平
面図、第４図は第３図の拡大断面図である。 １・・・流通管、２・・・流量検出器、３・・・支持体
、４・・・カバー、５・・・流路、訃・・発熱用抵抗体
、９・・・感熱抵抗体。
第１図の要部の分解斜視図、第３図は検出器チップの平
面図、第４図は第３図の拡大断面図である。 １・・・流通管、２・・・流量検出器、３・・・支持体
、４・・・カバー、５・・・流路、訃・・発熱用抵抗体
、９・・・感熱抵抗体。
Claims (1)
- 流体流通管内に薄膜状発熱用抵抗体と該発熱用抵抗体か
らの熱を感じる薄膜状感熱抵抗体とを付着せしめてなる
流量検出器を配置し、該流量検出器は支持体により前記
流体流通管に支持され、該流量検出器の前記両抵抗体を
付着せしめた表面を通る流路を形成するカバーが取付け
られることを特徴とする一感熱抵抗型流量検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6217084U JPS60174837U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6217084U JPS60174837U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60174837U true JPS60174837U (ja) | 1985-11-19 |
| JPH0441291Y2 JPH0441291Y2 (ja) | 1992-09-29 |
Family
ID=30591128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6217084U Granted JPS60174837U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60174837U (ja) |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP6217084U patent/JPS60174837U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0441291Y2 (ja) | 1992-09-29 |
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