JPH0441291Y2 - - Google Patents
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- JPH0441291Y2 JPH0441291Y2 JP6217084U JP6217084U JPH0441291Y2 JP H0441291 Y2 JPH0441291 Y2 JP H0441291Y2 JP 6217084 U JP6217084 U JP 6217084U JP 6217084 U JP6217084 U JP 6217084U JP H0441291 Y2 JPH0441291 Y2 JP H0441291Y2
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- heat
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- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
技術分野
本考案は感熱抵抗型流量検出装置に関する。
従来技術
感熱抵抗型流量検出装置として、極細白金線を
用いた熱線流量計が従来から知られている。又、
白金線の代りに薄膜抵抗体を用いた流量検出器が
例えば特開昭57−92211号公報や特開昭57−93212
号公報から知られている。さらに、最近、薄膜抵
抗体をシリコン基材上に付着形成させる技術が開
発され、流体の流量検出精度が著しく向上した。
このようにシリコン基材チツプにより形成された
流量検出器は支持体により流体流通管に取付けら
れねばならない。又、このような流量検出器によ
る流量検出精度をさらに高めるためには、検出器
チツプが流体の最も安定した流れの中に配置され
る必要がある。
用いた熱線流量計が従来から知られている。又、
白金線の代りに薄膜抵抗体を用いた流量検出器が
例えば特開昭57−92211号公報や特開昭57−93212
号公報から知られている。さらに、最近、薄膜抵
抗体をシリコン基材上に付着形成させる技術が開
発され、流体の流量検出精度が著しく向上した。
このようにシリコン基材チツプにより形成された
流量検出器は支持体により流体流通管に取付けら
れねばならない。又、このような流量検出器によ
る流量検出精度をさらに高めるためには、検出器
チツプが流体の最も安定した流れの中に配置され
る必要がある。
考案の目的
本考案の目的は前述したようなチツプ化された
流量検出器を用いて、これがどこにでも取付けら
れることができ且つ精度の高い流量検出を行うこ
とのできる流量検出装置を提供することにある。
流量検出器を用いて、これがどこにでも取付けら
れることができ且つ精度の高い流量検出を行うこ
とのできる流量検出装置を提供することにある。
考案の構成
本考案による感熱抵抗型流量検出装置は、流体
流通管内に薄膜状発熱用抵抗体とこの発熱用抵抗
体からの熱を感じる薄膜状感熱抵抗体とを付着せ
しめてなる流量検出器を配置し、この流量検出器
は支持体により流体流通管に支持される。この流
量検出器の抵抗体を付着させた表面を通る流路を
形成するようなカバーが取付けられる。このカバ
ーは流量検出器に直接に取付けられてもよく、
又、前記支持体に取付けられてもよい。
流通管内に薄膜状発熱用抵抗体とこの発熱用抵抗
体からの熱を感じる薄膜状感熱抵抗体とを付着せ
しめてなる流量検出器を配置し、この流量検出器
は支持体により流体流通管に支持される。この流
量検出器の抵抗体を付着させた表面を通る流路を
形成するようなカバーが取付けられる。このカバ
ーは流量検出器に直接に取付けられてもよく、
又、前記支持体に取付けられてもよい。
実施例の説明
以下本考案の実施例について図面を参照して説
明する。
明する。
第１図において、流体流通管１内には流量検出
器２が配置され、これは支持体３により流通管１
に支持される。流量検出器２の上面にはカバー４
が取付けられ、カバー４と流量検出器２の上面と
により矢印Ｆで示された方向に流れることのでき
る流体流路５が形成される。流体流路５を流れる
流体の流れ方向Ｆは流通管１を流れる流体の主流
と同一方向である。
器２が配置され、これは支持体３により流通管１
に支持される。流量検出器２の上面にはカバー４
が取付けられ、カバー４と流量検出器２の上面と
により矢印Ｆで示された方向に流れることのでき
る流体流路５が形成される。流体流路５を流れる
流体の流れ方向Ｆは流通管１を流れる流体の主流
と同一方向である。
第２図は第１図の要部を拡大して示したもので
あり、カバー４は取外して示してある。第３図は
流量検出器２の平面図、第４図はその断面図であ
る。第３図及び第４図において、流量検出器２は
シリコン結晶ウエハを基材６としたチツプにより
形成され、シリコン基材６上面に二酸化硅素等の
絶縁膜７が形成され、さらにその上面に所定のパ
ターンで二条の抵抗体８，９が薄膜状に付着され
る。抵抗体８，９の付着にはフオトリソグラフイ
ー及びエツチングを用いると正確な抵抗値を設定
することができる。流れＦに対して上流側に配置
されるべく意図された抵抗体８はニツケルクロム
で作られ、下流側の抵抗体９はニツケルから作ら
れる。ニツケルはニツケルクロムより抵抗の温度
係数が大きいために、熱を感じて抵抗の変化が敏
感である。然して、上流側の抵抗体８を発熱用抵
抗体としてこれに電流を流して発熱させ、この発
熱用抵抗体８の温度が流された流体の流量に応じ
て変化するのを、下流側の感熱抵抗体９が感じて
その抵抗値の変化を測定することにより流量が検
出される。発熱用抵抗体８の熱の約70％くらいは
シリコン基材６を介して感熱抵抗体９に伝達さ
れ、残りの約30％くらいは流体の流れに乗つて伝
達される。この検出器２は非常に高精度であり、
且つ量産に適したものである。各抵抗体８，９の
各端部には金のボンデンイングパツド１０が接合
される。又、自動車のエンジンの吸入空気量を測
定するような場合には、感熱抵抗体９と同様の抵
抗体を同一チツプ上に又は別体のチツプ上に発熱
用抵抗体８の熱の影響のないように付着させて、
測定すべき流体の温度に対する補修を行うことが
でき、この場合には感熱抵抗体９と追加の感熱抵
抗体とは公知のブリツジ回路に接続される。検出
器チツプ２の寸法は例えば７mm×５mmの矩形状で
ある。
あり、カバー４は取外して示してある。第３図は
流量検出器２の平面図、第４図はその断面図であ
る。第３図及び第４図において、流量検出器２は
シリコン結晶ウエハを基材６としたチツプにより
形成され、シリコン基材６上面に二酸化硅素等の
絶縁膜７が形成され、さらにその上面に所定のパ
ターンで二条の抵抗体８，９が薄膜状に付着され
る。抵抗体８，９の付着にはフオトリソグラフイ
ー及びエツチングを用いると正確な抵抗値を設定
することができる。流れＦに対して上流側に配置
されるべく意図された抵抗体８はニツケルクロム
で作られ、下流側の抵抗体９はニツケルから作ら
れる。ニツケルはニツケルクロムより抵抗の温度
係数が大きいために、熱を感じて抵抗の変化が敏
感である。然して、上流側の抵抗体８を発熱用抵
抗体としてこれに電流を流して発熱させ、この発
熱用抵抗体８の温度が流された流体の流量に応じ
て変化するのを、下流側の感熱抵抗体９が感じて
その抵抗値の変化を測定することにより流量が検
出される。発熱用抵抗体８の熱の約70％くらいは
シリコン基材６を介して感熱抵抗体９に伝達さ
れ、残りの約30％くらいは流体の流れに乗つて伝
達される。この検出器２は非常に高精度であり、
且つ量産に適したものである。各抵抗体８，９の
各端部には金のボンデンイングパツド１０が接合
される。又、自動車のエンジンの吸入空気量を測
定するような場合には、感熱抵抗体９と同様の抵
抗体を同一チツプ上に又は別体のチツプ上に発熱
用抵抗体８の熱の影響のないように付着させて、
測定すべき流体の温度に対する補修を行うことが
でき、この場合には感熱抵抗体９と追加の感熱抵
抗体とは公知のブリツジ回路に接続される。検出
器チツプ２の寸法は例えば７mm×５mmの矩形状で
ある。
第１図及び第２図において、このような検出器
チツプ２が帯状支持体３に取付けられる。この実
施例においては、４本の支持体３が使用され、第
２図に一直線上にある各２本の支持体は検出器チ
ツプ２の中央部分では連続していない。そして、
各支持体３の表面には金メツキその他の膜状リー
ド（図示せず）が形成され、ボンデンイングワイ
ヤ１１により各抵抗体のボンデンイングパツド１
０に接続されるようになつている。第２図の左側
の検出器チツプ２と支持体３との組立体の上に断
熱及び電気絶縁性のカバー４が取付けられる。カ
バー４は検出器チツプ２の抵抗体８，９を付着さ
せた表面を覆い、第１で説明した流路５を形成す
る。尚、カバー４の形状は特定する必要はない
が、流路５がほぼ一様にまつすぐ延びるのが好ま
しく、流路５の入口はわずかにラツパ状に広げら
れたものとすることもできる。カバー４の検出器
チツプ２又は支持体３への固定は接着剤を使用す
ることができ、又はねじ等を用いることもでき
る。
チツプ２が帯状支持体３に取付けられる。この実
施例においては、４本の支持体３が使用され、第
２図に一直線上にある各２本の支持体は検出器チ
ツプ２の中央部分では連続していない。そして、
各支持体３の表面には金メツキその他の膜状リー
ド（図示せず）が形成され、ボンデンイングワイ
ヤ１１により各抵抗体のボンデンイングパツド１
０に接続されるようになつている。第２図の左側
の検出器チツプ２と支持体３との組立体の上に断
熱及び電気絶縁性のカバー４が取付けられる。カ
バー４は検出器チツプ２の抵抗体８，９を付着さ
せた表面を覆い、第１で説明した流路５を形成す
る。尚、カバー４の形状は特定する必要はない
が、流路５がほぼ一様にまつすぐ延びるのが好ま
しく、流路５の入口はわずかにラツパ状に広げら
れたものとすることもできる。カバー４の検出器
チツプ２又は支持体３への固定は接着剤を使用す
ることができ、又はねじ等を用いることもでき
る。
検出器チツプ２の表面を覆つてカバー４を取付
けることにより、流路５内を流れる流体を整流さ
せ、安定した流れの中で流量検出を行うことがで
きる。従つて、流通管１内に通常形成される流線
の変化に対して影響を大幅に低下させることがで
き、流通管１内の取付位置の自由度が広がる、さ
らに、前述したように、発熱用抵抗体８から感熱
抵抗体９への伝熱の一部は流体に乗つて行われる
ので、カバー４により狭ばめられた流路５内で、
流体中を拡散する熱が低下し、感熱抵抗体９の発
熱用抵抗体８の温度変化に対する応答性がさらに
高められる。又、第２図に示されるように支持体
３が複数個からなる場合には、カバー４が複数個
の支持体相互及び検出器チツプ２を一体化させる
作用を有することにもなる。シリコン基材６はね
じれ等の機械的応力に対して弱いので、上述の一
体化作用は有力であり、よつて支持体３を小型化
することができる。又、第２図では支持体３は途
中で曲げられて同一方向に引出されているが、流
通管１内を直径方向に一直線上に引出すことも可
能である。
けることにより、流路５内を流れる流体を整流さ
せ、安定した流れの中で流量検出を行うことがで
きる。従つて、流通管１内に通常形成される流線
の変化に対して影響を大幅に低下させることがで
き、流通管１内の取付位置の自由度が広がる、さ
らに、前述したように、発熱用抵抗体８から感熱
抵抗体９への伝熱の一部は流体に乗つて行われる
ので、カバー４により狭ばめられた流路５内で、
流体中を拡散する熱が低下し、感熱抵抗体９の発
熱用抵抗体８の温度変化に対する応答性がさらに
高められる。又、第２図に示されるように支持体
３が複数個からなる場合には、カバー４が複数個
の支持体相互及び検出器チツプ２を一体化させる
作用を有することにもなる。シリコン基材６はね
じれ等の機械的応力に対して弱いので、上述の一
体化作用は有力であり、よつて支持体３を小型化
することができる。又、第２図では支持体３は途
中で曲げられて同一方向に引出されているが、流
通管１内を直径方向に一直線上に引出すことも可
能である。
考案の効果
以上説明したように、本考案によれば検出器チ
ツプの取付の自由度が広く且つ高精度の流量検出
が可能である。
ツプの取付の自由度が広く且つ高精度の流量検出
が可能である。
第１図は本考案による流量検出装置の断面図、
第２図は第１図の要部の分解斜視図、第３図は検
出器チツプの平面図、第４図は第３図の拡大断面
図である。 １……流通管、２……流量検出器、３……支持
体、４……カバー、５……流路、８……発熱用抵
抗体、９……感熱抵抗体。
第２図は第１図の要部の分解斜視図、第３図は検
出器チツプの平面図、第４図は第３図の拡大断面
図である。 １……流通管、２……流量検出器、３……支持
体、４……カバー、５……流路、８……発熱用抵
抗体、９……感熱抵抗体。
Claims (1)
- 流体流通管内に薄膜状発熱用抵抗体と該発熱用
抵抗体からの熱を感じる薄膜状感熱抵抗体とを付
着せしめてなる流量検出器を配置し、該流量検出
器は支持体により前記流体流通管に支持され、該
流量検出器の前記両抵抗体を付着せしめた表面を
通る流路を形成するカバーが取付けられることを
特徴とする感熱抵抗型流量検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6217084U JPS60174837U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6217084U JPS60174837U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60174837U JPS60174837U (ja) | 1985-11-19 |
| JPH0441291Y2 true JPH0441291Y2 (ja) | 1992-09-29 |
Family
ID=30591128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6217084U Granted JPS60174837U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60174837U (ja) |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP6217084U patent/JPS60174837U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60174837U (ja) | 1985-11-19 |
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