JPS60174835U - 感熱抵抗型流量検出装置 - Google Patents
感熱抵抗型流量検出装置Info
- Publication number
- JPS60174835U JPS60174835U JP6216884U JP6216884U JPS60174835U JP S60174835 U JPS60174835 U JP S60174835U JP 6216884 U JP6216884 U JP 6216884U JP 6216884 U JP6216884 U JP 6216884U JP S60174835 U JPS60174835 U JP S60174835U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- flow rate
- detection device
- rate detection
- sensitive resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案による感熱抵抗型流量検出装置の横断面
図、第2図は第1図の支持体の斜視図、第3図は検出器
チップの平面図、第4図は第3図の検出器チップの拡大
断面図、第5図は他の゛実施例の断面図である。 1・・・流通管、3・・・支持体、4・・・アダプター
、7t 7at 8t 8at 9t 10五導電膜
付着先端面、12,13.14・・・薄膜状リード、2
5・・・検出器チップ、28・・・発熱用抵抗体、29
・・・・感熱抵抗体、30,31.32.33・・・ポ
ンディングパッド。
図、第2図は第1図の支持体の斜視図、第3図は検出器
チップの平面図、第4図は第3図の検出器チップの拡大
断面図、第5図は他の゛実施例の断面図である。 1・・・流通管、3・・・支持体、4・・・アダプター
、7t 7at 8t 8at 9t 10五導電膜
付着先端面、12,13.14・・・薄膜状リード、2
5・・・検出器チップ、28・・・発熱用抵抗体、29
・・・・感熱抵抗体、30,31.32.33・・・ポ
ンディングパッド。
Claims (1)
- 発熱用抵抗素子と該発熱用抵抗素子からの熱を感じる感
熱抵抗素子とを薄膜状に形成してそれぞれの抵抗素子の
各端部に導電性金属を付着せしめてなる検出器チップを
、導電性金属を薄膜状に付′着せしめてなるセラミック
支持体に前記検出器チップの導電性金属を前記セラミッ
ク支持体の導電性金属に接合せしめて支持するようにし
た感熱抵抗型流量検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6216884U JPS60174835U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6216884U JPS60174835U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60174835U true JPS60174835U (ja) | 1985-11-19 |
JPH0428022Y2 JPH0428022Y2 (ja) | 1992-07-07 |
Family
ID=30591124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6216884U Granted JPS60174835U (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 感熱抵抗型流量検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60174835U (ja) |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP6216884U patent/JPS60174835U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0428022Y2 (ja) | 1992-07-07 |
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