JPS60174835U - 感熱抵抗型流量検出装置 - Google Patents

感熱抵抗型流量検出装置

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JPS60174835U
JPS60174835U JP6216884U JP6216884U JPS60174835U JP S60174835 U JPS60174835 U JP S60174835U JP 6216884 U JP6216884 U JP 6216884U JP 6216884 U JP6216884 U JP 6216884U JP S60174835 U JPS60174835 U JP S60174835U
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JP
Japan
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sensitive resistance
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JP6216884U
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大橋　通宏
敏雄 棚橋
賢二 林
小柳　和明
辻村　清晴
哲夫 清水
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トヨタ自動車株式会社
愛三工業株式会社
株式会社エステツク
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による感熱抵抗型流量検出装置の横断面
図、第２図は第１図の支持体の斜視図、第３図は検出器
チップの平面図、第４図は第３図の検出器チップの拡大
断面図、第５図は他の゛実施例の断面図である。 １・・・流通管、３・・・支持体、４・・・アダプター
、７ｔ　７ａｔ　８ｔ　８ａｔ　９ｔ　　１０五導電膜
付着先端面、１２，１３．１４・・・薄膜状リード、２
５・・・検出器チップ、２８・・・発熱用抵抗体、２９
・・・・感熱抵抗体、３０，３１．３２．３３・・・ポ
ンディングパッド。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 発熱用抵抗素子と該発熱用抵抗素子からの熱を感じる感
    熱抵抗素子とを薄膜状に形成してそれぞれの抵抗素子の
    各端部に導電性金属を付着せしめてなる検出器チップを
    、導電性金属を薄膜状に付′着せしめてなるセラミック
    支持体に前記検出器チップの導電性金属を前記セラミッ
    ク支持体の導電性金属に接合せしめて支持するようにし
    た感熱抵抗型流量検出装置。
JP6216884U 1984-04-28 1984-04-28 感熱抵抗型流量検出装置 Granted JPS60174835U (ja)

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JP6216884U JPS60174835U (ja) 1984-04-28 1984-04-28 感熱抵抗型流量検出装置

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JPS60174835U true JPS60174835U (ja) 1985-11-19
JPH0428022Y2 JPH0428022Y2 (ja) 1992-07-07

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JPH0428022Y2 (ja) 1992-07-07

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