JPS59155530U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS59155530U JPS59155530U JP5046883U JP5046883U JPS59155530U JP S59155530 U JPS59155530 U JP S59155530U JP 5046883 U JP5046883 U JP 5046883U JP 5046883 U JP5046883 U JP 5046883U JP S59155530 U JPS59155530 U JP S59155530U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- piezoresistor
- heat
- silicon diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例を示し、第１図は断面図、第２図
はシリコンダイアフラムの上面図、第３図は回路図であ
る。 １・・・シリコンダイアフラム、６・・・正特性サーミ
スタ、１０・・・ピエゾ抵抗、１３・・・薄膜抵抗。
はシリコンダイアフラムの上面図、第３図は回路図であ
る。 １・・・シリコンダイアフラム、６・・・正特性サーミ
スタ、１０・・・ピエゾ抵抗、１３・・・薄膜抵抗。
Claims (1)
- シリコンダイアフラムと、該シリコンダイアフラムに備
えられたピエゾ抵抗および発熱抵抗と、該発熱抵抗に流
れる電流を制御する感温素子と、を具備し、上記ピエゾ
抵抗の周囲温度を一定値に保つことを特徴とする半導体
圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5046883U JPS59155530U (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5046883U JPS59155530U (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | 半導体圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59155530U true JPS59155530U (ja) | 1984-10-18 |
| JPH0355076Y2 JPH0355076Y2 (ja) | 1991-12-06 |
Family
ID=30180926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5046883U Granted JPS59155530U (ja) | 1983-04-04 | 1983-04-04 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59155530U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5455474A (en) * | 1977-10-12 | 1979-05-02 | Teraoka Seikosho Kk | Temperature compensation load meter |
-
1983
- 1983-04-04 JP JP5046883U patent/JPS59155530U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5455474A (en) * | 1977-10-12 | 1979-05-02 | Teraoka Seikosho Kk | Temperature compensation load meter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0355076Y2 (ja) | 1991-12-06 |
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