JPS5977027U - マスフロ−流量計 - Google Patents

マスフロ−流量計

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Publication number
JPS5977027U
JPS5977027U JP17346082U JP17346082U JPS5977027U JP S5977027 U JPS5977027 U JP S5977027U JP 17346082 U JP17346082 U JP 17346082U JP 17346082 U JP17346082 U JP 17346082U JP S5977027 U JPS5977027 U JP S5977027U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mass flow
flow meter
conduit
flow
sensor
Prior art date
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Pending
Application number
JP17346082U
Other languages
English (en)
Inventor
博 三平
柳田　祥男
Original Assignee
株式会社エステック
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社エステック filed Critical 株式会社エステック
Priority to JP17346082U priority Critical patent/JPS5977027U/ja
Publication of JPS5977027U publication Critical patent/JPS5977027U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Details Of Flowmeters (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示し、第１図は要部を破断した
マスフロー流量計の正面図、第２図はハニカム状のセラ
ミック構造体から成る層流素子の斜視図、第３図は別実
施例のマスフロー流量計の正面図である。 １・・・主導管、２・・・バイパス導管、３・・・層流
素子（ハニカム状のセラミック構造体）、４・・・セン
サーキャピラリー導管、５・・・流量測定用センサー、
ａ・・・流路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 主ｉｔをセンサーキャピラリー導管とバイパス導管とに
    分岐し、前記キャピラリー導管に流量測定用センサーを
    設けると共に、前記バイパス導管に層流素子を設けたマ
    スフロー流量計において、前記層流素子を、微小流路面
    積を有する互いにほぼ平行な直線状流路群を備えたハニ
    カム状のセラミック構造物から構成しであることを特徴
    とするマスフロー流量計。
JP17346082U 1982-11-15 1982-11-15 マスフロ−流量計 Pending JPS5977027U (ja)

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JP17346082U JPS5977027U (ja) 1982-11-15 1982-11-15 マスフロ−流量計

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Publication Number Publication Date
JPS5977027U true JPS5977027U (ja) 1984-05-24

Family

ID=30377871

Family Applications (1)

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JP17346082U Pending JPS5977027U (ja) 1982-11-15 1982-11-15 マスフロ−流量計

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006120848A1 (ja) * 2005-05-02 2006-11-16 Omron Corporation 流量測定装置
WO2021095492A1 (ja) * 2019-11-15 2021-05-20 株式会社堀場エステック 流体抵抗素子及び流体制御装置

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JPS5599027A (en) * 1979-01-24 1980-07-28 Nissan Motor Co Ltd Measuring device for flow rate

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