JPH0663745B2 - 格子周期測定装置 - Google Patents
格子周期測定装置Info
- Publication number
- JPH0663745B2 JPH0663745B2 JP578788A JP578788A JPH0663745B2 JP H0663745 B2 JPH0663745 B2 JP H0663745B2 JP 578788 A JP578788 A JP 578788A JP 578788 A JP578788 A JP 578788A JP H0663745 B2 JPH0663745 B2 JP H0663745B2
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- Japan
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- grating period
- measuring device
- laser
- grating
- light
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は格子周期測定装置、特に、分布帰還型半導体レ
ーザの回折格子や、光ディスク基板のプリグループ等の
微細格子の格子周期測定装置に関する。
ーザの回折格子や、光ディスク基板のプリグループ等の
微細格子の格子周期測定装置に関する。
従来の格子周期測定装置は、例えば昭和58年度電子通信
学会半導体・材料部門全国大会予稿65頁記載のディスク
・プレグループ検査装置がある。
学会半導体・材料部門全国大会予稿65頁記載のディスク
・プレグループ検査装置がある。
第２図に示す従来のディスク・プレグループ検査装置
は、測定すべき格子構造表面６にレーザを照射するレー
ザ照射部４と、１つの１次回折光の光路上に距離Ｌ３は
なれて１次回折光と垂直に配置された光ビーム位置検出
器５とを含んで構成され、該光ビーム位置検出器により
１次回折角θを測定し（１）式により格子周期ｄを求め
ていた。
は、測定すべき格子構造表面６にレーザを照射するレー
ザ照射部４と、１つの１次回折光の光路上に距離Ｌ３は
なれて１次回折光と垂直に配置された光ビーム位置検出
器５とを含んで構成され、該光ビーム位置検出器により
１次回折角θを測定し（１）式により格子周期ｄを求め
ていた。
ｄ＝λ／sinθ ……（１） （λ：レーザ光の波長） 〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来のディスク・プレグループ検査装置は、
（１）式に示すように格子周期ｄが、１次回折角θによ
り決定される。この１次回折角θは、光ビーム検出器５
に垂直に入射する１次回折角をθ０（基準格子周期の１
次回折角）実際に光ビーム位置検出器５に入射する１次
回折角をθ、光ビーム検出器５上で垂直に入射した点か
ら実際に入射した点までのズレ量を△３とすると θ＝θ０＋tan− １△３／Ｌ３ ……（２） として算出されるので格子構造表面が傾くと、レーザの
入射角が変化し、これに伴い光ビーム位置検出器５に入
射する１次回折光の位置が変化する。
（１）式に示すように格子周期ｄが、１次回折角θによ
り決定される。この１次回折角θは、光ビーム検出器５
に垂直に入射する１次回折角をθ０（基準格子周期の１
次回折角）実際に光ビーム位置検出器５に入射する１次
回折角をθ、光ビーム検出器５上で垂直に入射した点か
ら実際に入射した点までのズレ量を△３とすると θ＝θ０＋tan− １△３／Ｌ３ ……（２） として算出されるので格子構造表面が傾くと、レーザの
入射角が変化し、これに伴い光ビーム位置検出器５に入
射する１次回折光の位置が変化する。
例えばλ＝632.8nm,θ０＝24゜,L３＝30mm,△３＝0.2mm
とすると１次回折角θは24.4゜となり格子周期ｄは1533
nmとなる。
とすると１次回折角θは24.4゜となり格子周期ｄは1533
nmとなる。
ここで格子構造表面δ＝２゜傾くと、従来の検査装置で
は、１次回折角θを276゜、格子周期ｄを1365nmと算出
するので格子周期ｄは、計算上168nm誤差が生じたこと
になる。
は、１次回折角θを276゜、格子周期ｄを1365nmと算出
するので格子周期ｄは、計算上168nm誤差が生じたこと
になる。
この誤差は、測定値の11％をしめる値なので、実用上の
許容範囲10nmを大きく越えてしまうという欠点がある。
許容範囲10nmを大きく越えてしまうという欠点がある。
本発明の格子周期測定装置は、格子構造表面に垂直にレ
ーザ光を照射するレーザ照射部と、前記格子構造表面か
らの２つの１次反射回折光の光路上でレーザ照射点から
それぞれ距離Ｌ１,L２はなれて１次反射回折光と垂直に
配置され位置ずれ信号△１，△２を出力する第１と第２
の光ビーム位置検出手段と、前記位置ずれ信号△１，△
２から （d:格子周期，λ：レーザ光の波長）なる関係により格
子周期を決定する演算処理部とを含んで構成される。
ーザ光を照射するレーザ照射部と、前記格子構造表面か
らの２つの１次反射回折光の光路上でレーザ照射点から
それぞれ距離Ｌ１,L２はなれて１次反射回折光と垂直に
配置され位置ずれ信号△１，△２を出力する第１と第２
の光ビーム位置検出手段と、前記位置ずれ信号△１，△
２から （d:格子周期，λ：レーザ光の波長）なる関係により格
子周期を決定する演算処理部とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示す格子周期測定装置は、レーザ照射部１より
測定すべき格子構造表面６に垂直にレーザ光を照射し、
基準格子周期ｄ０に対応する２つの１次回折光の光路上
でレーザ照射点からそれぞれＬ１,L２はなれて１次回折
光と垂直に配置された第1,第２の光ビーム位置検出手段
2,3により検出される基準格子周期の回折位置に対する
被測定格子の１次回折光位置ずれ△１，△２は、格子構
造表面の傾き角をδ、基準格子周期の１次光回折角をθ
０、実際にビーム位置検出器に入射する１次回折角をθ
とすると △１＝tan〔−２δ＋（θ−θ０）〕×Ｌ１ ……（３） △２＝tin〔２δ＋（θ−θ０）〕×Ｌ２ ……（４） となり（３），（４）式より となるよって格子周期ｄは、 で決定される。
測定すべき格子構造表面６に垂直にレーザ光を照射し、
基準格子周期ｄ０に対応する２つの１次回折光の光路上
でレーザ照射点からそれぞれＬ１,L２はなれて１次回折
光と垂直に配置された第1,第２の光ビーム位置検出手段
2,3により検出される基準格子周期の回折位置に対する
被測定格子の１次回折光位置ずれ△１，△２は、格子構
造表面の傾き角をδ、基準格子周期の１次光回折角をθ
０、実際にビーム位置検出器に入射する１次回折角をθ
とすると △１＝tan〔−２δ＋（θ−θ０）〕×Ｌ１ ……（３） △２＝tin〔２δ＋（θ−θ０）〕×Ｌ２ ……（４） となり（３），（４）式より となるよって格子周期ｄは、 で決定される。
例えば、前記と同様にλ＝632.8nm,θ０＝24゜,L３＝30
mm,△３＝0.2mmでδ＝２゜傾くと、（５）式より１次回
折角θは24.4゜となり（６）式より格子周期ｄは、真の
値と一致する1533nmと算出できる。
mm,△３＝0.2mmでδ＝２゜傾くと、（５）式より１次回
折角θは24.4゜となり（６）式より格子周期ｄは、真の
値と一致する1533nmと算出できる。
本発明の格子周期測定装置は、２つの１次回折光の光路
上に第１と第２の光ビーム位置検出器を設けることによ
り格子構造表面が傾いても正確に格子周期を測定できる
という効果がある。
上に第１と第２の光ビーム位置検出器を設けることによ
り格子構造表面が傾いても正確に格子周期を測定できる
という効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
従来の一例を示すブロック図である。 １……レーザ照射部、2,3……光ビーム検出手段、４…
…レーザ照射部、５……光ビーム検出器、６……格子構
造表面。
従来の一例を示すブロック図である。 １……レーザ照射部、2,3……光ビーム検出手段、４…
…レーザ照射部、５……光ビーム検出器、６……格子構
造表面。
Claims (1)
- 【請求項１】格子構造表面に垂直にレーザ光を照射する
レーザ照射部と、前記格子構造表面からの２つの１次反
射回折光の光路上でレーザ照射点からそれぞれ距離
Ｌ１,L２はなれて１次反射回折光と垂直に配置され位置
ずれ信号△1,△２を出力する第１と第２の光ビーム位置
検出手段と、前記位置ずれ信号△1,△２から （ｄ０＝λ／Sinθ０,d０；基準格子周期，θ０；基準
格子周期の一時回折角） （d:格子周期，λ：レーザ光の波長）なる関係により格
子周期を決定する演算処理部とを含むことを特徴とする
格子周期測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP578788A JPH0663745B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 格子周期測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP578788A JPH0663745B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 格子周期測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01182707A JPH01182707A (ja) | 1989-07-20 |
| JPH0663745B2 true JPH0663745B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=11620812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP578788A Expired - Fee Related JPH0663745B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 格子周期測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0663745B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6483580B1 (en) | 1998-03-06 | 2002-11-19 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| CN107949729B (zh) * | 2015-09-09 | 2019-07-12 | 加特可株式会社 | 车辆用无级变速机构的控制装置及控制方法 |
| CN110132549A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-16 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 光栅线密度测量装置及其测量方法 |
-
1988
- 1988-01-13 JP JP578788A patent/JPH0663745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01182707A (ja) | 1989-07-20 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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