JPH066033A - アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエッチング浴の管理方法 - Google Patents
アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエッチング浴の管理方法Info
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- JPH066033A JPH066033A JP16321492A JP16321492A JPH066033A JP H066033 A JPH066033 A JP H066033A JP 16321492 A JP16321492 A JP 16321492A JP 16321492 A JP16321492 A JP 16321492A JP H066033 A JPH066033 A JP H066033A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】エッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処
理不良が防止でき、かつ一定のエッチングスピード処理
が維持できエッチング浴の管理方法を提供する。 【構成】エッチング浴１より一定時間毎にエッチング液
を所定量サンプリングし、自動分析装置２により過マン
ガン酸塩、水酸化ナトリウム、マンガン酸塩濃度を分析
し、その分析値をコントローラー３にて演算し、水酸化
ナトリウム濃度を所定濃度に合わせる為の補充量を水酸
化ナトリウム定量ポンプ６に伝送する。また、エッチン
グスピード測定セル１０には、一定時間毎にエッチング
浴からエッチング液を所定量サンプリングし、循環ポン
プ１１にて比色計１２に送液しながら自動滴定装置８で
一定速度で滴下し比色計１２で液色が赤紫色から緑色に
変わるまで被処理物と同種系の有機溶剤の滴下を続け、
エッチング浴中の過マンガン酸塩濃度を一定範囲に維持
しながらエッチング浴中のエッチングスピードの管理を
行う。
理不良が防止でき、かつ一定のエッチングスピード処理
が維持できエッチング浴の管理方法を提供する。 【構成】エッチング浴１より一定時間毎にエッチング液
を所定量サンプリングし、自動分析装置２により過マン
ガン酸塩、水酸化ナトリウム、マンガン酸塩濃度を分析
し、その分析値をコントローラー３にて演算し、水酸化
ナトリウム濃度を所定濃度に合わせる為の補充量を水酸
化ナトリウム定量ポンプ６に伝送する。また、エッチン
グスピード測定セル１０には、一定時間毎にエッチング
浴からエッチング液を所定量サンプリングし、循環ポン
プ１１にて比色計１２に送液しながら自動滴定装置８で
一定速度で滴下し比色計１２で液色が赤紫色から緑色に
変わるまで被処理物と同種系の有機溶剤の滴下を続け、
エッチング浴中の過マンガン酸塩濃度を一定範囲に維持
しながらエッチング浴中のエッチングスピードの管理を
行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアルカリ過マンガン酸塩
を用いたデスミアプロセスのエッチング浴の管理方法に
関し、特にエッチングスピードの管理方法に関する。
を用いたデスミアプロセスのエッチング浴の管理方法に
関し、特にエッチングスピードの管理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】アルカリ過マンガン酸デスミアプロセス
のエッチング浴は、基本的に過マンガン酸塩、水酸化ナ
トリウム、再生剤などで構成されておりエッチング反応
の進行と共に次の様にエッチング浴中の過マンガン酸塩
濃度、水酸化ナトリウム濃度は低下し、一方マンガン酸
塩濃度は増加する。
のエッチング浴は、基本的に過マンガン酸塩、水酸化ナ
トリウム、再生剤などで構成されておりエッチング反応
の進行と共に次の様にエッチング浴中の過マンガン酸塩
濃度、水酸化ナトリウム濃度は低下し、一方マンガン酸
塩濃度は増加する。
【０００３】 ４ＭｎＯ4 - ＋４ＯＨ- ＋Ｃ → ４ＭｎＯ4 2-＋ＣＯ2 ＋２Ｈ2 Ｏ この内、過マンガン酸塩、水酸化ナトリウムが消耗する
とエッチングスピードが低下するのでこれらの濃度を一
定に維持する為、一定時間毎に過マンガン酸塩濃度を吸
光度法、水酸化ナトリウム濃度を中和滴定法によって分
析し各々不足量を補給して一定の濃度範囲に管理をして
いた。
とエッチングスピードが低下するのでこれらの濃度を一
定に維持する為、一定時間毎に過マンガン酸塩濃度を吸
光度法、水酸化ナトリウム濃度を中和滴定法によって分
析し各々不足量を補給して一定の濃度範囲に管理をして
いた。
【０００４】しかしエッチング浴中の過マンガン酸塩
は、浴中の水酸化ナトリウムとの接触反応により次の様
にマンガン酸塩に分解し、被処理物のエッチングスピー
ドを低下させる。
は、浴中の水酸化ナトリウムとの接触反応により次の様
にマンガン酸塩に分解し、被処理物のエッチングスピー
ドを低下させる。
【０００５】 ２ＭｎＯ4 - ＋２ＯＨ- → ２ＭｎＯ4 2-＋１／２Ｏ2 ＋Ｈ2 Ｏ よって、エッチング浴中の過マンガン酸塩の濃度の変化
を抑制するためには、次亜塩素酸等の再生剤の供給が効
果的で、被処理物のエッチングスピードを管理すること
が不可欠であるがエッチング浴中の再生剤濃度は、微量
で直接的な定量分析が困難な為、一定時間毎にエッチン
グ浴中の過マンガン酸塩濃度を吸光度法等により測定し
前回の分析値からの変化量と一定時間毎の過マンガン酸
塩の分析結果に基づく補給量から再生剤消費量を推定し
再生剤を定期補充するといった方法でエッチングスピー
ドの管理を行っていた。
を抑制するためには、次亜塩素酸等の再生剤の供給が効
果的で、被処理物のエッチングスピードを管理すること
が不可欠であるがエッチング浴中の再生剤濃度は、微量
で直接的な定量分析が困難な為、一定時間毎にエッチン
グ浴中の過マンガン酸塩濃度を吸光度法等により測定し
前回の分析値からの変化量と一定時間毎の過マンガン酸
塩の分析結果に基づく補給量から再生剤消費量を推定し
再生剤を定期補充するといった方法でエッチングスピー
ドの管理を行っていた。
【０００６】また、エッチング浴中のマンガン酸塩は安
定性が悪く濃度が高くなるとともに二酸化マンガンへと
反応が進み、前述した様な再生剤の補給だけでは過マン
ガン酸塩の濃度変化を抑制することが困難であり、さら
にエッチング浴への再生剤の添加に伴う浴中副生成物の
増加によりエッチングスピード低下をもたらす為、マン
ガン酸塩濃度が一定値に達するとエッチング浴の更新を
行いエッチングスピード低下を軽減していた。
定性が悪く濃度が高くなるとともに二酸化マンガンへと
反応が進み、前述した様な再生剤の補給だけでは過マン
ガン酸塩の濃度変化を抑制することが困難であり、さら
にエッチング浴への再生剤の添加に伴う浴中副生成物の
増加によりエッチングスピード低下をもたらす為、マン
ガン酸塩濃度が一定値に達するとエッチング浴の更新を
行いエッチングスピード低下を軽減していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述の管理方法では、
エッチング浴中の適正な再生剤濃度管理が困難である
為、再生剤濃度が不足するとマンガン酸塩の増加に伴う
二酸化マンガンへの分解反応が進みエッチング浴中の過
マンガン酸塩濃度が低下する。
エッチング浴中の適正な再生剤濃度管理が困難である
為、再生剤濃度が不足するとマンガン酸塩の増加に伴う
二酸化マンガンへの分解反応が進みエッチング浴中の過
マンガン酸塩濃度が低下する。
【０００８】一方、再生剤濃度が過剰の場合エッチング
浴中のマンガン酸塩の再生反応による副生成物が過剰と
なり一定のエッチングスピードを得ることができないと
いう課題があった。
浴中のマンガン酸塩の再生反応による副生成物が過剰と
なり一定のエッチングスピードを得ることができないと
いう課題があった。
【０００９】本発明の目的は、上記問題点を除去し、エ
ッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処理不良を防
止でき、かつ一定のエッチングスピード処理が維持でき
るアルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエッチング
浴の管理方法を提供することにある。
ッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処理不良を防
止でき、かつ一定のエッチングスピード処理が維持でき
るアルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエッチング
浴の管理方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、印刷配
線板のデスミア処理のアルカリ過マンガン酸プロセスに
おける過マンガン酸塩と水酸化ナトリウムの混合液から
なるエッチング浴のエッチングスピードの管理について
一定量のエッチング液をサンプリングする工程と、前記
サンプリング液中の過マンガン酸塩濃度とマンガン酸塩
濃度については吸光度法、水酸化ナトリウム濃度につい
ては中和滴定法によりそれぞれ分析する工程と、それら
の分析値から演算して不足する水酸化ナトリウムを補充
する工程と、前記サンプリング液に被処理物と同種系の
有機溶剤を一定速度で滴下する工程と、滴下してから過
マンガン酸塩がマンガン酸塩に変化するまでの時間を比
色法を用いて測定する工程と、その時間と過マンガン酸
塩がマンガン酸塩に変化するまでに消費した有機溶剤量
に基づきエッチング浴のエッチングスピードを求め、エ
ッチングスピードが管理上限を越えている場合に過剰な
過マンガン酸塩を演算し、その演算値に基づきマンガン
酸塩を生成するために必要な有機溶剤を補給し適正値ま
でマンガン酸塩濃度を上げる。一方、エッチングスピー
ドが管理下限未満の場合には不足している過マンガン酸
塩量を演算し、その演算値に基づき電解装置で電解し、
適正値まで過マンガン酸塩を再生する工程とを有するこ
とを特徴とするアルカリ過マンガン酸デスミアプロセス
のエッチング浴の管理方法が得られる。
線板のデスミア処理のアルカリ過マンガン酸プロセスに
おける過マンガン酸塩と水酸化ナトリウムの混合液から
なるエッチング浴のエッチングスピードの管理について
一定量のエッチング液をサンプリングする工程と、前記
サンプリング液中の過マンガン酸塩濃度とマンガン酸塩
濃度については吸光度法、水酸化ナトリウム濃度につい
ては中和滴定法によりそれぞれ分析する工程と、それら
の分析値から演算して不足する水酸化ナトリウムを補充
する工程と、前記サンプリング液に被処理物と同種系の
有機溶剤を一定速度で滴下する工程と、滴下してから過
マンガン酸塩がマンガン酸塩に変化するまでの時間を比
色法を用いて測定する工程と、その時間と過マンガン酸
塩がマンガン酸塩に変化するまでに消費した有機溶剤量
に基づきエッチング浴のエッチングスピードを求め、エ
ッチングスピードが管理上限を越えている場合に過剰な
過マンガン酸塩を演算し、その演算値に基づきマンガン
酸塩を生成するために必要な有機溶剤を補給し適正値ま
でマンガン酸塩濃度を上げる。一方、エッチングスピー
ドが管理下限未満の場合には不足している過マンガン酸
塩量を演算し、その演算値に基づき電解装置で電解し、
適正値まで過マンガン酸塩を再生する工程とを有するこ
とを特徴とするアルカリ過マンガン酸デスミアプロセス
のエッチング浴の管理方法が得られる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の構成図である。エッチン
グ浴１より、一定時間毎にエッチング液５０〜１００ｍ
ｌを所定量サンプリングし自動分析装置２により過マン
ガン酸塩、水酸化ナトリウム、マンガン酸塩濃度を分析
する。自動分析装置２の分析値をコントローラー３にて
演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度４０〜５５ｇ
／Ｌに合わせる為の補充量を水酸化ナトリウム定量ポン
プ６に伝送する。
る。図１は本発明の一実施例の構成図である。エッチン
グ浴１より、一定時間毎にエッチング液５０〜１００ｍ
ｌを所定量サンプリングし自動分析装置２により過マン
ガン酸塩、水酸化ナトリウム、マンガン酸塩濃度を分析
する。自動分析装置２の分析値をコントローラー３にて
演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度４０〜５５ｇ
／Ｌに合わせる為の補充量を水酸化ナトリウム定量ポン
プ６に伝送する。
【００１２】また、測定セル１０には、一定時間毎にエ
ッチング浴からエッチング液５０〜１５０ｍｌを所定量
サンプリングし、測定セル循環ポンプ１１にて比色計１
２に送液しながら自動滴定装置８で０．１〜０．５ｍｌ
／ｍｉｎの速度で滴下し比色計１２で液色が赤紫色から
緑色に変わるまで被処理物と同種系の有機溶剤の滴下し
続ける。
ッチング浴からエッチング液５０〜１５０ｍｌを所定量
サンプリングし、測定セル循環ポンプ１１にて比色計１
２に送液しながら自動滴定装置８で０．１〜０．５ｍｌ
／ｍｉｎの速度で滴下し比色計１２で液色が赤紫色から
緑色に変わるまで被処理物と同種系の有機溶剤の滴下し
続ける。
【００１３】次にコントローラー３で滴定に要した有機
溶剤量と所定時間を演算しエッチングスピードを求め
る。
溶剤量と所定時間を演算しエッチングスピードを求め
る。
【００１４】尚、有機溶剤添加による反応式は下記の様
になり有機溶剤の分解速度と過マンガン酸塩からマンガ
ン酸塩への移行速度には正の相関がある。
になり有機溶剤の分解速度と過マンガン酸塩からマンガ
ン酸塩への移行速度には正の相関がある。
【００１５】 ４ＭｎＯ4 - ＋４ＯＨ- ＋Ｃ → ４ＭｎＯ4 2-＋ＣＯ2 ＋２Ｈ2 Ｏ （有機溶剤添加による反応式）そのエッチングスピード
の測定結果に基づき、その値が規定スピードを越えてい
る場合、過剰な過マンガン酸塩量をコントローラー３に
て演算し、過マンガン酸塩をマンガン酸塩にするために
必要な有機溶剤量を有機溶剤定量ポンプ１３に伝送す
る。
の測定結果に基づき、その値が規定スピードを越えてい
る場合、過剰な過マンガン酸塩量をコントローラー３に
て演算し、過マンガン酸塩をマンガン酸塩にするために
必要な有機溶剤量を有機溶剤定量ポンプ１３に伝送す
る。
【００１６】一方、前記したエッチングスピードが規定
スピード未満の場合は、適正なエッチングスピードにす
る為に必要な過マンガン酸塩の再生電解量を、コントロ
ーラー３にて演算しエッチング浴１内に設置したニッケ
ル系金属板のアノード極１４、白金系金属板のカソード
極１５からなる電解装置１６に電流を印加しエッチング
浴中の過マンガン酸塩濃度を適正値に管理する。
スピード未満の場合は、適正なエッチングスピードにす
る為に必要な過マンガン酸塩の再生電解量を、コントロ
ーラー３にて演算しエッチング浴１内に設置したニッケ
ル系金属板のアノード極１４、白金系金属板のカソード
極１５からなる電解装置１６に電流を印加しエッチング
浴中の過マンガン酸塩濃度を適正値に管理する。
【００１７】尚、添加する有機溶剤としては、エポキシ
基を有するエピクロロヒドリン溶液等を用いることが出
来る。電解処理の最適な電流密度範囲は、アノード極で
は０．１Ａ／ｄｍ2 〜０．５Ａ／ｄｍ2 、カソード極で
は１．０Ａ／ｄｍ2 〜２．０Ａ／ｄｍ2 である。
基を有するエピクロロヒドリン溶液等を用いることが出
来る。電解処理の最適な電流密度範囲は、アノード極で
は０．１Ａ／ｄｍ2 〜０．５Ａ／ｄｍ2 、カソード極で
は１．０Ａ／ｄｍ2 〜２．０Ａ／ｄｍ2 である。
【００１８】上述した方法によりエッチング浴中のエッ
チングスピードの管理を行う。
チングスピードの管理を行う。
【００１９】図２は本発明の他の実施例の構成図であ
る。エッチング浴１より、一定時間毎にエッチング液５
０〜１００ｍｌを所定量サンプリングし自動分析装置２
により過マンガン酸塩、水酸化ナトリウム、マンガン酸
塩濃度を分析する。自動分析装置２の分析値をコントロ
ーラー３にて演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度
４０〜５５ｇ／Ｌに合わせる為の補充量を水酸化ナトリ
ウム定量ポンプ６に伝送する。
る。エッチング浴１より、一定時間毎にエッチング液５
０〜１００ｍｌを所定量サンプリングし自動分析装置２
により過マンガン酸塩、水酸化ナトリウム、マンガン酸
塩濃度を分析する。自動分析装置２の分析値をコントロ
ーラー３にて演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度
４０〜５５ｇ／Ｌに合わせる為の補充量を水酸化ナトリ
ウム定量ポンプ６に伝送する。
【００２０】また、測定セル１０には、一定時間毎にエ
ッチング浴からエッチング液５０〜１５０ｍｌを所定量
サンプリングし、測定セル循環ポンプ１１にて比色系１
２に送液しながら自動滴定装置８で０．１〜０．５ｍｌ
／ｍｉｎの速度で滴下し比色計１２で液色が赤紫色から
緑色に変わるまで被処理物と同種系の有機溶剤の滴下し
続ける。次にコントローラー３で滴定に要した有機溶剤
量と所要時間を演算しエッチングスピードを求める。
ッチング浴からエッチング液５０〜１５０ｍｌを所定量
サンプリングし、測定セル循環ポンプ１１にて比色系１
２に送液しながら自動滴定装置８で０．１〜０．５ｍｌ
／ｍｉｎの速度で滴下し比色計１２で液色が赤紫色から
緑色に変わるまで被処理物と同種系の有機溶剤の滴下し
続ける。次にコントローラー３で滴定に要した有機溶剤
量と所要時間を演算しエッチングスピードを求める。
【００２１】尚、有機溶剤添加による反応式は下記の様
になり有機溶剤の分解速度と過マンガン酸塩からマンガ
ン酸塩への移行速度には正の相関がある。
になり有機溶剤の分解速度と過マンガン酸塩からマンガ
ン酸塩への移行速度には正の相関がある。
【００２２】 ４ＭｎＯ4 - ＋４ＯＨ- ＋Ｃ → ４ＭｎＯ4 2-＋ＣＯ2 ＋２Ｈ2 Ｏ （有機溶剤添加による反応式）そのエッチングスピード
の測定結果に基づき、その値が規定スピードを越えてい
る場合、過剰な過マンガン酸塩量をコントローラー３に
て演算し、過マンガン酸塩をマンガン酸塩にするために
必要な有機溶剤量を有機溶剤定量ポンプ１３に伝送す
る。
の測定結果に基づき、その値が規定スピードを越えてい
る場合、過剰な過マンガン酸塩量をコントローラー３に
て演算し、過マンガン酸塩をマンガン酸塩にするために
必要な有機溶剤量を有機溶剤定量ポンプ１３に伝送す
る。
【００２３】一方、前記したエッチングスピードが規定
スピード未満の場合は、適正なエッチングスピードにす
る為に必要な過マンガン酸塩の再生電解量を、コントロ
ーラー３にて演算しニッケル系金属板のアノード極１
４、白金系金属板のカソード極１５を取り付けた４個の
電解セルからなる電解槽１８に循環ポンプ２１で液を循
環した後、電解量に応じ必要な電解セル数と印加電流値
をコントローラー３で演算し電流を印加してエッチング
浴中の過マンガン酸塩濃度を適正値に管理する。
スピード未満の場合は、適正なエッチングスピードにす
る為に必要な過マンガン酸塩の再生電解量を、コントロ
ーラー３にて演算しニッケル系金属板のアノード極１
４、白金系金属板のカソード極１５を取り付けた４個の
電解セルからなる電解槽１８に循環ポンプ２１で液を循
環した後、電解量に応じ必要な電解セル数と印加電流値
をコントローラー３で演算し電流を印加してエッチング
浴中の過マンガン酸塩濃度を適正値に管理する。
【００２４】尚、添加する有機溶剤としては、エポキシ
基を有するエピクロロヒドリン溶液等を用いることが出
来る。電解処理の最適な電流密度範囲は、アノード極で
は０．１Ａ／ｄｍ2 〜０．５Ａ／ｄｍ2 、カソード極で
は１．０Ａ／ｄｍ2 〜２．０Ａ／ｄｍ2 である。
基を有するエピクロロヒドリン溶液等を用いることが出
来る。電解処理の最適な電流密度範囲は、アノード極で
は０．１Ａ／ｄｍ2 〜０．５Ａ／ｄｍ2 、カソード極で
は１．０Ａ／ｄｍ2 〜２．０Ａ／ｄｍ2 である。
【００２５】さらに３０分毎に電解槽１８の流入口１９
及び流出口２０からエッチング液をサンプリングし自動
分析装置２にて電解前後の過マンガン酸塩濃度を測定
し、その値に基づき電解再生効率をコントローラー３に
て演算して電解効率低下時には予備の電解セルに所定電
流を印加する。また、電解槽１８の電極へのマンガン生
成物の付着による電流効率低下を防止するため、循環ポ
ンプ２１を停止した後、１〜３％の過酸化水素と２〜５
％の硫酸の混合液からなるソフトエッチング液の移送ポ
ンプ２２にて電解槽１８へ送り電極表面のマンガン生成
物を除去する。
及び流出口２０からエッチング液をサンプリングし自動
分析装置２にて電解前後の過マンガン酸塩濃度を測定
し、その値に基づき電解再生効率をコントローラー３に
て演算して電解効率低下時には予備の電解セルに所定電
流を印加する。また、電解槽１８の電極へのマンガン生
成物の付着による電流効率低下を防止するため、循環ポ
ンプ２１を停止した後、１〜３％の過酸化水素と２〜５
％の硫酸の混合液からなるソフトエッチング液の移送ポ
ンプ２２にて電解槽１８へ送り電極表面のマンガン生成
物を除去する。
【００２６】上述した方法によりエッチング浴のエッチ
ングスピードの管理を行う。
ングスピードの管理を行う。
【００２７】
【発明の効果】前述した様に本発明は、エッチング浴で
の被処理物のエッチングスピード測定に基づき有機溶剤
の添加あるいは電解再生によってエッチング浴中の過マ
ンガン酸塩濃度を一定化させる為、エッチングスピード
を一定範囲に維持することができ、下記の効果が得られ
る。 （１）エッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処理
不良を防止できる。 （２）一定のエッチングスピード処理が維持できる。
の被処理物のエッチングスピード測定に基づき有機溶剤
の添加あるいは電解再生によってエッチング浴中の過マ
ンガン酸塩濃度を一定化させる為、エッチングスピード
を一定範囲に維持することができ、下記の効果が得られ
る。 （１）エッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処理
不良を防止できる。 （２）一定のエッチングスピード処理が維持できる。
【図１】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】実施例２の構成を示すブロック図である。
１ エッチング浴 ２ 自動分析装置 ３ コントローラー ４ 過マンガン酸塩溶液定量ポンプ ５ 過マンガン酸塩溶液ストックタンク ６ 水酸化ナトリウム定量ポンプ ７ 水酸化ナトリウムストックタンク ８ 自動滴定装置 ９ 有機溶剤ストックタンク １０ 測定セル １１ 測定セル循環ポンプ １２ 比色計 １３ 有機溶剤定量ポンプ １４ アノード極 １５ カソード極 １６ 電解装置 １７ 整流器 １８ 電解槽 １９ 流入口 ２０ 流出口 ２１ 循環ポンプ ２２ ソフトエッチング移送ポンプ ２３ ソフトエッチング液ストックタンク
Claims (1)
- 【請求項１】 印刷配線板のデスミア処理のアルカリ過
マンガン酸デスミアプロセスにおける過マンガン酸塩と
水酸化ナトリウムの混合液からなるエッチング浴のエッ
チングスピードの管理について一定量のエッチング液を
サンプリングする工程と、前記サンプリング液中の過マ
ンガン酸塩濃度とマンガン酸塩濃度については吸光度
法、水酸化ナトリウム濃度については中和滴定法により
それぞれ分析する工程と、それらの分析値から演算して
不足する水酸化ナトリウムを補充する工程と、前記サン
プリング液に被処理物と同種系の有機溶剤を一定速度で
滴下する工程と、滴下してから過マンガン酸塩がマンガ
ン酸塩に変化するまでの時間を比色法を用いて測定する
工程と、その時間と過マンガン酸塩がマンガン酸塩に変
化するまでに消費した有機溶剤量に基づきエッチング浴
のエッチングスピードを求め、エッチングスピードが管
理上限を越えている場合に過剰な過マンガン酸塩を演算
し、その演算値に基づきマンガン酸塩を生成するために
必要な有機溶剤を補給し適正値までマンガン酸塩濃度を
上げる。一方、エッチングスピードが管理下限未満の場
合には不足している過マンガン酸塩量を演算し、その演
算値に基づき電解装置で電解し、適正値まで過マンガン
酸塩を再生する工程とを有することを特徴とするエッチ
ング浴の管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16321492A JP2742178B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエッチング浴の管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16321492A JP2742178B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエッチング浴の管理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH066033A true JPH066033A (ja) | 1994-01-14 |
| JP2742178B2 JP2742178B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=15769473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16321492A Expired - Fee Related JP2742178B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエッチング浴の管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2742178B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100416989B1 (ko) * | 2001-07-16 | 2004-02-05 | (주)오알켐 | 전산화 에칭액 자동 공급장치 |
| JP2009054774A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | エッチング処理方法 |
| US7695638B2 (en) | 2006-11-24 | 2010-04-13 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Regeneration process of alkaline permanganate etching solution and unit therefor |
-
1992
- 1992-06-23 JP JP16321492A patent/JP2742178B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100416989B1 (ko) * | 2001-07-16 | 2004-02-05 | (주)오알켐 | 전산화 에칭액 자동 공급장치 |
| US7695638B2 (en) | 2006-11-24 | 2010-04-13 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Regeneration process of alkaline permanganate etching solution and unit therefor |
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|---|---|
| JP2742178B2 (ja) | 1998-04-22 |
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