JPH0525662A - アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエツチング浴の管理方法 - Google Patents
アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエツチング浴の管理方法Info
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- JPH0525662A JPH0525662A JP17561891A JP17561891A JPH0525662A JP H0525662 A JPH0525662 A JP H0525662A JP 17561891 A JP17561891 A JP 17561891A JP 17561891 A JP17561891 A JP 17561891A JP H0525662 A JPH0525662 A JP H0525662A
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- potassium permanganate
- permanganate
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
- H05K3/0055—After-treatment, e.g. cleaning or desmearing of holes
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 エッチング浴での被処理物のエッチングスピ
ード測定に基づく電解再生でエッチング浴中の過マンガ
ン酸カリウムを一定化してエッチングスピードを一定範
囲に維持する。 【構成】 エッチング浴１より一定時間毎にサンプリン
グし過マンガン酸カリウム，水酸化ナトリウム，マンガ
ン酸カリウム濃度の分析値をコントローラー３にて演算
し、また、エッチングスピード測定セル１０には、被処
理物と同種系の有機溶剤をストックタンク８から添加
し、初期濃度からの変化量をコントローラー３で演算し
エッチングスピードを測定する。そのエッチングスピー
ドの測定結果に基づきエッチング浴中の過マンガン酸カ
リウム濃度を一定に管理する。
ード測定に基づく電解再生でエッチング浴中の過マンガ
ン酸カリウムを一定化してエッチングスピードを一定範
囲に維持する。 【構成】 エッチング浴１より一定時間毎にサンプリン
グし過マンガン酸カリウム，水酸化ナトリウム，マンガ
ン酸カリウム濃度の分析値をコントローラー３にて演算
し、また、エッチングスピード測定セル１０には、被処
理物と同種系の有機溶剤をストックタンク８から添加
し、初期濃度からの変化量をコントローラー３で演算し
エッチングスピードを測定する。そのエッチングスピー
ドの測定結果に基づきエッチング浴中の過マンガン酸カ
リウム濃度を一定に管理する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアルカリ過マンガン酸デ
スミアプロセスのエッチング浴の管理方法に関し、特に
エッチングスピードの管理方法に関する。
スミアプロセスのエッチング浴の管理方法に関し、特に
エッチングスピードの管理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】アルカリ過マンガン酸デスミアプロセス
のエッチング浴は、基本的に過マンガン酸カリウム，水
酸化ナトリウム，再生剤などで構成されており、エッチ
ング反応の進行と共に次のようにエッチング浴中の過マ
ンガン酸カリウム濃度，水酸化ナトリウム濃度は低下
し、一方マンガン酸カリウム濃度は増加する。
のエッチング浴は、基本的に過マンガン酸カリウム，水
酸化ナトリウム，再生剤などで構成されており、エッチ
ング反応の進行と共に次のようにエッチング浴中の過マ
ンガン酸カリウム濃度，水酸化ナトリウム濃度は低下
し、一方マンガン酸カリウム濃度は増加する。
【０００３】 ４ＭｎＯ4 -＋４ＯＨ-＋Ｃ → ４ＭｎＯ4 2-＋ＣＯ2＋２Ｈ2Ｏ
【０００４】この内、過マンガン酸カリウム，水酸化ナ
トリウムが消耗すると、エッチングスピードが低下する
ので、これらの濃度を一定に維持するため、一定時間に
サンプリングし、過マンガン酸カリウム濃度は吸光度
法，水酸化ナトリウム濃度は中和滴定法によってそれぞ
れ分析し、標準値に対し不足する過マンガン酸カリウム
量、あるいは水酸化ナトリウム量を算出し、不足量を補
給して一定の濃度範囲に管理をしていた。
トリウムが消耗すると、エッチングスピードが低下する
ので、これらの濃度を一定に維持するため、一定時間に
サンプリングし、過マンガン酸カリウム濃度は吸光度
法，水酸化ナトリウム濃度は中和滴定法によってそれぞ
れ分析し、標準値に対し不足する過マンガン酸カリウム
量、あるいは水酸化ナトリウム量を算出し、不足量を補
給して一定の濃度範囲に管理をしていた。
【０００５】しかし、エッチング浴中の過マンガン酸カ
リウムは、浴中の水酸化ナトリウムとの接触反応により
次のようにマンガン酸カリウムに分解し、被処理物のエ
ッチングスピードを低下させる。
リウムは、浴中の水酸化ナトリウムとの接触反応により
次のようにマンガン酸カリウムに分解し、被処理物のエ
ッチングスピードを低下させる。
【０００６】 ２ＭｎＯ4 -＋２ＯＨ- → ２ＭｎＯ4 2-＋１／２Ｏ2＋Ｈ2Ｏ
【０００７】よって、エッチング浴中の過マンガン酸カ
リウムの濃度の変化を抑制するためには次亜鉛素酸等の
再生剤の供給が効果的で被処理物のエッチングスピード
を管理するには不可欠であるが、エッチング浴中の再生
剤濃度は、微量で直接的な定量分析が困難なため、一定
時間毎にエッチング浴中の過マンガン酸カリウム濃度を
吸光度法等により測定し、前回の分析値からの変化量と
一定時間毎の過マンガン酸カリウムの分析結果に基づく
補給より消費された再生剤量を推定し、再生剤を定期補
充するといった方法でエッチングスピードの管理を行っ
ていた。
リウムの濃度の変化を抑制するためには次亜鉛素酸等の
再生剤の供給が効果的で被処理物のエッチングスピード
を管理するには不可欠であるが、エッチング浴中の再生
剤濃度は、微量で直接的な定量分析が困難なため、一定
時間毎にエッチング浴中の過マンガン酸カリウム濃度を
吸光度法等により測定し、前回の分析値からの変化量と
一定時間毎の過マンガン酸カリウムの分析結果に基づく
補給より消費された再生剤量を推定し、再生剤を定期補
充するといった方法でエッチングスピードの管理を行っ
ていた。
【０００８】また、エッチング浴中のマンガン酸カリウ
ムは安定性が悪く濃度が高くなるとともに二酸化マンガ
ンへと反応が進み、前述したような再生剤の補給だけで
は過マンガン酸カリウム濃度変化を抑制することが困難
であり、さらにエッチング浴への再生剤の添加に伴う浴
中副生成物の増加によりエッチングスピードの低下をも
たらすため、マンガン酸カリウム濃度が一定値に達する
と、エッチング浴の更新を行いエッチングスピード低下
を軽減していた。
ムは安定性が悪く濃度が高くなるとともに二酸化マンガ
ンへと反応が進み、前述したような再生剤の補給だけで
は過マンガン酸カリウム濃度変化を抑制することが困難
であり、さらにエッチング浴への再生剤の添加に伴う浴
中副生成物の増加によりエッチングスピードの低下をも
たらすため、マンガン酸カリウム濃度が一定値に達する
と、エッチング浴の更新を行いエッチングスピード低下
を軽減していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来の管理方法では、
エッチング浴中の適正な再生剤濃度管理が困難であるた
め、再生剤濃度が不足すると、マンガン酸カリウムの増
加に伴う二酸化マンガンへの分解反応が進み、エッチン
グ浴中のマンガン酸カリウム濃度が低下する。
エッチング浴中の適正な再生剤濃度管理が困難であるた
め、再生剤濃度が不足すると、マンガン酸カリウムの増
加に伴う二酸化マンガンへの分解反応が進み、エッチン
グ浴中のマンガン酸カリウム濃度が低下する。
【００１０】一方、再生濃度が過剰の場合エッチング浴
中のマンガン酸カリウムとの再生反応による副生成物が
過剰となり、一定のエッチングスピードを得ることがで
きないという課題があった。
中のマンガン酸カリウムとの再生反応による副生成物が
過剰となり、一定のエッチングスピードを得ることがで
きないという課題があった。
【００１１】本発明の目的はこのような従来技術の課題
を解決したアルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエ
ッチング浴の管理方法を提供することにある。
を解決したアルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエ
ッチング浴の管理方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るアルカリ過マンガン酸デスミアプロセ
スのエッチング浴の管理方法においては、印刷配線板の
デスミア処理のアルカリ過マンガン酸プロセスにおける
過マンガン酸カリウムと水酸化ナシリウムの混合液から
なるエッチング浴から一定量のエッチング液をサンプリ
ングする工程と、前記サンプリング液中の過マンガン酸
カリウムとマンガン酸カリウムについては吸光度法、水
酸化ナトリウムについては中和滴定法によりそれぞれ分
析する工程と、それらの分析値から演算して水酸化ナト
リウムを補充する工程と、前記サンプリング液に被処理
物と同種系の有機溶剤を添加する工程と、添加してから
一定時間経過後の過マンガン酸カリウムとマンガン酸カ
リウムの濃度を求める工程と、初期の過マンガン酸カリ
ウムとマンガン酸カリウムからの変化量に基づきエッチ
ングスピードを求める工程と、前記工程で求めた値に基
づき不足する過マンガン酸カリウム量と過剰なマンガン
酸カリウム量を演算する工程と、前記演算値に基づき不
足する過マンガン酸カリウムを再生するために必要な電
解量を演算する工程と、鉄系のアノード極，チタン白金
系のカソード極を用いて電解し適正値迄過マンガン酸カ
リウムを再生する工程とを有するものである。
め、本発明に係るアルカリ過マンガン酸デスミアプロセ
スのエッチング浴の管理方法においては、印刷配線板の
デスミア処理のアルカリ過マンガン酸プロセスにおける
過マンガン酸カリウムと水酸化ナシリウムの混合液から
なるエッチング浴から一定量のエッチング液をサンプリ
ングする工程と、前記サンプリング液中の過マンガン酸
カリウムとマンガン酸カリウムについては吸光度法、水
酸化ナトリウムについては中和滴定法によりそれぞれ分
析する工程と、それらの分析値から演算して水酸化ナト
リウムを補充する工程と、前記サンプリング液に被処理
物と同種系の有機溶剤を添加する工程と、添加してから
一定時間経過後の過マンガン酸カリウムとマンガン酸カ
リウムの濃度を求める工程と、初期の過マンガン酸カリ
ウムとマンガン酸カリウムからの変化量に基づきエッチ
ングスピードを求める工程と、前記工程で求めた値に基
づき不足する過マンガン酸カリウム量と過剰なマンガン
酸カリウム量を演算する工程と、前記演算値に基づき不
足する過マンガン酸カリウムを再生するために必要な電
解量を演算する工程と、鉄系のアノード極，チタン白金
系のカソード極を用いて電解し適正値迄過マンガン酸カ
リウムを再生する工程とを有するものである。
【００１３】
【作用】本発明では、エッチング浴での被処理物のエッ
チングスピード測定に基づき電解再生によって浴中の過
マンガン酸カリウム濃度を一定化させるものである。
チングスピード測定に基づき電解再生によって浴中の過
マンガン酸カリウム濃度を一定化させるものである。
【００１４】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１５】（実施例１）図１は、本発明の実施例１を
示す構成図である。
示す構成図である。
【００１６】図１において、１はエッチング浴、２は自
動分析装置、３はコントローラー、４は過マンガン酸カ
リウム溶液定量ポンプである。
動分析装置、３はコントローラー、４は過マンガン酸カ
リウム溶液定量ポンプである。
【００１７】また、５は過マンガン酸カリウム溶液スト
ックタンク，６は水酸化ナトリウム定量ポンプ、７は水
酸化ナトリウム溶液ストックタンクである。
ックタンク，６は水酸化ナトリウム定量ポンプ、７は水
酸化ナトリウム溶液ストックタンクである。
【００１８】また、８は有機溶剤ストックタンク、９は
有機溶剤定量ポンプ、１０は測定セル、１１は撹拌機で
ある。
有機溶剤定量ポンプ、１０は測定セル、１１は撹拌機で
ある。
【００１９】また、１２はアノード極、１３はカソード
極、１４は電解装置である。
極、１４は電解装置である。
【００２０】エッチング浴１より、一定時間毎にエッチ
ング液５０〜１００ｍｌを所定量サンプリングし、自動
分析装置２により過マンガン酸カリウム，水酸化ナトリ
ウム，マンガン酸カリウム濃度を分析する。
ング液５０〜１００ｍｌを所定量サンプリングし、自動
分析装置２により過マンガン酸カリウム，水酸化ナトリ
ウム，マンガン酸カリウム濃度を分析する。
【００２１】自動分析装置２の分析値をコントローラー
３にて演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度４０〜
５６ｇ／Ｌに合わせるための補充量を水酸化ナトリウム
定量ポンプ６に伝送する。
３にて演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度４０〜
５６ｇ／Ｌに合わせるための補充量を水酸化ナトリウム
定量ポンプ６に伝送する。
【００２２】また、エッチングスピード測定セル１０に
は、一定時間毎にエッチング浴１からエッチング液５０
〜１５０ｍｌを所定量サンプリングし、更に被処理物と
同種系の有機溶剤をストックタンク８から０．１〜０．
５ｍｌを添加し、撹拌機１１にて５分間撹拌した後、自
動分析装置２で過マンガン酸カリウム，マンガン酸カリ
ウムをそれぞれ分析し、初期濃度からの変化量をコント
ローラー３で演算しエッチングスピードを測定する。
は、一定時間毎にエッチング浴１からエッチング液５０
〜１５０ｍｌを所定量サンプリングし、更に被処理物と
同種系の有機溶剤をストックタンク８から０．１〜０．
５ｍｌを添加し、撹拌機１１にて５分間撹拌した後、自
動分析装置２で過マンガン酸カリウム，マンガン酸カリ
ウムをそれぞれ分析し、初期濃度からの変化量をコント
ローラー３で演算しエッチングスピードを測定する。
【００２３】尚、有機溶剤添加による反応式は下記のよ
うになり有機溶剤の分解量と過マンガン酸カリウム，マ
ンガン酸カリウムの濃度変化量には正の相関がある。
うになり有機溶剤の分解量と過マンガン酸カリウム，マ
ンガン酸カリウムの濃度変化量には正の相関がある。
【００２４】４ＭｎＯ4 -＋４ＯＨ-＋Ｃ→４ＭｎＯ4 2-＋
ＣＯ2＋２Ｈ2Ｏ（有機溶剤添加による反応式）
ＣＯ2＋２Ｈ2Ｏ（有機溶剤添加による反応式）
【００２５】そのエッチングスピードの測定結果に基づ
き不足する過マンガン酸カリウム量と過剰なマンガン酸
カリウム量とから適正なエッチングスピードにするため
に必要な再生電解量をコントローラー３にて演算し、エ
ッチング浴１内に設置した鉄系金属板のアノード極１
２、チタン白金系金属板のカソード極１３からなる電解
装置１４に電流を印加し、エッチング浴１中の過マンガ
ン酸カリウム濃度を一定に管理する。
き不足する過マンガン酸カリウム量と過剰なマンガン酸
カリウム量とから適正なエッチングスピードにするため
に必要な再生電解量をコントローラー３にて演算し、エ
ッチング浴１内に設置した鉄系金属板のアノード極１
２、チタン白金系金属板のカソード極１３からなる電解
装置１４に電流を印加し、エッチング浴１中の過マンガ
ン酸カリウム濃度を一定に管理する。
【００２６】尚、添加する有機溶剤としては、エポキシ
基を有するエピクロロヒドリン等を用いることができ
る。電解処理の最適な電流密度範囲は、アノード極では
０．１Ａ／ｄｍ2〜０．５Ａ／ｄｍ2、カソード極では
１．０Ａ／ｍ2〜２．０Ａ／ｍ2である。
基を有するエピクロロヒドリン等を用いることができ
る。電解処理の最適な電流密度範囲は、アノード極では
０．１Ａ／ｄｍ2〜０．５Ａ／ｄｍ2、カソード極では
１．０Ａ／ｍ2〜２．０Ａ／ｍ2である。
【００２７】上述した方法により一定時間毎の過マンガ
ン酸カリウム，水酸化ナトリウム濃度の測定に基づく補
充および被処理物との反応によって消費する過マンガン
酸カリウム量から演算したエッチングスピードの測定結
果に基づき電解処理によるエッチング浴中の過マンガン
酸カリウムの再生を繰り返しながら、エッチング浴中の
エッチングスピードの管理を行う。
ン酸カリウム，水酸化ナトリウム濃度の測定に基づく補
充および被処理物との反応によって消費する過マンガン
酸カリウム量から演算したエッチングスピードの測定結
果に基づき電解処理によるエッチング浴中の過マンガン
酸カリウムの再生を繰り返しながら、エッチング浴中の
エッチングスピードの管理を行う。
【００２８】（実施例２）図２は、本発明の実施例２を
示す構成図である。
示す構成図である。
【００２９】図２において、１はエッチング浴、２は自
動分析装置、３はコントローラー、４は過マンガン酸カ
リウム溶液定量ポンプである。
動分析装置、３はコントローラー、４は過マンガン酸カ
リウム溶液定量ポンプである。
【００３０】また、５は過マンガン酸カリウム溶液スト
ックタンク、６は水酸化ナトリウム定量ポンプ、７は水
酸化ナトリウム溶液ストックタンク、８は有機溶剤スト
ックタンクである。
ックタンク、６は水酸化ナトリウム定量ポンプ、７は水
酸化ナトリウム溶液ストックタンク、８は有機溶剤スト
ックタンクである。
【００３１】また、９は有機溶剤定量ポンプ、１０は測
定セル、１１は撹拌機である。
定セル、１１は撹拌機である。
【００３２】また、１２はアノード極、１３はカソード
極、１６は電解槽である。
極、１６は電解槽である。
【００３３】また、１７は循環ポンプ、１８はソフトエ
ッチング液移送ポンプ、１９はソフトエッチング液スト
ックタンクである。
ッチング液移送ポンプ、１９はソフトエッチング液スト
ックタンクである。
【００３４】図において、エッチング浴１より、一定時
間毎にエッチング液５０〜１００ｍｌを所定量サンプリ
ングし、自動分析装置２により過マンガン酸カリウム，
水酸化ナトリウム，マンガン酸カリウム濃度をそれぞれ
分析する。
間毎にエッチング液５０〜１００ｍｌを所定量サンプリ
ングし、自動分析装置２により過マンガン酸カリウム，
水酸化ナトリウム，マンガン酸カリウム濃度をそれぞれ
分析する。
【００３５】自動分析装置２の分析値をコントローラー
３にて演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度４０〜
５６ｇ／Ｌに合わせるための補充量を水酸化ナトリウム
定量ポンプ６に伝送する。
３にて演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度４０〜
５６ｇ／Ｌに合わせるための補充量を水酸化ナトリウム
定量ポンプ６に伝送する。
【００３６】また、エッチングスピード測定セル１０に
は、一定時間毎にエッチング浴からエッチング液５０〜
１５０ｍｌを所定量サンプリングし、更に被処理物と同
種系の有機溶剤をストックタンク８から０．１〜０．５
ｍｌを添加し、撹拌機１１にて５分間撹拌した後、自動
分析装置２で過マンガン酸カリウム，マンガン酸カリウ
ムをそれぞれ分析し、初期濃度からの変化量をコントロ
ーラー３で演算しエッチングスピードを測定する。
は、一定時間毎にエッチング浴からエッチング液５０〜
１５０ｍｌを所定量サンプリングし、更に被処理物と同
種系の有機溶剤をストックタンク８から０．１〜０．５
ｍｌを添加し、撹拌機１１にて５分間撹拌した後、自動
分析装置２で過マンガン酸カリウム，マンガン酸カリウ
ムをそれぞれ分析し、初期濃度からの変化量をコントロ
ーラー３で演算しエッチングスピードを測定する。
【００３７】尚、有機溶剤添加による反応式は下記のよ
うになり、有機溶剤の分解量と過マンガン酸カリウム，
マンガン酸カリウムの濃度変化量には正の相関がある。
うになり、有機溶剤の分解量と過マンガン酸カリウム，
マンガン酸カリウムの濃度変化量には正の相関がある。
【００３８】４ＭｎＯ4 -＋４ＯＨ-＋Ｃ→４ＭｎＯ4 2-＋
ＣＯ2＋２Ｈ2Ｏ（有機溶剤添加による反応式）
ＣＯ2＋２Ｈ2Ｏ（有機溶剤添加による反応式）
【００３９】そのエッチングスピードの測定結果に基づ
き不足する過マンガン酸カリウム量と過剰なマンガン酸
カリウム量から適正なエッチングスピードにするために
必要な再生電解量をコントローラー３にて演算し、鉄系
金属板のアノード極１２、チタン白金系金属板のカソー
ド極１３を取り付けた電解槽１６に循環ポンプ１７で液
を循環した後、電流を印加し、エッチング浴中の過マン
ガン酸カリウム濃度を一定に管理する。
き不足する過マンガン酸カリウム量と過剰なマンガン酸
カリウム量から適正なエッチングスピードにするために
必要な再生電解量をコントローラー３にて演算し、鉄系
金属板のアノード極１２、チタン白金系金属板のカソー
ド極１３を取り付けた電解槽１６に循環ポンプ１７で液
を循環した後、電流を印加し、エッチング浴中の過マン
ガン酸カリウム濃度を一定に管理する。
【００４０】尚、添加する有機溶剤としては、エポキシ
基を有するエピクロロヒドリン等を用いることができ
る。電解処理の最適な電流密度範囲は、アノード極では
０．１Ａ／ｄｍ2〜０．５Ａ／ｄｍ2、カソード極では
１．０Ａ／ｍ2〜２．０Ａ／ｍ2である。
基を有するエピクロロヒドリン等を用いることができ
る。電解処理の最適な電流密度範囲は、アノード極では
０．１Ａ／ｄｍ2〜０．５Ａ／ｄｍ2、カソード極では
１．０Ａ／ｍ2〜２．０Ａ／ｍ2である。
【００４１】さらに１時間毎の分析結果により電解効率
をコントローラー３にて演算し、電解槽１６の電極への
マンガン生成物の付着による電流効率低下防止のため、
循環ポンプ１７を停止した後、過酸化水素と硫酸の混合
液からなるソフトエッチング液の移送ポンプ１８にて電
解槽へソフトエッチング液を送り、電極表面のマンガン
生成物を除去する。
をコントローラー３にて演算し、電解槽１６の電極への
マンガン生成物の付着による電流効率低下防止のため、
循環ポンプ１７を停止した後、過酸化水素と硫酸の混合
液からなるソフトエッチング液の移送ポンプ１８にて電
解槽へソフトエッチング液を送り、電極表面のマンガン
生成物を除去する。
【００４２】上述した方法により１時間毎の過マンガン
酸カリウム，水酸化ナトリウム濃度の測定に基づく補充
および被処理物との反応によって消費する過マンガン酸
カリウム量から演算したエッチングスピードの測定結果
に基づき、電解効率の低下を防止するためのソフトＥｇ
処理を併用した電解処理によるエッチング浴中の過マン
ガン酸カリウムの再生を繰り返しながら、エッチング浴
中のエッチングスピードの管理を行う。
酸カリウム，水酸化ナトリウム濃度の測定に基づく補充
および被処理物との反応によって消費する過マンガン酸
カリウム量から演算したエッチングスピードの測定結果
に基づき、電解効率の低下を防止するためのソフトＥｇ
処理を併用した電解処理によるエッチング浴中の過マン
ガン酸カリウムの再生を繰り返しながら、エッチング浴
中のエッチングスピードの管理を行う。
【００４３】
【発明の効果】前述したように本発明は、エッチング浴
での被処理物のエッチングスピード測定に基づき、電解
再生によってエッチング浴中の過マンガン酸カリウム濃
度を一定化させるため、エッチングスピードを一定範囲
に維持することができ、 （１）エッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処理
不良を防止できる。
での被処理物のエッチングスピード測定に基づき、電解
再生によってエッチング浴中の過マンガン酸カリウム濃
度を一定化させるため、エッチングスピードを一定範囲
に維持することができ、 （１）エッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処理
不良を防止できる。
【００４４】（２）一定のエッチングスピード処理が維
持できる。等の効果が得られる。
持できる。等の効果が得られる。
【図１】本発明の実施例１に係る構成を示すブロック図
である。
である。
【図２】本発明の実施例２に係る構成を示すブロック図
である。
である。
１ エッチング浴 ２ 自動分析装置 ３ コントローラー ４ 過マンガン酸カリウム溶液定量ポンプ ５ 過マンガン酸カリウム溶液ストックタンク ６ 水酸化ナトリウム溶液定量ポンプ ７ 水酸化ナトリウム溶液ストックタンク ８ 有機溶剤ストックタンク ９ 有機溶剤定量ポンプ １０ 測定セル １１ 撹拌機 １２ アノード極 １３ カソード極 １４ 電解装置 １６ 電解槽 １７ 循環ポンプ １８ ソフトエッチング液移送ポンプ １９ ソフトエッチング液ストックタンク
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 印刷配線板のデスミア処理のアルカリ過
マンガン酸プロセスにおける過マンガン酸カリウムと水
酸化ナシリウムの混合液からなるエッチング浴から一定
量のエッチング液をサンプリングする工程と、 前記サンプリング液中の過マンガン酸カリウムとマンガ
ン酸カリウムについては吸光度法、水酸化ナトリウムに
ついては中和滴定法によりそれぞれ分析する工程と、 それらの分析値から演算して水酸化ナトリウムを補充す
る工程と、 前記サンプリング液に被処理物と同種系の有機溶剤を添
加する工程と、 添加してから一定時間経過後の過マンガン酸カリウムと
マンガン酸カリウムの濃度を求める工程と、 初期の過マンガン酸カリウムとマンガン酸カリウムから
の変化量に基づきエッチングスピードを求める工程と、 前記工程で求めた値に基づき不足する過マンガン酸カリ
ウム量と過剰なマンガン酸カリウム量を演算する工程
と、 前記演算値に基づき不足する過マンガン酸カリウムを再
生するために必要な電解量を演算する工程と、 鉄系のアノード極，チタン白金系のカソード極を用いて
電解し適正値迄過マンガン酸カリウムを再生する工程と
を有することを特徴とするアルカリ過マンガン酸デスミ
アプロセスのエッチング浴の管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17561891A JPH0525662A (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエツチング浴の管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17561891A JPH0525662A (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエツチング浴の管理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0525662A true JPH0525662A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=15999238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17561891A Pending JPH0525662A (ja) | 1991-07-16 | 1991-07-16 | アルカリ過マンガン酸デスミアプロセスのエツチング浴の管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0525662A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100416989B1 (ko) * | 2001-07-16 | 2004-02-05 | (주)오알켐 | 전산화 에칭액 자동 공급장치 |
-
1991
- 1991-07-16 JP JP17561891A patent/JPH0525662A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100416989B1 (ko) * | 2001-07-16 | 2004-02-05 | (주)오알켐 | 전산화 에칭액 자동 공급장치 |
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