JPH0660151U - 容量調整用コンデンサ - Google Patents
容量調整用コンデンサInfo
- Publication number
- JPH0660151U JPH0660151U JP569193U JP569193U JPH0660151U JP H0660151 U JPH0660151 U JP H0660151U JP 569193 U JP569193 U JP 569193U JP 569193 U JP569193 U JP 569193U JP H0660151 U JPH0660151 U JP H0660151U
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- electrodes
- capacitor
- capacitance
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンデンサ自体にダメージを与えることな
く、アルミ配線を切断して容量を調整できるようにする
ことを目的とする。 【構成】 上部電極を構成する複数の電極を直列に接続
するアルミ配線を各電極間でそれぞれ一部がフィールド
領域を通るように迂回させ、アルミ配線をフィールド領
域で切断し容量調整できる構成とした。
く、アルミ配線を切断して容量を調整できるようにする
ことを目的とする。 【構成】 上部電極を構成する複数の電極を直列に接続
するアルミ配線を各電極間でそれぞれ一部がフィールド
領域を通るように迂回させ、アルミ配線をフィールド領
域で切断し容量調整できる構成とした。
Description
【0001】
本考案は、半導体装置に集積しスイッチドキャパシタ回路等に使用する容量調 整用コンデンサに関する。
【0002】
図4、図5は従来のこの種の容量調整用コンデンサの一例を示す。図4は平面 図、図5は図4に示すBB断面の断面図で、図においてC1〜C10は上部電極 を構成するポリシリコンからなる電極、2は拡散層からなる下部電極、3は電極 C1〜C10を直列に接続するアルミ配線、4はアルミ配線3の電極C1〜C1 0とのコンタクト部、5は下部電極2のアルミ配線、7はシリコン基板、8はシ リコン酸化膜である。シリコン基板7上の1つの下部電極2に対し、シリコン酸 化膜8を介して上部電極を複数設けて電極C1〜C10で構成し、これら複数の 電極C1〜C10をアルミ配線3で直列に接続して容量を形成している。この容 量を調整する場合、ガラスマスクを修正変更し、アルミ配線3のパターンを所望 の容量値に対応する数の電極のみを直列に接続する構造に変更する方法か、レー ザカット装置でアルミ配線3を電極間の部分(例えば図4の6が示す部分)で切 断し電極C1〜C10から一部の電極を切り離す方法によって行なう。
【0003】
ガラスマスクを修正変更して容量を調整する方法は、ガラスマスクの製作費や 再度のウエハプロセスなどによるコスト面や時間面での負担が大きい。レーザカ ット装置でアルミ配線を電極間の部分で切断して容量を調整する方法は、従来の 構造では、切断時にコンデンサを構成するシリコン酸化膜や下部電極がダメージ を受け、正確な容量値が得られないという問題点があった。本考案は上記の問題 を解決するためになされたもので、レーザカット装置でコンデンサ自体にダメー ジを与えることなくアルミ配線を切断し、容量を調整できるものを提供すること を目的とする。
【0004】
本考案の容量調整用コンデンサは、レーザカット装置でアルミ配線を切断する 際コンデンサ自体がダメージを受けないように、アルミ配線の各電極間の部分を 一部がコンデンサ領域の外側(フィールド領域)を通るように迂回させ、アルミ 配線をフィールド領域を通る部分で切断し容量を調整できる構成とした。
【0005】
図1は本考案の一実施例を示す。図1は平面図、図2は図1に示すAA断面の 断面図で、図において図4と同一の符合は同一又は相当する部分を示し、3aは シリコン酸化膜8上の各電極管においてそれぞれ一部がコンデンサ領域の外側( フィールド領域)を通るように迂回させた複数の電極を直列に接続するアルミ配 線である。容量を調整する場合、レーザカット装置でアルミ配線3aをコンデン サ領域の外側(フィールド領域)を通る部分(例えば図1の6aが示す部分)で 切断し電極C1〜C10から一部の電極を切り離して行なう。従って、レーザカ ット装置によるアルミ配線の切断時にコンデンサ自体がダメージを受けることが なく、正確な容量値が得られる。さらに図3に示すようにレーザカット装置で切 断するアルミ配線下のシリコン酸化膜を他の部分より厚く形成することにより、 レーザカット装置の制御が容易に行なえるようになる。
【0006】
以上説明したように、本考案によれば、コンデンサ自体にダメージを与えるこ となくアルミ配線を切断して容量を調整できるので、ウエハ評価時に即時に容量 値を変えての評価が可能となり、半導体装置の設計、製造上でのコスト的、時間 的なメリットが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例を示す平面図である。
【図2】図1のAA断面の断面図である。
【図3】本考案の他の実施例における断面図である。
【図4】従来のこの種の容量調整用コンデンサの一例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図5】図4のBB断面の断面図である。
C1〜C10 上部電極を構成する電極 2 下部電極 3a アルミ配線 4 コンタクト部 5 アルミ配線 6a 切断部
Claims (1)
- 【請求項1】 シリコン酸化膜上に上部電極を複数の電
極で構成し、該複数の電極をアルミ配線で直列に接続
し、ウエハ評価時に上記アルミ配線を任意の電極間の部
分で切断し一部の電極を切り離して容量を調整する容量
調整用コンデンサにおいて、 上部電極を構成する複数の電極を直列に接続するアルミ
配線の各電極間の部分をそれぞれ一部がコンデンサ領域
の外側(フィールド領域)を通るように迂回させ、該ア
ルミ配線をコンデンサ領域の外側を通る部分で切断し容
量を調整できる構成としたことを特徴とする容量調整用
コンデンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP569193U JPH0660151U (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | 容量調整用コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP569193U JPH0660151U (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | 容量調整用コンデンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0660151U true JPH0660151U (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11618131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP569193U Pending JPH0660151U (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | 容量調整用コンデンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0660151U (ja) |
-
1993
- 1993-01-28 JP JP569193U patent/JPH0660151U/ja active Pending
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