JPH0660151U - 容量調整用コンデンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンデンサ自体にダメージを与えることな
く、アルミ配線を切断して容量を調整できるようにする
ことを目的とする。 【構成】 上部電極を構成する複数の電極を直列に接続
するアルミ配線を各電極間でそれぞれ一部がフィールド
領域を通るように迂回させ、アルミ配線をフィールド領
域で切断し容量調整できる構成とした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体装置に集積しスイッチドキャパシタ回路等に使用する容量調 整用コンデンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図４、図５は従来のこの種の容量調整用コンデンサの一例を示す。図４は平面 図、図５は図４に示すＢＢ断面の断面図で、図においてＣ１〜Ｃ１０は上部電極 を構成するポリシリコンからなる電極、２は拡散層からなる下部電極、３は電極 Ｃ１〜Ｃ１０を直列に接続するアルミ配線、４はアルミ配線３の電極Ｃ１〜Ｃ１ ０とのコンタクト部、５は下部電極２のアルミ配線、７はシリコン基板、８はシ リコン酸化膜である。シリコン基板７上の１つの下部電極２に対し、シリコン酸 化膜８を介して上部電極を複数設けて電極Ｃ１〜Ｃ１０で構成し、これら複数の 電極Ｃ１〜Ｃ１０をアルミ配線３で直列に接続して容量を形成している。この容 量を調整する場合、ガラスマスクを修正変更し、アルミ配線３のパターンを所望 の容量値に対応する数の電極のみを直列に接続する構造に変更する方法か、レー ザカット装置でアルミ配線３を電極間の部分（例えば図４の６が示す部分）で切 断し電極Ｃ１〜Ｃ１０から一部の電極を切り離す方法によって行なう。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ガラスマスクを修正変更して容量を調整する方法は、ガラスマスクの製作費や 再度のウエハプロセスなどによるコスト面や時間面での負担が大きい。レーザカ ット装置でアルミ配線を電極間の部分で切断して容量を調整する方法は、従来の 構造では、切断時にコンデンサを構成するシリコン酸化膜や下部電極がダメージ を受け、正確な容量値が得られないという問題点があった。本考案は上記の問題 を解決するためになされたもので、レーザカット装置でコンデンサ自体にダメー ジを与えることなくアルミ配線を切断し、容量を調整できるものを提供すること を目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案の容量調整用コンデンサは、レーザカット装置でアルミ配線を切断する 際コンデンサ自体がダメージを受けないように、アルミ配線の各電極間の部分を 一部がコンデンサ領域の外側（フィールド領域）を通るように迂回させ、アルミ 配線をフィールド領域を通る部分で切断し容量を調整できる構成とした。

【０００５】

【実施例】

図１は本考案の一実施例を示す。図１は平面図、図２は図１に示すＡＡ断面の 断面図で、図において図４と同一の符合は同一又は相当する部分を示し、３ａは シリコン酸化膜８上の各電極管においてそれぞれ一部がコンデンサ領域の外側（ フィールド領域）を通るように迂回させた複数の電極を直列に接続するアルミ配 線である。容量を調整する場合、レーザカット装置でアルミ配線３ａをコンデン サ領域の外側（フィールド領域）を通る部分（例えば図１の６ａが示す部分）で 切断し電極Ｃ１〜Ｃ１０から一部の電極を切り離して行なう。従って、レーザカ ット装置によるアルミ配線の切断時にコンデンサ自体がダメージを受けることが なく、正確な容量値が得られる。さらに図３に示すようにレーザカット装置で切 断するアルミ配線下のシリコン酸化膜を他の部分より厚く形成することにより、 レーザカット装置の制御が容易に行なえるようになる。

【０００６】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、コンデンサ自体にダメージを与えるこ となくアルミ配線を切断して容量を調整できるので、ウエハ評価時に即時に容量 値を変えての評価が可能となり、半導体装置の設計、製造上でのコスト的、時間 的なメリットが大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す平面図である。

【図２】図１のＡＡ断面の断面図である。

【図３】本考案の他の実施例における断面図である。

【図４】従来のこの種の容量調整用コンデンサの一例を
示す平面図である。

【図５】図４のＢＢ断面の断面図である。

【符合の説明】

Ｃ１〜Ｃ１０ 上部電極を構成する電極 ２ 下部電極 ３ａ アルミ配線 ４ コンタクト部 ５ アルミ配線 ６ａ 切断部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 シリコン酸化膜上に上部電極を複数の電
   極で構成し、該複数の電極をアルミ配線で直列に接続
   し、ウエハ評価時に上記アルミ配線を任意の電極間の部
   分で切断し一部の電極を切り離して容量を調整する容量
   調整用コンデンサにおいて、 上部電極を構成する複数の電極を直列に接続するアルミ
   配線の各電極間の部分をそれぞれ一部がコンデンサ領域
   の外側（フィールド領域）を通るように迂回させ、該ア
   ルミ配線をコンデンサ領域の外側を通る部分で切断し容
   量を調整できる構成としたことを特徴とする容量調整用
   コンデンサ。