JPH0659739A - 二重テーブル旋回装置 - Google Patents
二重テーブル旋回装置Info
- Publication number
- JPH0659739A JPH0659739A JP21128292A JP21128292A JPH0659739A JP H0659739 A JPH0659739 A JP H0659739A JP 21128292 A JP21128292 A JP 21128292A JP 21128292 A JP21128292 A JP 21128292A JP H0659739 A JPH0659739 A JP H0659739A
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- angle
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- Feedback Control In General (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 第１の旋回テーブルの上に搭載される第２の
旋回テーブルの角度を正確に速く制御することにある。 【構成】 旋回制御装置１０は、角度目標値設定装置１
１により設定された目標値と角度検出装置１２により検
出された角度との偏差を求める減算回路１３と、減算回
路１３からの出力を増幅する増幅器１４と、増幅器１４
および角速度検出装置６からの出力を受ける演算装置１
５と、演算装置１５の出力を受けて第２の旋回駆動装置
９に制御信号を与える制御装置１６とを有し、演算装置
１５は、角速度検出装置６により検出される角速度をω
a とし、増幅器１４の出力をωbrefとし、第２の旋回駆
動装置９の伝達関数をＧb とし、かつ、演算装置１５の
出力値をω´brefとした場合にω´bref＝ωbref−ωa
／Ｇb という式の演算を行う。
旋回テーブルの角度を正確に速く制御することにある。 【構成】 旋回制御装置１０は、角度目標値設定装置１
１により設定された目標値と角度検出装置１２により検
出された角度との偏差を求める減算回路１３と、減算回
路１３からの出力を増幅する増幅器１４と、増幅器１４
および角速度検出装置６からの出力を受ける演算装置１
５と、演算装置１５の出力を受けて第２の旋回駆動装置
９に制御信号を与える制御装置１６とを有し、演算装置
１５は、角速度検出装置６により検出される角速度をω
a とし、増幅器１４の出力をωbrefとし、第２の旋回駆
動装置９の伝達関数をＧb とし、かつ、演算装置１５の
出力値をω´brefとした場合にω´bref＝ωbref−ωa
／Ｇb という式の演算を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、第１の旋回テーブルの
上に第２の旋回テーブルを搭載し、かつ、これらの２つ
の旋回テーブルを旋回する二重テーブル旋回装置に関す
る。
上に第２の旋回テーブルを搭載し、かつ、これらの２つ
の旋回テーブルを旋回する二重テーブル旋回装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、二重テーブル旋回装置とし
て、第１の旋回テーブルに対して独立して第２の旋回テ
ーブルの角度を制御するものが知られている。
て、第１の旋回テーブルに対して独立して第２の旋回テ
ーブルの角度を制御するものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の二重テ
ーブル旋回装置においては、第１の旋回テーブルに対し
て独立して第２の旋回テーブルの角度を制御しているか
ら、第２の旋回テーブルの角度の制御において第１の旋
回テーブルの動きが外乱となるので、第２の旋回テーブ
ルの角度を正確に速く制御することができないという問
題がある。
ーブル旋回装置においては、第１の旋回テーブルに対し
て独立して第２の旋回テーブルの角度を制御しているか
ら、第２の旋回テーブルの角度の制御において第１の旋
回テーブルの動きが外乱となるので、第２の旋回テーブ
ルの角度を正確に速く制御することができないという問
題がある。
【０００４】本発明の課題は、第１の旋回テーブルの上
に搭載される第２の旋回テーブルの角度を正確に速く制
御することができる二重テーブル旋回装置を提供するこ
とにある。
に搭載される第２の旋回テーブルの角度を正確に速く制
御することができる二重テーブル旋回装置を提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、旋回可
能に支持された第１の旋回テーブルと、この第１の旋回
テーブルを旋回させる第１の旋回駆動手段と、前記第１
の旋回テーブルの角速度を検出する角速度検出手段と、
前記第１の旋回テーブルの上に旋回可能に支持された第
２の旋回テーブルと、この第２の旋回テーブルを旋回さ
せる第２の旋回駆動手段と、この第２の旋回駆動手段を
制御する旋回制御手段と、この旋回制御手段に前記第１
の旋回テーブルに対する前記第２の旋回テーブルの角度
の目標値を設定する角度目標値設定手段と、前記第２の
旋回テーブルの対地旋回角度を検出する角度検出手段と
を具備し、前記旋回制御手段は、前記角度目標値設定手
段により設定された目標値と前記角度検出手段により検
出された角度との偏差を求める減算回路と、この減算回
路からの出力を増幅する増幅器と、この増幅器および前
記角速度検出手段からの出力を受ける演算装置と、この
演算装置の出力を受けて前記第２の旋回駆動手段に制御
信号を与える制御装置とを有し、前記演算装置は、前記
角速度検出手段により検出される角速度をωa とし、前
記増幅器の出力をωbrefとし、前記第２の旋回駆動手段
の伝達関数をＧb とし、かつ、前記演算装置の出力値を
ω´brefとした場合にω´bref＝ωbref−ωa ／Ｇb と
いう式の演算を行うことを特徴とする二重テーブル旋回
装置が得られる。
能に支持された第１の旋回テーブルと、この第１の旋回
テーブルを旋回させる第１の旋回駆動手段と、前記第１
の旋回テーブルの角速度を検出する角速度検出手段と、
前記第１の旋回テーブルの上に旋回可能に支持された第
２の旋回テーブルと、この第２の旋回テーブルを旋回さ
せる第２の旋回駆動手段と、この第２の旋回駆動手段を
制御する旋回制御手段と、この旋回制御手段に前記第１
の旋回テーブルに対する前記第２の旋回テーブルの角度
の目標値を設定する角度目標値設定手段と、前記第２の
旋回テーブルの対地旋回角度を検出する角度検出手段と
を具備し、前記旋回制御手段は、前記角度目標値設定手
段により設定された目標値と前記角度検出手段により検
出された角度との偏差を求める減算回路と、この減算回
路からの出力を増幅する増幅器と、この増幅器および前
記角速度検出手段からの出力を受ける演算装置と、この
演算装置の出力を受けて前記第２の旋回駆動手段に制御
信号を与える制御装置とを有し、前記演算装置は、前記
角速度検出手段により検出される角速度をωa とし、前
記増幅器の出力をωbrefとし、前記第２の旋回駆動手段
の伝達関数をＧb とし、かつ、前記演算装置の出力値を
ω´brefとした場合にω´bref＝ωbref−ωa ／Ｇb と
いう式の演算を行うことを特徴とする二重テーブル旋回
装置が得られる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基いて詳細に
説明する。図１は、本発明の１実施例を示す正面図であ
る。図１に示すように、第１の旋回テーブル１は、大地
２に支持軸３を中心に旋回可能に支持されている。この
第１の旋回テーブル１は、第１の旋回駆動装置４により
旋回される。この第１の旋回駆動装置４は、第１の旋回
制御装置５により制御される。第１の旋回テーブル１の
上には、これの角速度を検出する角速度検出装置６が設
けられている。
説明する。図１は、本発明の１実施例を示す正面図であ
る。図１に示すように、第１の旋回テーブル１は、大地
２に支持軸３を中心に旋回可能に支持されている。この
第１の旋回テーブル１は、第１の旋回駆動装置４により
旋回される。この第１の旋回駆動装置４は、第１の旋回
制御装置５により制御される。第１の旋回テーブル１の
上には、これの角速度を検出する角速度検出装置６が設
けられている。
【０００７】前記第１の旋回テーブル１の上には、第２
の旋回テーブル７が支持軸８を中心に旋回可能に支持さ
れている。この第２の旋回テーブル７は、第２の旋回駆
動装置９により旋回される。この第２の旋回駆動装置９
は、第２の旋回制御装置１０により制御される。また、
第２の旋回テーブル７には、前記第１の旋回テーブル１
に対する前記第２の旋回テーブル７の角度の目標値を設
定する角度目標値設定装置１１が設けられている。この
角度目標値設定装置１１の目標値は、前記第２の旋回制
御装置１０に与えられる。第１の旋回テーブル１の上に
は、第２の旋回テーブル７の基準からの角度を検出する
角度検出装置１２が設けられている。
の旋回テーブル７が支持軸８を中心に旋回可能に支持さ
れている。この第２の旋回テーブル７は、第２の旋回駆
動装置９により旋回される。この第２の旋回駆動装置９
は、第２の旋回制御装置１０により制御される。また、
第２の旋回テーブル７には、前記第１の旋回テーブル１
に対する前記第２の旋回テーブル７の角度の目標値を設
定する角度目標値設定装置１１が設けられている。この
角度目標値設定装置１１の目標値は、前記第２の旋回制
御装置１０に与えられる。第１の旋回テーブル１の上に
は、第２の旋回テーブル７の基準からの角度を検出する
角度検出装置１２が設けられている。
【０００８】前記第２の旋回制御装置１０は、図２に示
すように、前記角度目標値設定装置１１により設定され
た目標値と前記角度検出装置１２により検出された角度
との偏差を求める減算回路１３と、この減算回路１３か
らの出力を増幅する増幅器１４と、この増幅器１４およ
び前記角速度検出装置６からの出力を受ける演算装置１
５と、この演算装置１５の出力を受けて前記第２の旋回
駆動装置９に制御信号を与える制御装置１６とを有して
いる。第２の旋回駆動装置９は、ドライバー１７とこれ
により駆動されるサーボモータ１８とからなる。このド
ライバー１７は、制御装置１６からの制御信号を受けて
サーボモータ１８を駆動する。前記演算装置１５は、前
記角速度検出装置６により検出される角速度をωa と
し、前記増幅器１４の出力をωbrefとし、前記第２の旋
回駆動装置９の伝達関数をＧb とし、かつ、前記演算装
置１５の出力値をω´brefとした場合にω´bref＝ω
bref−ωa ／Ｇb という式の演算を行う。
すように、前記角度目標値設定装置１１により設定され
た目標値と前記角度検出装置１２により検出された角度
との偏差を求める減算回路１３と、この減算回路１３か
らの出力を増幅する増幅器１４と、この増幅器１４およ
び前記角速度検出装置６からの出力を受ける演算装置１
５と、この演算装置１５の出力を受けて前記第２の旋回
駆動装置９に制御信号を与える制御装置１６とを有して
いる。第２の旋回駆動装置９は、ドライバー１７とこれ
により駆動されるサーボモータ１８とからなる。このド
ライバー１７は、制御装置１６からの制御信号を受けて
サーボモータ１８を駆動する。前記演算装置１５は、前
記角速度検出装置６により検出される角速度をωa と
し、前記増幅器１４の出力をωbrefとし、前記第２の旋
回駆動装置９の伝達関数をＧb とし、かつ、前記演算装
置１５の出力値をω´brefとした場合にω´bref＝ω
bref−ωa ／Ｇb という式の演算を行う。
【０００９】次に、図３に示すように、第１の旋回テー
ブル１の角速度をωa とし、基準からの角度をθa と
し、第２の旋回テーブル７の角速度をωb とし、基準か
らの角度をθb とした場合に、本発明の制御系を図４に
基いて詳細に説明する。
ブル１の角速度をωa とし、基準からの角度をθa と
し、第２の旋回テーブル７の角速度をωb とし、基準か
らの角度をθb とした場合に、本発明の制御系を図４に
基いて詳細に説明する。
【００１０】図４において、前記角度目標値設定装置１
１の目標値をθbrefとし、前記減算回路１３の出力をε
b とし、前記増幅器１４のゲイン定数をＫとし、第２の
旋回テーブル７の第１の旋回テーブル１に対する角度を
θb とし、前記角度検出装置１２により検出される第２
の旋回テーブル７の実際の対地角度をθbgndとし、か
つ、前記演算装置１５は角速度検出装置６からの角速度
ωa を１／Ｇb する変換回路１９と前記増幅器１４から
の出力値から変換回路１９からの出力値を減算する減算
回路２０とで模式的に構成している。
１の目標値をθbrefとし、前記減算回路１３の出力をε
b とし、前記増幅器１４のゲイン定数をＫとし、第２の
旋回テーブル７の第１の旋回テーブル１に対する角度を
θb とし、前記角度検出装置１２により検出される第２
の旋回テーブル７の実際の対地角度をθbgndとし、か
つ、前記演算装置１５は角速度検出装置６からの角速度
ωa を１／Ｇb する変換回路１９と前記増幅器１４から
の出力値から変換回路１９からの出力値を減算する減算
回路２０とで模式的に構成している。
【００１１】前記減算回路１３は、θbrefとθbgndを受
けてεb ＝θbref−θbgndという計算をしてεb ＝ω
brefを増幅器１４に与える。この増幅器１４はＫεb を
減算回路１３に与える。また、前記変換回路１９はωa
／Ｇb を減算回路２０に与える。この減算回路２０は、
ω´bref＝ωbref−ωa ／Ｇb という計算をω´brefを
第２の旋回駆動装置９に与える。この旋回駆動装置９は
第２の旋回テーブル７に角速度ωb を与える。第１の旋
回テーブル１と第２の旋回テーブル７の旋回により、角
速度ωb を積分した値であるθb ＝（ωbref・Ｇb ／ｓ
−θa ）と、前記角速度ωa を積分した値であるθa と
が加算されて、第２の旋回テーブル７の実際の対地角度
（ωbref・Ｇb ／ｓ＝θbgnd）となる。
けてεb ＝θbref−θbgndという計算をしてεb ＝ω
brefを増幅器１４に与える。この増幅器１４はＫεb を
減算回路１３に与える。また、前記変換回路１９はωa
／Ｇb を減算回路２０に与える。この減算回路２０は、
ω´bref＝ωbref−ωa ／Ｇb という計算をω´brefを
第２の旋回駆動装置９に与える。この旋回駆動装置９は
第２の旋回テーブル７に角速度ωb を与える。第１の旋
回テーブル１と第２の旋回テーブル７の旋回により、角
速度ωb を積分した値であるθb ＝（ωbref・Ｇb ／ｓ
−θa ）と、前記角速度ωa を積分した値であるθa と
が加算されて、第２の旋回テーブル７の実際の対地角度
（ωbref・Ｇb ／ｓ＝θbgnd）となる。
【００１２】
【発明の効果】本発明の二重テーブル旋回装置は、第２
の旋回テーブルの角度の制御において第１の旋回テーブ
ルの動きが打ち消され外乱とならないから、第２の旋回
テーブルの角度を正確に速く制御することができる。
の旋回テーブルの角度の制御において第１の旋回テーブ
ルの動きが打ち消され外乱とならないから、第２の旋回
テーブルの角度を正確に速く制御することができる。
【図１】本発明の１実施例を示す正面図である。
【図２】本発明の１実施例を示す平面図である。
【図３】本発明の１実施例を示すブロック図である。
【図４】本発明の１実施例における制御系を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
１ 第１の旋回テーブル ４ 第１の旋回駆動装置 ６ 角速度検出装置 ７ 第２の旋回テーブル ９ 第２の旋回駆動装置 １０ 第２の旋回制御装置 １１ 角度目標値設定装置 １２ 角度検出装置 １３ 減算装置 １４ 増幅器 １５ 演算装置 １６ 制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｄ 3/00 Ｑ 9179−3Ｈ
Claims (1)
- 【請求項１】 旋回可能に支持された第１の旋回テーブ
ルと、この第１の旋回テーブルを旋回させる第１の旋回
駆動手段と、前記第１の旋回テーブルの角速度を検出す
る角速度検出手段と、前記第１の旋回テーブルの上に旋
回可能に支持された第２の旋回テーブルと、この第２の
旋回テーブルを旋回させる第２の旋回駆動手段と、この
第２の旋回駆動手段を制御する旋回制御手段と、この旋
回制御手段に前記第１の旋回テーブルに対する前記第２
の旋回テーブルの角度の目標値を設定する角度目標値設
定手段と、前記第２の旋回テーブルの対地旋回角度を検
出する角度検出手段とを具備し、前記旋回制御手段は、
前記角度目標値設定手段により設定された目標値と前記
角度検出手段により検出された角度との偏差を求める減
算回路と、この減算回路からの出力を増幅する増幅器
と、この増幅器および前記角速度検出手段からの出力を
受ける演算装置と、この演算装置の出力を受けて前記第
２の旋回駆動手段に制御信号を与える制御装置とを有
し、前記演算装置は、前記角速度検出手段により検出さ
れる角速度をωa とし、前記増幅器の出力をωbrefと
し、前記第２の旋回駆動手段の伝達関数をＧb とし、か
つ、前記演算装置の出力値をω´brefとした場合にω´
bref＝ωbref−ωa ／Ｇb という式の演算を行うことを
特徴とする二重テーブル旋回装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21128292A JPH0659739A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 二重テーブル旋回装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21128292A JPH0659739A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 二重テーブル旋回装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0659739A true JPH0659739A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16603354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21128292A Withdrawn JPH0659739A (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 二重テーブル旋回装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0659739A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988007757A1 (en) * | 1987-03-31 | 1988-10-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of determining end point of cleaning in an apparatus for manufacturing semiconductor devices |
| US6642948B2 (en) | 2001-08-17 | 2003-11-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Thermal transfer printing method and printer system |
| US6885755B2 (en) | 2000-03-21 | 2005-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Information processing method |
| US6883982B2 (en) | 2003-04-25 | 2005-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing system |
| US6901862B2 (en) | 2002-07-23 | 2005-06-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing method |
| US7577271B2 (en) | 2003-12-22 | 2009-08-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing apparatus for embedding digital watermark |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP21128292A patent/JPH0659739A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988007757A1 (en) * | 1987-03-31 | 1988-10-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of determining end point of cleaning in an apparatus for manufacturing semiconductor devices |
| US6885755B2 (en) | 2000-03-21 | 2005-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Information processing method |
| US6642948B2 (en) | 2001-08-17 | 2003-11-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Thermal transfer printing method and printer system |
| US6901862B2 (en) | 2002-07-23 | 2005-06-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing method |
| US7489800B2 (en) | 2002-07-23 | 2009-02-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing method |
| US6883982B2 (en) | 2003-04-25 | 2005-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing system |
| US7577271B2 (en) | 2003-12-22 | 2009-08-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing apparatus for embedding digital watermark |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |