JPH0654647B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0654647B2 JPH0654647B2 JP61083607A JP8360786A JPH0654647B2 JP H0654647 B2 JPH0654647 B2 JP H0654647B2 JP 61083607 A JP61083607 A JP 61083607A JP 8360786 A JP8360786 A JP 8360786A JP H0654647 B2 JPH0654647 B2 JP H0654647B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- lens
- angle
- electron microscope
- lenses
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は像倍率を変えることなく電子顕微鏡像を連続的
に回転させることのできる電子顕微鏡に関する。
に回転させることのできる電子顕微鏡に関する。
［従来の技術］ 蛍光板等の投影スクリーンに投影される電子顕微鏡像の
回転を像倍率を変えることなく行なうため、電子顕微鏡
に改良が加えられてきた。
回転を像倍率を変えることなく行なうため、電子顕微鏡
に改良が加えられてきた。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら従来の電子顕微鏡においては、観察倍率を
変えることなく極めて広い角度範囲にわたって像を連続
的に回転させることはできなかった。
変えることなく極めて広い角度範囲にわたって像を連続
的に回転させることはできなかった。
本発明はこのような従来の欠点を解決し、観察倍率を変
えることなく極めて広い角度範囲に渡って電子顕微鏡像
を回転させることのできる電子顕微鏡を提供することを
目的としている。
えることなく極めて広い角度範囲に渡って電子顕微鏡像
を回転させることのできる電子顕微鏡を提供することを
目的としている。
［問題点を解決するための手段］ そのため、本発明は、照射レンズ系と、対物レンズと、
投影レンズと、対物レンズと投影レンズとの間に設けら
れた第１，第２，第３の中間レンズを備えた電子顕微鏡
において、最終投影面上に投影される電子顕微鏡像が基
準となる方向に対して成す角度θを指示するための指示
手段と、該指示手段よりの指示信号に基づいて、前記指
示された角度θが所定角度の一方の側で変化する場合に
は、第１中間レンズの物面に形成される試料像を第３中
間レンズと投影レンズとの間に結像する結像モードを維
持しつつ所定倍率のもとで指示された角度に像回転させ
るように第１，第２，第３の中間レンズの励磁電流を連
動制御すると共に、前記指示された角度θが前記所定角
度の他方の側で変化する場合には、第１中間レンズの物
面に形成される試料像を第２中間レンズと第３中間レン
ズ間で結像し更に該像を第３中間レンズと投影レンズ間
で結像する結線モードを維持しつつ前記所定倍率のもと
で指示された角度に像回転させるように第１，第２，第
３の中間レンズの励磁電流を連動制御する制御手段を備
えている。
投影レンズと、対物レンズと投影レンズとの間に設けら
れた第１，第２，第３の中間レンズを備えた電子顕微鏡
において、最終投影面上に投影される電子顕微鏡像が基
準となる方向に対して成す角度θを指示するための指示
手段と、該指示手段よりの指示信号に基づいて、前記指
示された角度θが所定角度の一方の側で変化する場合に
は、第１中間レンズの物面に形成される試料像を第３中
間レンズと投影レンズとの間に結像する結像モードを維
持しつつ所定倍率のもとで指示された角度に像回転させ
るように第１，第２，第３の中間レンズの励磁電流を連
動制御すると共に、前記指示された角度θが前記所定角
度の他方の側で変化する場合には、第１中間レンズの物
面に形成される試料像を第２中間レンズと第３中間レン
ズ間で結像し更に該像を第３中間レンズと投影レンズ間
で結像する結線モードを維持しつつ前記所定倍率のもと
で指示された角度に像回転させるように第１，第２，第
３の中間レンズの励磁電流を連動制御する制御手段を備
えている。
［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示すための図であり、図中
１は電子銃、２，３は集束レンズ、４は試料である。５
は対物レンズ、６，７，８は各々第１，第２，第３の中
間レンズ、９は投影ンズであり１０は蛍光板である。１
１，１２，１３，１４は各々レンズ５，６，７，８の励
磁電源である。尚、レンズ２，３，９の励磁電源は省略
している。１５，１６，１７，１８は各々これら励磁電
源１１，１２，１３，１４に接続されたＤＡ変換器であ
る。ＤＡ変換器１５，１６，１７，１８は図示しないが
各々のＩ／Ｏポート及びバスライン１９を介してＣＰＵ
２０に接続されている。ＣＰＵ２０にはバスライン１９
を介して記憶装置２１が接続されている。更にＣＰＵ２
０にはバスライン１９を介して蛍光板１０に投影される
電子顕微鏡像の回転角を指示するための入力装置２２が
接続されている。図中２２ｒは回転角指示摘子を表わし
ている。
１は電子銃、２，３は集束レンズ、４は試料である。５
は対物レンズ、６，７，８は各々第１，第２，第３の中
間レンズ、９は投影ンズであり１０は蛍光板である。１
１，１２，１３，１４は各々レンズ５，６，７，８の励
磁電源である。尚、レンズ２，３，９の励磁電源は省略
している。１５，１６，１７，１８は各々これら励磁電
源１１，１２，１３，１４に接続されたＤＡ変換器であ
る。ＤＡ変換器１５，１６，１７，１８は図示しないが
各々のＩ／Ｏポート及びバスライン１９を介してＣＰＵ
２０に接続されている。ＣＰＵ２０にはバスライン１９
を介して記憶装置２１が接続されている。更にＣＰＵ２
０にはバスライン１９を介して蛍光板１０に投影される
電子顕微鏡像の回転角を指示するための入力装置２２が
接続されている。図中２２ｒは回転角指示摘子を表わし
ている。
さて、ｅを電子の電荷（クーロン）、ｍ0 を電子の静止
質量（Ｋg ）、Ｂ（ｚ）を光軸方向の座標ｚにおけるレ
ンズ磁場の磁束密度（テスラ）、Ｕ＊を相対論補正され
た電子の加速電圧（Ｋｖ）、Ｊをレンズの励磁強度（ア
ンペア・ターン）とすると、磁界レンズによる像回転角
θ（度）は以下の式によって与えられる。
質量（Ｋg ）、Ｂ（ｚ）を光軸方向の座標ｚにおけるレ
ンズ磁場の磁束密度（テスラ）、Ｕ＊を相対論補正され
た電子の加速電圧（Ｋｖ）、Ｊをレンズの励磁強度（ア
ンペア・ターン）とすると、磁界レンズによる像回転角
θ（度）は以下の式によって与えられる。
従って、Ｊ1 ，Ｊ2 ，Ｊ3 を第１，第２，第３中間レン
ズの励磁強度とするとき、これら３個の中間レンズによ
る像回転角θは100 Ｋｖにおいて以下のように表わされ
る。
ズの励磁強度とするとき、これら３個の中間レンズによ
る像回転角θは100 Ｋｖにおいて以下のように表わされ
る。
θ＝ 0.0322 ×（Ｊ1 ＋Ｊ2 ＋Ｊ3 ）…（１） 更に電子顕微鏡像の結像パターンが実像虚像間で変化す
る際に像の 180゜回転が生じる。
る際に像の 180゜回転が生じる。
本実施例においては、上式（１）と結像パターンを実像
虚像間で切換えることにより、広い範囲にわたる像回転
を行なうようにしている。そのため、記憶装置２１には
各像回転角θを指定した際に、第１，第２，第３の中間
レンズ６，７，８を第２図の曲線ＩＬ1 ，ＩＬ2 ，ＩＬ
3 に従って励磁するために必要な励磁指定信号が記憶さ
れている。即ち、記憶装置２１の各θn （n ＝ 1， 2，
3，…，i −1 ，i ，i ＋1 ，i ＋2 ，…，m ）に対応
したアドレスには、第４図に示すように第１，第２，第
３の中間レンズ５，６，７の励磁指定データＤ1 （θn
），Ｄ2 （θn ），Ｄ3 （θn ）が格納されている。
これらのうちＤ1 （θn ）は、各θn が指示された際
に、第２図における曲線ＩＬ1 のθn に対応した励磁電
流値を第１の中間レンズ６にとらせるためのデータとな
っており、他も同様の対応関係がある。
虚像間で切換えることにより、広い範囲にわたる像回転
を行なうようにしている。そのため、記憶装置２１には
各像回転角θを指定した際に、第１，第２，第３の中間
レンズ６，７，８を第２図の曲線ＩＬ1 ，ＩＬ2 ，ＩＬ
3 に従って励磁するために必要な励磁指定信号が記憶さ
れている。即ち、記憶装置２１の各θn （n ＝ 1， 2，
3，…，i −1 ，i ，i ＋1 ，i ＋2 ，…，m ）に対応
したアドレスには、第４図に示すように第１，第２，第
３の中間レンズ５，６，７の励磁指定データＤ1 （θn
），Ｄ2 （θn ），Ｄ3 （θn ）が格納されている。
これらのうちＤ1 （θn ）は、各θn が指示された際
に、第２図における曲線ＩＬ1 のθn に対応した励磁電
流値を第１の中間レンズ６にとらせるためのデータとな
っており、他も同様の対応関係がある。
又、記憶装置２１の前記θn に対応したアドレスには、
対物レンズ５の励磁電流を指定するための励磁指定デー
タも格納されている。この格納値は第３図に示すよう
に、各θn の値に対して曲線ＩＬ０によって示される励
磁電流値を対物レンズ５にとらせるためのものである。
対物レンズ５の励磁電流を指定するための励磁指定デー
タも格納されている。この格納値は第３図に示すよう
に、各θn の値に対して曲線ＩＬ０によって示される励
磁電流値を対物レンズ５にとらせるためのものである。
このような構成において、電子顕微鏡が基準の方向に対
して角θj を成すように入力装置２２の回転角指示摘子
２２ｒにより指示したとすると、ＣＰＵ２０は入力装置
２２よりの指示信号に基づいて、記憶装置２１の指示さ
れた角度θj に対応するアドレスの励磁指定データＤ1
（θj ），Ｄ2 （θj ），Ｄ3 （θj ）を読み出す。こ
の読み出されたデータＤ1 （θj ），Ｄ2 （θj ），Ｄ
3 （θj ）はＣＰＵ２０の制御のもとで各々ＤＡ変換器
１６，１７，１８でアナログ信号に変換される。各ＤＡ
変換器１６，１７，１８の出力信号は励磁電源１２，１
３，１４において増幅された後、各々第１，第２，第３
の中間レンズ６，７，８に送られる。そのため、これら
各レンズには各々第２図における曲線ＩＬ1 ，ＩＬ2 ，
ＩＬ3 のθj における値の励磁電流が流れる。
して角θj を成すように入力装置２２の回転角指示摘子
２２ｒにより指示したとすると、ＣＰＵ２０は入力装置
２２よりの指示信号に基づいて、記憶装置２１の指示さ
れた角度θj に対応するアドレスの励磁指定データＤ1
（θj ），Ｄ2 （θj ），Ｄ3 （θj ）を読み出す。こ
の読み出されたデータＤ1 （θj ），Ｄ2 （θj ），Ｄ
3 （θj ）はＣＰＵ２０の制御のもとで各々ＤＡ変換器
１６，１７，１８でアナログ信号に変換される。各ＤＡ
変換器１６，１７，１８の出力信号は励磁電源１２，１
３，１４において増幅された後、各々第１，第２，第３
の中間レンズ６，７，８に送られる。そのため、これら
各レンズには各々第２図における曲線ＩＬ1 ，ＩＬ2 ，
ＩＬ3 のθj における値の励磁電流が流れる。
その結果、第５図（ａ）に示すように、試料４は第１中
間レンズ６の前段で第１のＩ1 を結像した後、投影レン
ズ９の前段で第２の像Ｉ2 を結像し、蛍光板上に終像Ｉ
f を結像する。この際、蛍光板１０上に結像された像は
基準の方向に対して角度θj だけ傾斜したものとなる。
間レンズ６の前段で第１のＩ1 を結像した後、投影レン
ズ９の前段で第２の像Ｉ2 を結像し、蛍光板上に終像Ｉ
f を結像する。この際、蛍光板１０上に結像された像は
基準の方向に対して角度θj だけ傾斜したものとなる。
又、同様に、入力装置２２の回転角指示摘子２２ｒによ
り電子顕微鏡が基準の方向に対して角度θk になるよう
に指示したとすると、ＣＰＵ２０は記憶装置２１の角度
θk に対応するアドレスに記憶されている励磁指定デー
タＤ1 （θk ），Ｄ2 （θk ），Ｄ3 （θk ）を読み出
すため、第１，第２，第３の中間レンズ６，７，８には
前記の場合と同様に各々第２図における曲線ＩＬ1 ，Ｉ
Ｌ2 ，ＩＬ3 のθk における値の励磁電流が流れる。
り電子顕微鏡が基準の方向に対して角度θk になるよう
に指示したとすると、ＣＰＵ２０は記憶装置２１の角度
θk に対応するアドレスに記憶されている励磁指定デー
タＤ1 （θk ），Ｄ2 （θk ），Ｄ3 （θk ）を読み出
すため、第１，第２，第３の中間レンズ６，７，８には
前記の場合と同様に各々第２図における曲線ＩＬ1 ，Ｉ
Ｌ2 ，ＩＬ3 のθk における値の励磁電流が流れる。
その結果、第５図（ｂ）に示すように、試料４は第１中
間レンズ６の前段で第１の像Ｉ1 ′を結像した後、この
像を更に第２中間レンズ７と第３中間レンズ間で像Ｉ2
′として結像し、更に像Ｉ2 ′の像を投影レンズ９の
前段で第３の像Ｉ3 として結像し、最終的に蛍光板１０
上に終像Ｉf ′を結像する。この際、蛍光板１０上に結
像された像は基準の方向に対して角度θk だけ傾斜した
ものとなる。
間レンズ６の前段で第１の像Ｉ1 ′を結像した後、この
像を更に第２中間レンズ７と第３中間レンズ間で像Ｉ2
′として結像し、更に像Ｉ2 ′の像を投影レンズ９の
前段で第３の像Ｉ3 として結像し、最終的に蛍光板１０
上に終像Ｉf ′を結像する。この際、蛍光板１０上に結
像された像は基準の方向に対して角度θk だけ傾斜した
ものとなる。
このように第２図の点線ｃより低角度側の角度を入力装
置により指定したときには、第５図（ａ）に示す結線パ
ターンをとることにより指定した回転角の像を蛍光板１
０に投影することができると共に、第２図の点線ｃより
高角度側の角度を入力装置により指定した場合には、第
５図（ｂ）に示す結像パターンをとることにより指定し
た回転角の像を蛍光板１０に投影することができる。更
に、第２図から明らかなように、点線ｃにおいて両結像
パターンに基づく像回転角は連続しているため、略−60
゜から＋ 200゜にわたって像回転角を連続的に変えるこ
とができる。
置により指定したときには、第５図（ａ）に示す結線パ
ターンをとることにより指定した回転角の像を蛍光板１
０に投影することができると共に、第２図の点線ｃより
高角度側の角度を入力装置により指定した場合には、第
５図（ｂ）に示す結像パターンをとることにより指定し
た回転角の像を蛍光板１０に投影することができる。更
に、第２図から明らかなように、点線ｃにおいて両結像
パターンに基づく像回転角は連続しているため、略−60
゜から＋ 200゜にわたって像回転角を連続的に変えるこ
とができる。
尚、第１，第２，第３の各中間レンズの励磁電流値を変
えると、対物レンズ５の像面と第１中間レンズの物面が
僅かにずれるが、このずれを補正すべく、各θの値に対
して記憶装置２１より前記対物レンズ励磁電流指定デー
タが読み出され、対物レンズ５の励磁電流値は各θの値
に対して第３図に示すように変えられるため、このずれ
は自動的に補正される。
えると、対物レンズ５の像面と第１中間レンズの物面が
僅かにずれるが、このずれを補正すべく、各θの値に対
して記憶装置２１より前記対物レンズ励磁電流指定デー
タが読み出され、対物レンズ５の励磁電流値は各θの値
に対して第３図に示すように変えられるため、このずれ
は自動的に補正される。
尚、上述した実施例においては、各θに対応する第１，
第２，第３の中間レンズの励磁電流指定データを予め求
めておき、記憶装置に記憶させるようにしたが、θの離
散的な値に対する励磁指定データのみを記憶させてお
き、離散値の間の値は演算により求めた後、励磁指定デ
ータとして各レンズ電源に送るようにしても良い。
第２，第３の中間レンズの励磁電流指定データを予め求
めておき、記憶装置に記憶させるようにしたが、θの離
散的な値に対する励磁指定データのみを記憶させてお
き、離散値の間の値は演算により求めた後、励磁指定デ
ータとして各レンズ電源に送るようにしても良い。
更に又、ＣＰＵ２０に像回転角を表示するための表示手
段を接続し、電子顕微鏡像の基準の方向に対する角度を
常時表示するようにしても良い。
段を接続し、電子顕微鏡像の基準の方向に対する角度を
常時表示するようにしても良い。
［発明の効果］ 本発明においては、最終投影面上に投影される電子顕微
鏡像が基準となる方向に対して成す角度θを指示するた
めの指示手段と、該指示手段よりの指示信号に基づい
て、前記指示された角度θが所定角度の一方の側で変化
する場合には、第１中間レンズの物面に形成される試料
像を第３中間レンズと投影レンズとの間に結像する結像
モードを維持しつつ所定倍率のもとで指示された角度に
像回転させるように第１，第２，第３の中間レンズの励
磁電流を連動制御すると共に、前記指示された角度θが
前記所定角度の他方の側で変化する場合には、第１中間
レンズの物面に形成される試料像を第２中間レンズと第
３中間レンズ間で結像し更に該像を第３中間レンズと投
影レンズ間で結像する結像モードを維持しつつ前記所定
倍率のもとで指示された角度に像回転させるように第
１，第２，第３の中間レンズの励磁電流を連動制御する
制御手段を備えているので、従来の１つの結像モードに
よる像回転に比べ、広い範囲にわたって電子顕微鏡像を
像倍率を変えることなく連続的に回転させることができ
る。
鏡像が基準となる方向に対して成す角度θを指示するた
めの指示手段と、該指示手段よりの指示信号に基づい
て、前記指示された角度θが所定角度の一方の側で変化
する場合には、第１中間レンズの物面に形成される試料
像を第３中間レンズと投影レンズとの間に結像する結像
モードを維持しつつ所定倍率のもとで指示された角度に
像回転させるように第１，第２，第３の中間レンズの励
磁電流を連動制御すると共に、前記指示された角度θが
前記所定角度の他方の側で変化する場合には、第１中間
レンズの物面に形成される試料像を第２中間レンズと第
３中間レンズ間で結像し更に該像を第３中間レンズと投
影レンズ間で結像する結像モードを維持しつつ前記所定
倍率のもとで指示された角度に像回転させるように第
１，第２，第３の中間レンズの励磁電流を連動制御する
制御手段を備えているので、従来の１つの結像モードに
よる像回転に比べ、広い範囲にわたって電子顕微鏡像を
像倍率を変えることなく連続的に回転させることができ
る。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図は指
定した回転角を実現するために必要な第１，第２，第３
の中間レンズの励磁電流値を例示するための図、第３図
は中間レンズの励磁電流を像回転のために変化させた際
に生ずるフォーカスずれを補正するために必要な各回転
角に対する対物レンズ励磁電流値を示すための図、第４
図は記憶装置２１の格納内容を示すための図、第５図は
像回転に伴う電子顕微鏡像の２通りの結像パターンを説
明するための光学図である。 ５：対物レンズ、６，７，８：中間レンズ １１，１２，１３，１４：レンズ電源 １５，１６，１７，１８：ＤＡ変換器 ２０：ＣＰＵ、２１：記憶装置 ２２：入力装置、２２ｒ：回転角指示摘子
定した回転角を実現するために必要な第１，第２，第３
の中間レンズの励磁電流値を例示するための図、第３図
は中間レンズの励磁電流を像回転のために変化させた際
に生ずるフォーカスずれを補正するために必要な各回転
角に対する対物レンズ励磁電流値を示すための図、第４
図は記憶装置２１の格納内容を示すための図、第５図は
像回転に伴う電子顕微鏡像の２通りの結像パターンを説
明するための光学図である。 ５：対物レンズ、６，７，８：中間レンズ １１，１２，１３，１４：レンズ電源 １５，１６，１７，１８：ＤＡ変換器 ２０：ＣＰＵ、２１：記憶装置 ２２：入力装置、２２ｒ：回転角指示摘子
Claims (1)
- 【請求項１】照射レンズ系と、対物レンズと、投影レン
ズと、対物レンズと投影レンズとの間に設けられた第
１，第２，第３の中間レンズを備えた電子顕微鏡におい
て、最終投影面上に投影される電子顕微鏡像が基準とな
る方向に対して成す角度θを指示するための指示手段
と、該指示手段よりの指示信号に基づいて、前記指示さ
れた角度θが所定角度の一方の側で変化する場合には、
第１中間レンズの物面に形成される試料像を第３中間レ
ンズと投影レンズとの間に結像する結像モードを維持し
つつ所定倍率のもとで指示された角度に像回転させるよ
うに第１，第２，第３の中間レンズの励磁電流を連動制
御すると共に、前記指示された角度θが前記所定角度の
他方の側で変化する場合には、第１中間レンズの物面に
形成される試料像を第２中間レンズと第３中間レンズ間
で結像し更に該像を第３中間レンズと投影レンズ間で結
像する結線モードを維持しつつ前記所定倍率のもとで指
示された角度に像回転させるように第１，第２，第３の
中間レンズの励磁電流を連動制御する制御手段を備える
電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61083607A JPH0654647B2 (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61083607A JPH0654647B2 (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62241245A JPS62241245A (ja) | 1987-10-21 |
| JPH0654647B2 true JPH0654647B2 (ja) | 1994-07-20 |
Family
ID=13807169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61083607A Expired - Lifetime JPH0654647B2 (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0654647B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58176858A (ja) * | 1982-04-08 | 1983-10-17 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の拡大レンズ系 |
| JPH0815060B2 (ja) * | 1985-06-12 | 1996-02-14 | 株式会社日立製作所 | 透過形電子顕微鏡 |
-
1986
- 1986-04-11 JP JP61083607A patent/JPH0654647B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62241245A (ja) | 1987-10-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |