JPH0418667B2 - - Google Patents
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- JPH0418667B2 JPH0418667B2 JP57174628A JP17462882A JPH0418667B2 JP H0418667 B2 JPH0418667 B2 JP H0418667B2 JP 57174628 A JP57174628 A JP 57174628A JP 17462882 A JP17462882 A JP 17462882A JP H0418667 B2 JPH0418667 B2 JP H0418667B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- coils
- deflection
- scanning
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 64
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電子顕微鏡において用いられるのに好
適な電子線偏向器に関するものである。
適な電子線偏向器に関するものである。
電子顕微鏡における電子線偏向器には、主に光
軸を調整する目的のものと走査像を観察するため
に電子線を走査させる目的のものがある。これら
の電子線偏向器はそれぞれ複数のコイルから構成
されていて、電子線を傾斜および水平移動させ、
またその両方を組合わせ周期的に偏向させる走査
の機能を有している。
軸を調整する目的のものと走査像を観察するため
に電子線を走査させる目的のものがある。これら
の電子線偏向器はそれぞれ複数のコイルから構成
されていて、電子線を傾斜および水平移動させ、
またその両方を組合わせ周期的に偏向させる走査
の機能を有している。
通常の電子線偏向器では、傾斜、水平移動、走
査の機能ごとに独立コイルを設けることが一般的
であり、また、特公昭56−20663号公報では傾斜
用と水平走査用に夫々独立コイルを設けることが
提案されている。そして、これらのコイルは、同
一のコア上に多重巻きにするか又は互いに近接し
た位置に配置し、一組の電子線偏向器を構成して
いる。その理由は、各コイルを互いに独立なコア
上に巻くと一組の電子線偏向器それ自体が大きく
なり電子顕微鏡装置自体も大きくなるので、これ
を防止するためできる限り電子線偏向器の空間占
有率を小さくしようとするからである。
査の機能ごとに独立コイルを設けることが一般的
であり、また、特公昭56−20663号公報では傾斜
用と水平走査用に夫々独立コイルを設けることが
提案されている。そして、これらのコイルは、同
一のコア上に多重巻きにするか又は互いに近接し
た位置に配置し、一組の電子線偏向器を構成して
いる。その理由は、各コイルを互いに独立なコア
上に巻くと一組の電子線偏向器それ自体が大きく
なり電子顕微鏡装置自体も大きくなるので、これ
を防止するためできる限り電子線偏向器の空間占
有率を小さくしようとするからである。
しかし、複数のコイルを多重巻きしたり、近接
して配置するとコイル間の相互インダクタンスに
もとづく相互作用により各コイルは互いに悪影響
を及ぼし合うという問題がある。例えば、水平移
動・傾斜用の各コイルに流れる電流は直流成分だ
けであるが、走査コイルには鋸歯状波の交流成分
を含んだ電流が流れるので、相互作用により水平
移動、傾斜用の各コイルには上記鋸歯状波の交流
成分と同期した交流成分と直流成分を重畳した電
流が流れるようになる。これは走査コイル側から
すれば、水平移動、傾斜用コイルがインダクタン
スのある負荷と見なすことができる。この結果、
走査コイルに流れる鋸歯状電流の波形が歪み、走
査像が歪むという悪い結果をもたらす。
して配置するとコイル間の相互インダクタンスに
もとづく相互作用により各コイルは互いに悪影響
を及ぼし合うという問題がある。例えば、水平移
動・傾斜用の各コイルに流れる電流は直流成分だ
けであるが、走査コイルには鋸歯状波の交流成分
を含んだ電流が流れるので、相互作用により水平
移動、傾斜用の各コイルには上記鋸歯状波の交流
成分と同期した交流成分と直流成分を重畳した電
流が流れるようになる。これは走査コイル側から
すれば、水平移動、傾斜用コイルがインダクタン
スのある負荷と見なすことができる。この結果、
走査コイルに流れる鋸歯状電流の波形が歪み、走
査像が歪むという悪い結果をもたらす。
本発明の目的は前述した相互インダクタンスに
もとづく相互作用の問題が生じない電子線偏向器
を提供することにある。
もとづく相互作用の問題が生じない電子線偏向器
を提供することにある。
本発明の主な特徴は、傾斜、水平移動、走査の
機能ごとに独立したコイルを設けることなく、独
立な磁界を発生するコイルを上下２段に配置した
一組のコイルを設け、水平移動、傾斜及び走査の
偏向量に対応する信号を前記上下２段のコイルに
夫々振り分けて供給することで、電子線の水平移
動、傾斜及び走査を前記一組のコイルで行うよう
に構成したところにある。
機能ごとに独立したコイルを設けることなく、独
立な磁界を発生するコイルを上下２段に配置した
一組のコイルを設け、水平移動、傾斜及び走査の
偏向量に対応する信号を前記上下２段のコイルに
夫々振り分けて供給することで、電子線の水平移
動、傾斜及び走査を前記一組のコイルで行うよう
に構成したところにある。
本発明の更に他の特徴は、独立な２方向へ磁界
を発生する２個のコイルを夫々上下２段に配置す
ることにより前記一組のコイルを構成した場合で
あつても、当該上下２段のコイルに前記水平移
動、傾斜及び走査の偏向量に対応する信号を夫々
振り分けて供給するように構成したところにあ
る。
を発生する２個のコイルを夫々上下２段に配置す
ることにより前記一組のコイルを構成した場合で
あつても、当該上下２段のコイルに前記水平移
動、傾斜及び走査の偏向量に対応する信号を夫々
振り分けて供給するように構成したところにあ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す。電子銃１よ
り出た電子線２は電子線偏向器３ａにより照射レ
ンズ系４の光軸と合ように偏向され、照射レンズ
系４に入る。照射レンズ系４によつて収束された
電子線は電子線偏向器３ｂにより結像レンズ系６
の光軸と合うように偏向され試料５を照射する。
試料５を透過した電子線は結像レンズ系６によつ
て拡大され螢光板７上に最終像を結ぶ。電子線偏
向器３ａ，３ｂの電源８ａ〜８ｄはＤ／Ａ変換器
９ａ〜９ｄを介して、マイクロ・プロセツサ１１
により制御される。電子偏向器３ａ，３ｂの偏向
量を入力するための入力機器１３ａ〜１３ｂ（例
えばロータリエンコーダ等）より、偏向量に関す
る情報をインターフエイス１２ａ〜１２ｄを介し
てマイクロ・プロセツサ１１に取込むようになつ
ている。入力機器１３ａ〜１３ｂは電子線偏向器
３ａに関する偏向量を入力するためのもので、１
３ａは電子線を傾斜を、１３ｂは水平移動をさせ
るためのものである。また入力機器１３ｃ〜１３
ｄは電子線偏向器３ｂに関する偏向量を入力する
ためのもので、それぞれ傾斜、水平移動をさせる
ためのものである。
り出た電子線２は電子線偏向器３ａにより照射レ
ンズ系４の光軸と合ように偏向され、照射レンズ
系４に入る。照射レンズ系４によつて収束された
電子線は電子線偏向器３ｂにより結像レンズ系６
の光軸と合うように偏向され試料５を照射する。
試料５を透過した電子線は結像レンズ系６によつ
て拡大され螢光板７上に最終像を結ぶ。電子線偏
向器３ａ，３ｂの電源８ａ〜８ｄはＤ／Ａ変換器
９ａ〜９ｄを介して、マイクロ・プロセツサ１１
により制御される。電子偏向器３ａ，３ｂの偏向
量を入力するための入力機器１３ａ〜１３ｂ（例
えばロータリエンコーダ等）より、偏向量に関す
る情報をインターフエイス１２ａ〜１２ｄを介し
てマイクロ・プロセツサ１１に取込むようになつ
ている。入力機器１３ａ〜１３ｂは電子線偏向器
３ａに関する偏向量を入力するためのもので、１
３ａは電子線を傾斜を、１３ｂは水平移動をさせ
るためのものである。また入力機器１３ｃ〜１３
ｄは電子線偏向器３ｂに関する偏向量を入力する
ためのもので、それぞれ傾斜、水平移動をさせる
ためのものである。
第２図は電子線偏向器により、電子線を傾斜、
水平移動させる場合の偏向コイル３ｃ，３ｄの電
流の関係を説明するためのものである。入射電子
線２は上段の偏向コイル３ｃに流れる電流Icによ
つて発生した磁界Hcにより２ａのように偏向角
θ1で偏向される。この電子線２ａは下段の偏向コ
イル３ｄの電流Idによる磁界Hdによつて２ｂ〜
２ｄのように偏向される。２ｂ〜２ｄのように、
偏向量が異なるように偏向されるのは、その偏向
量が偏向コイル３ｄに流れる電流Idの大きさによ
つて変わるからである。ここで各偏向コイルの巻
数をNc，Ndとすると次のような関係式が成り立
つ。
水平移動させる場合の偏向コイル３ｃ，３ｄの電
流の関係を説明するためのものである。入射電子
線２は上段の偏向コイル３ｃに流れる電流Icによ
つて発生した磁界Hcにより２ａのように偏向角
θ1で偏向される。この電子線２ａは下段の偏向コ
イル３ｄの電流Idによる磁界Hdによつて２ｂ〜
２ｄのように偏向される。２ｂ〜２ｄのように、
偏向量が異なるように偏向されるのは、その偏向
量が偏向コイル３ｄに流れる電流Idの大きさによ
つて変わるからである。ここで各偏向コイルの巻
数をNc，Ndとすると次のような関係式が成り立
つ。
θ1∝Hc∝Ic・Nc ……(1)
Hd∝−Id・Nd ……(2)
(2)式において負の符号がつくのは磁界が逆向き
であることを意味する。
であることを意味する。
偏向された電子線２ｄのように電子線を水平移
動させる（第２図においては、距離Δxだけ移動
させる）ためには、偏向コイル３ｃによつて偏向
角θ1だけ偏向された電子線２ａを偏向コイル３ｄ
によつて逆の方向に同じ偏向角θ1だけ偏向すると
よい。従つて、式(1)と式(2)より次のような条件が
成り立つ。
動させる（第２図においては、距離Δxだけ移動
させる）ためには、偏向コイル３ｃによつて偏向
角θ1だけ偏向された電子線２ａを偏向コイル３ｄ
によつて逆の方向に同じ偏向角θ1だけ偏向すると
よい。従つて、式(1)と式(2)より次のような条件が
成り立つ。
Ic・Nc＝−Id・Nd ……(3)
上記(3)式より偏向コイル３ｃと３ｄに流れる電
流の比を次式に満たすように一定にすれば、電子
線を水平移動できる。
流の比を次式に満たすように一定にすれば、電子
線を水平移動できる。
Id／Ic＝−Nc／Nd ……(4)
また偏向された電子線２ｃのように偏向角θ2で
試料５に入射させるためには、偏向コイル３ｃに
よつてθ1だけ偏向された電子線２ａを偏向コイル
３ｄによつてθ1＋θ2の偏向角になるように偏向す
ればよい。式(1)、式(2)と同様に(5)、(6)式が成り立
つ。
試料５に入射させるためには、偏向コイル３ｃに
よつてθ1だけ偏向された電子線２ａを偏向コイル
３ｄによつてθ1＋θ2の偏向角になるように偏向す
ればよい。式(1)、式(2)と同様に(5)、(6)式が成り立
つ。
θ1∝Ic・Nc ……(5)
θ1＋θ2∝−Id・Nd ……(6)
また、通常、θ1，θ2は非常に小さく、θtanθ
と近似できるのでΔxは式(7)、(8)のように近似で
きる。
と近似できるのでΔxは式(7)、(8)のように近似で
きる。
Δxl1・θ1 ……(7)
Δxl2・θ2 ……(8)
式(5)〜(8)より、電子線を２ｃのように傾斜させ
るための偏向コイル３ａ，３ｄの電流比は(9)式の
ようになる。
るための偏向コイル３ａ，３ｄの電流比は(9)式の
ようになる。
Id／Ic＝−Nc／Nd（l2／l1＋１） ……(9)
すなわち式(9)で表わされる電流比を満たすよう
にすれば、電子線を傾斜することができる。
にすれば、電子線を傾斜することができる。
次に電子線を傾斜したままで水平移動するに
は、傾斜している状態のそれぞれの電流値Ic，Id
に(4)式を満たすような電流比（ΔId／ΔIc＝−Nc／Nd
）の 電流を加算すればよい。同様に水平移動したまま
で、電子線を傾斜させるには、水平移動している
状態の電流値Ic，Idに(9)式を満たす電流比でΔIcと
ΔIdを加算する。
は、傾斜している状態のそれぞれの電流値Ic，Id
に(4)式を満たすような電流比（ΔId／ΔIc＝−Nc／Nd
）の 電流を加算すればよい。同様に水平移動したまま
で、電子線を傾斜させるには、水平移動している
状態の電流値Ic，Idに(9)式を満たす電流比でΔIcと
ΔIdを加算する。
つまり偏向コイル３ｃにはIc＋ΔIcなる電流が、
偏向コイル３ｄにはId＋ΔIdなる電流が流れΔIc，
ΔIdの間にはΔId／ΔIc＝−Nc／Nd（l2／l1＋１）なる
電流比 の関係が成り立つている。
偏向コイル３ｄにはId＋ΔIdなる電流が流れΔIc，
ΔIdの間にはΔId／ΔIc＝−Nc／Nd（l2／l1＋１）なる
電流比 の関係が成り立つている。
そこで、第１図において入力機器１３ａより電
子線偏向器３ａを用いて電子線を傾斜させる情報
が入つたら、これをその変化量に対して予め決め
られた電流比になるように振り分ける。そして現
在のそれぞれのコイル電流に振り分けた量を加算
して、Ｄ／Ａ変換器９ａ，９ｄを介しそれぞれの
コイルに電流を流す。さらにこの状態で１３ｂよ
り電子線を水平移動させる情報が入つたとき、傾
斜の場合と同様に予め決められた電流比になるよ
うに電流を振り分けコイルに電流を流せば傾斜さ
せたまま水平移動することができる。
子線偏向器３ａを用いて電子線を傾斜させる情報
が入つたら、これをその変化量に対して予め決め
られた電流比になるように振り分ける。そして現
在のそれぞれのコイル電流に振り分けた量を加算
して、Ｄ／Ａ変換器９ａ，９ｄを介しそれぞれの
コイルに電流を流す。さらにこの状態で１３ｂよ
り電子線を水平移動させる情報が入つたとき、傾
斜の場合と同様に予め決められた電流比になるよ
うに電流を振り分けコイルに電流を流せば傾斜さ
せたまま水平移動することができる。
電子線偏向器３ｂに対しても上述と同様に１３
ｃ，１３ｄより電子線を傾斜・水平移動できる。
以上の説明では電子線の偏向方向を一次元的に述
べてきたが、例えば電子線偏向器３ａとは異なる
方向に偏向する偏向器を第１図と同様な構成をし
て配置すれば、どのような方向にも電子線を傾
斜・水平移動できる。また走査電子像を観察する
ために、電子線を走査させることも第１図のよう
な構成でできることは明らかである。
ｃ，１３ｄより電子線を傾斜・水平移動できる。
以上の説明では電子線の偏向方向を一次元的に述
べてきたが、例えば電子線偏向器３ａとは異なる
方向に偏向する偏向器を第１図と同様な構成をし
て配置すれば、どのような方向にも電子線を傾
斜・水平移動できる。また走査電子像を観察する
ために、電子線を走査させることも第１図のよう
な構成でできることは明らかである。
第３図も本発明の実施例の一つである。第３図
において、ボリユームVR１からの信号電圧を偏
向コイル３ｃと３ｄにK1：K4の比の電流に加算
器１４ａ，１４ｂを介して振り分けるように構成
したものである。ここでK1：K4の比は電子線を
水平移動させるための定数である。電子線を傾斜
させるには同様にボリユームVR２から行なうこ
とができる。また、電子線の走査は第３図に示す
ように発振器１５の出力を予め決められたK3：
K6の比で偏向コイル３ｃと３ｄに電流を振り分
けると行なうことができる。第３図も第１図と同
様に一次元の方向のみ偏向するような構成になつ
ているので、第３図と同一構成で、偏向コイルの
磁界方向を第３図のコイル３ｃと３ｄと異なる方
向に配置すれば、あらゆる方向に傾斜・水平移動
することができ、走査電子像を観察するための電
子線走査をすることができる。
において、ボリユームVR１からの信号電圧を偏
向コイル３ｃと３ｄにK1：K4の比の電流に加算
器１４ａ，１４ｂを介して振り分けるように構成
したものである。ここでK1：K4の比は電子線を
水平移動させるための定数である。電子線を傾斜
させるには同様にボリユームVR２から行なうこ
とができる。また、電子線の走査は第３図に示す
ように発振器１５の出力を予め決められたK3：
K6の比で偏向コイル３ｃと３ｄに電流を振り分
けると行なうことができる。第３図も第１図と同
様に一次元の方向のみ偏向するような構成になつ
ているので、第３図と同一構成で、偏向コイルの
磁界方向を第３図のコイル３ｃと３ｄと異なる方
向に配置すれば、あらゆる方向に傾斜・水平移動
することができ、走査電子像を観察するための電
子線走査をすることができる。
以上説明したように、傾斜、水平移動、走査な
どの機能ごとに独立したコイルを設ける必要がな
く、これらの機能を１組のコイルのみでなしとげ
ることができる。したがつてコイル間の相互作用
による悪影響をなくすことができ、電子線偏向器
の性能を著しく向上させることができる。また機
能ごとのコイルを必要としないため、コイルやそ
の供給電源を減少することができ、信頼性が向上
し、かつ経済的にも効果が大きいものである。
どの機能ごとに独立したコイルを設ける必要がな
く、これらの機能を１組のコイルのみでなしとげ
ることができる。したがつてコイル間の相互作用
による悪影響をなくすことができ、電子線偏向器
の性能を著しく向上させることができる。また機
能ごとのコイルを必要としないため、コイルやそ
の供給電源を減少することができ、信頼性が向上
し、かつ経済的にも効果が大きいものである。
第４図は、入力信号を独立な２方向に磁界を発
生する各コイルに振り分けるように構成したもの
で、入力信号による電子線の偏向方向を任意に設
定可能とした本発明の更にもう一つの実施例を示
す。例えばVR１からの信号はK1とK4の比で傾斜
できるように設定してあるとすれば、次段の加算
器の比を変えることにより、Ｘ方向にもＹ方向に
も傾斜することができる。これば、上下２段のコ
イルがＺ軸に関して回転し位置が合わない場合、
コイルの位置合わせをせず、ただ、加算器の比の
みを変えることで調整できる。従つてコイルの位
置調整に要した労力をなくすことができ、その効
果は大である。
生する各コイルに振り分けるように構成したもの
で、入力信号による電子線の偏向方向を任意に設
定可能とした本発明の更にもう一つの実施例を示
す。例えばVR１からの信号はK1とK4の比で傾斜
できるように設定してあるとすれば、次段の加算
器の比を変えることにより、Ｘ方向にもＹ方向に
も傾斜することができる。これば、上下２段のコ
イルがＺ軸に関して回転し位置が合わない場合、
コイルの位置合わせをせず、ただ、加算器の比の
みを変えることで調整できる。従つてコイルの位
置調整に要した労力をなくすことができ、その効
果は大である。
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、通常用いられている電子線偏向器におけるよ
うな相互インダクタンスにもとづく相互作用の問
題が生じない電子線偏向装置が提供される。
ば、通常用いられている電子線偏向器におけるよ
うな相互インダクタンスにもとづく相互作用の問
題が生じない電子線偏向装置が提供される。
第１図は本発明の一実施例の電子線偏向装置を
含む電子顕微鏡の概念図、第２図は本発明の偏向
原理を説明するための図、第３図は本発明のもう
一つの実施例を示す電子線偏向装置のブロツク
図、第４図は本発明の更にもう一つの実施例を示
す電子線偏向器のブロツク図である。 ３……電子線偏向コイル、４……照射レンズ
系、６……結像レンズ系、８……電子線偏向コイ
ル用電源、９……Ｄ／Ａ変換器、１１……マイク
ロ・プロセツサ、１２……インターフエイス、１
３……入力用機器、１４……加算器、１５……発
振器。
含む電子顕微鏡の概念図、第２図は本発明の偏向
原理を説明するための図、第３図は本発明のもう
一つの実施例を示す電子線偏向装置のブロツク
図、第４図は本発明の更にもう一つの実施例を示
す電子線偏向器のブロツク図である。 ３……電子線偏向コイル、４……照射レンズ
系、６……結像レンズ系、８……電子線偏向コイ
ル用電源、９……Ｄ／Ａ変換器、１１……マイク
ロ・プロセツサ、１２……インターフエイス、１
３……入力用機器、１４……加算器、１５……発
振器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 独立な磁界を発生するコイルを上下２段に配
置した一組のコイルを電子線軸の周りに配置し、
外部からの水平移動、傾斜、及び走査の偏向量に
対応する信号を前記上下２段のコイルに夫々振り
分けて供給し、前記電子線の水平移動、傾斜、走
査を前記一組のコイルで行うように構成したこと
を特徴とする電子線偏向器。 ２ 独立な２方向へ磁界を発生する２個のコイル
を夫々上下２段に配置した一組のコイルを電子線
軸の周りに配置し、外部からの水平移動、傾斜、
及び走査の偏向量に対応する信号を前記上下２段
のコイルに夫々振り分けて供給し、前記電子線の
水平移動、傾斜、走査を前記一組のコイルで行う
ように構成したことを特徴とする電子線偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17462882A JPS5966044A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 電子線偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17462882A JPS5966044A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 電子線偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5966044A JPS5966044A (ja) | 1984-04-14 |
| JPH0418667B2 true JPH0418667B2 (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=15981913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17462882A Granted JPS5966044A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 電子線偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5966044A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4587464A (en) * | 1984-06-29 | 1986-05-06 | International Business Machines Corporation | Electron beam control system |
| JPS62112845U (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-18 | ||
| KR101145232B1 (ko) | 2007-05-14 | 2012-05-24 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 유압식 쇼크 업소버 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5620663A (en) * | 1979-05-09 | 1981-02-26 | Brueckner Apparatebau Gmbh | Moisturing treatment apparatus of twisted wire like fabric material |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17462882A patent/JPS5966044A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5620663A (en) * | 1979-05-09 | 1981-02-26 | Brueckner Apparatebau Gmbh | Moisturing treatment apparatus of twisted wire like fabric material |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5966044A (ja) | 1984-04-14 |
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