JPS5966044A - 電子線偏向器 - Google Patents
電子線偏向器Info
- Publication number
- JPS5966044A JPS5966044A JP17462882A JP17462882A JPS5966044A JP S5966044 A JPS5966044 A JP S5966044A JP 17462882 A JP17462882 A JP 17462882A JP 17462882 A JP17462882 A JP 17462882A JP S5966044 A JPS5966044 A JP S5966044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- coils
- deflector
- deflection
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電子Ｒｔｉ微鐘において用いられるのに好適な
市５子線偏向器に関するものである。
市５子線偏向器に関するものである。
亀子ｕＣ１微精にｊ、・ける電子線偏向器に妊、主に光
：ｌｌ＋を調整する目的のものと走査１象を観、察−す
るために′ｆｌｉ１子線を走査させる目的のものがある
。これらの′１１．子糾偏向器はそれぞれ複数のコイル
から構成さＪｌていて、市、子線′ｆ：傾斜および水平
移動させ、またその両方を絹合わせ周期的に偏向させる
走査の機能を有している。
：ｌｌ＋を調整する目的のものと走査１象を観、察−す
るために′ｆｌｉ１子線を走査させる目的のものがある
。これらの′１１．子糾偏向器はそれぞれ複数のコイル
から構成さＪｌていて、市、子線′ｆ：傾斜および水平
移動させ、またその両方を絹合わせ周期的に偏向させる
走査の機能を有している。
通常の１↓（子線偏向器でしょ傾斜、水平移動、走査の
機能ごとに独立なコイルを設けて同一のコア上に多重巻
きにするかまたは互いに近接した位（１ｑに配萄、シ、
−組の電子線偏向器全構成してい、乙。その理由は、名
コイルを互いに独立なコア上に巻くと一組の電子線偏向
器それ自体が大きくなり軍、子顕微鐘装置自体も太きく
なるので、これを防止するためできる限り電子線偏向器
の空間占有率を／Ｊ％さくしようとするからである。
機能ごとに独立なコイルを設けて同一のコア上に多重巻
きにするかまたは互いに近接した位（１ｑに配萄、シ、
−組の電子線偏向器全構成してい、乙。その理由は、名
コイルを互いに独立なコア上に巻くと一組の電子線偏向
器それ自体が大きくなり軍、子顕微鐘装置自体も太きく
なるので、これを防止するためできる限り電子線偏向器
の空間占有率を／Ｊ％さくしようとするからである。
しかし、虚数のコイルを多重巻きしたり、近接して配置
するとコイル間の相互インダクタンスにもとづく相互作
用により各コイルは〃、いに悪影響を及ぼし合うという
問題がある。例えば、水５Ｆ４多動・傾斜用の各コイル
に流れる゛電流は直流成分だけであるが、走査コイルに
は鋸歯状波の交流成分を含んだ電流が流れるので、相互
作用により水平移動、傾斜用の各コイルには上記鋸歯状
波の交流成分と同期した交流成分と直流成分を重畳した
電流が流れるようになる。これｒＪ、走査コイル側から
すれは、水平移＋肋、傾斜用コイルがインダクタンスの
ある負荷と見なすことができる。この結果、走査コイル
に流れる鋸歯状）ｉ、流の波形が歪み、走査像がφむと
いう悪い結果をもたらす。
するとコイル間の相互インダクタンスにもとづく相互作
用により各コイルは〃、いに悪影響を及ぼし合うという
問題がある。例えば、水５Ｆ４多動・傾斜用の各コイル
に流れる゛電流は直流成分だけであるが、走査コイルに
は鋸歯状波の交流成分を含んだ電流が流れるので、相互
作用により水平移動、傾斜用の各コイルには上記鋸歯状
波の交流成分と同期した交流成分と直流成分を重畳した
電流が流れるようになる。これｒＪ、走査コイル側から
すれは、水平移＋肋、傾斜用コイルがインダクタンスの
ある負荷と見なすことができる。この結果、走査コイル
に流れる鋸歯状）ｉ、流の波形が歪み、走査像がφむと
いう悪い結果をもたらす。
本発明の目的ｌ」、前述した相互インダクタンスにく
もとづｌ相互作用の問題が生じガい量子線偏向器ケ枦供
することにある。
することにある。
本発明は、傾斜、水平移動、走査の機能ごとにコイルを
有しないで、独立な２方向へ磁ｙ？ヲ発生する２つのコ
イルケそれぞれ上下２段に配ＩＮシた一組のコイルのみ
で電子線の傾斜、水平移動、走査を選択的に行うように
構成したものである。
有しないで、独立な２方向へ磁ｙ？ヲ発生する２つのコ
イルケそれぞれ上下２段に配ＩＮシた一組のコイルのみ
で電子線の傾斜、水平移動、走査を選択的に行うように
構成したものである。
第１図は本発明の一実施例を示す。電子銃１より出た電
子線２は川、子線偏向器３ａにより照射レンズ系４の光
軸と合ように偏向され、照射レンズ系４に入る。照射レ
ンズ系４によって収束された電子線は＊、子線偏向器３
１）により結像レンズ系６の光軸と合うように偏向され
試料５をｊ（へ射する。
子線２は川、子線偏向器３ａにより照射レンズ系４の光
軸と合ように偏向され、照射レンズ系４に入る。照射レ
ンズ系４によって収束された電子線は＊、子線偏向器３
１）により結像レンズ系６の光軸と合うように偏向され
試料５をｊ（へ射する。
試料５を透過した電子線は結像レンズ系６によって拡大
され螢光板７上に俊終像を結ぶ。′１°（′１．子線偏
向器３ａ、３Ｍ）電ｉ’１Ｍ８８〜８ ｄｌｄｌ）／Ａ
変換器９ａ〜９ｄｉ介して、マイクロ・プロセッサ１１
により制呻される。電子偏向器３Ｒ，３ｂの偏向量を入
力するだめの入力機器１３８〜１３ｄ（例えばロータリ
エンコーダ等）より、偏向量に関する情報をインターフ
ェイス１２８〜１２ｄｉ介してマイクロ・プロセッサ１
１に取込むようになっている。入力機器１３８〜ｉ３ｂ
は電子線偏向器３ａに関する偏向量を入力するためのも
ので、１３ａは電子線を傾斜’ｉ、１３ｔ）は水平移１
ｉｉｊをさせるためのものである。また入力機器１３ｃ
〜１３ｄは電子線偏向器３１）に関する偏向ら＋を入力
するためのもので、それぞれ前胴、水平移動子させるた
めのものである。
され螢光板７上に俊終像を結ぶ。′１°（′１．子線偏
向器３ａ、３Ｍ）電ｉ’１Ｍ８８〜８ ｄｌｄｌ）／Ａ
変換器９ａ〜９ｄｉ介して、マイクロ・プロセッサ１１
により制呻される。電子偏向器３Ｒ，３ｂの偏向量を入
力するだめの入力機器１３８〜１３ｄ（例えばロータリ
エンコーダ等）より、偏向量に関する情報をインターフ
ェイス１２８〜１２ｄｉ介してマイクロ・プロセッサ１
１に取込むようになっている。入力機器１３８〜ｉ３ｂ
は電子線偏向器３ａに関する偏向量を入力するためのも
ので、１３ａは電子線を傾斜’ｉ、１３ｔ）は水平移１
ｉｉｊをさせるためのものである。また入力機器１３ｃ
〜１３ｄは電子線偏向器３１）に関する偏向ら＋を入力
するためのもので、それぞれ前胴、水平移動子させるた
めのものである。
第２図は電子線偏向器により、電子線を傾斜、水平移動
させる場合の偏向コイル３ｃ、３ｄの電流の関係を説明
するためのものである。入射゛電子線２は上段の偏向コ
イル３Ｃに流れる電流ｌｃによって発生した磁界Ｈｂ・
により２ａのように偏向角θ、で偏向される。この電子
線２ａは下段の偏向コイル３ｄの電流ニーによる磁界Ｈ
ａによって２ｂ〜２ｄのように偏向される。２ｂ〜２ｄ
のように、偏向量が異なるように偏向されるのは、その
偏向量が偏向コイル３ｄに流れる電流１ａの大〜さによ
って変わるからである。ここで各偏向コイルの巻数’５
Ｎ、、Ｎａとすると次のような関係式が成り立つ。
させる場合の偏向コイル３ｃ、３ｄの電流の関係を説明
するためのものである。入射゛電子線２は上段の偏向コ
イル３Ｃに流れる電流ｌｃによって発生した磁界Ｈｂ・
により２ａのように偏向角θ、で偏向される。この電子
線２ａは下段の偏向コイル３ｄの電流ニーによる磁界Ｈ
ａによって２ｂ〜２ｄのように偏向される。２ｂ〜２ｄ
のように、偏向量が異なるように偏向されるのは、その
偏向量が偏向コイル３ｄに流れる電流１ａの大〜さによ
って変わるからである。ここで各偏向コイルの巻数’５
Ｎ、、Ｎａとすると次のような関係式が成り立つ。
θ、ＯＣＨ，代１．−Ｎ、 ・・・・・・
・・・（１）Ｈ，ｔ ｃ）ｃ−１，ａ −Ｎａ
・−・・・−・−（２）（２）式において負
の符号がつくのは磁界が逆向きであることを意味する。
・・・（１）Ｈ，ｔ ｃ）ｃ−１，ａ −Ｎａ
・−・・・−・−（２）（２）式において負
の符号がつくのは磁界が逆向きであることを意味する。
偏向された電子線２ｄのように電子線を水平移動させる
（第２図においては、距離ΔＸだけ移動させる）ために
は、偏向コイル３Ｃによって偏向角θ、たけ偏向された
電子線２ａｌ偏向コイル３ｄによって逆の方向に同じ偏
向角θ、だけ偏向するとよい。従って、式（１）と式（
２）より次のよう力条件が成り立つ。
（第２図においては、距離ΔＸだけ移動させる）ために
は、偏向コイル３Ｃによって偏向角θ、たけ偏向された
電子線２ａｌ偏向コイル３ｄによって逆の方向に同じ偏
向角θ、だけ偏向するとよい。従って、式（１）と式（
２）より次のよう力条件が成り立つ。
■。・Ｎ−＝ Ｌ −Ｎａ ・・・・・・
・・・（３）上記（３）式より偏向コイル３Ｃと３ｄに
流れる電流の比ケ次式を満たすように一定にすれば、電
イ・線を水平移動できる。
・・・（３）上記（３）式より偏向コイル３Ｃと３ｄに
流れる電流の比ケ次式を満たすように一定にすれば、電
イ・線を水平移動できる。
また偏向された電子線２Ｃのように傾斜角θ２で試料５
に入射させるためには、偏向コイル３Ｃによってθ、だ
け偏向された電子、ｉ２ａ’Ｔｈ偏向コイル３ｄによっ
てθ１」−〇、の偏向角になるように偏向すればよい。
に入射させるためには、偏向コイル３Ｃによってθ、だ
け偏向された電子、ｉ２ａ’Ｔｈ偏向コイル３ｄによっ
てθ１」−〇、の偏向角になるように偏向すればよい。
式（１）９式（２）と同様に（５）、 （６）式が成り
立つ。
立つ。
θ、■■。・叱 ・・・・・・・・・（
５）θ１＋θ、ｏｃ−ニー・Ｎ＋ ・
・・・・・・・・（６）また、通常、θ１．θ、は非富
に小さく、θΣｔａｎθと近似できるのでΔＸは式（７
）、 （８）のように近似できる。
５）θ１＋θ、ｏｃ−ニー・Ｎ＋ ・
・・・・・・・・（６）また、通常、θ１．θ、は非富
に小さく、θΣｔａｎθと近似できるのでΔＸは式（７
）、 （８）のように近似できる。
Δｘさ弯・θ、 ・・・・・・・・・
（７）ΔＸ−＝ｅ２ ・θ、 ・・団・
山（８）式（５）〜（８）ヨリ、′？１）１子線を２ｃ
のように傾斜させるだめの偏向コイル３ｃ、３ｄの電流
比に１（９）式のようになる。
（７）ΔＸ−＝ｅ２ ・θ、 ・・団・
山（８）式（５）〜（８）ヨリ、′？１）１子線を２ｃ
のように傾斜させるだめの偏向コイル３ｃ、３ｄの電流
比に１（９）式のようになる。
すなわち式（９）で表わされる′雨、流比を瀦たすよう
にすれば、′Ｎ￥、子線を傾斜することができる。
にすれば、′Ｎ￥、子線を傾斜することができる。
次ｔこ′１ｉｊ子線を傾斜したままで水平移動するには
、傾斜しでいる状態のそれぞれの雷１流値■。、 Ｉ
ｄ電流を加算すればよい。同様に水平移Ｍｊシたままで
、市子線全傾斜させるには、水平移動している状態の電
流値Ｉｅ＋Ｉｄに（９）式を満たす電流比でΔ■。とΔ
ｌｄを加算する。
、傾斜しでいる状態のそれぞれの雷１流値■。、 Ｉ
ｄ電流を加算すればよい。同様に水平移Ｍｊシたままで
、市子線全傾斜させるには、水平移動している状態の電
流値Ｉｅ＋Ｉｄに（９）式を満たす電流比でΔ■。とΔ
ｌｄを加算する。
つまり偏向コイル３ｃＫは１．十Δ■。なる電流が、偏
向コイル３ｄＫけＩａ＋ΔＩａなる電流」−１）なる電
流比の関係が成り立っｆいる。
向コイル３ｄＫけＩａ＋ΔＩａなる電流」−１）なる電
流比の関係が成り立っｆいる。
そこで、第１図において入力機器１３ａより電子線偏向
器３ａを用いて′ｌに子線ｆ、傾斜させる情報が入った
ら、これをその変ｆヒ惜に対して予め決められた電流比
になるように振り分ける。そして現在のそれぞれのコイ
ル電流に振り分けたＭ、全加算して、Ｉ）／Ａ変換器９
ａ、９ｂｉ介しそれぞれのコイルに電流を流す。さらに
この状態で１３ｂより電子線を水平移動させる情報が入
ったとき傾斜の場合と同様に予め決められた電ｂＭ、比
になるように電流を振り分はコイルに宵１流を流せば傾
斜させたまま水平移動することができる。
器３ａを用いて′ｌに子線ｆ、傾斜させる情報が入った
ら、これをその変ｆヒ惜に対して予め決められた電流比
になるように振り分ける。そして現在のそれぞれのコイ
ル電流に振り分けたＭ、全加算して、Ｉ）／Ａ変換器９
ａ、９ｂｉ介しそれぞれのコイルに電流を流す。さらに
この状態で１３ｂより電子線を水平移動させる情報が入
ったとき傾斜の場合と同様に予め決められた電ｂＭ、比
になるように電流を振り分はコイルに宵１流を流せば傾
斜させたまま水平移動することができる。
電子線偏向器３ｂに対しても上述と同様に１３６゜１３
ｄより電子線を傾斜・水平移動できる。以上の説明では
電子線の偏向方向を一次元的に述べてきたが、例えば電
子線偏向器３ａどは異なる方向に偏向する偏向器を第１
図と同様な構成、をして配置すれば、どのような方向に
も電子線を傾斜・水平移動できる。また走査電子像を観
察するために、電子線を走査させることも第１図のよう
な構成でできることは明らかである。
ｄより電子線を傾斜・水平移動できる。以上の説明では
電子線の偏向方向を一次元的に述べてきたが、例えば電
子線偏向器３ａどは異なる方向に偏向する偏向器を第１
図と同様な構成、をして配置すれば、どのような方向に
も電子線を傾斜・水平移動できる。また走査電子像を観
察するために、電子線を走査させることも第１図のよう
な構成でできることは明らかである。
第３図も本発明の実施例の−っである。第３゜４図にふ
いて、ポリューノ、Ｖ Ｒ，ｌからの信号宙５圧ｆ偏向
コイル３ｃと３ｄにＩ＜Ｉ ：に、の比の電流に加鐘器
１１，１４ｂを介して振り分けるように構成しｆｒ−も
のである。ここでに、：Ｔ（４の比は電子Ｉ％Ｉを水平
移１助させるだめの定数である。雷、子紳を傾斜させる
には同様にボリュームＶＲ２から行なうことができる。
いて、ポリューノ、Ｖ Ｒ，ｌからの信号宙５圧ｆ偏向
コイル３ｃと３ｄにＩ＜Ｉ ：に、の比の電流に加鐘器
１１，１４ｂを介して振り分けるように構成しｆｒ−も
のである。ここでに、：Ｔ（４の比は電子Ｉ％Ｉを水平
移１助させるだめの定数である。雷、子紳を傾斜させる
には同様にボリュームＶＲ２から行なうことができる。
また、電子線の走査は第３図に′示ノーように発振器１
５０出力を予め決められた■ぐ、：ｒ＜、の比で偏向コ
イル３ｃと３ｄに電流を振り分けると行なうことができ
る。第３図も第１図と同様に一次元の方向のみ偏向する
ような構成になっているので、第３１！￥１と同一構成
で、・偏向コイルの磁界方向を第３図のコイル３ｃと３
ｄと異なる方向に配置１ｑすれば、あらゆる方向に傾斜
・水平移動することができ、走査電子像を観察するため
のη１．子線走査をすることができる。
５０出力を予め決められた■ぐ、：ｒ＜、の比で偏向コ
イル３ｃと３ｄに電流を振り分けると行なうことができ
る。第３図も第１図と同様に一次元の方向のみ偏向する
ような構成になっているので、第３１！￥１と同一構成
で、・偏向コイルの磁界方向を第３図のコイル３ｃと３
ｄと異なる方向に配置１ｑすれば、あらゆる方向に傾斜
・水平移動することができ、走査電子像を観察するため
のη１．子線走査をすることができる。
以上の説、明のような傾斜、水平移動、走査などの機能
ごとに有していたコイルは不必要であり、これらの機能
′ｆｒ：１組のコイルのみで、なしとげろことができ乙
。したがってコイル間の相互作用にょる悪影・響をなく
すことができ、電子線偏向器の性能を著しく向上させる
ことができる。また機能ごとのコイル金必要としないた
め、コイルやその供給電源を減少することができ、信頼
性が向上し７、かつ経済的にも効果が大きいものである
。
ごとに有していたコイルは不必要であり、これらの機能
′ｆｒ：１組のコイルのみで、なしとげろことができ乙
。したがってコイル間の相互作用にょる悪影・響をなく
すことができ、電子線偏向器の性能を著しく向上させる
ことができる。また機能ごとのコイル金必要としないた
め、コイルやその供給電源を減少することができ、信頼
性が向上し７、かつ経済的にも効果が大きいものである
。
第４図は、入力信号を独立な２方向に磁界全発生する各
コイルに振り分けるように構成したもので、入力信号に
よる″Ｉ４５１子線の偏向方向を任意に設定可能とした
本発明更にもう一つの実施例を示す。
コイルに振り分けるように構成したもので、入力信号に
よる″Ｉ４５１子線の偏向方向を任意に設定可能とした
本発明更にもう一つの実施例を示す。
例えばＶＲ，１からの信号ＦｉＫ 、 とに４の比で
傾斜できるように設定しであるとすれば、次段の加ｎ６
器の比を変えることにより、Ｘ方向にもＹ方向にも傾斜
することができる。とれは、上下２段のコイルがＺ軸に
関じて回転し位置が合わない鳴合、コイルの位置合わせ
をせず、ただ、加尊器の比のみを変えることでＤｆｌ整
できる。従ってコイルの位置調整に要した労力をなくす
ことができ、その効果は犬である。
傾斜できるように設定しであるとすれば、次段の加ｎ６
器の比を変えることにより、Ｘ方向にもＹ方向にも傾斜
することができる。とれは、上下２段のコイルがＺ軸に
関じて回転し位置が合わない鳴合、コイルの位置合わせ
をせず、ただ、加尊器の比のみを変えることでＤｆｌ整
できる。従ってコイルの位置調整に要した労力をなくす
ことができ、その効果は犬である。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、通常
用いられている電子線偏向装置におけるような相互イン
ダクタンスにもとづく相互作用の問題が生じない電子線
偏向装置が提供される。
用いられている電子線偏向装置におけるような相互イン
ダクタンスにもとづく相互作用の問題が生じない電子線
偏向装置が提供される。
第１図は本発明の一実癩例の電子線偏向装置を含む電子
顕微鐘の概念図、第２図は本発明の偏向１計理を説明す
るための図、第３図は本発明のもう一つの実施例を示す
軍：子線偏向装置のブロック図、第４図は本発明の唄に
もう一つの実施例を示す雷、子線偏向器のブロック図で
ある。 ３・・・電子線偏向コイル、４・・・照射レンズ系、６
・・・結像レンズ系、８・・・電子線偏向コイル用型１
源、９・・・１）／Ａ変換器、１１・・・マイクロ・グ
ロセツーリ゛、１２・・・インターフェイス、１３・・
・入力用機器、・１１？（玉Ｌ ２０６− 鳩 ３１２１ ￥ ４−刀
顕微鐘の概念図、第２図は本発明の偏向１計理を説明す
るための図、第３図は本発明のもう一つの実施例を示す
軍：子線偏向装置のブロック図、第４図は本発明の唄に
もう一つの実施例を示す雷、子線偏向器のブロック図で
ある。 ３・・・電子線偏向コイル、４・・・照射レンズ系、６
・・・結像レンズ系、８・・・電子線偏向コイル用型１
源、９・・・１）／Ａ変換器、１１・・・マイクロ・グ
ロセツーリ゛、１２・・・インターフェイス、１３・・
・入力用機器、・１１？（玉Ｌ ２０６− 鳩 ３１２１ ￥ ４−刀
Claims (1)
- １、独ケな２方向へ磁界を発生する２個のコイルを上下
２段にそれぞれ配置した金言１４個のコイルからなるコ
イル川ｔ ｒｔ電子線軸周りに配置し、外部からの入力
信号を前記上下２段のコイルに振り分けて供給するよう
に構成し、それによって前記電子線軸をノ［うる市、子
線の水平移動、傾斜、走査を選択的に行うことを特徴と
する電子線偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17462882A JPS5966044A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 電子線偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17462882A JPS5966044A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 電子線偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5966044A true JPS5966044A (ja) | 1984-04-14 |
| JPH0418667B2 JPH0418667B2 (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=15981913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17462882A Granted JPS5966044A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 電子線偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5966044A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0166399A2 (en) * | 1984-06-29 | 1986-01-02 | International Business Machines Corporation | Electron beam control system |
| JPS62112845U (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-18 | ||
| US8485326B2 (en) | 2007-05-14 | 2013-07-16 | Smc Corporation | Hydraulic shock absorber |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5620663A (en) * | 1979-05-09 | 1981-02-26 | Brueckner Apparatebau Gmbh | Moisturing treatment apparatus of twisted wire like fabric material |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17462882A patent/JPS5966044A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5620663A (en) * | 1979-05-09 | 1981-02-26 | Brueckner Apparatebau Gmbh | Moisturing treatment apparatus of twisted wire like fabric material |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0166399A2 (en) * | 1984-06-29 | 1986-01-02 | International Business Machines Corporation | Electron beam control system |
| JPS62112845U (ja) * | 1986-01-08 | 1987-07-18 | ||
| US8485326B2 (en) | 2007-05-14 | 2013-07-16 | Smc Corporation | Hydraulic shock absorber |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0418667B2 (ja) | 1992-03-27 |
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