JP3397347B2 - オメガフィルタ - Google Patents
オメガフィルタInfo
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- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 22
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 11
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、オメガフィルタに関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】電子線等の荷電粒子線のエネルギーを分
析するエネルギー分析装置のひとつとしてオメガフィル
タが知られている。その構成例を図７に示す。図７は従
来提案されているオメガフィルタの一構成例を示す図で
あり、４個のセクタ型電磁石（以下、単にセクタと称
す）１，２，３，４を備えている。そして、セクタ１と
セクタ４は磁界が同極性となるように励磁され、セクタ
２とセクタ３は磁界がセクタ１、４と反対極性となるよ
うに励磁される。例えば荷電粒子線が電子線の場合に
は、各セクタ１〜４は磁界Ｂが図に示すようになるよう
に励磁される。これによって、セクタ１に入射した荷電
粒子線、例えば電子線は略Ω字状の光軸Ｏに沿って進行
し、セクタ４から出射する。そして、セクタ４から出射
した荷電粒子線はセクタ１に入射する荷電粒子線と同一
直線状にある。なお、図７において、５は２次収差を補
正するための６極子レンズを示す。
析するエネルギー分析装置のひとつとしてオメガフィル
タが知られている。その構成例を図７に示す。図７は従
来提案されているオメガフィルタの一構成例を示す図で
あり、４個のセクタ型電磁石（以下、単にセクタと称
す）１，２，３，４を備えている。そして、セクタ１と
セクタ４は磁界が同極性となるように励磁され、セクタ
２とセクタ３は磁界がセクタ１、４と反対極性となるよ
うに励磁される。例えば荷電粒子線が電子線の場合に
は、各セクタ１〜４は磁界Ｂが図に示すようになるよう
に励磁される。これによって、セクタ１に入射した荷電
粒子線、例えば電子線は略Ω字状の光軸Ｏに沿って進行
し、セクタ４から出射する。そして、セクタ４から出射
した荷電粒子線はセクタ１に入射する荷電粒子線と同一
直線状にある。なお、図７において、５は２次収差を補
正するための６極子レンズを示す。
【０００３】このようにオメガフィルタにおいては、入
射する荷電粒子線と出射する荷電粒子線は同一直線状に
あるので、透過型電子顕微鏡等において試料を透過した
電子線のエネルギー分析を行う場合に用いられている。
射する荷電粒子線と出射する荷電粒子線は同一直線状に
あるので、透過型電子顕微鏡等において試料を透過した
電子線のエネルギー分析を行う場合に用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
オメガフィルタにおいては、４個のセクタを用いるので
構成が複雑であるという問題に加え、更に、一つ一つの
セクタを構成する磁極片の形状の設計、及びセクタ相互
の配置の調整が非常に面倒であるという問題があった。
オメガフィルタにおいては、４個のセクタを用いるので
構成が複雑であるという問題に加え、更に、一つ一つの
セクタを構成する磁極片の形状の設計、及びセクタ相互
の配置の調整が非常に面倒であるという問題があった。
【０００５】例えば、オメガフィルタに限らず、荷電粒
子線を取り扱う装置においては非点なし結像が要求され
る。そこで、図７に示されているように、各セクタの入
射口の端面を光軸Ｏに対して垂直ではなく、所定の角度
θだけ傾けている。各セクタの出射口の端面についても
同様である。そして、この端面の光軸Ｏに対する傾き角
を最適な値に設定することによって、各セクタの端面付
近（以下、これをフリンジと称す）には荷電粒子線に対
して磁界方向に収束作用を生じさせることができるの
で、非点なし結像を実現することができるのであるが、
最適な傾き角を求めることは容易なものではなく、しか
もこの傾き角は入射口と出射口では異なり、かたセクタ
毎に異なるので設計が非常に面倒なものであった。
子線を取り扱う装置においては非点なし結像が要求され
る。そこで、図７に示されているように、各セクタの入
射口の端面を光軸Ｏに対して垂直ではなく、所定の角度
θだけ傾けている。各セクタの出射口の端面についても
同様である。そして、この端面の光軸Ｏに対する傾き角
を最適な値に設定することによって、各セクタの端面付
近（以下、これをフリンジと称す）には荷電粒子線に対
して磁界方向に収束作用を生じさせることができるの
で、非点なし結像を実現することができるのであるが、
最適な傾き角を求めることは容易なものではなく、しか
もこの傾き角は入射口と出射口では異なり、かたセクタ
毎に異なるので設計が非常に面倒なものであった。
【０００６】また、一般にエネルギーフィルタにおいて
は、２次収差がないことも要求される。２次収差が生じ
ないようにするには各セクタの磁界分布が一様になるよ
うにすればよく、設計の際には一様場が形成されるよう
になされるが、実際に一様場を得ることは非常に困難で
あり、磁界分布が多少とも不均一になること、従って２
次収差が生じることは避けられないのが現実である。
は、２次収差がないことも要求される。２次収差が生じ
ないようにするには各セクタの磁界分布が一様になるよ
うにすればよく、設計の際には一様場が形成されるよう
になされるが、実際に一様場を得ることは非常に困難で
あり、磁界分布が多少とも不均一になること、従って２
次収差が生じることは避けられないのが現実である。
【０００７】そこで、２次収差の補正を行う手法の一つ
として、各セクタの端面を図７に示すように直線でな
く、２次曲面とすることが広く行われている。各セクタ
の端面を２次曲面とすることによって非点なし結像が実
現できると共に、２次収差を補正することができるので
あるが、この設計も容易なものではない。また、図７に
示すように適宜な位置に６極子レンズ５を配置して２次
収差を補正することも行われているが、構成がより複雑
になるものである。
として、各セクタの端面を図７に示すように直線でな
く、２次曲面とすることが広く行われている。各セクタ
の端面を２次曲面とすることによって非点なし結像が実
現できると共に、２次収差を補正することができるので
あるが、この設計も容易なものではない。また、図７に
示すように適宜な位置に６極子レンズ５を配置して２次
収差を補正することも行われているが、構成がより複雑
になるものである。
【０００８】このようにオメガフィルタにおいては４個
のセクタの端面が非常に重要であるだけではなく、セク
タ相互の位置関係及び各セクタの精度が非常に重大な影
響を及ぼすものであり、セクタの配置あるいは各セクタ
の調整に誤差があると、その誤差は僅かなものであって
も最終的には大きな収差を生じてしまうものである。
のセクタの端面が非常に重要であるだけではなく、セク
タ相互の位置関係及び各セクタの精度が非常に重大な影
響を及ぼすものであり、セクタの配置あるいは各セクタ
の調整に誤差があると、その誤差は僅かなものであって
も最終的には大きな収差を生じてしまうものである。
【０００９】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、簡単な構成で非点なし結像が実現でき、且つ略一
様な磁界分布を得ることができるオメガフィルタを提供
することを目的とするものである。
って、簡単な構成で非点なし結像が実現でき、且つ略一
様な磁界分布を得ることができるオメガフィルタを提供
することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１記載のオメガフィルタは、一対の平板状
磁極片が対向して配置されてなる第１のセクタ型電磁石
と、一対の平板状磁極片が対向して配置されてなり、前
記第１のセクタ型電磁石とは反対の極性に励磁される第
２のセクタ型電磁石とを備え、且つ前記第１のセクタ型
電磁石と前記第２のセクタ型電磁石が近接して配置され
てなるオメガフィルタであって、前記第１のセクタ型電
磁石及び前記第２のセクタ型電磁石の各磁極片の対向す
る面には光軸に沿って所定の傾斜が施されてなり、且つ
第１セクタ型電磁石と第２セクタ型電磁石の間隙は、各
セクタ型電磁石の磁極片間のギャップの１／２以下であ
ることを特徴とする。
めに、請求項１記載のオメガフィルタは、一対の平板状
磁極片が対向して配置されてなる第１のセクタ型電磁石
と、一対の平板状磁極片が対向して配置されてなり、前
記第１のセクタ型電磁石とは反対の極性に励磁される第
２のセクタ型電磁石とを備え、且つ前記第１のセクタ型
電磁石と前記第２のセクタ型電磁石が近接して配置され
てなるオメガフィルタであって、前記第１のセクタ型電
磁石及び前記第２のセクタ型電磁石の各磁極片の対向す
る面には光軸に沿って所定の傾斜が施されてなり、且つ
第１セクタ型電磁石と第２セクタ型電磁石の間隙は、各
セクタ型電磁石の磁極片間のギャップの１／２以下であ
ることを特徴とする。
【００１１】また、請求項２記載のオメガフィルタは、
一対の平板状磁極片が対向して配置されてなる第１のセ
クタ型電磁石と、一対の平板状磁極片が対向して配置さ
れてなり、前記第１のセクタ型電磁石とは反対の極性に
励磁される第２のセクタ型電磁石とを備え、且つ前記第
１のセクタ型電磁石と前記第２のセクタ型電磁石が近接
して配置されてなるオメガフィルタであって、前記第１
のセクタ型電磁石及び前記第２のセクタ型電磁石の各磁
極片の対向する面には光軸に沿って光軸の両側に磁界分
布を補正するためのコイルが配置されていることを特徴
とする。
一対の平板状磁極片が対向して配置されてなる第１のセ
クタ型電磁石と、一対の平板状磁極片が対向して配置さ
れてなり、前記第１のセクタ型電磁石とは反対の極性に
励磁される第２のセクタ型電磁石とを備え、且つ前記第
１のセクタ型電磁石と前記第２のセクタ型電磁石が近接
して配置されてなるオメガフィルタであって、前記第１
のセクタ型電磁石及び前記第２のセクタ型電磁石の各磁
極片の対向する面には光軸に沿って光軸の両側に磁界分
布を補正するためのコイルが配置されていることを特徴
とする。
【００１２】
【作用】請求項１記載のオメガフィルタの作用について
は次のようである。このオメガフィルタは第１のセクタ
型電磁石と、第２のセクタ型電磁石を備え、これら二つ
のセクタ型電磁石は、共に、一対の平板状磁極片が対向
して配置された構成を有しており、磁界分布は反対極性
となるように励磁される。そして、これら二つのセクタ
型電磁石は近接して配置される。また、第１のセクタ型
電磁石及び第２のセクタ型電磁石の各磁極片の対向する
面には光軸に沿って所定の傾斜が施されてなり、且つ第
１セクタ型電磁石と第２セクタ型電磁石の間隙は、各セ
クタ型電磁石の磁極片間のギャップの１／２以下となさ
れている。
は次のようである。このオメガフィルタは第１のセクタ
型電磁石と、第２のセクタ型電磁石を備え、これら二つ
のセクタ型電磁石は、共に、一対の平板状磁極片が対向
して配置された構成を有しており、磁界分布は反対極性
となるように励磁される。そして、これら二つのセクタ
型電磁石は近接して配置される。また、第１のセクタ型
電磁石及び第２のセクタ型電磁石の各磁極片の対向する
面には光軸に沿って所定の傾斜が施されてなり、且つ第
１セクタ型電磁石と第２セクタ型電磁石の間隙は、各セ
クタ型電磁石の磁極片間のギャップの１／２以下となさ
れている。
【００１３】従って、例えば荷電粒子線が第１のセクタ
型電磁石に入射されるものとすると、入射した荷電粒子
線はまず第１のセクタ型電磁石によって偏向され、第１
のセクタ型電磁石から一旦抜けて第２のセクタ型電磁石
に入り、そこで第２のセクタ型電磁石により偏向されて
略半円状の軌道で進行し、再び第１のセクタ型電磁石に
入って偏向を受け、全体的にΩ字状の軌跡を辿って第１
のセクタ型電磁石から出射するが、このとき第１及び第
２のセクタ型電磁石の各磁極片の対向する面には光軸に
沿って所定の傾斜が付けられているので、荷電粒子線は
非点を生じることなく結像される。
型電磁石に入射されるものとすると、入射した荷電粒子
線はまず第１のセクタ型電磁石によって偏向され、第１
のセクタ型電磁石から一旦抜けて第２のセクタ型電磁石
に入り、そこで第２のセクタ型電磁石により偏向されて
略半円状の軌道で進行し、再び第１のセクタ型電磁石に
入って偏向を受け、全体的にΩ字状の軌跡を辿って第１
のセクタ型電磁石から出射するが、このとき第１及び第
２のセクタ型電磁石の各磁極片の対向する面には光軸に
沿って所定の傾斜が付けられているので、荷電粒子線は
非点を生じることなく結像される。
【００１４】次に、請求項２記載のオメガフィルタの作
用については次のようである。このオメガフィルタは第
１のセクタ型電磁石と、第２のセクタ型電磁石を備え
る。そして、これら二つのセクタ型電磁石は近接して配
置される。また、これら二つのセクタ型電磁石は、共
に、一対の平板状磁極片が対向して配置された構成を有
しているが、磁界分布は反対極性となるように励磁され
る。
用については次のようである。このオメガフィルタは第
１のセクタ型電磁石と、第２のセクタ型電磁石を備え
る。そして、これら二つのセクタ型電磁石は近接して配
置される。また、これら二つのセクタ型電磁石は、共
に、一対の平板状磁極片が対向して配置された構成を有
しているが、磁界分布は反対極性となるように励磁され
る。
【００１５】従って、例えば荷電粒子線が第１のセクタ
型電磁石に入射されるものとすると、入射した荷電粒子
線はまず第１のセクタ型電磁石によって偏向され、第１
のセクタ型電磁石から一旦抜けて第２のセクタ型電磁石
に入り、そこで第２のセクタ型電磁石により偏向されて
略半円状の軌道で進行し、再び第１のセクタ型電磁石に
入って偏向を受け、全体的にΩ字状の軌跡を辿って第１
のセクタ型電磁石から出射する。
型電磁石に入射されるものとすると、入射した荷電粒子
線はまず第１のセクタ型電磁石によって偏向され、第１
のセクタ型電磁石から一旦抜けて第２のセクタ型電磁石
に入り、そこで第２のセクタ型電磁石により偏向されて
略半円状の軌道で進行し、再び第１のセクタ型電磁石に
入って偏向を受け、全体的にΩ字状の軌跡を辿って第１
のセクタ型電磁石から出射する。
【００１６】そして、第１及び第２のセクタ型電磁石の
各磁極片の対向する面には光軸に沿って光軸の両側に磁
界分布を補正するためのコイルが配置されているので、
このコイルに適当な電流を流すことによって荷電粒子線
に対する収束作用を生じさせることができ、以て非点な
し結像を実現させることができる。
各磁極片の対向する面には光軸に沿って光軸の両側に磁
界分布を補正するためのコイルが配置されているので、
このコイルに適当な電流を流すことによって荷電粒子線
に対する収束作用を生じさせることができ、以て非点な
し結像を実現させることができる。
【００１７】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
図１は本発明に係るオメガフィルタの一実施例の構成を
示す断面図、図２はその平面図であり、図中、１１、１
２はセクタ、１３、１３′は磁極片、１４はヨーク、１
５、１５′はコイル、１６、１６′は磁極片、１７はヨ
ーク、１８、１８′はコイル、Ｏは光軸を示す。なお、
図２においてはヨーク１４、１７、コイル１５，１
５′，１８，１８′は省略している。また、ここでは説
明の便宜を図るために、互いに直交するｘ軸、ｙ軸を図
のようにとり、更にこれらのｘ、ｙの両軸に直交する軸
をｚ軸とする。
図１は本発明に係るオメガフィルタの一実施例の構成を
示す断面図、図２はその平面図であり、図中、１１、１
２はセクタ、１３、１３′は磁極片、１４はヨーク、１
５、１５′はコイル、１６、１６′は磁極片、１７はヨ
ーク、１８、１８′はコイル、Ｏは光軸を示す。なお、
図２においてはヨーク１４、１７、コイル１５，１
５′，１８，１８′は省略している。また、ここでは説
明の便宜を図るために、互いに直交するｘ軸、ｙ軸を図
のようにとり、更にこれらのｘ、ｙの両軸に直交する軸
をｚ軸とする。
【００１８】図１において、対向されて配置されている
一対の磁極片１３，１３′はヨーク１４で磁気的に接続
されている。そしてヨーク１４にはコイル１５，１５′
が巻回されている。これがセクタ１１である。セクタ１
２も同様であり、対向されて配置されている一対の磁極
片１６，１６′はヨーク１７で磁気的に接続されてお
り、ヨーク１７にはコイル１８，１８′が巻回されてい
る。そして、セクタ１１とセクタ１２は近接して配置さ
れるが、その間隙は各セクタ１１、１２の二つの磁極片
間のギャップの１／２以下とするのが望ましい。
一対の磁極片１３，１３′はヨーク１４で磁気的に接続
されている。そしてヨーク１４にはコイル１５，１５′
が巻回されている。これがセクタ１１である。セクタ１
２も同様であり、対向されて配置されている一対の磁極
片１６，１６′はヨーク１７で磁気的に接続されてお
り、ヨーク１７にはコイル１８，１８′が巻回されてい
る。そして、セクタ１１とセクタ１２は近接して配置さ
れるが、その間隙は各セクタ１１、１２の二つの磁極片
間のギャップの１／２以下とするのが望ましい。
【００１９】これらセクタ１１、１２は磁界が互いに反
対極性となるようにそれぞれ励磁される。例えば図に示
すように、セクタ１１においては下向きの磁界が発生さ
れるとすると、セクタ１２は上向きの磁界が発生される
ようになされる。なお、セクタ１１、１２の磁界強度は
同じであることは当然である。
対極性となるようにそれぞれ励磁される。例えば図に示
すように、セクタ１１においては下向きの磁界が発生さ
れるとすると、セクタ１２は上向きの磁界が発生される
ようになされる。なお、セクタ１１、１２の磁界強度は
同じであることは当然である。
【００２０】そして、いま荷電粒子線、例えば電子線が
セクタ１２に入射されるものとすると、セクタ１１，１
２が上記のように励磁されることによって、電子線は図
２に示すように略Ω字状の光軸Ｏに沿って進行し、セク
タ１２から出射する。このときセクタ１２に入射する電
子線と、セクタ１２から出射する電子線は同一直線状に
あることは当然である。
セクタ１２に入射されるものとすると、セクタ１１，１
２が上記のように励磁されることによって、電子線は図
２に示すように略Ω字状の光軸Ｏに沿って進行し、セク
タ１２から出射する。このときセクタ１２に入射する電
子線と、セクタ１２から出射する電子線は同一直線状に
あることは当然である。
【００２１】ここで、セクタ１２の磁極片１６、１６′
の対向する面には光軸Ｏに沿って所定の傾斜が付けられ
ている。例えば、図２のＡ−Ａ′における断面、即ち光
軸Ｏに直交する断面は図３に示すようであり、磁極片１
６、１６′の光軸Ｏに沿った部分には傾斜が付けられて
いる。このことはセクタ１１に関しても同様である。
の対向する面には光軸Ｏに沿って所定の傾斜が付けられ
ている。例えば、図２のＡ−Ａ′における断面、即ち光
軸Ｏに直交する断面は図３に示すようであり、磁極片１
６、１６′の光軸Ｏに沿った部分には傾斜が付けられて
いる。このことはセクタ１１に関しても同様である。
【００２２】以上の構成によれば、この傾斜の度合いを
適宜に選択することによって、荷電粒子線に対して磁界
方向（ｙ方向）の収束作用を生じさせることができるの
で、非点なし結像を実現させることができる。従って、
従来のように荷電粒子線の入射口の端面及び出射口の端
面を光軸Ｏに対して傾けたり、あるいは２次曲面にした
りする必要は全くなく、図２に示すようにセクタ１２に
対して垂直に入射させ、セクタ１２から垂直に出射させ
ることができる。
適宜に選択することによって、荷電粒子線に対して磁界
方向（ｙ方向）の収束作用を生じさせることができるの
で、非点なし結像を実現させることができる。従って、
従来のように荷電粒子線の入射口の端面及び出射口の端
面を光軸Ｏに対して傾けたり、あるいは２次曲面にした
りする必要は全くなく、図２に示すようにセクタ１２に
対して垂直に入射させ、セクタ１２から垂直に出射させ
ることができる。
【００２３】また、このオメガフィルタにおいては各磁
極片の面積を十分大きくとることができ、従って磁界分
布を光軸Ｏの近傍では略一様場とすることができるの
で、従来生じていた２次収差は殆ど問題とならないもの
である。
極片の面積を十分大きくとることができ、従って磁界分
布を光軸Ｏの近傍では略一様場とすることができるの
で、従来生じていた２次収差は殆ど問題とならないもの
である。
【００２４】更に、セクタ１１とセクタ１２とを近接配
置するので、セクタ１１とセクタ１２との間隙における
磁界分布は図４に示すように急峻なものとなり、いわゆ
るＳＣＯＦＦ（Sharp Cut Off Fringing Field）を容易
に実現することができる。従って、従来の４個のセクタ
を用いるオメガフィルタで問題となっていた各セクタ間
のフリンジ場の問題を解消させることができ、ひいては
セクタ間の相互配置の問題をも解消させることができ、
以てオメガフィルタの設計を従来に比較して大幅に簡易
化することができる。即ち、フリンジ場を急峻にするこ
とはオメガフィルタに限らず複数のセクタを用いる電子
光学系においては非常に重要な事項であり、このように
フリンジ場を急峻にすることによってオメガフィルタで
は各セクタを相互に関連するものとしてではなく、独立
して考えることができるのであるが、従来においてはフ
リンジ場を急峻にすることが非常に困難であり、従って
従来のオメガフィルタでは各セクタを独立したものとし
て取り扱うことができず、各セクタ相互の位置関係をも
考慮してフリンジ場を設計する必要があり、非常に難し
いものとなっていたのである。
置するので、セクタ１１とセクタ１２との間隙における
磁界分布は図４に示すように急峻なものとなり、いわゆ
るＳＣＯＦＦ（Sharp Cut Off Fringing Field）を容易
に実現することができる。従って、従来の４個のセクタ
を用いるオメガフィルタで問題となっていた各セクタ間
のフリンジ場の問題を解消させることができ、ひいては
セクタ間の相互配置の問題をも解消させることができ、
以てオメガフィルタの設計を従来に比較して大幅に簡易
化することができる。即ち、フリンジ場を急峻にするこ
とはオメガフィルタに限らず複数のセクタを用いる電子
光学系においては非常に重要な事項であり、このように
フリンジ場を急峻にすることによってオメガフィルタで
は各セクタを相互に関連するものとしてではなく、独立
して考えることができるのであるが、従来においてはフ
リンジ場を急峻にすることが非常に困難であり、従って
従来のオメガフィルタでは各セクタを独立したものとし
て取り扱うことができず、各セクタ相互の位置関係をも
考慮してフリンジ場を設計する必要があり、非常に難し
いものとなっていたのである。
【００２５】以上、本発明の一実施例について説明した
が、次に図５、図６を参照して他の実施例について説明
する。なお、上記実施例と同等のものについては図１と
同じ符号を付す。
が、次に図５、図６を参照して他の実施例について説明
する。なお、上記実施例と同等のものについては図１と
同じ符号を付す。
【００２６】この実施例では非点なし結像を実現する手
段だけが上述した実施例とは異なっている。即ち、全体
的な構成は図１に示すと同様であり、二つのセクタが近
接して配置されること、及び荷電粒子線が図２に示す光
軸Ｏに沿って進行することは上記実施例と同じである
が、二つのセクタ１１、１２の磁極片１３、１３′及び
１６、１６′は全て平板である点、その対向する面の光
軸Ｏに沿って光軸Ｏの両側にコイルが設けられる点で上
記実施例と異なっている。
段だけが上述した実施例とは異なっている。即ち、全体
的な構成は図１に示すと同様であり、二つのセクタが近
接して配置されること、及び荷電粒子線が図２に示す光
軸Ｏに沿って進行することは上記実施例と同じである
が、二つのセクタ１１、１２の磁極片１３、１３′及び
１６、１６′は全て平板である点、その対向する面の光
軸Ｏに沿って光軸Ｏの両側にコイルが設けられる点で上
記実施例と異なっている。
【００２７】即ち、セクタ１１の磁極片１３の磁極片１
３′と対向する面においては光軸Ｏに沿って、光軸Ｏの
両側にループ状コイル２１、２２及び２３、２４が設け
られている。磁極片１３′についても同様である。同様
にセクタ１２の磁極片１６の磁極片１６′と対向する面
においては光軸Ｏに沿って、光軸Ｏの両側にループ状コ
イル２５、２６及び２７、２８が設けられている。磁極
片１６′についても同様である。そして、これらのコイ
ルは、荷電粒子線に対してｙ方向に収束作用が生じるよ
うに励磁される。例えば、図２のＡ−Ａ′に相当する断
面及びコイルによる磁界分布は図６に示すようになる。
なお、図６において、２５′、２６′は、磁極片１６に
設けられるコイル２５、２６に対向して磁極片１６′に
設けられるコイルを示す。
３′と対向する面においては光軸Ｏに沿って、光軸Ｏの
両側にループ状コイル２１、２２及び２３、２４が設け
られている。磁極片１３′についても同様である。同様
にセクタ１２の磁極片１６の磁極片１６′と対向する面
においては光軸Ｏに沿って、光軸Ｏの両側にループ状コ
イル２５、２６及び２７、２８が設けられている。磁極
片１６′についても同様である。そして、これらのコイ
ルは、荷電粒子線に対してｙ方向に収束作用が生じるよ
うに励磁される。例えば、図２のＡ−Ａ′に相当する断
面及びコイルによる磁界分布は図６に示すようになる。
なお、図６において、２５′、２６′は、磁極片１６に
設けられるコイル２５、２６に対向して磁極片１６′に
設けられるコイルを示す。
【００２８】以上の構成によれば、これら磁極片に設け
られたコイルに供給する電流値を調整することによっ
て、荷電粒子線に対してｙ方向の収束作用を生じさせる
ことができるので、非点なし結像を実現させることがで
きる。従って、上記の実施例と同様にセクタ１２に対し
て垂直に入射させ、セクタ１２から垂直に出射させるこ
とができる。また、２次収差が殆ど問題にならないこ
と、及びＳＣＯＦＦを容易に実現することができ、以て
設計が容易であることは上記実施例と同様である。
られたコイルに供給する電流値を調整することによっ
て、荷電粒子線に対してｙ方向の収束作用を生じさせる
ことができるので、非点なし結像を実現させることがで
きる。従って、上記の実施例と同様にセクタ１２に対し
て垂直に入射させ、セクタ１２から垂直に出射させるこ
とができる。また、２次収差が殆ど問題にならないこ
と、及びＳＣＯＦＦを容易に実現することができ、以て
設計が容易であることは上記実施例と同様である。
【００２９】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能であることは当業者に明かである。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能であることは当業者に明かである。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、従来に比較して簡単な構造で非点なし結像を
実現できるばかりでなく、２次収差の問題も生じないも
のであり、しかもＳＣＯＦＦを容易に実現できるので、
設計の負担は大幅に緩和されるものである。
によれば、従来に比較して簡単な構造で非点なし結像を
実現できるばかりでなく、２次収差の問題も生じないも
のであり、しかもＳＣＯＦＦを容易に実現できるので、
設計の負担は大幅に緩和されるものである。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 図１に示す構成の平面図である。
【図３】 図２のＡ−Ａ′における断面図である。
【図４】 二つのセクタ型電磁石の間隙における磁界分
布の例を示す図である。
布の例を示す図である。
【図５】 本発明の他の実施例を示す図である。
【図６】 図５に示す実施例において、図２のＡ−Ａ′
に相当する断面及びコイルによる磁界分布の例を示す図
である。
に相当する断面及びコイルによる磁界分布の例を示す図
である。
【図７】 従来のオメガフィルタの構成例を示す図であ
る。
る。
１１、１２…セクタ、１３、１３′…磁極片、１４…ヨ
ーク、１５、１５′…コイル、１６、１６′…磁極片、
１７…ヨーク、１８、１８′…コイル、Ｏ…光軸。
ーク、１５、１５′…コイル、１６、１６′…磁極片、
１７…ヨーク、１８、１８′…コイル、Ｏ…光軸。
─────────────────────────────────────────────────────
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(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 49/44 - 49/48
H01J 37/05
H01J 37/26
Claims (2)
- 【請求項１】一対の平板状磁極片が対向して配置されて
なる第１のセクタ型電磁石と、 一対の平板状磁極片が対向して配置されてなり、前記第
１のセクタ型電磁石とは反対の極性に励磁される第２の
セクタ型電磁石とを備え、 且つ前記第１のセクタ型電磁石と前記第２のセクタ型電
磁石が近接して配置されてなるオメガフィルタであっ
て、 前記第１のセクタ型電磁石及び前記第２のセクタ型電磁
石の各磁極片の対向する面には光軸に沿って所定の傾斜
が施されてなり、且つ第１セクタ型電磁石と第２セクタ
型電磁石の間隙は、各セクタ型電磁石の磁極片間のギャ
ップの１／２以下であることを特徴とするオメガフィル
タ。 - 【請求項２】 一対の平板状磁極片が対向して配置され
てなる第１のセクタ型電磁石と、一対の平板状磁極片が
対向して配置されてなり、前記第１のセクタ型電磁石と
は反対の極性に励磁される第２のセクタ型電磁石とを備
え、且つ前記第１のセクタ型電磁石と前記第２のセクタ
型電磁石が近接して配置されてなるオメガフィルタであ
って、前記第１のセクタ型電磁石及び前記第２のセクタ
型電磁石の各磁極片の対向する面には光軸に沿って光軸
の両側に磁界分布を補正するためのコイルが配置されて
いることを特徴とするオメガフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31691792A JP3397347B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | オメガフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31691792A JP3397347B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | オメガフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06162977A JPH06162977A (ja) | 1994-06-10 |
| JP3397347B2 true JP3397347B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=18082358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31691792A Expired - Fee Related JP3397347B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | オメガフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3397347B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69529987T2 (de) * | 1994-07-15 | 2004-01-15 | Hitachi Ltd | Elektronischer energiefilter |
| US5798524A (en) * | 1996-08-07 | 1998-08-25 | Gatan, Inc. | Automated adjustment of an energy filtering transmission electron microscope |
| US6184524B1 (en) | 1996-08-07 | 2001-02-06 | Gatan, Inc. | Automated set up of an energy filtering transmission electron microscope |
| JP3497336B2 (ja) * | 1996-12-03 | 2004-02-16 | 日本電子株式会社 | エネルギーフィルタ |
| JP3376857B2 (ja) * | 1997-05-07 | 2003-02-10 | 日新電機株式会社 | イオン注入装置 |
| JP2003297271A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Hitachi High-Technologies Corp | モノクロメータ付走査形電子顕微鏡 |
-
1992
- 1992-11-26 JP JP31691792A patent/JP3397347B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06162977A (ja) | 1994-06-10 |
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