JPH06509445A - 周波数変換技術を用いたマルチ波長ソリッドステート・レーザー - Google Patents

周波数変換技術を用いたマルチ波長ソリッドステート・レーザー

Info

Publication number
JPH06509445A
JPH06509445A JP5503660A JP50366093A JPH06509445A JP H06509445 A JPH06509445 A JP H06509445A JP 5503660 A JP5503660 A JP 5503660A JP 50366093 A JP50366093 A JP 50366093A JP H06509445 A JPH06509445 A JP H06509445A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wavelength
nonlinear crystal
laser
harmonic
coherent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5503660A
Other languages
English (en)
Inventor
リン　ジェイ　ティー
Original Assignee
レーザーサイト　インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by レーザーサイト　インコーポレイテッド filed Critical レーザーサイト　インコーポレイテッド
Publication of JPH06509445A publication Critical patent/JPH06509445A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35—Non-linear optics
    • G02F1/353—Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
    • G02F1/3532—Arrangements of plural nonlinear devices for generating multi-colour light beams, e.g. arrangements of SHG, SFG, OPO devices for generating RGB light beams
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35—Non-linear optics
    • G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35—Non-linear optics
    • G02F1/353—Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
    • G02F1/3534—Three-wave interaction, e.g. sum-difference frequency generation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35—Non-linear optics
    • G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
    • G02F1/377—Non-linear optics for second-harmonic generation in an optical waveguide structure
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35—Non-linear optics
    • G02F1/39—Non-linear optics for parametric generation or amplification of light, infrared or ultraviolet waves

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 周波数変換技術を用いたマルチ波長ソリッドステート・レーザ一本発明は、ソリ ッドステート・レーザー（固体レーザー）の周波数変換に新しい非線形結晶を使 用したマルチ波長（多重波長）レーザー源に関する。特に、本発明は、工業用ま たは外科手術用に周波数変換により選択される紫外線域、可視光域及び赤外線域 の波長でコヒーレントな放射の発生に関する。本発明は、特に、しかし排他的で なく、眼科手術に利用価値が高い。
２、従来の技術 ＣＯ２、エキシマ、アルゴン、銅（ＣＵ）蒸気レーザーなどの気体レーザー、ダ イ（ｄ　ｙ　ｅ）レーザーなどの液体レーザー、及びゃ、ＹＡＧ、半導体、Ｔｉ 　：サファイアレーザーなどの固体レーザーを含む種々の商用レーザーが外科治 療用に使われている。レーザー技術で重要なパラメータは、用いられる特定の目 的に対して設計された波長、エネルギー（フルエンス）、強度（出力）、反復率 などである。レーザービームの波長により主に抑制される医療用には、多重波長 が単一レーザー装置から発生されうる多目的レーザーシステムに対する強い要望 があった。特定の外科用に適した異なる波長の発生のためにいろいろなレーザー 能動媒体が現在値われている。これらレーザー能動媒体の典型的な例は、Ｎｄ： ＹＡＧ（１，０６４ミクロン用）　、Ｈｏ　：ＹＡＧ　（２，１ミクロン用）、 Ｅｒ：ＹＡＧ（２，９４ミクロン用）、及びエキシマレーザ−（１９３−３５１ ｎＷＫ紫外域用）などである。周波数−二倍のＮｄ：ＹＡＧレーザーを使った二 重波長（５３２ｎＴｎＥｌび１．０６４ｎｍにおける）固体レーザーは、現在、 婦人科などの外科治療用に使用されている。眼科手術用には、約１．２、及び３ ミクロンの出力波長を有するＮｄ、Ｈｏ、ＥｒのＹＡＧに基づいたレーザー、及 びエキシマレーザ−（１９３Ｉ＆　３０８ｎｍにおける）が使用されてきた。Ｈ ｏ　：ＹＡＧ、Ｅｒ　：ＹＡＧ、及びエキシマレーザー（１９３ｎｍにおける） は、外部切開（角膜繊維切除）又は内部切開（弾性変更）を用いる屈折系手術用 の候補として知られている。
このような状況の中で、本発明の目的は、周波数変換器を切り換えて単一レーザ ーシステムから特定の外科手術が達成されつるような、上述したすべての波長（ 紫外から赤外まで）を有する多重波長ビームを発生させる非線形結晶を用いてい る周波数変換器を組み込むことである。特に、本発明は、アルゴン・フロライド ・エキシマレーザ−に対する可能な置換であるが、低価格、小型化、メンテナン スの簡略化、高精度化、そしてより大切な、有毒かつ危険な材料の不在という利 点を有する波長２１０ｎｍ又は２１３ｎｍでの固体レーザーを開示する。本発明 の別の目的は、リチウムトリポレート（ＬＢＯ）結晶に二つの固体レーザーの周 波数混合を用いて約５８５から５８９ｎｍの黄色レーザーを生成することにある 。この黄色レーザーは、現在クリプトンまたは銅蒸気レーザーにより行われてい る多様な外科手術の応用を提供する。また、本発明の更に別の目的は、開示され たレーザーシステムが現在ホルミウムレーザー及びエルビウムレーザーを用いる 医学的応用をカバーする調整可能な（１，５から４．５ミクロンの）波長を生成 できる、光パラメトリツク発振を非線形結晶に用いることにある。
眼科手術のほかに、本発明で開示された多重波長固体レーザーは、レーザー脈管 手術、レーザー（膀胱結石）切石手術、及びレーザー神経系手術のような他の多 くの医学的手術に応用しうる。多くの可能性のある工業用応用の中で、本発明に より生成される紫外線域の波長は、光学的処理及びマイクロマシニング（ｍｉｃ ｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ）に対して迅速かつ精密なツールを提供する。
非線形結晶は、本発明の重要な要素である。効率は、非線形結晶を用いるどんな 周波数変換技術（ＦＣＴ）においても重要な鍵となる。本発明で用いられるＦＣ Ｔは、第２高調波発生（ＳＨＧ）　、第４高調波発生（４ＨＧ）及びレーザー出 力を基礎波長の１／２．１／４．１／８の短い波長にそれぞれ変換する第５高調 波発生を含む。周波数変換効率は、ビーム発散、ビームの質、集束、拡散（ｂｅ ａｍ胃ａｌｋ−ｏｆｆ　）　、及びクリスタルの損傷のようなレーザー及び非線 形結晶パラメータの両方に依存する。更に、本発明は、基礎的な波長を調整可能 な長い波長に変換する光パラメトリツク発振（ＯＰＯ）処理をも採用する。
本発明は、ベータ・バリウム・ポレート（ｂｅｔａ　ｂａｒｉｕｍ　ｂｏｒａｔ ｅ　（Ｂ　Ｂ　Ｏ）　）、リチウム・トリポレート（ｌｉｔｈｉｕｍ　ｔｒｉｂ ｏｒａｔｅ　（ＬＢＯ）　）　、ポタシウム・チタニール・フォスフェート（ｐ ｏｔａｓｓｉｕｍ　ｔｉｔａｎｙｌ　ｐｈｏｓｐｈａｔｅ　（ＫＴＰ）　）　、 及びポタシウム・ニオベート（ｐｏｔａｓｓｉｕｍ　ｎ１ｏｂａｔｅ　（ＫＮｂ 　Ｏｘ　）　）を含んでいる非線形結晶を用いる。これらの結晶の中で、ＬＢＯ は、高出力レーザ一応用に適用される新しいノーベル結晶（ｎｏｖｅｌ　ｃｒｙ ｓｔａｌ　）であり、ＢＢＯは、紫外線域（２２０止以下）の波長を提供する特 異な結晶である。本発明で用いられる周波数変換技術の特性、応用、記述は、発 明者であるＪ、　Ｔ、Ｌｉｎにより０ｐｔｉｃａｌ　ａｎｄ　Ｑｕａｎｔｕｍ　 Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ、　Ｖｏｌ、　２２．５３８３−３３１３　（１９９０ ）；　０ｐｔｉｃａｌ　Ｃｏｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ、　uｏｌ、　８０ ．１５９　（１９９０）で発表されている。本発明の別の目的は、これら非線形 結晶を多種医療用の、特に、全ての固体多重波長レーザーによって生成された紫 外及び中赤外波長域を用いている眼科手術用の、一つの単一装置に統合すること にある。
ベータ・バリウム・ポレートの生成に関する従来技術の米国特許は、バリウム・ ポレート準備（Ｂａｒｉｕｍ　Ｂｏｒａｔｅ　Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　）に関 して米国特許第４．８９７．２４８号公報に、バリウム・ポレートの高温溶液化 成長（Ｈｉｇｈ　Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ＳｏｌｕｔｉｏｎＧｒｏｗｔｈ　ｏ ｆ　Ｂａｒｉｕｍ　Ｂｏｒａｔｅ　（Ｂａ　Ｂ２０２　）　）に関して米国特許 第４．９３１．１３３号公報に見ることができる。レーザーシステムにおけるバ リウム・ポレートの使用を提案している別の米国特許は、ベータ・バリウム・ポ レートを含んでいる多数の非線形電気光学倍増材（ｎｏｎ−１ｉｎｅａｒ　ｅｌ ｅｃｔｒｏ−ｏｐｔｉｃ　ｄｏｕｂｌｅｒ　ｍｔｅｒｉａｌｓ）の使用を提案す るブルーライトを得るためのダイオード励起レーザー及びダブリングに関する特 許第４．８０９．２９１号公報に示されている。そして、示された装置において 、もし周波数が二倍になるとＢＢＯ結晶がＫＴＰ結晶の代わりに使用できるとい う提案は、レーザービームの周波数を変換するための構造に関する特許第４，９ ３３、９４５号公報に見ることができる。光学的混合によるコヒーレントな光学 的放射の生成に関する特許第４．８７９．７２２号では、Ｎｄ：ＹＡＧのような ダイオード励起ネオジム添加うサント材料（ｄｉｏｄｅ　ｐｕｍｐｅｄ　ｎｅｏ ｄｙｍｉｕｍ　ｄｏｐｅｄ　１ａｓａｎｔ　ｍａｔｅｒｉａｌ）が、同じキャビ ティー（空洞）内で非線形結晶と共に用いられ、ポタシウム・チタニール・フォ スフェート（ＫＴｉＯＰＯ４）の使用を提案しているが、また、ＢＢＯを含む他 の非線形結晶の使用についても言及している。特許第４．８８４．２７７号でも 同じキャビティーに二つ以上の非線形結晶を有するダイオード励起Ｎｄ　：ＹＡ Ｇレーザーを用いて、全ての結晶が同一の材料または組合せで用いられた異なる 結晶を含みうる結晶の一つとしてベータ・バリウム・ポレートを提案している。
発明の概要 本発明の新しい多重波長固体レーザーは、紫外（ＵＶ）　、緑、黄、赤外（ＩＲ ）の出力波長を有するＬＢＯ，ＢＢＯ，ＫＴＰ、ＫＮｂＯ，からなる非線形結晶 の組によって周波数変換された標準的な市販のＮｄ：ＹＡＧまたはＮｄ：ＹＬＦ パルスレーザ−を含む。
一つのレーザー装置に組み込まれた適当な周波数変換器に切り換えることにより 一つ以上の多重波長が選択されつる。選ばれた波長は、特定の外科手術用に適切 な光学（ｏｐｔｉｃｓ）によって送達される。本発明の処理及び装置は、以下の 特徴及び応用を具体化する。
（１）非臨界位相整合（ｎｏｎｃｒｉｔｉｃａｌ　ｐｈａｓｅ−ｍａｔｃｈｉｎ ｇ　：　ＮＣＰＭ）で動作する温度制御ＬＢＯ結晶の使用：ビーム拡散の原因と ならないこの条件下で、（緑色レーザー用）周波数倍増及び（黄色レーザー用） 周波数混合の高効率が達成される。ＬＢＯは、現存する結晶の中で最も高い損傷 しきい値を有している結晶である。高出力の緑及び黄色レーザーは、ＮＣＰＭ　 ＬＢＯの結晶で唯一達成される。
高効率な第２高調波発生（ＳＨＧ）は、高出力ＵＶ（紫外）放射に重要である。
（２）それぞれ４７．６°及び５ピの位相整合角度カットを有する二つのＢＢＯ 結晶は、基礎レーザーの４ＨＧ及び５ＨＧに用いられる。ここで、ＢＢＯは、Ｙ ＡＧレーザーの５ＨＧを用いている紫外（ＵＶ）放射用の結晶である。
（３）ＫＴＰまたはＫＮｂ０１結晶は、調整可能なＩＲ（赤外）放射用に選らば れる。これらの結晶は、基礎レーザーによって励起される。高効率は、ＫＴＰの ＮＣＰＭ（室温にて）及びＫＮｂ−０３の高い非線形によって達成される。
（４）本発明の好ましい実施例は、市販のＮｄ：ＹＡＧまたはＮｄ：ＹＬＦレー ザーを用いた技術的現状に基づく。これらの基本レーザーは、十分確立されてお り、ピコセカンド以下から数十ナノセカンドのパルス幅（ｐｕｌｓｅ　ｄｕｒａ ｔｉｏｎ）でかつ数ヘルツからギガヘルツの反復率で動作されうる。従って、本 発明で開示された多重波長レーザーは、非線形結晶の組を用いることによりそれ らのスペクトルを紫外から赤外域に拡張しているが、これら基本レーザーの全て のよい特徴をも留保てきる。
（５）眼科屈折系手術用には、本発明は、ＵＶ（紫外）波長（２１０ｒｕｏまた は２１３ｒ＋ｍ）を有する全固体レーザーを提供する。全固体レーザーは、現在 使われているエキシマレーザ−（１９３０ｍ）に比べて、低価格、小型化、メン テナンス縮小、高精度化、及び有害で危険な材料の不在を含んでいる重要な利点 を有している。更に、第４高調波発生（２６３ｎｍまたは２６６ｎｍ）は、アル ゴン・フロライド・エキシマレーザ−（１９３ｎｍ）よりも優れたファイバー透 過を有し、レーザー結締組織繊維整形外科（ｌａｓｅｒ　ｔｒａｂｅｃｕｌｏｐ ｌａｓｔｙ　）及びレーザー光凝固（Ｉａｓｅｒ　ｐｈｏｔｏｃｏａｇｕｌａｔ ｉｏｎ）に使用しつる。
（６）本発明の多重波長レーザーシステムは、単に周波数変換器を切り換えるこ とによって多重応用が可能な唯一のシステムを提供する。
本発明のその他の特徴や利点は、添付した図面に示す実施例の解説で明らかにな るであろう。
図面の概説 図１は：赤外、緑、紫外域スペクトルの多重波長を有するパルス固体レーザーの 高調波発生を示すブロック図である；図２は、図１に対応付けられた基本及び高 調波ビームの偏光方向の概略図である； 図３、図３Ａ及び図３Ｂは、光パラメトリツク発振を用いる調整可能なＩＲ源の 発生の概略図である； 図４は、多重波長の外科用応用について図１及び図３を組み合わせる統合システ ムを示すブロック図である。
図５は、非線形結晶で周波数混合を用いる黄色コヒーレント源の発生の概略図で ある。
図１に示すように、本発明のこの実施例による光学システムは、赤外波長２（Ｎ ｄ　：ＹＡＧ：１．０６４ｎＩｌｋ　Ｎｄ　：ＹＬＦ：１．０５３ｎｍ）を有し 、かつ緑色の波長（Ｎｄ　：ＹＡＧに対して５３０ｎＬＮｄ　：ＹＬＦに対して ５２７　ｎｍ）を有する第２の高調波ビームを生成する最初の非線形倍増結晶４ に光学３によって連結されている市販のパルス固体レーザーｌからなる。この高 調波ビーム５は、更に、第２の非線形結晶６によって周波数変換され、紫外波長 ７　（Ｎｄ　：ＹＡＧに対して２６６ｎｌＩｋＮｄ　：　ＹＬＦに対して２６０ 　ｎｍ）を有している第４高調波ビームを作る。基本ビーム２と第４高調波ビー ム７は、第３の非線形結晶８中で周波数混合され、短い紫外波長９　（Ｎｄ　二 ＹＡＧに対して２１３世、Ｎｄ：ＹＬＦに対して２１０ｎｍ）の第５高調波ビー ムを生成する。
更に図１を参照すると、本発明によれば、基本の固体レーザーｌは、数ヘルツか らギガヘルツの反復率を有するパルス幅がピコセカンド以下から数十分ナノセカ ンドのパルス幅を有する市場で入手可能な、光学的に励起されたシステム（フラ ッシュランプ励起されたかまたはダイオード励起されたレーザーのいずれか）で ある。この基本的なレーザー１は、Ｑスイッチやモードロックの標準的手段によ って利用可能であり、かつコヒーレント社やクアントロニクス社のようなレーザ ーメーカーから入手可能であることは周知であり、本発明の好ましいレーザー媒 体は、Ｎｄ：ＹＡＧ及びＮｄ：ＹＬＦである。
図１で使われる非線形結晶は、一般的にＤ−ＯＤＡ　（ｄｅｕｔｅｒａｔｅｄ　 ｃｅｃｉｕｍ　ｄｉｈｙｃｌｒｏｇｅｎ　ａｒｓｅｎａｔｅ　：デュートレーテ イド・セシウム・ダイハイドロジエン・アーセネート）、Ｄ−ＫＤＰ　（ｄｅｕ ｔｅｒａｔｅｄ　ｐｏｔｔａｓｉｕｍ　ｄｉｈｙｄｒｏｇｅｎ　ｐｈｏｓｐｈａ ｔｅ　：デュートレーテイド・ポタシウム・ダイハイドロジエン・フォスフェー ト）、ＫＴＰ（ｐｏｔａｓｓｉｕｍ　ｔｉｔａｎｙｌ　ｐｈｏｓｐｈａｔｅ　： ポタンウム・チタニール・フォスフェート）、ＬＢＯ（ｌｉｔｈｉｕｍ　ｔｒｉ ｂｏｒａｔｅ　：リチウム・トリポレート）　、　ＢＢＯ（ｂｅｔａ　ｂａｒｉ ｕｍ　ｂｏｒａｔｅ　：ベータ・バリウム・ボレート）を含む。本発明の第１実 施例は、二倍増についてＬＢＯまたはＫＴＰ、第４高調波発生及び第５高調波発 生についてＢＢＯからなる。本実施例において、ＬＢＯ結晶は、約１４９°Ｃ（ Ｎｄ　：ＹＡＧに対して）か１６１’　Ｃ（Ｎｄ　：ＹＬＦに対して）のオーブ ンの中に設置され、これら温度は、ＮＣＰＭ　（非臨界位相整合）条件で測定さ れた温度である。このＮＣＰＭ条件下では、変換効率は、ビームの拡散がなく最 適化される。ＢＢＯの第４及び第５高調波発生６．８は、タイプｌオペレーショ ンについてそれぞれ４７．６”及び５１°で角度カットされる。
本発明の第２実施例は、二倍増についてタイプＩ　Ｄ−ＣＤＡ、四倍増について タイプＩ　Ｄ−ＫＤＰからなる。ここでは、小さいビームの拡散効果及び長いク リスタル長（２０から３０Ｉ）により効率の良い室温動作が達成できる。また、 クリスタルを損なうおそれのある高出力レーザーの場合、大きいビームスポット サイズが好ましく、かつ大きなりリスタルサイズが要求される。Ｄ−ＣＤＡ及び Ｄ−ＫＤＰの組合せは、コスト効果的な動作を提供する。
本発明は、ＢＢＯ結晶が、ＵＶ（紫外）透過を有する唯一の非線形結晶であり、 Ｎｄ　：ＹＡＧやＮｄ：ＹＬＦレーザーの第５高調波発生に対して位相整合可能 でることを認識する。本発明の実施例におけるＬＢＯ及びＢＢＯ結晶の組合わせ は、緑色と二つの紫外波長で多重波長の生成について高い総合効率を提供する。
更に、変換効率は、光学的構成部分３に円筒焦点レンズを用いることにより向上 できる。これは、基本ビーム２がＬＢＯ及びＢＢＯ結晶の不感性方向に沿ってよ り密に集束されるからである。
図２に示すように、タイプＩまたはタイプ■を用いて第５高調波生成を生成でき る２つの代替え実施例がある。図２Ａは、タイプＩを用いた基本及び高調波の偏 光方向を表し、ここでは、基本ビーム２と第４高調波ビーム７の間の良好な空間 的なオーバーラツプが第５高調波９の発生に対する適当な偏光（ｐｏｌａｒｉｚ ａｔｉｏｎ）で達成される。図２Ｂに示すように、第５高調波は、タイプ■二倍 増（ＫＴＰまたはＤ−ＫＤＰを用いて）と二倍増を組み合わせることによっても 生成できる。ここでは、第３高調波１０（ＬＢＯまたはＢＢＯのタイプ■三倍増 結晶１１によって生成された）は、第５高調波生成９についてＢＢＯ結晶１２（ タイプ■動作について角度カット６５．５°）において第２高調波５と混合され る。この実施例は、タイプＩ及びタイプ■の動作の両方について適当な偏光方向 を有する三つの非線形結晶を組み合わせる最も単純な構成を示す。この実施例で は、ウェーブプレート（ｗａｖｅ　ｐｌａｔｅｓ　）は、必要ない。
図３は、１．　５から４．　５ｒｕｏの範囲の調整可能なＩＲ（赤外）波長１４ を生成するために、光学３により光パラメトリツク発振（ＯＰＯ）キャビティー （空洞）＋３内に収束されるＩＲ（赤外）波長２を有する基本パルス固体レーザ ーｌを示している。ＯＰＯキャビティーの三つの実施例が本発明で開示されてい る。第１実施例１３は、非線形結晶１５（ＫＴＰまたはＫＮｂＯ＋）と適当なコ ーティングを存する鏡の組１６．１７を圧搾したものである：　鏡１６は、励起 （基本）波長で高い透過と、信号波長（１，５から４．５ｎｍ）で高い反射を有 する：鏡１７は、信号波長で１０から２０％のカップリング（結合）のためにコ ーティングされる。
図３に示されている第２実施例１３は、二つの非線形結晶１９．２０からなり、 これらクリスタルは、結晶１９．２０の内部でのビーム拡散を補償するため、異 常屈折率方向（ｅｘｔｒａｏｒｄｉｎａｒｙ　１ｎｄｅｘ　ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ 　）に少し偏っている。第３実施例１３では、信号１４の出力は、増幅器の役割 をする別の非線形結晶２１を通過することにより更に高められることを示してい る。
図３Ｂを参照すると、光学３は、非線形結晶１５．１９、２０、及び２１の不感 性方向に基本ビーム２の密な集束が得られる円筒状焦点距離であることが望まし い。○Ｐ○キャビティー内で使用される非線形結晶は、適当な調整範囲について 角度カントされるべきである。例えば、１．　５から４．　５ｒｕｎの範囲の調 整は、数度の角度調整で可能なので、ＫＴＰは、結晶のＸ２面において約５０° にカットすべきである。また、代替として、縮退点を用いて約２一度の信号波長 の発生のために、５４°での角度カットが好ましい。本発明では、ＫＴＰでの非 臨界位相整合（ＮＣＰＭ）は、室温中で達成でき、ポンピングビームが結晶のＸ 軸またはＹ軸に沿って伝搬できることがわかる。このＮＣＰＭ条件下では、ビー ム拡散の効果がなく、杓１．５４〜１．６ミクロン、及び約３．２〜３．４ミク ロンのＩＲ（赤外）波長の発生について高い効率が達成されうる。ＫＴＰより高 い非線形性を有する代替の非線形結晶ＫＮｂＯ１も本発明で認識されているが、 １．５〜４．５ｎｍのＯＰＯ出力信号波長範囲については、Ｘ２面において豹４ １０の角度カントが好ましい。ＫＮｂＯ＋は、ＫＴＰのそれよりも（角度、スペ クトル的に）狭い受諾幅（ｎａｒｒｏｗｅｒ　ａｃｃｅｐｔａｎｃｅ　ｗｉｄｔ ｈｓ）を有するが、ＫＮｂＯ。
は、高い効率と調整能力を有している。本発明では、目に安全な１．５４ｎｍｃ ｒ）波長が、ＫＮｂＯ３（アングルカットしたもの）またはＫＴＰ　（Ｙ軸に沿 って伝搬するポンプビームを有するＮ　ＣＰ　Ｍ条件）を用いることにより効率 的に達成できることをも教示する。ここで、ＫＴＰにおけるＮＣＰＭは、１５４ ｒｕｏで目に安全な放射を達成する唯一の動作である。
図４に示すように、統合システムの好ましい実施例は、図１及び図３から発生し た多重波長を組み合わせる。この統合システムの新しい特徴は、商業的に入手可 能な単一固体レーザーから達成可能な多重波長柔軟性を含む。このシステムは、 単に追加の周波数変換器を組み込むことによって（ＵＶからＩＲまての）広い範 囲のスペクトルをカバーすべく更新されつる。これら周波数変換器は、図１及び 図３で規定された一つ以上の非線形結晶からなる。図４に示すように、特定の波 長２．５．７．９、及び１４は、工業的、科学的、または医学的使用を含む一つ の特定または多数の応用に対してビームスプリッタ−２２〜２６によって容易に 選択しうる。本発明の概要に教示されているようにこの統合システムの応用の例 は、これらに限定されるものではないが、（ＵＶ及び中間ＩＲ波長を用いる屈折 系手術（ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ　ｓｕｒｇｅｒｙ）のような）眼科手術、レ−ｆ −［を手術、レーザー（膀胱結石）切石手術、及びレーザー神経系手術、高分解 能の光学的処理及びマイクロマシニングを含む。
更に図４を参照すると、多重波長２．５．７．９、Ｉ４は、コンピュータシステ ム２７により制御及び選択され、送出しシステム（ｄｅｌｉｖｅｒｙ　ｓｙｓｔ ｅｍ　）　２９により目標物２８に送り出されつる。コンピューターシステム２ ７は、波長選択、エネルギー／パワー調整性及び安定化、及び目標物２８に印加 された全フルエンスのために設計されたソフトウェアパッケージからなる。目標 物２８は、組織または他の材料でありうる。
図５を参照すれば、Ｎｄ：ＹＡＧについて１．０６４ｎｍ（Ｎｄ　：ＹＬＦにつ いて１，０５３ｎｍ）の波長２と、１．３１９ｎｍ（または１．３２ｎｍ）の波 長３１を有する２つの基本固体レーザー１．３０は、フェイズロッカー（ｐｈａ ｓｅ　１ｏｃｋｅｒ）３２により固定され、回転鏡３３及び偏光カプラ３４によ りカップリングされる。次に、これら二つの波長２．３１は、５８９ｎｍ　（Ｎ ｄ　：　ＹＡＧについて）または５８５ｎｍ　（Ｎｄ　：　ＹＬＦについて）の 波長３６への合計閏波数混合のために光学３により非線形結晶３５に集束される 。
周波数混合用の非線形結晶は、ＫＴＰ、ＢＢＯ，ＫＮｂＯ＋、ＬＢＯを含む。
本発明における高出力レーザーの場合について、好ましい非線形結晶は、ビーム の拡散効果のない高効率のために約４２°Ｃに温度調節される非臨界位相整合し ＢＯ結晶である。
再び図５を参照すると、波長２．３１を有するＩＲレーザー１，３ｏは、鏡３７ ．３８により送り出され、（５２７ｏｍまたは５３２止の）波長５及び（６６゜ ｎ−）波長４０を有する高調波の発生のために光学３により倍増クリスタル３９ に集束されつる。
図５で示す実施例によって生成された緑、黄、及び赤色のスペクトルでの可視コ ヒーレント源は、銅蒸気、クリプトン、アルゴンイオン、または倍増−ＹＡＧレ ーザーによって現在行われている医学的応用に対する代替を提供することが本発 明によって認識される。更に、緑、黄、赤色の波長を有する三色レーザーは、大 画面テレビに対する可能な応用を有する。また、図５に示す実施例は、図４に示 す実施例に統合されうることが認識される。そして、統合システムは、ＵＶ（２ １０ｒｕａ、２１３ｏｍ、２６３ｎＢ、２６６ｏｍ）、可視（黄、緑、赤）、及 びＩＲ（１，０６４ｏｍ、１．０５３ｏｍ、１．５〜４．５ｏｍ）スペクトルを 含んでいる多重波長を生成することができる。
図１に示した本発明によって生成されたＵＶ波長を用いている好ましい眼科的応 用の一つは、以下に詳しく説明される。（２１３ｏｍ＊たは２１０ｎｍの）ＵＶ 波長９は、近視、遠視、乱視、その他の視力異常の矯正を含む屈折系手術につい て非常に有力な候補となることが本発明において認識される。本発明で開示され た固体ＵＶレーザーは、エキシマレーザ−に比べて、低価格、小型化、メンテナ ンス低減、高精度化、危険毒物不在を含む非常に大きな利点を眼科医達に提供す る。更に、この統合システムは、周波数変換器により制御されたユニークな二倍 波長技術を用いる多重手術可能性（ｍｕｌｔｉｐｌｅ　ｓｕｒｇｉｃａｌ　ｃａ ｐａｂｉｌｉｔｉｅｓ）を提供する。近−ＩＲ（約１ｕｍ）、緑、及びＵＶでの 二倍波長は、図１に示した実施例によって達成され、約１．２．３ｏｍの三つの ＩＲ波長は、図３に示した実施例によって達成される。更に、精密な顕微手術は 、数ミクロンから数ミリメーターの範囲のビームスポットの大きさが利用可能な 角膜上で予め決められた波長ビームをスキャンすることによって行われる。（ピ コセカンド以下から数ピコセカンド幅の）短いパルスでかっ（ＫＨｚ−ＧＨｚの ）高反復率の場合、非常に高いビーム密度は、ビームを密集束することにより達 成され、ここで、レーザー出方密度がフォトアブレーション（ｐｈｏｔｏａｂｌ ａｔｉｏｎ　）のしきい値より高いならば、フォトアブレーション処理が行える 。池方、（ナノセカンド範囲の）長いパルスでかっ（５〜５０Ｈｚの）低反復率 の場合、レーザーフルエンスがアブレーション（ａｂｌａｔｉｏｎ）のしきい値 よりも高いときには、広い範囲の角膜切開（ｃｏｒｎｅａｌ　ａｂｌａｔｉｏｎ ）が達成できる。更に、コンピュータ制御システム２７は、ダイアフラム（ｄｉ ａｐｈｒａｇｍ　）　、回転円板（ｒｏｔａｔｉｎｇ　ｄｉｓｃ　）　、または 回転スリット（ｒｏｔａｔｉｎｇ　５ｌｉｔｓ）のようなビーム送出しシステム によって造り直す（ｒｅｓｈａｐｅｄ）ことが必要な角膜表面の形状を予め決め ることができる。ここでは予め決められた波長ビームは、市販のスキャニングシ ステムを用いて予め決められたパターンで目標物に送り出されうる。
ここで詳しく開示されている非線形結晶は、高いビークパワーのレーザーに適す るバルク（塊）の結晶であるが、導波管形の非線形結晶は、特にダイオード励起 低出力レーザーのために考慮から除くべきではない。これら非線形導波管は、Ｋ ＴＰ、ＭｇＯ：ＬｉＮｂ０＋　、及びＮＹＡＢ　（ｎｅｏｄｙｍｉｕｍ　ｙｔｔ ｒｉｕｍ　ａｌｍｉｎｕｍ　ｂ。
ｒａｔｅ）の自己周波数倍増結晶を含む。ＮＹＡＢ結晶は、ポンピング源として ダイオードレーザ−を用いる（５３１ｏｍの）緑色コヒーレント源の発生につい て特に魅力的である。更に、固体レーザー１．３０は、ダイオードレーザ−励起 システム或いはフラッシュランプ励起及びダイオード励起レーザーを組み合わせ たシステムでありうる。ここで、よいビーム質、単一モードレーザーは、インジ エクシコンシーディング（ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ　ｓｅｅｄｉｎｇ　）を用いるこ とによって商業的に利用可能である。
ここでは本発明とその実施例を示して説明を加えてきたが、この分野の専門家に よるさらなる追加、変更などは、本発明の範囲、精神からかけ離れない範囲で行 えるものと理解されるべきである。従って、ここに開示された方法、装置、工業 、医療向けの用途などは、単に説明として考慮されるべきであり、本発明は、請 求の範囲で特定されたように限定される。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １．所定の波長の第５高調波発生ビームを生成するレーザー装置（１，３，４， ６，８）であって： 固体レーザー（１）； 第２高調波ビーム（５）を生成する第１の非線形結晶（４）れ前記固体レーザー のビーム（２）を前記第１の非線形結晶に集束する集束光学（３）；前記第１の 非線形結晶（４）に隣接して配置され、当該第１の非線形結晶（４）から前記ビ ーム（５）を受け取りかつ第４の高調波ビーム（７）を生成する第２の非線形結 晶（６）； 前記第２の非線形結晶（６）に隣接して配置され、当該第２の非線形結晶（６） から前記ビーム（７）を受け取りかつ第５の高調波ビーム（９）を生成するベー タ・バリウム・ボレートの第３の非線形結晶を備えており、前記固体レーザーは 、所定の波長の第５の高調波コヒーレントビームを生成することを特徴とするレ ーザー装置。 ２．前記第２の非線形結晶（６）は、ベータ・バリウム・ボレートであることを 特徴とする請求項１に記載の所定の波長の第５の高調波発生ビーム（９）を生成 するレーザー装置（１，３，４，６，８）。 ３．前記固体レーザー（１）は、１０−１３〜１０−５秒のパルス幅及び１〜１ ０９ヘルツの反射率を有する光学的に励起されたＮｄ：ＹＡＧレーザーであるこ とを特徴とする請求項１に記載の所定の波長の第５の高調波発生ビーム（９）を 生成するレーザー装置（１，３，４，６，８）。 ４．前記固体レーザー（１）は、１０−１３〜１０−６秒のパルス幅及び１〜１ ０９ヘルツの反射率を有する光学的に励起されたＮｄ：ＹＬＦレーザーであるこ とを特徴とする請求項１に記載の所定の波長の第５の高調波発生ビーム（９）を 生成するレーザー装置（１，３，４，６，８）。 ５．前記第１の非線形結晶（４）は、ポタシウム・タイタニール・フオスフェー ト（ＫＴＰ）であることを特徴とする請求項１に記載の所定の波長の第５の高調 波発生ビーム（９）を生成するレーザー装置（１，３，４，６，８）。 ６．前記第１の非線形結晶は、約１４９°のＮＣＰＭ温度で動作するリチウム・ トリボレート（ＬＢＯ）であることを特徴とする請求項３に記載の所定の波長の 第５の高調波発生ビーム（９）を生成するレーザー装置（１，３，４，６，８） 。 ７．前記第１の非線形結晶は、約１６１°のＮＣＰＭ温度で動作するリチウム・ トリボレート（ＬＢＯ）であることを特徴とする請求項４に記載の所定の波長の 第５の高調波発生ビーム（９）を生成するレーザー装置（１，３，４，６，８） 。 ８．前記第１の非線形結晶（４）は、Ｄ−ＣＤＡであることを特徴とする請求項 １に記載の所定の波長の第５の高調波発生ビーム（９）を生成するレーザー装置 （１，３，４，６，８）。 ９．前記第２の非線形結晶（６）は、タイプＩ　Ｄ−ＫＤＰであることを特徴と する請求項１に記載の所定の波長の第５の高調波発生ビーム（９）を生成するレ ーザー装置（１，３，４，６，８）。 １０．前記第２の非線形結晶（６）は、約４７．６°の角度カットを有するＢＢ Ｏであることを特徴とする請求項１に記載の所定の波長の第５の高調波発生ビー ム（９）を生成するレーザー装置（１，３，４，６，８）。 １１．前記第３の非線形結晶（８）は、約５１°の角度カットを有するタイプＩ ＬＢＯ結晶であることを特徴とする請求項１に記載の所定の波長の第５の高調波 発生ビーム（９）を生成するレーザー装置（１，３，４，６，８）。 １２．前記第１の非線形結晶（４）は、タイプＵの倍増結晶であり、前記第２の 非線形結晶は、タイプＩＩの三倍増結晶であり、前記第３の非線形結晶は、ＢＢ Ｏ結晶を用いているタイプＩＩの第５の高調波発生であることを特徴とする請求 項１に記載の所定の波長の第５の高調波発生ビーム（９）を生成するレーザー装 置（１，３，４，６，８）。 １３．前記集束光学（３）は、円柱レンズを含むことを特徴とする請求項１に記 載の所定の波長の第５の高調波発生ビーム（９）を生成するレーザー装置（１， ３，４，６，８）。 １４．１．５から４．５ミクロンの調整可能な出力波長を有するコヒーレントビ ームを生成する多重波長レーザー装置（１，３，１３）であって：固体レーザー （１）； 前記固体レーザー（１）に隣接して配置され、当該固体レーザー（１）からレー ザービームを受け取る光パラメトリック発振器（１３）；前記固体レーザー（１ ）のビームを前記光パラメトリック発振器（１３）に集束する集束光学（３）を 備えることを特徴とする多重波長レーザー装置。 １５．前記光パラメトリック発振器（１３）は、一組の端鏡（１６，１７）で形 成されかつその中にポタシウム・タイタニール・フォスフェート（ＫＴＰ）の非 線形結晶（１５）を有する共振光空洞を含むことを特徴とする請求項１４に記載 の調整可能な出力波長を有するコヒーレントビームを生成する多重波長レーザー 装置（１，３，１３） １６．前記光パラメトリック発振器（１３）は、一組の端鏡（１６，１７）で形 成されかつその中にポタシウム・ニオベート（ＫＮｂＯ３）の非線形結晶（１５ ）を有する共振光空洞を含むことを特徴とする請求項１４に記載の調整可能な出 力波長を有するコヒーレントビームを生成する多重波長レーザー装置（１，３， １３）。 １７．前記光パラメトリック発振器（１３）は、一組の端鏡（１６，１７）で形 成されかつその中に一組のポタシウム・タイタニール・フォスフェート非線形結 晶（１９，２０）を有する共振光空洞を含み、各前記非線形結晶は、各結晶の内 部でのビーム拡散を補償すべく具常屈折率方向に配向されていることを特徴とす る請求項１４に記載の調整可能な出力波長を有するコヒーレントビームを生成す る多重波長レーザー装置（１，３，１３）。 １８．前記光パラメトリック発振器（１３）は、一組の端境（１６，１７）で形 成されかつその中に一組のポタシウム・ニオベート非線形結晶（１９，２０）を 有する共振光空洞を含み、各前記非線形結晶は、各結晶の内部でのビーム拡散を 補償すべく異常屈折率方向に配向されていることを特徴とする請求項１４に記載 の調整可能な出力波長を有するコヒーレントビームを生成する多重波長レーザー 装置（１，３，１３）。 １９．前記光パラメトリック発振器（１３）は、光パラメトリック増幅のために タイタニール・フオスフェート（ＫＴＰ）非線形結晶と組み合わされることを特 徴とする請求項１４に記載の調整可能な出力波長を有するコヒーレントビームを 生成する多重波長レーザー装置（１，３，１３）。 ２０．前記光パラメトリック発振器（１３）は、光パラメトリック増幅のために ＫＮｂＯ３非線形結晶と組み合わされることを特徴とする請求項１４に記載の調 整可能な出力波長を有するコヒーレントビームを生成する多重波長レーザー装置 （１，３，１３）。　２１．前記光パラメトリック発振器（１３）は、一組の端 鏡（１６，１７）で形成されかつその中にポタシウム・タイタニール・フォスフ ェート（ＫＴＰ）の非線形結晶（１５）を有する共振光空洞を含むことを特徴と する請求項１４に記載の調整可能な出力波長を有するコヒーレントビームを生成 する多重波長レーザー装置（１，３，１３）。 ２２．多重波長コヒーレントエネルギー源を生成する統合レーザー装置（図４） であって： 固体レーザー（１）； 前記固体レーザー（１）からの出力ビーム（２）を受け取りかつ該ビームを少な くとも三つの別々のビームに分割するビーム・スプリッター手段（２２，２３， ２４）； 異なる波長の復数のレーザービーム（９，７，５，２，１４）を受け取りかつ該 複数のレーザービームの一つを出力する送出しシステム（２９）；前記ビームス プリッター手段に隣接して配置され、当該ビームスプリッター手段から前記ビー ムの一つを受け取りかつそれから第２の高調波ビームを生成する第１の非線形結 晶（４）； 前記第１の非線形結晶（４）に隣接して配置され、前記第２の高調波ビームを前 記送出しシステム（２９）に方向付ける第２の高調波ビーム・スプリッター（２ ５）； 前記第２の高調波ビームスプリッター（２５）に隣接して配置され、前記第１の 非線形結晶からビームを受け取りかつそれから第４の高調波ビームを生成する第 ２の非線形結晶（６）； 前記第２の非線形結晶（６）に隣接して配置され、第４の高調波ビームを前記送 出しシステム（２９）に方向付ける第４の高調波ビーム・スプリッター（２６） ； 前記第４の高調波ビームスプリッター（２６）に隣接して配置され、当該第４の 高調波ビームスプリッター（２６）からビームを受け取り、それから第５の高調 波ビームを生成しかつ前記第５の高調波ビームを前記送出しシステム（２９）に 方向付ける第３の非線形結晶（８）；前記ビームスプリッター手段（２２，２３ ，２４）からの第２のビームが前記送出しシステムに方向付けられ； 前記ビーム・スプリッター手段に隣接して配置され、当該ビーム・スプリッター 手段から第３のビームを受け取り、前記送出しシステムに向かって方向付けられ た連続的に調整可能な出力ビームを有している光パラメトリック発振器（１３） を備えており、異なる周波数の複数のコヒーレントな光ビーム（９，７，５，１ ４）が、前記入力ビームの一つを選択的に出力する前記送出しシステム（２９） に向かって方向付けられたことを特徴とする統合レーザー装置。 ２３．前記統合多重波長コヒーレントエネルギー源は、集束円筒レンズ（３）の 一組を有し、一つの当該集束円筒レンズ（３）は、前記ビームスプリッター手段 （２２，２３，２４）に隣接して配置され、前記第１の非線形結晶（４）上に一 つのレーザービームを集束し、第２の円筒レンズは、前記ビームスプリツター手 段（２２，２３，２４）からの前記第３のビームを前記光パラメトリック空洞（ １３）の中に集束することを特徴とする請求項２２に記載の統合多重波長コヒー レントエネルギー源。 ２４．前記送出しシステムは、異なる周波数の複数の入力ビーム（９，７，５， ２，１４）を受け取りかつ目標物（２８）に向けて前記複数の入力ビームの一つ を出力するコンピュータ制御された光学手段（２７，２９）を含むことを特徴と する請求項２３に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ２５．前記第２の非線形結晶（６）は、ＬＢＯであることを特徴とする請求項２ ２に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ２６．前記第２の非線形結晶（６）は、ＫＴＰであることを特徴とする請求項２ ２に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ２７．前記第２の非線形結晶（６）は、ＢＢＯであることを特徴とする請求項２ ２に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ２８．第２の非線形結晶（６）は、ＫＮｂＯ３であることを特徴とする請求項２ ２に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ２９．前記第１の非線形結晶（４）は、ＫＴＰで作られた非線形導波管であるこ とを特徴とする請求項２２に記載の統合多量波長コヒーレントエネルギー源。 ３０．前記第２の非線形結晶（６）は、ＫＴＰで作られた非線形導波管であるこ とを特徴とする請求項２２に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ３１．前記送出しシステムは、異なる周波数の複数の入力ビーム（９，７，５， ２，１４）を受け取りかつ目標物（２８）に向けて前記複数の入力ビームの一つ を出力するコンピュータ制御された光学手段（２７，２９）を含むことを特徴と する請求項２２に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ３２．前記送出しシステムは、異なる周波数の複数の入力ビーム（９，７，５， ２，１４）を受け取りかつ目標物（２８）に向けて前記複数の入力ビームの一つ を出力するコンピュータ制御された光学手段（２７，２８）を含むことを特徴と する請求項２２に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ３３．前記送出しシステムは、異なる周波数の複数の入力ビーム（９，７，５， ２，１４）を受け取りかつ目標物（２８）に向けて前記複数の入力ビームの一つ を出力するコンピュータ制御された光学手段（２７）を含むことを特徴とする請 求項２２に記載の統合多重波長コヒーレントエネルギー源。 ３４．エネルギーのコヒーレント源を生成する複数波長レーザー装置（図５）で あって：固体レーザー（１）； 第２の固体レーザー（３０）； 前記第１及び第２の固体レーザーからのビームをフェーズロックするため当該第 １及び第２の固体レーザーを結合するフェーズロック手段（３２）；２つの波長 を有するレーザービームを生成すべく前記第１及び第２の固体レーザー（１，３ ０）からのビームを一緒に結合する偏光力プラー（３４）；前記偏光カプラーか らのビームを第１及び第２のビームパスに分割すべく配置されたビーム・スプリ ッター（３７）；第３の波長を生成すべく２つの波長を合計波長混合するために 前記ビームスプリッターからの前記第１のビームを受け取るべく配置された第１ の非線形結晶（３５） それから高凋波の波長を生成するために前記ビームスプリッターからの前記第２ のビームを受け取るべく配置された第２の非線形結晶（３９）を備えており、異 なる波長の復数のコヒーレントな光ビームが前記レーザｒシステムの出力で生成 されることを特徴とする複数波長レーザー装置。 ３５．前記第１の非線形結晶（３５）は、リチウム・トリポレート（ＬＢＯ）で あることを特徴とする請求項３４に記載のエネルギーのコヒーレント源を生成す る複数波長レーザー装置。 ３６．前記第２の非線形結晶（３９）は、リチウム・トリポレート（ＬＢＯ）で あることを特徴とする請求項３４に記載のエネルギーのコヒーレント源を生成す る複数波長レーザー装置。 ３７．蔚記第２の非線形結晶（３９）は、ＫＴＰであることを特徴とする請求項 ３４に記載のエネルギーのコヒーレント源を生成する複数波長レーザー装置。 ３８．前記第２の非線形結晶（３９）は、ＢＢＯであることを特徴とする請求項 ３４に記載のエネルギーのコヒーレント源を生成する複数波長レーザー装口３９ ．前記第２の非線形結晶（３９）は、ＫＮｂＯ＝であることを特徴とする請求項 ３４に記載のエネルギーのコヒーレント源を生成する複数波長レーザー装置発明 の詳細な説明
JP5503660A 1991-07-29 1992-07-24 周波数変換技術を用いたマルチ波長ソリッドステート・レーザー Pending JPH06509445A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US736,931 1991-07-29
US07/736,931 US5144630A (en) 1991-07-29 1991-07-29 Multiwavelength solid state laser using frequency conversion techniques
PCT/US1992/006219 WO1993003523A1 (en) 1991-07-29 1992-07-24 Multiwavelength solid state laser using frequency conversion techniques

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06509445A true JPH06509445A (ja) 1994-10-20

Family

ID=24961925

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5503660A Pending JPH06509445A (ja) 1991-07-29 1992-07-24 周波数変換技術を用いたマルチ波長ソリッドステート・レーザー

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5144630A (ja)
EP (1) EP0597044B1 (ja)
JP (1) JPH06509445A (ja)
AT (1) ATE162667T1 (ja)
AU (1) AU660049B2 (ja)
CA (1) CA2074749C (ja)
DE (1) DE69224197T2 (ja)
ES (1) ES2111649T3 (ja)
WO (1) WO1993003523A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018047315A (ja) * 2012-01-06 2018-03-29 デンツプライ シロナ インコーポレーテッド レーザーを用いて歯内処置を実行するシステム及び方法

Families Citing this family (220)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5206868A (en) * 1990-12-20 1993-04-27 Deacon Research Resonant nonlinear laser beam converter
JPH0792578B2 (ja) * 1991-01-09 1995-10-09 日本電気株式会社 波長変換素子の作製方法および波長変換素子
US5144630A (en) * 1991-07-29 1992-09-01 Jtt International, Inc. Multiwavelength solid state laser using frequency conversion techniques
US5348552A (en) * 1991-08-30 1994-09-20 Hoya Corporation Laser surgical unit
US5363388A (en) * 1991-10-18 1994-11-08 Cedars-Sinai Medical Center Continuously tunable solid state ultraviolet coherent light source
ATE218904T1 (de) * 1991-11-06 2002-06-15 Shui T Lai Vorrichtung für hornhautchirurgie
US5984916A (en) * 1993-04-20 1999-11-16 Lai; Shui T. Ophthalmic surgical laser and method
US5231641A (en) * 1992-01-21 1993-07-27 Laserscope Crystalline slab laser with intracavity non-linear optic
US5241551A (en) * 1992-05-28 1993-08-31 General Electric Company High average power laser which generates radiation at a wavelength near 530 nm
US6450641B2 (en) 1992-06-02 2002-09-17 Lasersight Technologies, Inc. Method of corneal analysis using a checkered placido apparatus
US5325380A (en) * 1992-07-17 1994-06-28 Trw Inc. Dual wavelength laser emitter
DE4229397C2 (de) * 1992-09-03 1996-11-21 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Vorrichtung zum Abtragen von Material von einem Target
JPH06102545A (ja) * 1992-09-04 1994-04-15 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 波長変換装置
US5260953A (en) * 1992-09-08 1993-11-09 Alcon Surgical, Inc. Tunable solid-state laser
US5272709A (en) * 1992-10-02 1993-12-21 Alcon Surgical, Inc. Frequency doubled laser having power triggered optimization and regulation
US5272708A (en) * 1992-10-30 1993-12-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Two-micron modelocked laser system
US6716210B2 (en) * 1992-12-03 2004-04-06 Lasersight Technologies, Inc. Refractive surgical laser apparatus and method
USRE37504E1 (en) * 1992-12-03 2002-01-08 Lasersight Technologies, Inc. Ophthalmic surgery method using non-contact scanning laser
US5345457A (en) * 1993-02-02 1994-09-06 Schwartz Electro-Optics, Inc. Dual wavelength laser system with intracavity sum frequency mixing
CA2102884A1 (en) * 1993-03-04 1994-09-05 James J. Wynne Dental procedures and apparatus using ultraviolet radiation
US5365366A (en) * 1993-04-29 1994-11-15 Spectra-Physics Lasers, Inc. Synchronously pumped sub-picosecond optical parametric oscillator
US5847861A (en) * 1993-04-29 1998-12-08 Spectra Physics Lasers Inc Synchronously pumped sub-picosecond optical parametric oscillator
US5390211A (en) * 1993-08-24 1995-02-14 Spectra-Physics Lasers, Inc. Optical parametric oscillator with unstable resonator
US5518956A (en) * 1993-09-02 1996-05-21 General Electric Company Method of isolating vertical shorts in an electronic array using laser ablation
US5400173A (en) * 1994-01-14 1995-03-21 Northrop Grumman Corporation Tunable mid-infrared wavelength converter using cascaded parametric oscillators
US5611946A (en) * 1994-02-18 1997-03-18 New Wave Research Multi-wavelength laser system, probe station and laser cutter system using the same
US5493579A (en) * 1994-03-16 1996-02-20 Coherent, Inc. Laser system with collinear process and alignment beams
JP2812427B2 (ja) 1994-07-18 1998-10-22 科学技術振興事業団 セシウム・リチウム・ボレート結晶
EP0695004A1 (en) * 1994-07-26 1996-01-31 Hitachi Metals, Ltd. Second harmonic generating apparatus
US5592325A (en) * 1994-07-29 1997-01-07 Litton Systems, Inc. Method and apparatus for laser beam management with frequency converting compounds
DE4432029C2 (de) * 1994-09-08 1997-08-21 Ldt Gmbh & Co Lasergestützte Farbbildanzeige- und Projektionsvorrichtung
EP0709199B1 (en) * 1994-10-28 2003-07-02 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head, ink jet head cartridge, ink jet apparatus, and method for manufacturing such ink head
DE19506608C2 (de) * 1995-02-24 1999-08-05 Gsaenger Optoelektronik Gmbh & Verfahren und Anordnung zur Erzeugung der dritten Harmonischen der Grundwellenstrahlung eines optisch angeregten Neodym enthaltenden Laserkristalls
DE19510423C2 (de) * 1995-03-24 2001-04-26 Linos Photonics Gmbh Laseranordnung zur resonatorinternen Summenfrequenzmischung
US5543960A (en) * 1995-05-11 1996-08-06 The Regents Of The University Of California Electro-optic crystal mosaics for the generation of terahertz radiation
US5659561A (en) * 1995-06-06 1997-08-19 University Of Central Florida Spatial solitary waves in bulk quadratic nonlinear materials and their applications
US5904678A (en) * 1995-06-19 1999-05-18 Lasersight Technologies, Inc. Multizone, multipass photorefractive keratectomy
DE19527337A1 (de) * 1995-07-26 1997-01-30 Adlas Lasertech Gmbh & Co Kg Laser mit Frequenzvervielfachung
US5832009A (en) * 1995-08-18 1998-11-03 Sony Corporation Laser light emitting device, laser beacon device and laser imager display device
US5684813A (en) * 1995-10-26 1997-11-04 The State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University Polyborates useful for optical frequency conversion
US5906608A (en) * 1996-01-31 1999-05-25 Nidek Co., Ltd. Ablation apparatus
JPH09292638A (ja) * 1996-04-25 1997-11-11 Sony Corp 高出力紫外線レーザー光発生装置
US6002695A (en) * 1996-05-31 1999-12-14 Dpss Lasers, Inc. High efficiency high repetition rate, intra-cavity tripled diode pumped solid state laser
US5940418A (en) * 1996-06-13 1999-08-17 Jmar Technology Co. Solid-state laser system for ultra-violet micro-lithography
GB9614037D0 (en) * 1996-07-04 1996-09-04 Secr Defence An harmonic generator
US5742626A (en) * 1996-08-14 1998-04-21 Aculight Corporation Ultraviolet solid state laser, method of using same and laser surgery apparatus
US5818856A (en) * 1996-08-28 1998-10-06 Trw Inc. Ozone compatible stimulated brillouin scattering materials
US6011809A (en) * 1996-09-25 2000-01-04 Terumo Kabushiki Kaisha Multi-wavelength laser apparatus and continuous variable wavelength laser apparatus
US5818601A (en) * 1996-10-04 1998-10-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Wavelength independent optical probe
US5997529A (en) * 1996-10-28 1999-12-07 Lasersight Technologies, Inc. Compound astigmatic myopia or hyperopia correction by laser ablation
JPH10186428A (ja) * 1996-12-26 1998-07-14 Sony Corp レーザ光発生装置
US5852620A (en) * 1997-01-16 1998-12-22 Uniwave Technology, Inc. Tunable time plate
US5898717A (en) * 1997-01-24 1999-04-27 Photonics Industries International, Inc. Third harmonic generation apparatus
US6210169B1 (en) 1997-01-31 2001-04-03 Lasersight Technologies, Inc. Device and method for simulating ophthalmic surgery
US6005878A (en) * 1997-02-19 1999-12-21 Academia Sinica Efficient frequency conversion apparatus for use with multimode solid-state lasers
US6338049B1 (en) * 1997-03-05 2002-01-08 Walker Digital, Llc User-generated traveler's checks
KR100523789B1 (ko) * 1997-03-14 2005-10-26 빅스 인코포레이티드 외과용 단펄스 중적외선 파라메트릭 발진기
EP0864298A3 (en) * 1997-03-14 2001-02-28 Egawa Corporation Tooth improving apparatus and tooth improving material
DE19713433C2 (de) * 1997-04-01 1999-02-25 Ldt Gmbh & Co Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen mindestens dreier Lichtbündel unterschiedlicher Wellenlänge, insbesondere für eine farbige Bilddarstellung
US5943351A (en) * 1997-05-16 1999-08-24 Excel/Quantronix, Inc. Intra-cavity and inter-cavity harmonics generation in high-power lasers
AUPO796897A0 (en) * 1997-07-16 1997-08-07 Lions Eye Institute Of Western Australia Incorporated, The Solid state uv laser
US6080144A (en) * 1997-07-28 2000-06-27 O'donnell, Jr.; Francis E. Method of improving photorefractive keratectomy by increasing ablation smoothness
US6573702B2 (en) 1997-09-12 2003-06-03 New Wave Research Method and apparatus for cleaning electronic test contacts
US6007202A (en) * 1997-10-23 1999-12-28 Lasersight Technologies, Inc. Eye illumination system and method
US5850407A (en) * 1997-11-25 1998-12-15 Lightwave Electronics Corporation Third-harmonic generator with uncoated brewster-cut dispersive output facet
JP3212931B2 (ja) * 1997-11-26 2001-09-25 日本電気株式会社 波長変換方法及び波長変換素子
US6132424A (en) * 1998-03-13 2000-10-17 Lasersight Technologies Inc. Smooth and uniform laser ablation apparatus and method
US6010497A (en) * 1998-01-07 2000-01-04 Lasersight Technologies, Inc. Method and apparatus for controlling scanning of an ablating laser beam
US6215800B1 (en) 1998-01-14 2001-04-10 Northrop Grumman Corporation Optical parametric oscillator with dynamic output coupler
US6409718B1 (en) 1998-02-03 2002-06-25 Lasersight Technologies, Inc. Device and method for correcting astigmatism by laser ablation
US6404785B1 (en) 1998-02-11 2002-06-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Solid state modulated ultraviolet laser
JP3997450B2 (ja) * 1998-03-13 2007-10-24 ソニー株式会社 波長変換装置
US6167067A (en) * 1998-04-03 2000-12-26 Northrop Grumman Corporation Optical parametric oscillator with monolithic dual PPLN elements with intrinsic mirrors
AUPP281698A0 (en) * 1998-04-06 1998-04-30 Lions Eye Institute Of Western Australia Incorporated, The Method and apparatus for laser ablation
US6282523B1 (en) 1998-06-29 2001-08-28 Walker Digital, Llc Method and apparatus for processing checks to reserve funds
US6373869B1 (en) 1998-07-30 2002-04-16 Actinix System and method for generating coherent radiation at ultraviolet wavelengths
US6031854A (en) * 1998-08-31 2000-02-29 Ming; Lai Diode-pumped cascade laser for deep UV generation
US6016214A (en) * 1998-09-11 2000-01-18 Northrop Grumman Corporation Quadruple grating period PPLN optical parametric oscillator difference frequency generator with common doubly resonant cavity
US6745775B2 (en) 1998-11-10 2004-06-08 Surgilight, Inc. Methods and apparatus for presbyopia treatment using a scanning laser system
USRE40002E1 (en) 1998-11-10 2008-01-15 Surgilight, Inc. Treatment of presbyopia and other eye disorders using a scanning laser system
US6134050A (en) * 1998-11-25 2000-10-17 Advanced Laser Technologies, Inc. Laser beam mixer
US6208673B1 (en) * 1999-02-23 2001-03-27 Aculight Corporation Multifunction solid state laser system
US6497701B2 (en) * 1999-04-30 2002-12-24 Visx, Incorporated Method and system for ablating surfaces with partially overlapping craters having consistent curvature
US6258082B1 (en) 1999-05-03 2001-07-10 J. T. Lin Refractive surgery and presbyopia correction using infrared and ultraviolet lasers
US20010029363A1 (en) * 1999-05-03 2001-10-11 Lin J. T. Methods and apparatus for presbyopia correction using ultraviolet and infrared lasers
US6282014B1 (en) 1999-06-09 2001-08-28 Northrop Grumman Corporation Cascade optical parametric oscillator for down-conversion
US6666855B2 (en) * 1999-09-14 2003-12-23 Visx, Inc. Methods and systems for laser calibration and eye tracker camera alignment
US7456949B2 (en) * 1999-09-14 2008-11-25 Amo Manufacturing Usa, Llc Methods and systems for laser calibration and eye tracker camera alignment
US6559934B1 (en) * 1999-09-14 2003-05-06 Visx, Incorporated Method and apparatus for determining characteristics of a laser beam spot
US6844552B2 (en) 2000-04-06 2005-01-18 Rensselaer Polytechnic Institute Terahertz transceivers and methods for emission and detection of terahertz pulses using such transceivers
US6554825B1 (en) * 2000-05-09 2003-04-29 Laserscope Variable pulse duration, adjustable wavelength medical laser system
US6613042B1 (en) * 2000-06-30 2003-09-02 Nikolai Tankovich Rainbow laser
US6516008B1 (en) * 2000-08-09 2003-02-04 Raytheon Company Laser pulse slicer and dual wavelength converter for chemical sensing
JP2002151774A (ja) 2000-09-01 2002-05-24 Nidek Co Ltd レーザ装置
US6676878B2 (en) * 2001-01-31 2004-01-13 Electro Scientific Industries, Inc. Laser segmented cutting
US6824540B1 (en) 2000-11-06 2004-11-30 Surgilight, Inc. Apparatus and methods for the treatment of presbyopia using fiber-coupled-lasers
US6757310B2 (en) 2001-01-17 2004-06-29 Ming Lai Solid-state laser for customized cornea ablation
US6689985B2 (en) * 2001-01-17 2004-02-10 Orbotech, Ltd. Laser drill for use in electrical circuit fabrication
TWI269924B (en) * 2001-05-25 2007-01-01 Mitsubishi Materials Corp Optical wavelength conversion method, optical wavelength conversion system, program and medium, and laser oscillation system
US6785041B1 (en) * 2001-10-31 2004-08-31 Konstantin Vodopyanov Cascaded noncritical optical parametric oscillator
US20030109860A1 (en) * 2001-12-12 2003-06-12 Michael Black Multiple laser treatment
JP2005512759A (ja) * 2002-01-10 2005-05-12 カタナ テクノロジーズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 屈折性レーザー外科手術用装置及び工程
US6690692B2 (en) 2002-01-29 2004-02-10 Hans Laser Technology Co., Ltd. Third harmonic laser system
US6700906B2 (en) * 2002-01-31 2004-03-02 The Regents Of The University Of California High energy, high average power solid state green or UV laser
AU2003216240A1 (en) * 2002-02-11 2003-09-04 Visx, Inc. Closed loop system and method for ablating lenses with aberrations
US6864478B2 (en) * 2002-04-22 2005-03-08 Visx, Incorporation Beam position monitoring for laser eye surgery
AUPS266302A0 (en) * 2002-05-30 2002-06-20 Clvr Pty Ltd Solid state uv laser
US7077838B2 (en) * 2002-05-30 2006-07-18 Visx, Incorporated Variable repetition rate firing scheme for refractive laser systems
US7083609B2 (en) * 2002-06-13 2006-08-01 Visx, Incorporated Corneal topography-based target warping
US7133137B2 (en) * 2002-06-27 2006-11-07 Visx, Incorporated Integrated scanning and ocular tomography system and method
JP2004128087A (ja) 2002-09-30 2004-04-22 Nidek Co Ltd レーザ装置
WO2004036705A1 (en) * 2002-10-17 2004-04-29 Lumenis Inc. System, method, and apparatus to provide laser beams of two or more wavelengths
US7407285B2 (en) * 2002-11-20 2008-08-05 Ming Lai Method and apparatus for obtaining patient-verified prescription of high order aberrations
US6859335B1 (en) 2002-11-20 2005-02-22 Ming Lai Method of programmed displacement for prolong usage of optical elements under the irradiation of intensive laser beams
US20040116909A1 (en) * 2002-12-11 2004-06-17 Ceramoptec Industries Inc. Multipurpose diode laser system for ophthalmic laser treatments
US7174198B2 (en) * 2002-12-27 2007-02-06 Igor Trofimov Non-invasive detection of analytes in a complex matrix
GB2413004B (en) * 2003-02-03 2007-03-21 Bae Systems Information Method and apparatus for generating mid and long ir wavelength radiation
US20070265606A1 (en) * 2003-02-14 2007-11-15 Reliant Technologies, Inc. Method and Apparatus for Fractional Light-based Treatment of Obstructive Sleep Apnea
US8968279B2 (en) * 2003-03-06 2015-03-03 Amo Manufacturing Usa, Llc Systems and methods for qualifying and calibrating a beam delivery system
US7846152B2 (en) * 2004-03-24 2010-12-07 Amo Manufacturing Usa, Llc. Calibrating laser beam position and shape using an image capture device
JP2004281598A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Nidek Co Ltd レーザ装置
KR100444191B1 (ko) * 2003-03-17 2004-08-21 주식회사 파이컴 프로브 포지셔닝 및 본딩시스템 및 그 방법
ES2546658T3 (es) 2003-03-27 2015-09-25 The General Hospital Corporation Método para tratamiento dermatológico cosmético y renovación fraccionada de la piel
US7023545B2 (en) * 2003-06-12 2006-04-04 Textron Systems Corporation Chemical identification by flash spectroscopy
US7168807B2 (en) 2003-06-20 2007-01-30 Visx, Incorporated Iterative fourier reconstruction for laser surgery and other optical applications
US7175278B2 (en) * 2003-06-20 2007-02-13 Visx, Inc. Wavefront reconstruction using fourier transformation and direct integration
US7672528B2 (en) * 2003-06-26 2010-03-02 Eastman Kodak Company Method of processing an image to form an image pyramid
JP2005062306A (ja) * 2003-08-08 2005-03-10 Fuji Xerox Co Ltd 表示デバイス用粒子の製造方法、表示デバイス用粒子、および、これを用いた画像表示媒体および画像形成装置
US20070055220A1 (en) * 2003-11-14 2007-03-08 Jui-Teng Lin Methods and systems for treating presbyopia via laser ablation
US20080269731A1 (en) * 2003-11-19 2008-10-30 Casimir Andrew Swinger Method and apparatus applying patient-verified prescription of high order aberrations
MXPA03011987A (es) 2003-12-19 2005-06-23 Osio Sancho Alberto Metodo para el tratamiento de la presbicia induciendo cambios en el poder y fisiologia corneal.
US7481536B2 (en) * 2004-02-19 2009-01-27 Amo Manufacturing Usa, Llc Methods and systems for differentiating left and right eye images
JPWO2005085947A1 (ja) * 2004-03-08 2008-01-24 株式会社ニコン レーザ光源装置、このレーザ光源装置を用いた露光装置及びマスク検査装置
AU2005222863C1 (en) * 2004-03-15 2010-07-22 Visx, Incorporated Stabilizing delivered laser energy
US7413572B2 (en) 2004-06-14 2008-08-19 Reliant Technologies, Inc. Adaptive control of optical pulses for laser medicine
US7387387B2 (en) * 2004-06-17 2008-06-17 Amo Manufacturing Usa, Llc Correction of presbyopia using adaptive optics and associated methods
US20050279369A1 (en) * 2004-06-21 2005-12-22 Lin J T Method and apparatus for the treatment of presbyopia and glaucoma by ciliary body ablation
WO2006005038A2 (en) * 2004-06-28 2006-01-12 Optimedica Corporation Method and device for optical ophthalmic therapy
JP2006189587A (ja) * 2005-01-05 2006-07-20 Nidek Co Ltd 医療用レーザ装置
US20060224146A1 (en) * 2005-03-30 2006-10-05 Lin J T Method and system for non-invasive treatment of hyperopia, presbyopia and glaucoma
US20060259021A1 (en) * 2005-05-12 2006-11-16 Lin J T Diode-laser-pumped ultraviolet and infrared lasers for ablation and coagulation of soft tissue
US20060276776A1 (en) * 2005-06-01 2006-12-07 Lin J T Method and system for two-step customized cornea reshaping using ultraviolet infrared lasers
US7261412B2 (en) * 2005-06-30 2007-08-28 Visx, Incorporated Presbyopia correction through negative high-order spherical aberration
US7541588B2 (en) * 2005-07-12 2009-06-02 Northrop Grumman Corporation Infrared laser illuminated imaging systems and methods
US7331674B2 (en) * 2005-09-02 2008-02-19 Visx, Incorporated Calculating Zernike coefficients from Fourier coefficients
US7682304B2 (en) * 2005-09-21 2010-03-23 Medtronic, Inc. Composite heart valve apparatus manufactured using techniques involving laser machining of tissue
US20070100401A1 (en) * 2005-11-01 2007-05-03 Lin J T Compact laser device and method for hair removal
US7471705B2 (en) * 2005-11-09 2008-12-30 Lockheed Martin Corporation Ultraviolet laser system and method having wavelength in the 200-nm range
ES2371408T3 (es) 2005-12-01 2012-01-02 Wavelight Gmbh Disposición para la realización de tratamientos quirúrgicos del ojo con láser.
US9681985B2 (en) * 2005-12-01 2017-06-20 Topcon Medical Laser Systems, Inc. System and method for minimally traumatic ophthalmic photomedicine
US7451507B2 (en) * 2006-01-18 2008-11-18 Amo Manufacturing Usa, Llc Compression head pillows and neck angle adjustment mechanism for refractive laser surgery and the like
US7520609B2 (en) * 2006-01-18 2009-04-21 Amo Manufacturing Llc Non-invasive measurement of tear volume systems and methods
US7811280B2 (en) 2006-01-26 2010-10-12 Amo Manufacturing Usa, Llc. System and method for laser ablation calibration
US7661161B2 (en) * 2006-01-27 2010-02-16 Amo Manufacturing Usa, Llc. Chair stabilizer for refractive surgery
US20070212335A1 (en) * 2006-03-07 2007-09-13 Hantash Basil M Treatment of alopecia by micropore delivery of stem cells
US8518030B2 (en) * 2006-03-10 2013-08-27 Amo Manufacturing Usa, Llc Output energy control for lasers
CN100458407C (zh) * 2006-03-10 2009-02-04 天津大学 全固态双波长探测激光雷达
US20110058578A9 (en) * 2006-03-13 2011-03-10 Lighthouse Technologies Pty Ltd Laser and a method for operating the laser
AU2007226795B2 (en) * 2006-03-14 2012-02-23 Amo Manufacturing Usa, Llc Spatial frequency wavefront sensor system and method
AU2007227371B2 (en) * 2006-03-23 2012-02-02 Amo Manufacturing Usa, Llc Systems and methods for wavefront reconstruction for aperture with arbitrary shape
RU2318466C1 (ru) * 2006-06-23 2008-03-10 Давид Георгиевич Кочиев Лазерная установка для абляции тканей и литотрипсии
RU2315582C1 (ru) * 2006-07-31 2008-01-27 Общество с ограниченной ответственностью "Лазерные Технологии в Медицине" (ООО "Л.Т.М.") Лазерная установка
WO2008054993A2 (en) * 2006-10-31 2008-05-08 Blue Sky Research Semiconductor diode pumped laser using heating-only power stabilization
US8926600B2 (en) * 2006-11-10 2015-01-06 Amo Manufacturing Usa, Llc Operator-controlled scanning laser procedure designed for large-area epithelium removal
US7931644B2 (en) * 2006-11-10 2011-04-26 Amo Development Llc. Operator-controlled scanning laser procedure designed for large-area epithelium removal
US8568393B2 (en) * 2007-03-13 2013-10-29 Topcon Medical Laser Systems, Inc. Computer guided patterned laser trabeculoplasty
US8953647B1 (en) 2007-03-21 2015-02-10 Lockheed Martin Corporation High-power laser using thulium-doped fiber amplifier and frequency quadrupling for blue output
TWI407971B (zh) * 2007-03-30 2013-09-11 Nitto Denko Corp Cancer cells and tumor-related fibroblasts
US8755417B1 (en) * 2007-04-16 2014-06-17 Kla-Tencor Corporation Coherent light generation below about two-hundred nanometers
US7575322B2 (en) * 2007-05-11 2009-08-18 Amo Development Llc. Auto-alignment and auto-focus system and method
US9295584B2 (en) * 2007-05-17 2016-03-29 Amo Development, Llc Customized laser epithelial ablation systems and methods
US8409176B2 (en) * 2008-12-02 2013-04-02 Biolitec Pharma Marketing Ltd Method and device for laser lithotripsy
US20100318074A1 (en) * 2009-06-10 2010-12-16 Bruno Dacquay Ophthalmic endoillumination using low-power laser light
JP4654424B2 (ja) * 2009-08-19 2011-03-23 レーザーテック株式会社 光源装置
US20110139755A1 (en) * 2009-11-03 2011-06-16 Applied Materials, Inc. Multi-wavelength laser-scribing tool
US8409181B2 (en) * 2009-11-05 2013-04-02 Amo Development, Llc. Methods and systems for treating presbyopia
US20110134944A1 (en) * 2009-12-08 2011-06-09 The Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Efficient pulse laser light generation and devices using the same
EP2526592B1 (en) * 2010-01-22 2021-06-23 Newport Corporation Broadly tunable optical parametric oscillator
CN101760785B (zh) * 2010-02-08 2012-05-30 中国科学院理化技术研究所 一种用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置
US9793673B2 (en) 2011-06-13 2017-10-17 Kla-Tencor Corporation Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier
US8873596B2 (en) * 2011-07-22 2014-10-28 Kla-Tencor Corporation Laser with high quality, stable output beam, and long life high conversion efficiency non-linear crystal
WO2013082466A1 (en) 2011-11-30 2013-06-06 Amo Development, Llc. System and method for ophthalmic surface measurements based on sequential estimates
US9496425B2 (en) 2012-04-10 2016-11-15 Kla-Tencor Corporation Back-illuminated sensor with boron layer
US20130313440A1 (en) * 2012-05-22 2013-11-28 Kla-Tencor Corporation Solid-State Laser And Inspection System Using 193nm Laser
CN111290143B (zh) 2012-08-10 2023-03-31 奥西奥公司以约利亚健康公司名义经营 隐形眼镜和为个体的眼睛测定隐形眼镜的适配的方法
US9042006B2 (en) 2012-09-11 2015-05-26 Kla-Tencor Corporation Solid state illumination source and inspection system
US9158084B2 (en) 2012-10-24 2015-10-13 Amo Development, Llc Scanning lens systems and methods of reducing reaction forces therein
US9151940B2 (en) 2012-12-05 2015-10-06 Kla-Tencor Corporation Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier
US8929406B2 (en) 2013-01-24 2015-01-06 Kla-Tencor Corporation 193NM laser and inspection system
US9529182B2 (en) 2013-02-13 2016-12-27 KLA—Tencor Corporation 193nm laser and inspection system
US9398978B2 (en) 2013-03-06 2016-07-26 Amo Development, Llc Systems and methods for removing fixation light reflection from an ophthalmic image
US9608399B2 (en) 2013-03-18 2017-03-28 Kla-Tencor Corporation 193 nm laser and an inspection system using a 193 nm laser
US9478402B2 (en) 2013-04-01 2016-10-25 Kla-Tencor Corporation Photomultiplier tube, image sensor, and an inspection system using a PMT or image sensor
CN103368056B (zh) * 2013-07-22 2015-06-17 中国科学院半导体研究所 一种多波长激光切换输出装置
US9410901B2 (en) 2014-03-17 2016-08-09 Kla-Tencor Corporation Image sensor, an inspection system and a method of inspecting an article
US9804101B2 (en) 2014-03-20 2017-10-31 Kla-Tencor Corporation System and method for reducing the bandwidth of a laser and an inspection system and method using a laser
KR101582614B1 (ko) 2014-05-16 2016-01-05 전자부품연구원 레이저 모듈 제작방법 및 레이저 모듈 패키지
US9419407B2 (en) 2014-09-25 2016-08-16 Kla-Tencor Corporation Laser assembly and inspection system using monolithic bandwidth narrowing apparatus
US9748729B2 (en) * 2014-10-03 2017-08-29 Kla-Tencor Corporation 183NM laser and inspection system
US9220563B1 (en) 2014-12-29 2015-12-29 InnovaQuartz LLC Multiwavelength surgical laser
KR102432285B1 (ko) * 2015-04-30 2022-08-16 주식회사 루트로닉 레이저 장치 및 레이저 장치 구동방법
US9860466B2 (en) 2015-05-14 2018-01-02 Kla-Tencor Corporation Sensor with electrically controllable aperture for inspection and metrology systems
US9653880B2 (en) * 2015-05-19 2017-05-16 Qioptiq Photonics Gmbh & Co. Kg Tunable, narrow linewidth single transversal mode light source using a quasi-incoherent broadband pump source
US10748730B2 (en) 2015-05-21 2020-08-18 Kla-Tencor Corporation Photocathode including field emitter array on a silicon substrate with boron layer
EP3100669A1 (en) * 2015-06-05 2016-12-07 University of Limerick A spectroscopic imaging device
US10462391B2 (en) 2015-08-14 2019-10-29 Kla-Tencor Corporation Dark-field inspection using a low-noise sensor
JP6991995B2 (ja) 2016-03-30 2022-01-13 アイピージー フォトニクス コーポレーション ３次高調波発生のための高効率レーザーシステム
US10778925B2 (en) 2016-04-06 2020-09-15 Kla-Tencor Corporation Multiple column per channel CCD sensor architecture for inspection and metrology
US10313622B2 (en) 2016-04-06 2019-06-04 Kla-Tencor Corporation Dual-column-parallel CCD sensor and inspection systems using a sensor
CN105846305B (zh) * 2016-05-20 2019-01-18 中国人民解放军军事医学科学院 一种多工作模式切换控制的双通道多波长脉冲激光器
US20180042771A1 (en) 2016-08-10 2018-02-15 Amo Development, Llc Epithelial ablation systems and methods
US10175555B2 (en) 2017-01-03 2019-01-08 KLA—Tencor Corporation 183 nm CW laser and inspection system
AU2018364657A1 (en) 2017-11-10 2020-05-07 Boston Scientific Scimed, Inc. Apparatus and methodology for reshaping a laser beam
US11114489B2 (en) 2018-06-18 2021-09-07 Kla-Tencor Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor
US10943760B2 (en) 2018-10-12 2021-03-09 Kla Corporation Electron gun and electron microscope
US11114491B2 (en) 2018-12-12 2021-09-07 Kla Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor
US11848350B2 (en) 2020-04-08 2023-12-19 Kla Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor using a silicon on insulator wafer
CN112636140B (zh) * 2020-12-17 2021-11-05 武汉安扬激光技术股份有限公司 一种功率、脉宽同时锁定飞秒激光器
CN116670949A (zh) * 2020-12-30 2023-08-29 Ipg光子公司 深紫外激光源
DE102021127402A1 (de) 2021-10-21 2023-04-27 Schwind Eye-Tech-Solutions Gmbh Behandlungsvorrichtung für eine Augenbehandlung, Verfahren, Computerprogramm, computerlesbares Medium und Speichereinrichtung

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4180751A (en) * 1978-09-08 1979-12-25 Gte Sylvania Incorporated Mode-locked optical parametric oscillator apparatus
US4349907A (en) * 1980-04-23 1982-09-14 The United Stated Of America As Represented By The Department Of Energy Broadly tunable picosecond IR source
US4386428A (en) * 1980-10-14 1983-05-31 Sanders Associates, Inc. Tripled Nd:YAG Pumped Tm3+ laser oscillator
US4764930A (en) * 1988-01-27 1988-08-16 Intelligent Surgical Lasers Multiwavelength laser source
US4880996A (en) * 1988-08-19 1989-11-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Optical parametric amplifying variable spatial filter
EP0368512A3 (en) * 1988-11-10 1990-08-08 Premier Laser Systems, Inc. Multiwavelength medical laser system
EP0418890A3 (en) * 1989-09-21 1992-03-25 Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. Solid state laser device for lithography light source and semiconductor lithography method
US5028816A (en) * 1990-05-21 1991-07-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Electro-optic line narrowing of optical parametric oscillators
US5065046A (en) * 1990-11-28 1991-11-12 Amoco Corporation Method and apparatus for parametric generation of midinfrared light in KNbO3
US5144630A (en) * 1991-07-29 1992-09-01 Jtt International, Inc. Multiwavelength solid state laser using frequency conversion techniques

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018047315A (ja) * 2012-01-06 2018-03-29 デンツプライ シロナ インコーポレーテッド レーザーを用いて歯内処置を実行するシステム及び方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0597044A1 (en) 1994-05-18
AU660049B2 (en) 1995-06-08
ES2111649T3 (es) 1998-03-16
US5144630A (en) 1992-09-01
CA2074749A1 (en) 1993-01-30
WO1993003523A1 (en) 1993-02-18
EP0597044B1 (en) 1998-01-21
CA2074749C (en) 2001-06-19
ATE162667T1 (de) 1998-02-15
AU2581992A (en) 1993-03-02
EP0597044A4 (ja) 1994-08-31
DE69224197D1 (de) 1998-02-26
DE69224197T2 (de) 1998-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH06509445A (ja) 周波数変換技術を用いたマルチ波長ソリッドステート・レーザー
US20020133146A1 (en) Short pulse mid-infrared parametric generator for surgery
EP1006967B1 (en) Short pulse mid-infrared parametric generator for surgery
US5742626A (en) Ultraviolet solid state laser, method of using same and laser surgery apparatus
AU2005287885B2 (en) A selectable multiwavelength laser for outputting visible light
US6208673B1 (en) Multifunction solid state laser system
US6757310B2 (en) Solid-state laser for customized cornea ablation
US5260953A (en) Tunable solid-state laser
US5991317A (en) Retinal photocoagulator including diode pumped, multi-axial mode intracavity doubled laser
WO1998041177A9 (en) Short pulse mid-infrared parametric generator for surgery
JP2001353176A (ja) レーザ治療装置
WO2002065071A2 (en) Methods and devices for efficient generation of ultraviolet light
US6870664B2 (en) Nondegenerate optical parametric chirped pulse amplifier
US6381255B1 (en) Solid state UV laser
EP1000383A1 (en) Solid state uv laser
US11796890B2 (en) Transport system for a laser beam
WO2023241601A1 (en) Apparatus and method for laser generating, and laser ablation system
AU731325B2 (en) Solid state UV laser
JPH075511A (ja) 光パラメトリック発振器及び該光パラメトリック発振器を用いた癌治療装置
Reed et al. 250 kHz Optical Parametric Amplification of the White-Light-Continuum from a Ti: Sapphire Regenerative Amplifier
SCHEPS Technique for intracavity sum frequency generation(Patent)
AU7171100A (en) Solid state UV laser
WO1999051161A1 (en) Laser ablation of tooth material
AU3130199A (en) Laser ablation of tooth material