JP2002151774A - レーザ装置 - Google Patents

レーザ装置

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JP2002151774A
JP2002151774A JP2001248714A JP2001248714A JP2002151774A JP 2002151774 A JP2002151774 A JP 2002151774A JP 2001248714 A JP2001248714 A JP 2001248714A JP 2001248714 A JP2001248714 A JP 2001248714A JP 2002151774 A JP2002151774 A JP 2002151774A
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resonance
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laser
resonance optical
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Yasutoshi Takada
康利 高田
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Nidek Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 波長切換え時のアライメント精度の確保を容
易にしつつ、効率良く複数の異なる波長のレーザ光を出
射可能なレーザ装置を提供する。 【解決手段】 複数の異なる波長のレーザ光を出射可能
なレーザ装置において、励起光源と、励起光源からの光
によって複数のピーク波長を放出する固体レーザ媒質
と、固体レーザ媒質より放出されるピーク波長の内の第
1ピーク波長の第二高調波を第1レーザ光として発振す
るための第1共振光学系と、第1共振光学系に配置され
た固体レーザ媒質と第1波長変換素子との間の光路に挿
脱される可動反射ミラーと、可動反射ミラーの光路の挿
入によって第1共振光学系における固体レーザ媒質側の
共振光路を共用すると共に、固体レーザ媒質より放出さ
れる第1ピーク波長とは異なる第2ピーク波長の第二高
調波を第2レーザ光として発振するための第2共振光学
系とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の波長のレー
ザ光を選択、発振することができるレーザ装置に関す
る。
【0002】
【従来技術】複数の異なる波長のレーザ光を出射可能な
レーザ装置としては、レーザ光の波長が可変なアルゴン
・ダイレーザやマルチウェイブレングスのクリプトンレ
ーザなどが知られている。これらは、患部や治療目的に
よって適する波長が異なる眼科手術等の医療分野など、
様々な分野で使用されている。例えば、眼科手術におい
ては、可視域を中心に波長(色)の違いによって異なる
疾患(患部)の治療を行っており、疾患(患部)によっ
ては赤と緑などの異なる波長(色)を同時に又は切換え
て使用する場合もあるため、1台の装置で複数の異なる
波長を出射できるのは都合がよい。ところで、前述した
波長可変のレーザ治療装置は気体又はダイレーザであ
り、レーザチューブが短寿命であること、多大な電力を
必要とすること、装置が大型化することなど問題が多い
ため、固体レーザによる多波長発振可能なレーザ装置が
研究されている。そのような背景の中、従来はプリズム
やグレーティング等の波長選択素子を共振器内に挿入し
て、波長選択を行う方法が提案されている。また、特開
平10−65238に開示されるように出力ミラーを共
振光軸上で切換えることにより、複数のレーザ光を出射
させるものもある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
プリズム等の挿入によって波長の選択を行う場合、共振
器内の損失が比較的大きくなり、励起光からレーザ光へ
の変換効率が低くなる。さらにまた、プリズム自体及び
その配置位置等に高い精度が要求される。また、後者の
出力ミラーを切換える方法において、第二高調波を発振
させて多波長のレーザ光を得るレーザ装置の場合、第二
高調波を得るための非線型結晶や出力ミラー等、入れ替
えを必要とする光学部品の数が多くなり、共振時におけ
る各光学部品のアライメント精度の確保が難しいといっ
た問題もある。
【0004】本発明は、上記問題点を鑑み、波長切換え
時のアライメント精度の確保を容易にしつつ、効率良く
複数の異なる波長のレーザ光を出射可能なレーザ装置を
提供することを技術課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とす
る。
【0006】(1) 複数の異なる波長のレーザ光を出
射可能なレーザ装置において、励起光源と、該励起光源
からの光によって複数のピーク波長を放出する固体レー
ザ媒質と、該固体レーザ媒質より放出されるピーク波長
の内の第1ピーク波長を共振させるとともに,その第1
ピーク波長の第二高調波を第1レーザ光として発振する
ための第1波長変換素子を持つ第1共振光学系と、該第
1共振光学系に配置された前記固体レーザ媒質と第1波
長変換素子との間の光路に挿脱される可動反射ミラー
と、該可動反射ミラーの光路への挿入によって前記第1
共振光学系における前記固体レーザ媒質側の共振光路を
共用すると共に、固体レーザ媒質より放出される前記第
1ピーク波長とは異なる第2ピーク波長の第二高調波を
第2レーザ光として発振するための第2波長変換素子を
持つ第2共振光学系と、を有することを特徴とする。 (2) (1)のレーザ装置において、前記第2共振光
学系と共用される第1共振光学系の光路には、前記第1
及び第2ピーク波長を反射すると共に前記第1レーザ光
及び第2レーザ光の波長を透過する特性を持つ出力ミラ
ーを配置したことを特徴とする。 (3) (2)のレーザ装置において、前記固体レーザ
媒質はNd:YAGの結晶を使用することを特徴とす
る。 (4) 複数の異なる波長のレーザ光を出射可能なレー
ザ装置において、励起光源と、該励起光源からの光によ
って複数のピーク波長を放出する固体レーザ媒質と、該
固体レーザ媒質より放出されるピーク波長の内の第1ピ
ーク波長を共振させる一対の共振ミラーを持つと共に,
その第1ピーク波長の第二高調波を第1レーザ光として
発振するための第1波長変換素子を持つ第1共振光学系
と、前記固体レーザ媒質と第1波長変換素子との間の光
路にて第1の位置と第2の位置とに切換え可能に置かれ
る可動反射ミラーであって,第1の位置に切換えられた
ときに前記第1共振光学系を構成する可動反射ミラー
と、前記第1共振光学系の前記固体レーザ媒質側の共振
光路を共用すると共に,前記可動反射ミラーが第2の位
置に切換えられたときにその反射方向に専用の共振光路
が形成された第2共振光学系であって,該専用光路には
前記固体レーザ媒質より放出される前記第1ピーク波長
とは異なる第2ピーク波長を共振する共振ミラーと前記
第2ピーク波長の第二高調波を第2レーザ光として発振
するための第2波長変換素子とが配置された第2共振光
学系と、を備えることを特徴とする。 (5) (4)のレーザ装置において、前記可動反射ミ
ラーは前記固体レーザ媒質の共振光軸方向に移動される
ことにより、前記第1の位置と第2の位置とに切換えら
れる可動反射ミラーであり、該移動により位置が切換え
られる前記駆動反射ミラーの反射方向に前記第1及び第
2共振光学系の専用光路がそれぞれ設けられていること
を特徴とする。 (6) (4)のレーザ装置において、前記可動反射ミ
ラーは前記固体レーザ媒質の共振光軸と直交する軸の軸
回りに回転することにより、前記第1の位置と第2の位
置とに切換えられる可動反射ミラーであり、該回転によ
り位置が切換えらる前記駆動反射ミラーの反射方向に前
記第1及び第2共振光学系の専用光路がそれぞれ設けら
れていることをを特徴とする。 (7) (4)のレーザ装置において、前記可動反射ミ
ラーは前記第1共振光学系の共振光路に挿脱されること
により、前記第1の位置と第2の位置とに切換えられる
可動反射ミラーであり、前記第1共振光学系の共振光路
から外されたときに前記第1共振光学系が構成され、前
記第1共振光学系の共振光路に可動反射ミラーが挿入さ
れたときに、その反射方向に前記第2共振光学系の専用
光路が形成されていることを特徴とする。 (8) (4)〜(7)の何れかのレーザ装置におい
て、前記固体レーザ媒質と前記駆動反射ミラーとの間の
光路には、前記第1及び第2ピーク波長を反射すると共
に前記第1レーザ光及び第2レーザ光の波長を透過する
特性を持つ出力ミラーを配置したことを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1はスリットランプを使用する
眼科用レーザ光凝固装置の外観図である。図2は装置の
光学系及び制御系概略図である。
【0008】1はレーザ装置本体であり、後述するレー
ザ発振器10、レーザ光を患者眼の患部に導光して照射
するための導光光学系の一部、制御部20等が収納され
ている。2は装置のコントロール部であり、レーザ光の
波長を選択する波長選択スイッチ2aやレーザ照射条件
を設定入力するための各種スイッチが設けられている。
3はレーザ照射のトリガ信号を発信するためのフットス
イッチである。
【0009】4はスリットランプであり、患者眼を観察
するための観察光学系と導光光学系の一部とが備えられ
ている。5は本体1からのレーザ光をスリットランプ4
に導光するためのファイバである。6はスリットランプ
4を上下動するための架台である。
【0010】図2おいて、10はレーザ発振器であり、
内部には固体レーザ媒質であるNd:YAG結晶(以
下、単にロッドともいう)11、励起光源である半導体
レーザ(以下、単にLD(Laser Diode)ともいう)1
2、波長変換器である非線形結晶(以下、単にNLC
(Non Linear Crystal)ともいう)13a〜13c、全
反射ミラー(以下、単にHR(High Reflector)ともい
う)14a〜14f、出力ミラー15が備えられてい
る。なお、非線形結晶としては、KTP結晶、LBO結
晶、BBO結晶等が使用可能であり、本実施形態ではK
TP結晶を使用している。
【0011】Nd:YAG結晶は励起光源からの励起光
により、近赤外域の複数の発振線(ピーク波長)を持つ
光を放出する。そこで、本実施形態の装置では、複数の
発振線の内で出力が高い、約1064nm、約1123
nm、約1319nmの3つの発振線における第二高調
波を、非線形結晶を利用して発生させることにより、約
532nm(緑)、約561nm(黄)、及び約659
nm(赤)の3色のレーザ光を出射させる。
【0012】ロッド11が配置される光軸L1の光路の
一端にはHR14aが設けられ、他端には出力ミラー1
5が所定角度だけ傾けて設けられている。HR14aは
1064nm〜1319nmの波長に対して全反射の特
性を持つものであるが、これに限るものではなく、10
64nm、1123nm、1319nmの波長を含んだ
赤外域の波長を広く反射するような特性を持つものであ
ってもかまわない。出力ミラー15は1064nm〜1
319nmの波長を全反射するとともに、532nm〜
659nmを透過する特性を持つ。出力ミラー15の反
射方向の光軸L2上には、NLC13aとHR14dが
固定されて設けられている。NLC13aは1319n
mの波長に対して、その第二高調波である659nmの
波長を発生させるように配置されている。HR14dは
1319nm及び659nmに対して全反射の特性を持
つ。すなわち、659nmのレーザ光を発振するための
HR14dには、659nmを全反射すると共に、N
d:YAG結晶の発振線の内、1319nmを全反射
し、それよりゲインの高い波長の反射ロスを大きくする
反射特性を持たせれば良い。
【0013】このような光学配置により、ロッド11を
挟んで光軸L1のHR14aと光軸L2上のHR14d
が対向する一対の共振器構造を持つ第1の共振光学系が
構成され、NLC13aによって発生される第二高調波
の659nmをロッド11にて阻害されることなく、出
力ミラー15より出射することが可能である。
【0014】光軸L2上の出力ミラー15とNLC13
aとの間には、HR14eが挿脱可能に配置される。H
R14eは1064nm及び532nmに対して全反射
の特性を持つ。HR14eの反射方向の光軸L3上に
は、NLC13bとHR14bが固定的に設けられてい
る。NLC13bは1064nmの波長に対して、その
第二高調波である532nmの波長を発生させるように
配置されている。HR14bは14eと同じく1064
nm及び532nmに対して全反射の特性を持つ。すな
わち、532nmのレーザ光を発振するためのHR14
bには、少なくとも532nm及び1064nmを全反
射する特性を持つ。
【0015】このような光学配置により、HR14eが
光軸L2上に挿入された時には、第1の共振光学系のH
R14a、ロッド11、出力ミラー15を共用し、HR
14aとHR14bとがロッド11を挟んで一対の共振
器となる第2の共振光学系が構成される。
【0016】光軸L2上でHR14eが挿脱される位置
とNLC13aとの間には、HR14fが挿脱可能に配
置される。HR14fは1123nm及び561nmに
対して全反射の特性を持つ。HR14fの反射方向の光
軸L4上には、NLC13cとHR14cが固定的に設
けられている。NLC13cは1123nmの波長に対
して、その第二高調波である561nmを発生するよう
に配置されている。HR14cはHR14fと同じく1
123nm及び561nmに対して全反射の特性を持
つ。すなわち、561nmのレーザ光を発振するための
HR14c(HR14f)には、561nmを全反射す
ると共に、Nd:YAG結晶の発振線のうち、1123
nmを全反射し、それよりゲインの高い波長の反射ロス
を大きくする反射特性を持たせれば良い。
【0017】このような光学配置により、HR14fが
光軸L2上に挿入された時には、第1の共振光学系のH
R14a、ロッド11、出力ミラー15を共用し、HR
14aとHR14cとがロッド11を挟んで一対の共振
器となる第3の共振光学系が構成される。
【0018】図2において、20はコントロール部2や
フットスイッチ3からの信号に基づいて装置各部を制御
する制御部、21a,21bはモータ等からなる駆動装
置であり、駆動装置21aは光軸L2上にHR14e
を、駆動装置21bは光軸L2上にHR14fをそれぞ
れ挿脱させる。
【0019】以上のような構成を備えるため、共振器構
造を有する各共振光学系の変更を行う時にはHR14
e、14fを挿脱すればよく、その他の光学部材を移動
等する必要がない。このため、光学部材の移動によるア
ライメントずれを最小限に抑えることができる。また、
このような構成の場合、各共振器間の長さを自由に設計
できるため、効率のよい発振が可能な光学系の配置(共
振器間の長さ)を、各共振器毎にて簡単に設定できる。
【0020】なお、図2においては駆動装置21a及び
21bによるHR14e及びHR14fの挿脱を、それ
ぞれ光軸L3,L4方向に移動するように描いたが、こ
れは図2の紙面に直交する方向に移動するようにするこ
とが好ましい。この場合には、HR14e,HR14f
の移動位置の精度に影響されずに、アライメント精度を
確保することが可能となる。
【0021】次に、以上の構成に基づき、複数の異なる
波長のレーザ光を出射させる方法について説明する。
【0022】<659nmのレーザ光の出射方法>術者
は波長選択スイッチ2aにより、手術に使用するレーザ
光の色(波長)を赤色(659nm)とする。赤色の選
択時には、HR14e及びHR14fは光軸L2の外に
置かれる。レーザ光の出射制御はフットスイッチ3を使
用して、制御部20に出射のトリガ信号を与えることに
よって行われる。
【0023】トリガ信号を受けると制御部20は、LD
12に電流を印可し、LD12によってロッド11を励
起する。なお、ロッド11であるNd:YAG結晶の両
端面には、1064nm、1123nm、1319nm
に対して透過性を高めるようにAR(Anti Reflectiv
e)コーティングが施されている。
【0024】ロッド11が励起されると、HR14aと
HR14dとの間では1319nmの光が共振され、さ
らに光軸L2上に配置されたNLC13aによって第2
高調波である659nmの光に波長変換される。得られ
た659nmのレーザ光は、出力ミラー15を透過し、
ファイバ5へ導光される。そして、スリットランプ4の
照射口から患者眼に向けて照射される。
【0025】<532nmのレーザ光の出射方法>術者
は波長選択スイッチ2aにより、手術に使用するレーザ
光の色(波長)を緑色(532nm)とする。制御部2
0は駆動装置21aを駆動させ、HR14eを光軸L2
上に位置させる(図3参照)。また、制御部20はフッ
トスイッチ3からのトリガ信号によってLD12に電流
を印可させ、ロッド11を励起させる。
【0026】ロッド11が励起されると、HR14aと
HR14bとの間では1064nmの光が共振され、さ
らに光軸L3上に配置されたNLC13bによって第2
高調波である532nmの光に波長変換される。得られ
た532nmのレーザ光は、出力ミラー15を透過し、
ファイバ5へ導光される。そして、スリットランプ4の
照射口から患者眼に向けて照射される。
【0027】<561nmのレーザ光の出射方法>術者
は波長選択スイッチ2aにより、手術に使用するレーザ
光の色(波長)を黄色(561nm)とする。制御部2
0は駆動装置21bを駆動させ、HR14fを光軸L2
上に位置させる(このとき、前回の出射で532nmの
波長が選択されている場合には、HR14eを光軸L2
上から退避させておく)。また、制御部20はフットス
イッチ3からのトリガ信号によってLD12に電流を印
可させ、ロッド11を励起させる。
【0028】ロッド11が励起されると、HR14aと
HR14cとの間では1123nmの光が共振され、さ
らに光軸L4上に配置されたNLC13cによって第2
高調波である561nmの光に波長変換される。得られ
た561nmのレーザ光は、出力ミラー15を透過し、
ファイバ5へ導光される。そして、スリットランプ4の
照射口から患者眼に向けて照射される。
【0029】以上のように、659nm(赤)、532
nm(緑)、561n(黄)の異なる波長のレーザ光が
得られる。ここで、659nmのレーザ光を発振するた
めのHR14dの反射特性において、Nd:YAG結晶
の発振線の内、1319nmよりゲインの高い1123
nm以下の短波長側の発振線については50%以下の反
射率とするのが好ましい。さらに1064nmの発振線
については20%以下の反射率とするのが好ましい。
【0030】同様に、561nmのレーザ光を発振する
ためのHR14c(HR14f)の反射特性において、
Nd:YAG結晶の発振線の内、1123nmよりゲイ
ンの高い1115.9nm以下の短波長側の発振線につ
いては50%以下の反射率とするのが好ましい。さらに
1064nmの発振線については20%以下の反射率と
するのが好ましい。なお、1123nmに対してNd:
YAG結晶の発振線の内の1115.9nmが波長的に
近いため、HR14cの反射特性で反射率の差を設ける
ことが容易でない場合は、図4に示すようにエタロン等
の波長選択素子30をNLC13cとHR14fとの間
に配置し、1123nmを選択的に取り出し可能に構成
すれば良い。
【0031】以上説明した実施形態では全反射ミラー
(HR14e,HR14f)を第1の共振光学系の光路
に挿入することにより、第2及び第3の共振光学系を構
成するようにしているが、これに限るものではなく、図
5及び図6に示す変容も可能である。
【0032】まず、図5の変容例を説明する。図1及び
図4で示した符号と同符号を付してあるものは同機能を
有しているものであり、説明は省略する。
【0033】14gはHR14aと同じ反射特性を持つ
全反射ミラー(HR)であり、軸L2上に所定の角度を
もって配置されている。また、HR14gは駆動量を検
知することのできる駆動手段(例えばパルスモータ等)
にて構成される駆動装置21cによって軸L2上を移動
することができるようになっている。このため、HR1
4gを軸L3,L4,L5と軸L2との交点にその反射
面をそれぞれ位置させることにより、異なる波長のレー
ザ光を出力させるための共振光学系をそれぞれ構成する
ことができる。すなわち、HR14gの反射面が軸L2
と軸L5との交点位置に位置したときには、HR14a
とHR14dとによりロッド11等を挟んで位置する一
対の共振ミラーとなる共振光学系が構成され、659n
mのレーザ光が得られる。HR14gの反射面が軸L2
と軸L4との交点位置に位置したときには、561nm
を得る共振光学系が構成される。HR14gの反射面が
軸L2と軸L3との交点位置に位置したときには、53
2nmを得る共振光学系が構成さる。軸L2の反射方向
にある軸L3,L4,L5の光路が、それぞれ専用の共
振光路とされる。
【0034】また、図5に示す光学系においては、軸L
3,L4,L5はともに平行になるように設定(配置)
されている。従ってHR14gを使用して各波長におけ
る共振器を各々組む場合、HR14gの設置角度を変え
ることなく軸L2上を軸に沿って移動するだけでよい。
このためアライメント精度の確保は軸上の移動のみに気
をつければよく、アライメント精度の確保が容易とな
る。
【0035】なお、22a、22bはHR14gの移動
限界を検知するとともにHR14gの移動基準となる位
置を決定するためのリミットセンサである。共振器を形
成するためにHR14gの位置を駆動制御する場合、制
御部20はレーザ装置の電源投入時に駆動装置21cを
使用してHR14gをリミットセンサ22a(又は22
b)にて検知される位置まで一旦移動させた後、その位
置を基準位置として、選択されているレーザ光の波長が
出力される位置(軸L2と軸L3〜5との交点)まで予
め決定されている駆動量だけHR14gを移動させる。
【0036】また、さらにレーザ光の出射効率を良くし
たい場合には、前述したように選択されているレーザ光
の波長が出力される位置までHR14gを移動させた
後、出力ミラー15の出力側に設けられた図示なきセン
サにて、レーザ光の出力の検出を行う。次に、HR14
gを軸L2に沿って前後に微動させ、センサにてレーザ
光の出力が最も高く検出されるような位置にHR14g
を移動させる。これにより、さらに効率の良いレーザ光
の出射が可能となる。また、レーザ光の出力を検出する
センサは従来からレーザ装置の出力検出のために装置内
に設けられているセンサを使用すればよい。
【0037】図6は1つの全反射ミラーの角度位置の切
換えで、3つの異なる波長のレーザ光を出射させるため
の光学系を示したものである。ここで前述の実施形態で
示した符号と同符号を付してあるものは同機能を有して
いるものであり、説明は省略する。
【0038】14hはHR14aと同じ反射特性を持つ
全反射ミラー(HR)、21dは駆動量を検知すること
のできる駆動手段(例えばパルスモータ等)にて構成さ
れる駆動装置であり、軸L2に直交する軸(点Aを通り
紙面に垂直な軸)の軸回りにHR14hを回転駆動させ
ることができる。駆動装置21dの駆動量の制御は制御
部20によって行われる。図6において各軸L3,L
4,L5は軸L2上の交点Aにてすべて交わるように設
定されており、この交点Aの位置にHR14hの反射面
が位置している。HR14gの反射面の角度位置が切換
えられたとき、その反射方向に位置する軸L3,L4,
L5の光路が、それぞれ専用の共振光路とされる。
【0039】各波長のレーザ光を出射させるための共振
光学系を各々形成するために、HR14hの位置を駆動
制御する場合、制御部20はレーザ装置の電源投入時に
駆動装置21dを使用してHR14gを所定の角度位置
に戻した後、その位置を基準角度位置として、選択され
ているレーザ光の波長を出力するために必要とされる角
度位置までHR14hを回転駆動させる。すなわち、H
R14hの反射面の角度位置を切換え、軸L2の反射方
向が軸L5と一致するようにしたときには、HR14a
とHR14dとがロッド11等を挟んで一対の共振器と
なる共振光学系が構成され、659nmのレーザ光が得
られる。軸L2の反射方向が軸L4と一致するようにし
たときには、561nmを得る共振光学系が構成さる。
軸L2の反射方向が軸L3と一致するようにしたときに
は、532nmを得る共振光学系が構成さる。なお、所
定の角度位置(基準角度位置)にHR14hを合わせる
には、前述したリミットセンサ等を使用し、HR14h
の角度位置を検知すればよい。
【0040】また、さらにレーザ光の出射効率を良くし
たい場合には、前述したようにレーザ光の出力を検出す
るセンサを使用して、レーザ光の出力が最も高く検出さ
れるような位置角度にHR14hを微調整し合わせれば
よい。
【0041】以上説明した実施形態では、3波長を選
択、出射するものとしているが、これに限るものではな
く、2波長、4波長等の複数の波長を選択、出射するこ
とができる。また、HR14aとHR14b、HR14
aとHR14c、HR14aとHR14dで構成される
各共振光学系は、それぞれ波長毎に適した光学配置の長
さに設定すれば良い。
【0042】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、波長選
択時に駆動させる光学部材を最小限に抑えたため、アラ
イメントずれが抑制される。また、共振器の中にプリズ
ム等を配置する必要がないため、レーザ光の出射効率が
高い。さらに、波長毎に適した共振器間の光学配置の長
さを各々設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態で使用する眼科用レーザ光凝固装置
の外観を示す図である。
【図2】光学系と制御系を示す図である。
【図3】異なる波長を出射させるために光学系の位置を
変更させた時の概略図である。
【図4】光軸上に波長選択素子を設けた場合の光学系を
示す図である。
【図5】本実施形態の変容例を示す図である。
【図6】本実施形態の変容例を示す図である。
【符号の説明】
1 レーザ装置本体 2 コントロール部 3 フットスイッチ 4 スリットランプ 10 レーザ発振器 11 ロッド 12 半導体レーザ 13a〜13c 非線型結晶 14a〜14f 全反射ミラー 15 出力ミラー
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) A61F 9/00 502 511

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の異なる波長のレーザ光を出射可能
    なレーザ装置において、励起光源と、該励起光源からの
    光によって複数のピーク波長を放出する固体レーザ媒質
    と、該固体レーザ媒質より放出されるピーク波長の内の
    第1ピーク波長を共振させるとともに,その第1ピーク
    波長の第二高調波を第1レーザ光として発振するための
    第1波長変換素子を持つ第1共振光学系と、該第1共振
    光学系に配置された前記固体レーザ媒質と第1波長変換
    素子との間の光路に挿脱される可動反射ミラーと、該可
    動反射ミラーの光路への挿入によって前記第1共振光学
    系における前記固体レーザ媒質側の共振光路を共用する
    と共に、固体レーザ媒質より放出される前記第1ピーク
    波長とは異なる第2ピーク波長の第二高調波を第2レー
    ザ光として発振するための第2波長変換素子を持つ第2
    共振光学系と、を有することを特徴とするレーザ装置。
  2. 【請求項2】 請求項1のレーザ装置において、前記第
    2共振光学系と共用される第1共振光学系の光路には、
    前記第1及び第2ピーク波長を反射すると共に前記第1
    レーザ光及び第2レーザ光の波長を透過する特性を持つ
    出力ミラーを配置したことを特徴とするレーザ装置。
  3. 【請求項3】 請求項2のレーザ装置において、前記固
    体レーザ媒質はNd:YAGの結晶を使用することを特
    徴とするレーザ装置。
  4. 【請求項4】 複数の異なる波長のレーザ光を出射可能
    なレーザ装置において、励起光源と、該励起光源からの
    光によって複数のピーク波長を放出する固体レーザ媒質
    と、該固体レーザ媒質より放出されるピーク波長の内の
    第1ピーク波長を共振させる一対の共振ミラーを持つと
    共に,その第1ピーク波長の第二高調波を第1レーザ光
    として発振するための第1波長変換素子を持つ第1共振
    光学系と、前記固体レーザ媒質と第1波長変換素子との
    間の光路にて第1の位置と第2の位置とに切換え可能に
    置かれる可動反射ミラーであって,第1の位置に切換え
    られたときに前記第1共振光学系を構成する可動反射ミ
    ラーと、前記第1共振光学系の前記固体レーザ媒質側の
    共振光路を共用すると共に,前記可動反射ミラーが第2
    の位置に切換えられたときにその反射方向に専用の共振
    光路が形成された第2共振光学系であって,該専用光路
    には前記固体レーザ媒質より放出される前記第1ピーク
    波長とは異なる第2ピーク波長を共振する共振ミラーと
    前記第2ピーク波長の第二高調波を第2レーザ光として
    発振するための第2波長変換素子とが配置された第2共
    振光学系と、を備えることを特徴とするレーザ装置。
  5. 【請求項5】 請求項4のレーザ装置において、前記可
    動反射ミラーは前記固体レーザ媒質の共振光軸方向に移
    動されることにより、前記第1の位置と第2の位置とに
    切換えられる可動反射ミラーであり、該移動により位置
    が切換えられる前記駆動反射ミラーの反射方向に前記第
    1及び第2共振光学系の専用光路がそれぞれ設けられて
    いることを特徴とするレーザ装置。
  6. 【請求項6】 請求項4のレーザ装置において、前記可
    動反射ミラーは前記固体レーザ媒質の共振光軸と直交す
    る軸の軸回りに回転することにより、前記第1の位置と
    第2の位置とに切換えられる可動反射ミラーであり、該
    回転により位置が切換えらる前記駆動反射ミラーの反射
    方向に前記第1及び第2共振光学系の専用光路がそれぞ
    れ設けられていることをを特徴とするレーザ装置。
  7. 【請求項7】 請求項4のレーザ装置において、前記可
    動反射ミラーは前記第1共振光学系の共振光路に挿脱さ
    れることにより、前記第1の位置と第2の位置とに切換
    えられる可動反射ミラーであり、前記第1共振光学系の
    共振光路から外されたときに前記第1共振光学系が構成
    され、前記第1共振光学系の共振光路に可動反射ミラー
    が挿入されたときに、その反射方向に前記第2共振光学
    系の専用光路が形成されていることを特徴とするレーザ
    装置。
  8. 【請求項8】 請求項4〜7の何れかのレーザ装置にお
    いて、前記固体レーザ媒質と前記駆動反射ミラーとの間
    の光路には、前記第1及び第2ピーク波長を反射すると
    共に前記第1レーザ光及び第2レーザ光の波長を透過す
    る特性を持つ出力ミラーを配置したことを特徴とするレ
    ーザ装置。
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