JPH06505676A

JPH06505676A - 能動的振動抑制アクチュエータ

Info

Publication number: JPH06505676A
Application number: JP5511969A
Authority: JP
Inventors: ヴァン・ナーメン，フレデリック・チャド
Original assignee: ハーマン・インターナショナル・インダストリーズ・インコーポレーテッド
Priority date: 1992-01-03
Filing date: 1992-12-31
Publication date: 1994-06-30
Also published as: US5231336A; CA2105308A1; EP0574574A4; EP0574574B1; AU3428893A; NO933130D0; WO1993013586A1; ATE154731T1; EP0574574A1; DE69220482D1; DE69220482T2; AU661111B2; NO933130L; NZ246767A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】能動的振動抑制アクチェエータ技術上の分野本発明は線形アクチュエータ一般に、特に能動的振動抑制システムに適切なアクチュエータに関するものである。

五量處バ蚤技術振動機器のような振動源からもたらされる好ましくない振動の問題を低減するために従来から多くの方法並びに技術が考案されている。かかる振動は如何なる方法を用いても完全には消滅させることは出来ないが、振動を減衰させることはその有害な影響を低減させることと人間に対する快適性を向上させることの両面から望ましいことである。

振動を抑制しようとする初期の試みは「受動的」振動抑制システムと呼ばれるものである。かかるシステムは、望ましくない振動を吸収して熱として放散させるようなエネルギー減衰素子または素材が使用されている。遮音と自動車のシ町ツク・アブソーバがそれらの代表的な例である。受動的振動抑制システムの他の例としては振動源に対して反作用的負荷を及ぼすバネのようなエネルギー備蓄素子を挙げることが出来る８例えば、大型のモータは屡々そのモータの既知の固有振動数に対応したバネ常数を漏ったバネの上に取り付けられている。この樺なバネは振動エネルギーの備蓄と再放出を行うことによって有効な機械的フィルターとして働き、その結果モータが取り付けられている平面へ伝播される振動力が低減される。

最近になって、〔能動的」振動抑制システムと呼ばれる振動抑制システムが出現した。かかるシステムでは望ましくない振動を打ち消すような振動を発生するアクチュエータが使用され、アクチュエータを駆動するのに使用される誤差信号を引き出すための振動感知手段を持ったフィードバック制御システムによってアクチュエータが制御されている。かかる能動的システムの例はアメリカ合衆国特許４，５６６．１１８号並びに４．４９０，８４１号に見られ、かかる開示が本出願の明細書の参考資料として組み込まれている。

能動的振動抑制システムではアクチュエータを駆動するのに使用される人力信号に正確に対応した振動を発生させることが出来るアクチュエータであることが不可欠である。このことは入力振動とアクチェエータによって創り出される振動との間の相関が直線関係でなければならないことを意味している。振動抑制用に最適の電磁式アクチュエータの一つのタイプとして拡声器の駆動に広く使用されている可動コイル方式を挙げることが出来る。このアクチェエータでは、コイルを流れる電流に対して垂直方向に配置された一定の磁場に向けられたソレノイドコイルに入力電流が適用される。コイルは入力電流に比例した、磁場と電流との双方に対して垂直な方向の力を受ける。拡声器の場合は、可動コイル（別名音声コイル）は入力信号に対応した音波を発生させるための隔膜に繋がれている。一方、モータまたはアクチュエータの場合には、可動コイルは入力電流に対応した往復運動を行う摺動軸に繋がれている。可動コイル型のアクチェエータの変形として、永久磁石を取り付けた摺動輪の周りに一つまたは複数個の固定コイルを配置したものを挙げることが出来る。磁石の南北両極は摺動軸および取り巻いているコイルと同軸上にある。固定コイルに電流を流すと磁場が発生して、コイルに流した入力電流に比例した力で軸は何れかの方向に動く。

既に述べたように、能動的抑制システムではアクチェエータは駆動人力信号に対して出来る限り直線的に応答する必要がある。かかる直線的な応答を得るために設計上の種々の考慮が払われている。その第一に、可動エレメント（即ち可動コイルまたは可動永久磁石）が受ける力は移動線上の可動エレメントの位置とは無関係に入力電流の量に等しくなければならない、このことは理想的には永久磁石によって作られる磁場はアクチュエータの全移動範囲に亘って均一でなければならないことを意味している。

第二には、コイルの電流は入力信号電圧に出来る限り正確に追随しなければならない、しかし入力電圧信号が印荷されるコイルは誘導負荷を有しているので、コイルの電流は入力信号電圧に瞬時に応答することは出来なくて、コイル電流の応答はコイルのインダクタンスに比例した時定数を有している。直線的に作動するめにはこの時定数は出来る限り小さくなくてはならず、このことはインダクタンスが出来るだけ小さくなくてはならないことを意味している。

第三に、物理法則の言う処に従うと一定の磁場に置かれた、電流が流れている導体は電流の大きさに比例した力を受ける。アクチュエータの効率を増大させるためには、永久磁石によって作られた一定磁場を集中させてコイルに垂直な方向を向かせた磁束が形成されている必要がある。こうすることによってコイルに流れる電流値と永久磁石の強さが与えられた場合にコイル（可動磁石型アクチェエータの場合は磁石）が受ける力が最大になる。

しかし、アクチェエータのコイルを流れる電流は、それ自体が永久磁石によって作られた磁場を変化させる磁場を形成する。入力電流と力との間の比例関係を維持するためには磁石によって作られた磁場の変化が出来るだけ小さい必要があり、その結果単位電流当たりの力が電流の大きさや方向と無関係になる。

文献に記載されている既存のアクチュエータの中の幾つかのものは上に述べたような問題点を解決している０例えば、Ｆｒａｎｄｓｅｎに交付されているアメリカ合衆国特許４，６９２，９９９号は、コイルの位置に無関係に出来るだけ磁場の均一性を維持するために、２組のコイルと永久磁石を使用した可動コイル型電磁アクチュエータを開示している０日本特許出［１１１０８１１０２５０１号は、可動コイルによって形成される磁場と反対方向の磁場を創り出すために、補償コイルを可動コイルと同軸に配置した電磁式トランスジューサーを開示している。　Ｋｒａｍｅｒに交付されている合衆国特許３，２０２，８８６号は、反対方向に励起される２つのコイルを使用した２位置操作方式の可動永久磁石型アクチュエータを開示している。しかしながら、これらの文献資料は何れも能動型振動抑制に応用できる程度にまで上記の諸問題点を克服できたアクチュエータを教示乃至は暗示しているものではない。

本発肌の開示本発明は上に掲げた設計上の目的を達成するための電磁式アクチェエータである。第一の実施例では、軸の軸線方向に沿った両端が開いた透磁性の外装に納められた軸上に設けられた永久磁石がアクチェエータを構成している。軸はその両端が外装の各開放端に設けられた非磁性の端面キャップ内に保持されている。永久磁石構造体は軸方向に磁化されている。２つ以上のフィールドコイルが外装内に同軸に置かれた非磁性ボビンに捲かれている。これらのコイルは、コイルに電流を流したときに互いに反対方向の磁場を発生するように電気的に結線されている。その結果発生した力は永久磁石構造体を入力電流の極性によって決まる何れかの方向に駆動させる。永久磁石構造体の各種はフィールドコイルの直近に小さい磁気空気間隙を残すように位置している。非磁性の端面キャップを有する外装は、磁場を集中させ且つ空気間隙内でフィールドコイルに対して垂直方向を向かせた磁束を磁石構造体に提供する。

第二の実施例では、複数のフィールドコイルが軸と同軸に置かれた透磁性の円筒に捲かれている。軸は、軸の軸線に沿った両端が開いた透磁気の外装内にあって、この軸は第一の実施例と同様に非磁性の端面キャップに保持されている。各フィールドコイルに対応した円周方向に磁化された環状の永久磁石が外装の内周に設けられている。第一の実施例の場合と同様に、フィールドコイルは入力電流で駆動された場合にはコイルが反対方向の磁場を発生するように電気的に結線されている。コイルと軸は入力電流の極性に応じて何れかの方向に駆動される。非磁性の端面キャップを有する外装と円筒は、集中し且つ円筒と外装の間にあって、当該空気間隙内にフィールドコイルを有している空気間隙内で永久磁場に垂直方向を向いている磁束を提供する。

上に記載した実施例は何れもアクチュエータの外装が振動面と非振動面との間に固定して取り付けられた場合に能動的振動抑制に掻めて有効なものとなる。アクチュエータはフィードバック制御系を使って振動面の振動に抵抗するような入力電流で駆動される。アクチューエータの軸が振動面に繋がれていると、駆動力は直接振動面に加えられる０反対に、アクチュエータの軸が自由に往復運動できりようになっていると、質量の反作用力が振動に抵抗する。外装内のアクチュエータ軸に取り付けられている（または一体化されている）全質量力仕分に大きければ、運動量保存則に従って可動エレメントの往復運動がアクチュエータの外装に強力な反作用力を及ぼす、その結果、振動面から非振動面へ振動が伝わるのを防ぐように、この反作用力が面に加えられる。

本発明のその他の目的、機能並びに利点は、本発明の代表的な好ましい実施例の参考図を利用した以下の詳細な説明によって、より一層明確になるであろう。

図面の簡単な説明第１図は可動磁石型実施例の分解組立図である。

第２図は第１図に示した実施例の断面図である。

第３図は可動コイル型実施例の分解組立図である。

第４図は第３図に示した実施例の断面図である。

第５図は振動抑制に特に有効な本発明の実施例を示したものである。

゛　−るための　゛第１図と堕２図を参照しながら可動磁石型である本発明の詳細な説明する。

永久磁石構造体またはアクチェエータＭｌはアクチュエータ軸Ｓｌ上にあって軸線方向に磁化されている。軸Ｓ１の軸線に沿った両端が開いている透磁性外装Ｈ１の内部に、軸Ｓｌは摺動し得るようにその両端で支えられている。アマチェアーＭｌは１つまたは複数の同軸に配置された永久磁石と１枚または複数枚の極板ＰＰ１で構成された集積体である。掻板ＰＰＩは各磁石の間の磁石集積体の両端に配置されている。磁石が複数個ある場合は各磁石は同一の極が互いに面するように軸Ｓｌ上に集積されている。この実施例ではアマチュア−Ｍｌは円形断面を持った円筒であるが、その他の任意の形態を取ることもできる。

１つまたは複数のソレノイドコイルＣＩが外装Ｈ１内に置かれた非磁性ボビンＢｌ上に捲かれている。コイルＣＩはボビンＢｌ上で環を形成するように軸方向に互いに間隔を空けて設けられている。その内径は、アマチェアー構造体Ｍ１が自由に軸方向に動ける掻く小さい直径方向の間隙が出来るように、磁石構造体Ｍｌの外周に合わせて作られている。ボビンＢ１の外径は円筒状の鋼製外装Ｈ１の内側に丁度入るようになっている。コイルＣ１は、隣接する群Ｃ１を流れた電流が反対方向の磁場を作るように、互いに電気的に結線されている。

円筒状外装Ｈ１の両開放端は、その各端面板１５の中心にスリーブ軸受け２０を持った非磁性端面キャップ１５で閉じられている。外装Ｈ１は磁気的に軟質の鋼で作られているが、端面キャップ１５はアルミニウムまたはその他の非磁性材料で作られている。ベアリング２０はアマチュア−の軸３１を案内して、アマチェアーＭ１の芯を出す働きをしている。入力電流がコイルＣＩに流されると、アマチェアーＭ１は入力電流信号に対応した往復力を受ける。

透磁性の外装Ｈ１、非磁性の端面キャップｌり、および非磁性のボビンＢ１は集中し且つコイルＣ１に対してより一層垂直方向を向いた磁石集積体によって作られた磁場をもたらす。

次に第３図と第４図を参照しながら可動コイル型である本発明の今一つの実施例を説明する。２個以上の環状磁石セグメントＭ２は磁気的に軟質な鋼のような高度に透磁性の材料で作られた外装Ｈ２の内面に接触している。外装Ｈ２はその両端が非磁性の端面キャップ１５で閉じられている。磁石Ｍ２は半径方向に磁化されている。隣接した磁石Ｍ２は反対方向を向いたＮ−３ｆｉを有している。

２つ以上のフィールドコイルＣ２が薄肉の磁性鋼の円筒２５の上に捲かれている。

非磁性のコア２６が円筒２５の内側を占めている。コイルＣ２は非磁性材料２７で互いに隔てられている。アクチュエータの軸Ｓ２はコア２７の中心にあって、軸Ｓ２は両端面キャップ１５のスリーブ軸受け２０によって外装Ｈ２の内部を摺動出来るように取り付けられている。コイルＣ２は、入力電流がコイルを流れると隣接したコイルＣ２に反対方向の磁場が形成されてフィールドコイルＣ２が入力信号に対応した往復運動を起こすように、電気的に結線されている。外装Ｈ１、円筒２５．、および非磁性の端面キャップ１５は、集中し且つ磁場の方向がコイルＣ２に対して垂直方向を向いている磁石Ｍ２の磁束の経路を創り出している。

上述した何れの実施例に於いても、磁石を高透磁率を有する材料（即ち、外装Ｈ１またはＨ２）で囲むことによって、磁束の殆どがコイルＣ１またはＣ２が置かれている磁気間隙に導かれる。この間隙から洩出する磁束は掻く僅かであるので、高効率の電磁式アクチェエータが創生される。第一の実施例の場合には、極板ＰＰＩの磁束は全てコイルに導かれている。第二の実施例では、円筒２５は磁石Ｍ２によって作られた磁束に対して低磁気抵抗の経路を提供している。何れの実施例に於いても、非磁性の端面キャップ１５は永久磁石の磁石束がコイルＣ１またはＣ２に対して垂直方向を向くのを助けている。

本発明の各実施例は何れも入力電気信号に対して低インダクタンス負荷であるアクチュエータを提供する。入力電圧信号の変化に起因する入力電流の変化はこのインダクタンスに比例した時定数をもたらすから、インダクタンスが小さくなると入力信号と可動エレメントに掛かる力との間の関係は直線に一層近くなる。

インダクタンスは反対方向の磁場が出来るように隣接したコイルを直列に電気的に結線することによって低減させることが出来る。コイルに電流が流れるときに創生される磁場の結合によって隣接するコイルの間に誘導結合が作られる。２っの隣接したコイルを流れる電流の方向が同じである時には、形成された磁場が加算されて組み合わせ全体のインダクタンスは個々のインダクタンスの２倍になる。

電流が反対方向に流れたときには、誘起された磁場は互いに反対方向になってその結果全体のインダクタンスは減少する。電気的時定数は全体のインダクタンスに比例するから、時定数も小さくなることになる。コイル間の磁束の結合性が良くなるほど、全体のインダクタンスもより良く低減される。上述の実施例ではコイルの内部に低磁気抵抗の経路が確保されているので、隣接したコイル間の磁束の高結合度が達成されている。

上述した実施例はまた、与えられた入力電流によって可動エレメント（即ち、コイルまたは磁石）に生起する力が可動エレメントの行程上の位置に無関係であるアクチェエータを提供している。このことは第一の実施例ではアマチェアーを構成する磁石の各種に近接してコイルＣ１を設けることによって達成されている。

同様に第二の実施例では、環状磁石Ｍ２はコイルＣ２の各々に近接して設けられている。コイルと極板の寸法関係を正しく取り扱うことによって、可動エレメントの行程全体に亘ってコイルを通過する磁束を一定に保つことが出来る。

次に第５図を参照しながら、能動的振動抑制に適用するのに特に適合した本発明の詳細な説明する。此処に示したアクチェエータは先に第１図と第２図を参照して説明した可動磁石型に属するものである。従って、アクチュエータは電気入力信号がコイルに導入されたときに反対方向を向いた磁場を発生させるように電気的に結線されたフィールドコイルＣ３を内部に備えた外装Ｈ３で構成されている。磁気アマチュア−Ｍ３は電流が流れるコイルＣ３によって作られた磁場がアマチュア−Ｍ３に力を及ぼすように軸線方向に磁化されている。先の実施例と同様に、外装Ｈ３と極板ＰＰ３は磁束に対して低磁気抵抗の経路を提供している。

しかし本実施例では、軸Ｓ３は外装Ｈ３の内部に固定されていて、逆にアマチュア−Ｍ３が軸上を摺動するようになっている。アマチェアーＭ３はコイルＣ３に加えられた入力電流に対応して往復運動を起こし、掻く小さい摩擦抵抗を除いて機械的な負荷の妨害を受けることはない。外装Ｈ３は振動＠ＶＳと保持面ＭＳとの間に定常的に保持されている。アクチュエータは金属板５１に取り付けたゴムまたはそれにｍ４Ｑの材料で出来た台座５０によって物理的に振動源に繋がれている。

振動源の振動に感応する適切なフィードバック制御システムによって創出れた入力信号がコイルＣ３に適用されると、アマチュア−Ｍ３は入力信号に対応した往復運動を始める。第５図は、振動センサー１００からの信号が供給されると感知された振動を減衰させるようにコイルＣ３に駆動信号を発生させる処理ユニット・ピックアップを示している。アマチュア−に質量があるから、アマチュア−のこの樟な運動は外装Ｈ３に供与されるべき反作用力を運動量の保存によって発生させる。この様な反作用力は振動源■Ｓと保持面ＭＳとの間の振動の伝播を妨げるように働く、アマチュア−は自由に動くから、この反作用力は振動源■Ｓで発生した振動力の強さとは無関係に与えられた入力電流と同じになる。

代表的な応用としては、第５図のアクチェエータは自動車のエンジンによって生起する振動を能動的に抑制し、振動が自動車の車体に伝わるのを防止するのに利用することが出来る。この場合、保持面ＭＳは自動車の車体で振動源■Ｓはエンジンである０台座５０はエンジンを車体に保持しているゴム製のエンジン台座である。

第５図を参照して上に述べたアクチュエータが可動コイル型でも良いことは明かである。また、アマチュア−Ｍ３が軸Ｓ３の上を摺動するのではなくて、アマチュア−が摺動可能な軸に固定されていて、外装の各端には空間があり行程には限界が設けられているような構造も可能である。上に述べたアクチェエータのアマチェアーＭ３が、中央の平衡位置から外れた場合には、内部磁場の復原力に起因するある固有周波数で振動して、その結果アマチュア−は磁気抵抗が最小になる磁束経路をめるようになるのは好ましいことである。この固有振動数は復原力の強さとアマチュア−の質量によって決まる。アクチュエータの周波数応答性はその固有振動数に保存するから、外装Ｈ３の内部に内部バネＲ１を設けて固有周波数を変化させるのも、場合によっては望ましいことである。

別の実施例では、第５図のアクチェエータが振動面ｖＳでのみ保持されている場合がある。アクチュエータで形成された反作用力は面■Ｓの振動を減少させるように働く。

以上本発明を特定の実施例に関連させて説明したが、多くの変更、改良、改造が通常の知見を有する当業者によって可能であることは明かである。かかる変更、改良、改造は全て以下に記載する特許請求の範囲に包含されるべきものである。

補正書の翻訳文提出書（特許法第１８４条の７第１ｑ。

平成　５年　９月　３日ｌ

Claims

【特許請求の範囲】

１．高透磁率を有する材料で作られていて、軸線に沿って両端が開いた外装内に各端で保持された軸に設けられ、軸線方向に磁化されている永久磁石構造体と、該外装内に同軸的に置かれた非磁性ボビンの周りに捲かれた複数のコイルであって、コイルに入力電気信号が供給されたときには入力信号の極性と振幅に対応した軸線方向の力が永久磁石構造体に働くように、配置されたコイルの極く近傍に磁石の各極が来るようにボビンの内部に磁石構造体が配置されている、複数のコイルと、内部に軸の端が配置され、永久磁石構造体の磁場がより一層コイルに対して垂直方向に向くようにしている、該外装の両端にある非磁性の端面キャップとを備え、該コイルは励起された場合に隣接したコイルが反対方向の磁場を発生して、その結果入力電気信号に対して低誘導負荷になるように相互に電気的に接続され、そして該コイルは永久磁石構造体の各極に隣接して位置し、該コイルと永久磁石構造体の寸法は永久磁石構造体からコイルに衝突した磁束が磁石構造体が軸線方向に移動した場合にも比較的一定であるようになっている電磁式アクチュエータ。
２．該永久磁石構造体は、該軸が外装内に定常的に配置された状態で該軸上を摺動可能に配置されている請求の範囲第１項記載のアクチュエータ。
３．該軸は、永久磁石構造体が該軸に定常的に配置された状態で、該外装内を摺動可能に配置されている請求の範囲第１項記載のアクチュエータ。
４．該永久磁石構造体は、各々の残部で各磁石の間に配置された極板を有する一つ又はそれ以上の同軸的に配設された永久磁石を含む磁石集積体である請求の範囲第１項記載のアクチュエータ。
５．入力信号に応じて望ましくない振動に対抗するようにアクチュエータを駆動する手段を併せて有する請求の範囲第１項記載のアクチュエータ。
６．高透磁率を有する材料で作られていて、軸線に沿って両端が開いた外装内に各端で保持された軸に同軸的に設けられた円筒と、該円筒の周囲に捲かれた複数のコイルと、該外装の内周に同軸的に設けられた各コイルに対応し、そのコイルに近接して位置する各永久磁石の円周方向に磁化され、コイルが入力電気信号によって励起されたときには入力信号の極性と振幅に対応した軸線方向の力がかかるように配置された環状永久磁石と、内部に軸の端が配置され、該環状永久磁石の磁場がより一層コイルに対して垂直方向に向くようにしている、該外装の両端にある非磁性の端面キャップとを備え該コイルは励起された場合に隣接したコイルが反対方向の磁場を発生して、入力電気信号に対して低誘導負荷になるように相互に電気的に接続され、そして該環状磁石は各コイルに隣接して位置し、該コイルと該環状磁石の寸法は環状磁石からコイルに衝突した磁束がコイルが軸線方向に移動した場合にも比較的一定であるようになっている電気式アクチュエータ。
７．該円筒は、該軸が外装内に定常的に配置された状態で、該軸上を摺動可能に配置されている請求の範囲第６項記載のアクチュエータ。
８．該軸は、該円筒が該軸に定常的に配置された状態で、該外装内を摺動可能に配置されている請求の範囲第６項記載のアクチュエータ。
９．該円筒の中心に位置し円筒上で非磁性材料によって互いに分離されたフィールドコイルを有する非磁性コアを合わせて有する請求の範囲第６項記載のアクチュエータ。
１０．望ましくない振動に対抗するように入力信号に応じてアクチュエータを駆動する手段を併せて有する請求の範囲第６項記載のアクチュエータ。
１１．振動面と非振動面との間に装着された外装と、該外装内に摺動可能に置かれた可動エレメントと、該２つの面に対して垂直な方向に入力電気信号に対応した往復直線運動を可動エレメントにさせる手段と、振動面の振動を検出して、検出された振動を減衰させるような方法で運動を生起させる手段に供給される入力電気信号を発生させる手段とを備え、該可動エレメントの動きは、可動エレメントの質量と運動量の保存によって振動面の振動を減衰させるのに利用可能な反作用力を発生させる能動的振動抑制用電気式アクチュエータ。
１２．アクチュエータを振動面と非振動面との間に設置するための手段を併せて有する請求の範囲第１１項記載のアクチュエータ。
１３．該外装の内部に設けられていて可動エレメントの振動の固有周波数を変化させてアクチュエータの振動に対する応答をも併せて変化させるように可動エレメントに作用するバネを併せて有する請求の範囲第１１項記載のアクチェエータ。
１４．一次振動と二次振動の干渉後に残る残留振動を検出する手段と、検出された振動を減衰させるような方法でアクチュエータを駆動するために該振動検出手段から受けた信号に対応した電気信号を発生させる手段と、二次振動を発生させる電磁式アクチュエータとを備え、該アクチュエータは、高透磁率を有する材料で作られていて、軸線に沿って再端が開いた外装内に各端で保持された軸に設けられ、軸線方向に磁化されている、永久磁石構造体と、該外装内に同軸的に置かれた非磁性ボビンの周りに捲かれた複数のコイルであって、コイルに入力電気信号が供給されたときには入力信号の極性と振幅に対応した軸線方向の力が永久磁石構造体に働くように、配置されたコイルの極く近傍に磁石の各極が来るようにボビンの内部に永久磁石構造体が配置されている、複数のコイルと、内部に軸の端が配置され、永久磁石構造体の磁場がより一層コイルに対して垂直方向を向くようにしている、該外装の両端にある非磁性の端面キャップとを有し、該コイルは励起された場合に隣接したコイルが反対方向の磁場を発生して、その結果入力電気信号に対して低誘導負荷になるように相互に電気的に接続され、そしてその場合にコイルは永久磁石構造体の各極に隣接して位置し、コイルと永久磁石構造体の寸法は永久磁石構造体からコイルに衝突した磁束が磁石構造体が軸線方向に移動した場合にも比較的一定であるようになっていることを特徴とする二次振動を発生させることによって振動源から放散される一次振動を能動的に打ち消すシステム。
１５．一次振動と二次振動の干渉後に残る残留振動を検出する手段と、検出された振動を減衰させるような方法でアクチュエータを駆動するために振動検出手段から受けた信号に対応した電気信号を発生させる手段と、二次振動を発生させる電磁式アクチュエータとを備え、該アクチュエータは、高透磁率を有する材料で作られていて軸線に沿って再端が開いた外装内に各端で保持された軸に同軸的に設けられた円筒と、該円筒の周囲に捲かれた複数のコイルと、該外装の内周に同軸的に設けられた各コイルに対応し、該コイルに近接して位置する各永久磁石の円周方向に磁化され、該コイルが入力電気信号によって励起されたときには入力信号の振幅と極性に対応した軸線方向の力がかかるように配置された環状永久磁石と、内部に軸の端が配置され、該環状永久磁石の磁場がより一層コイルに対して垂直方向を向くようにしている、該外装の両端にある非磁性の端面キャップとを有し、該コイルは励起された場合に隣接したコイルが反対方向の磁場を発生して、入力電気信号に対して低誘導負荷になるように相互に電気的に接続され、そして該環状磁石は各コイルに隣接して位置し、該コイルと環状磁石の寸法は環状磁石からコイルに衝突した磁束がコイルが軸線方向に移動した場合にも比較的一定であるようになっていることを特徴とする、二次振動を発生させることによって振動源から放散される一次振動を能動的に打ち消すシステム。