JPH0650022U - 顕微鏡 - Google Patents

顕微鏡

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Publication number
JPH0650022U
JPH0650022U JP8594892U JP8594892U JPH0650022U JP H0650022 U JPH0650022 U JP H0650022U JP 8594892 U JP8594892 U JP 8594892U JP 8594892 U JP8594892 U JP 8594892U JP H0650022 U JPH0650022 U JP H0650022U
Authority
JP
Japan
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sample
stage
mounting surface
microscope
holder
Prior art date
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Pending
Application number
JP8594892U
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English (en)
Inventor
治和 清水
洋一 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構造によりXYステージ上の試料が妄
動することのない顕微鏡を提供するにある。 【構成】 試料載置面11の一端に試料受け面12が設
けられたXYステージ1に、XYステージ1の試料載置
面11に載置された試料2を押さえる試料押さえ13が
設けられ、試料押さえ13は試料載置面11に載置され
た試料2に接近もしくは離れる方向に移動可能に設けら
れ、試料押さえ13とXYステージ1に設けられたバネ
受け15の間に設けられたバネ17の復元力により試料
押さえ13は試料載置面11に載置された試料2を試料
受け面12に押さえつける方向に押しつけられている。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、顕微鏡に関し、特に、そのXYステージに試料が妄動しないように 配慮されたものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、図4に示すように、顕微鏡のXYステージ1の試料載置面11に試料2 を載置し、XYステージ1に載置された試料2を鏡筒3の直下に合わせるために XYステージ1をX方向もしくはY方向に移動させる場合に、その移動加速度に より試料2がXYステージ1の試料載置面11上を妄動し、容易にXYステージ 1に載置された試料2を鏡筒3の直下に合わせることができなかった。
【0003】 そこで、例えば、実開昭55−175113号公報に記載されているように、 試料を真空吸着装置によりXYステージ吸着固定するものが知られている。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の実開昭55−175113号公報に記載のように、真空 吸着装置によりXYステージに吸着固定するものは、真空吸着装置の存在により 装置全体が大型のものとなる上、試料を透過光により観察するような場合には、 真空吸着装置が邪魔になるため、XYステージに真空吸着装置を取り付け難い問 題がある。
【0005】 本考案は、従来のこのような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的 とするところは、上記の問題を解決し、簡単な構造によりXYステージ上の試料 が妄動することのない顕微鏡を提供するにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1記載の本考案顕微鏡においては、 試料載置面の一端に試料受け面が設けられたXYステージに、XYステージの 試料載置面に載置された試料を押さえる試料押さえが設けられ、試料押さえは試 料載置面に載置された試料に接近もしくは離れる方向に移動可能に設けられ、試 料押さえとXYステージに設けられたバネ受けの間に設けられたバネの復元力に より試料押さえは試料載置面に載置された試料を試料受け面に押さえつける方向 に押しつけられていることを特徴とするものである。
【0007】 請求項2記載の本考案顕微鏡においては、 XYステージの試料載置面がゴムのような試料固定部材により形成されている ことを特徴とするものである。
【0008】 請求項1記載の本考案において、使用するバネは、圧縮力に対し復元反発する 圧縮バネでも引張力に対し復元縮小する引張バネでも、いずれでもよい。 請求項2記載の本考案顕微鏡において、ゴムのような試料固定部材としては、 摩擦の大きいものが使用できる。
【0009】
【作用】
請求項1記載の本考案顕微鏡においては、試料載置面の一端に試料受け面が設 けられたXYステージに、XYステージの試料載置面に載置された試料を押さえ る試料押さえが設けられ、試料押さえは試料載置面に載置された試料に接近もし くは離れる方向に移動可能に設けられ、試料押さえとXYステージに設けられた バネ受けの間に設けられたバネの復元力により試料押さえは試料載置面に載置さ れた試料を試料受け面に押さえつける方向に押しつけられているので、試料は試 料押さえにより試料載置面の一端の試料受け面に押さえつけられる結果、妄動し ない。
【0010】 請求項2記載の本考案顕微鏡においては、XYステージの試料載置面がゴムの ような試料固定部材により形成されているので、試料はXYステージの試料載置 面上において妄動しない。
【0011】
【実施例】
次に、本考案の実施例を、図面を参照しながら説明する。 図1は、本考案顕微鏡の一例の要部のみ断面で示した正面図。図2は図1のII −II線における要部平面図である。
【0012】 図1、2において、1は、顕微鏡本体4の上に設けられたX方向或いはY方向 に移動可能なXYステージであり、XYステージ1には、試料2を載置するため の凹陥された載置面11が設けられている。12は試料載置面11の一端に設け られた試料受け面である。
【0013】 13は試料押さえであり、試料押さえ13は、XYステージ1上において、試 料載置面11の試料受け面12とは反対側に設けられ、試料押さえ13は、矢印 aで示すように、載置面11上の試料2に接近或いは離れる方向に摺動可能に設 けられている。
【0014】 14はガイドピンであり、ガイドピン14は試料押さえ13に穿設された溝1 31内に挿通され、ガイドピン14の先端はXYステージ1に取付けられており 、ガイドピン14によって試料押さえ13の移動を規制している。15はバネ受 けであり,バネ受け15はXYステージ1に突設されている。16は第二のガイ ドピンであり、第二のガイドピン16はバネ受け15に穿設された貫通孔151 を貫通し、その先端は試料押さえ13に取付けられている。17は圧縮コイルバ ネであり、圧縮コイルバネ17は、試料押さえ13の背板132とバネ受け15 との間に張設され、圧縮コイルバネ17の復元力により試料押さえ13は試料2 を受け面12に押しつけている。
【0015】 尚、5は鏡筒3を支持する腕、6はXYステージ1の下方に設けられた光源で ある。 図3は、本考案顕微鏡の他の一例の要部のみを示す断面図である。
【0016】 図3に示す本考案顕微鏡においては、図1、2に示す本考案顕微鏡のように試 料押さえ13を設ける代わりにXYステージ1の試料載置面11をゴムのような 試料固定部材111で形成したものである。
【0017】
【考案の効果】
請求項1記載の本考案顕微鏡においては、バネの復元力により試料押さえは試 料載置面に載置された試料を試料受け面に押さえつける方向に押しつけられてい ることにより、試料は試料押さえにより試料載置面の一端の試料受け面に押さえ つけられる結果、妄動しないので、試料を敏速に鏡筒の直下に位置させることが でき顕微鏡による観察が容易となる。
【0018】 請求項2記載の本考案顕微鏡においては、XYステージの試料載置面がゴムの ような試料固定部材により形成されており、試料固定部材上の試料はXYステー ジの試料載置面上において妄動しないので、試料を敏速に鏡筒の直下に位置させ ることができ顕微鏡による観察が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案顕微鏡の一例の要部のみを断面で示した
正面図。
【図2】図1のII−II線における要部平面図。
【図3】本考案顕微鏡の一例の要部のみの断面図。
【図4】従来の顕微鏡の要部のみを断面で示した正面
図。
【符号の説明】
1 XYステージ 11 試料載置面 111 試料固定部材 12 受け面 13 試料押さえ 14 ガイドピン 15 バネ受け 16 第二のガイドピン 17 バネ 2 試料 3 鏡筒 4 顕微鏡本体 5 支持腕 6 光源

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 試料載置面の一端に試料受け面が設けら
    れたXYステージに、XYステージの試料載置面に載置
    された試料を押さえる試料押さえが設けられ、試料押さ
    えは試料載置面に載置された試料に接近もしくは離れる
    方向に移動可能に設けられ、試料押さえとXYステージ
    に設けられたバネ受けの間に設けられたバネの復元力に
    より試料押さえは試料載置面に載置された試料を試料受
    け面に押さえつける方向に押しつけられていることを特
    徴とする顕微鏡。
  2. 【請求項2】 XYステージの試料載置面がゴムのよう
    な試料固定部材により形成されていることを特徴とする
    顕微鏡。
JP8594892U 1992-12-15 1992-12-15 顕微鏡 Pending JPH0650022U (ja)

Priority Applications (1)

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JP8594892U JPH0650022U (ja) 1992-12-15 1992-12-15 顕微鏡

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JP8594892U JPH0650022U (ja) 1992-12-15 1992-12-15 顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0650022U true JPH0650022U (ja) 1994-07-08

Family

ID=13872990

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8594892U Pending JPH0650022U (ja) 1992-12-15 1992-12-15 顕微鏡

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JP (1) JPH0650022U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101878753B1 (ko) * 2012-12-20 2018-07-16 삼성전자주식회사 수직 장착이 가능한 현미경용 시료 스테이지 및 이를 채용한 주사 탐침 현미경

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