JPH10115786A - 手動ステージを有する顕微鏡 - Google Patents
手動ステージを有する顕微鏡Info
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- JPH10115786A JPH10115786A JP26973596A JP26973596A JPH10115786A JP H10115786 A JPH10115786 A JP H10115786A JP 26973596 A JP26973596 A JP 26973596A JP 26973596 A JP26973596 A JP 26973596A JP H10115786 A JPH10115786 A JP H10115786A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】操作者が被検査物表面の検査したい定点に容易
に位置決めすることができるような手動ステージを有す
る顕微鏡を提供する。 【解決手段】被検査物を顕微鏡の視野内に移動させる手
動ステージを有する顕微鏡において、被検査物を保持す
る保持手段と、該保持手段を直交するＸ方向及びＹ方向
に移動させる移動手段と、該移動手段によって移動する
保持手段を１又は複数の所定位置に位置決めする位置決
め手段とを有し、さらに、この位置決め手段は、前記所
定位置に凹部が設けられた表面を有するプレートと、前
記プレートの表面と接触する接触部とを有し、該接触部
が前記プレートの表面と接触しながら移動し、前記凹部
に嵌合することにより前記所定位置が検出され、前記保
持手段を前記所定位置に位置決めすることを特徴とする
手動ステージを有する顕微鏡が提供される。
に位置決めすることができるような手動ステージを有す
る顕微鏡を提供する。 【解決手段】被検査物を顕微鏡の視野内に移動させる手
動ステージを有する顕微鏡において、被検査物を保持す
る保持手段と、該保持手段を直交するＸ方向及びＹ方向
に移動させる移動手段と、該移動手段によって移動する
保持手段を１又は複数の所定位置に位置決めする位置決
め手段とを有し、さらに、この位置決め手段は、前記所
定位置に凹部が設けられた表面を有するプレートと、前
記プレートの表面と接触する接触部とを有し、該接触部
が前記プレートの表面と接触しながら移動し、前記凹部
に嵌合することにより前記所定位置が検出され、前記保
持手段を前記所定位置に位置決めすることを特徴とする
手動ステージを有する顕微鏡が提供される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウエハや
各種基板の表面拡大検査、観察などを行うための手動ス
テージを有する顕微鏡に関する。
各種基板の表面拡大検査、観察などを行うための手動ス
テージを有する顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、顕微鏡でシリコンウエハや基
板のような被検査物の表面観察・検査を行う際に用いら
れるステージには、被検査物上の検査すべき位置に手動
で位置合わせを行う手動ステージとコンピュータ制御に
より自動で位置合わせが行われる電動（ＣＮＣ）ステー
ジが用いられている。
板のような被検査物の表面観察・検査を行う際に用いら
れるステージには、被検査物上の検査すべき位置に手動
で位置合わせを行う手動ステージとコンピュータ制御に
より自動で位置合わせが行われる電動（ＣＮＣ）ステー
ジが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この手動ステージは、
電動（ＣＮＣ）ステージに比較して安価・小型・手早い
検査が可能という利点を持つ反面、被検査物表面の検査
したい定点へ手動で位置決めするにあたって、目視や手
感をたよりに時には顕微鏡の接眼部から目を離して位置
合わせを行うため、操作者の経験・技量によって能率が
左右されやすいことに加え、目の疲労を招いたり、検査
するべき場所を間違えてしまう等の問題があった。
電動（ＣＮＣ）ステージに比較して安価・小型・手早い
検査が可能という利点を持つ反面、被検査物表面の検査
したい定点へ手動で位置決めするにあたって、目視や手
感をたよりに時には顕微鏡の接眼部から目を離して位置
合わせを行うため、操作者の経験・技量によって能率が
左右されやすいことに加え、目の疲労を招いたり、検査
するべき場所を間違えてしまう等の問題があった。
【０００４】そこで、本発明の目的は、手動ステージを
用いて被検査物の表面を顕微鏡で検査する場合、操作者
が被検査物表面の検査したい定点に容易に位置決めする
ことができるような手動ステージを有する顕微鏡を提供
することである。
用いて被検査物の表面を顕微鏡で検査する場合、操作者
が被検査物表面の検査したい定点に容易に位置決めする
ことができるような手動ステージを有する顕微鏡を提供
することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、被
検査物を顕微鏡の視野内に移動させる手動ステージを有
する顕微鏡において、前記被検査物を保持する保持手段
と、該保持手段を直交するＸ方向及びＹ方向に移動させ
る移動手段と、該移動手段によって移動する前記保持手
段が１又は複数の所定位置に移動したことを検出し、前
記保持手段が前記所定位置を位置決めする位置決め手段
とを備えたことを特徴とする手動ステージを有する顕微
鏡を提供することにより達成される。
検査物を顕微鏡の視野内に移動させる手動ステージを有
する顕微鏡において、前記被検査物を保持する保持手段
と、該保持手段を直交するＸ方向及びＹ方向に移動させ
る移動手段と、該移動手段によって移動する前記保持手
段が１又は複数の所定位置に移動したことを検出し、前
記保持手段が前記所定位置を位置決めする位置決め手段
とを備えたことを特徴とする手動ステージを有する顕微
鏡を提供することにより達成される。
【０００６】さらに、前記位置決め手段は、前記所定位
置に凹部が設けられた表面を有するプレートと、前記保
持手段とともに移動し、前記プレートの表面と接触する
接触部とを有し、該接触部が前記プレートの表面と接触
しながら移動し、前記凹部に嵌合することにより前記所
定位置が検出され、前記保持手段を前記所定位置に位置
決めする。
置に凹部が設けられた表面を有するプレートと、前記保
持手段とともに移動し、前記プレートの表面と接触する
接触部とを有し、該接触部が前記プレートの表面と接触
しながら移動し、前記凹部に嵌合することにより前記所
定位置が検出され、前記保持手段を前記所定位置に位置
決めする。
【０００７】また、前記位置決め手段は、前記所定位置
のＸ方向成分位置に凹部が設けられた表面を有する第一
のプレートと、前記所定位置のＹ方向成分位置に凹部が
設けられた表面を有する第二のプレートと、前記第一の
プレートの表面と接触する第一の接触部と、前記第二の
プレートの表面と接触する第二の接触部とを有し、該第
一及び第二の接触部が前記第一の及び第二のプレートの
表面と接触しながら移動し、前記凹部に嵌合することに
より前記Ｘ方向及びＹ方向成分位置が検出され、前記保
持手段を前記所定位置に位置決めする。
のＸ方向成分位置に凹部が設けられた表面を有する第一
のプレートと、前記所定位置のＹ方向成分位置に凹部が
設けられた表面を有する第二のプレートと、前記第一の
プレートの表面と接触する第一の接触部と、前記第二の
プレートの表面と接触する第二の接触部とを有し、該第
一及び第二の接触部が前記第一の及び第二のプレートの
表面と接触しながら移動し、前記凹部に嵌合することに
より前記Ｘ方向及びＹ方向成分位置が検出され、前記保
持手段を前記所定位置に位置決めする。
【０００８】また、上記顕微鏡において、前記プレート
は前記凹部の近傍から該凹部に向かって傾斜する傾斜部
を有していてもよい。これにより、より容易に検査位置
に位置決めすることができる。
は前記凹部の近傍から該凹部に向かって傾斜する傾斜部
を有していてもよい。これにより、より容易に検査位置
に位置決めすることができる。
【０００９】また、異なる検査位置を有する被検査物に
対応するため、前記位置決め手段は交換可能であって、
被検査物の種類によって、凹部の位置が異なるプレート
を使用することができる。
対応するため、前記位置決め手段は交換可能であって、
被検査物の種類によって、凹部の位置が異なるプレート
を使用することができる。
【００１０】また、被検査物表面との焦点合わせは、通
常、被検査物の中心において行われるなどの理由から、
検査位置には被検査物の中心が含まれることが多い。よ
って、被検査物の中心が顕微鏡の視野中心近傍となる位
置に前記凹部が前記プレートに設けられることが好まし
い。
常、被検査物の中心において行われるなどの理由から、
検査位置には被検査物の中心が含まれることが多い。よ
って、被検査物の中心が顕微鏡の視野中心近傍となる位
置に前記凹部が前記プレートに設けられることが好まし
い。
【００１１】なお、本明細書において、上記の保持手段
の保持とは、載置、配置、さらに、後述する真空吸着に
よる被検査物の固定などを含む意味として用いられる。
の保持とは、載置、配置、さらに、後述する真空吸着に
よる被検査物の固定などを含む意味として用いられる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に従って説明する。しかしながら、本発明の技術
的範囲がその実施の形態に限定されるものではない。
て図面に従って説明する。しかしながら、本発明の技術
的範囲がその実施の形態に限定されるものではない。
【００１３】図１は、本発明の実施の形態にかかる手動
ステージを有する顕微鏡を使用するウエハ検査装置の全
体概略構成図である。基台２の左側に複数の半導体ウエ
ハを収容したウエハキャリア３が上下動自在に設置さ
れ、図示しない取り出し機構により矢印ａの方向に取り
出され、ウエハ待機部６上に載置される。そして、ウエ
ハ１の表面の状態が目視検査されてから、さらに、ウエ
ハ裏面検査機構５のウエハ保持アーム２０を回転させる
ことによりウエハ１の裏面を検査員に露見させ、ウエハ
１の裏面の目視するマクロ検査が行われる。
ステージを有する顕微鏡を使用するウエハ検査装置の全
体概略構成図である。基台２の左側に複数の半導体ウエ
ハを収容したウエハキャリア３が上下動自在に設置さ
れ、図示しない取り出し機構により矢印ａの方向に取り
出され、ウエハ待機部６上に載置される。そして、ウエ
ハ１の表面の状態が目視検査されてから、さらに、ウエ
ハ裏面検査機構５のウエハ保持アーム２０を回転させる
ことによりウエハ１の裏面を検査員に露見させ、ウエハ
１の裏面の目視するマクロ検査が行われる。
【００１４】ウエハ１は、再びウエハ待機部６上に戻さ
れ、図示しない移動機構により矢印ｃに従って顕微鏡９
の手動ステージ７上に載せられる。なお、ウエハ待機部
６及び手動ステージ７には、ウエハ１が所定の位置に載
せられるように適当な位置決め、センタリング機構（図
示せず）が設けられている。
れ、図示しない移動機構により矢印ｃに従って顕微鏡９
の手動ステージ７上に載せられる。なお、ウエハ待機部
６及び手動ステージ７には、ウエハ１が所定の位置に載
せられるように適当な位置決め、センタリング機構（図
示せず）が設けられている。
【００１５】さらに、手動ステージ７には手動ハンドル
１３Ａが取り付けられ、図示しない移動手段により手動
ステージ７を移動させることにより、ウエハ表面の所望
の位置を顕微鏡９の視野内に入れることができる。そし
て、光学系８によってウエハ１の表面を拡大観察するミ
クロ検査が行われる。ミクロ検査が終了すると、矢印
ｃ、ａに沿ってウエハキャリア３内にウエハ１が戻され
る。その後、ウエハキャリア３が上下動して次のウエハ
は取り出されて、上記と同様のマクロ検査とミクロ検査
が行われる。
１３Ａが取り付けられ、図示しない移動手段により手動
ステージ７を移動させることにより、ウエハ表面の所望
の位置を顕微鏡９の視野内に入れることができる。そし
て、光学系８によってウエハ１の表面を拡大観察するミ
クロ検査が行われる。ミクロ検査が終了すると、矢印
ｃ、ａに沿ってウエハキャリア３内にウエハ１が戻され
る。その後、ウエハキャリア３が上下動して次のウエハ
は取り出されて、上記と同様のマクロ検査とミクロ検査
が行われる。
【００１６】図２は、本発明の第一の実施の形態である
図１における手動ステージ７の詳細斜視図である。この
手動ステージは３層構造を有し、即ち、ベース部１１、
Ｙ方向可動部１２、Ｘ方向可動部１３を備えている。ベ
ース部１１にはＹ方向移動のためのＹ方向ガイド１１Ａ
が取り付けられており、Ｙ可動部１２とＸ可動部１３は
ガイド１１Ａに沿ってＹ方向に移動する。Ｙ可動部１２
にはＹ方向ガイド１１Ａに直交してＸ方向移動のための
Ｘ方向ガイド１２Ａが取り付けられており、Ｘ可動部１
３はＸ方向ガイド１２Ａに沿ってＸ方向に移動する。
図１における手動ステージ７の詳細斜視図である。この
手動ステージは３層構造を有し、即ち、ベース部１１、
Ｙ方向可動部１２、Ｘ方向可動部１３を備えている。ベ
ース部１１にはＹ方向移動のためのＹ方向ガイド１１Ａ
が取り付けられており、Ｙ可動部１２とＸ可動部１３は
ガイド１１Ａに沿ってＹ方向に移動する。Ｙ可動部１２
にはＹ方向ガイド１１Ａに直交してＸ方向移動のための
Ｘ方向ガイド１２Ａが取り付けられており、Ｘ可動部１
３はＸ方向ガイド１２Ａに沿ってＸ方向に移動する。
【００１７】また、Ｘ可動部１３は、ハンドル１３Ａと
ウエハ吸着部１３Ｂを備えている。吸着部１３Ｂは図示
しないエアチューブによって導かれる減気圧空気の真空
圧によってウエハなどの被検査物を吸着固定し、ハンド
ル１３Ａは検査員の手によって与えられる力を各Ｘ、Ｙ
可動部１３、１２に伝える役割を負う。
ウエハ吸着部１３Ｂを備えている。吸着部１３Ｂは図示
しないエアチューブによって導かれる減気圧空気の真空
圧によってウエハなどの被検査物を吸着固定し、ハンド
ル１３Ａは検査員の手によって与えられる力を各Ｘ、Ｙ
可動部１３、１２に伝える役割を負う。
【００１８】さらに、本実施の形態においては、ベース
部１１上に配置されたプレート１４Ｂ及びプレート１４
Ｂの表面と接触するようにＸ可動部１３に固定されたボ
ールプランジャ１４Ａによって構成されるクリック機構
が提供される。
部１１上に配置されたプレート１４Ｂ及びプレート１４
Ｂの表面と接触するようにＸ可動部１３に固定されたボ
ールプランジャ１４Ａによって構成されるクリック機構
が提供される。
【００１９】図３において、（Ａ）はプレート１４Ｂの
斜視図を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’線に沿ったプ
レート１４Ｂの断面図を示す。図３によれば、プレート
１４Ｂ上には、複数のなだらかなすり鉢状の凹加工がな
されており、さらにその中心に小径で急角の凹部が設け
られている。この凹部（例えば孔部Ｂ）が被検査物表面
の検査したい定点に対応している。
斜視図を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’線に沿ったプ
レート１４Ｂの断面図を示す。図３によれば、プレート
１４Ｂ上には、複数のなだらかなすり鉢状の凹加工がな
されており、さらにその中心に小径で急角の凹部が設け
られている。この凹部（例えば孔部Ｂ）が被検査物表面
の検査したい定点に対応している。
【００２０】図４は、プレート１４Ｂの表面に接触して
いるボールプランジャ１４Ａの動きを示す断面図であ
り、図５は、そのボールプランジャ１４Ａの断面図であ
る。図５に示すように、ボールプランジャ１４Ａは、そ
のさや部１４１の内部にプレート１４Ｂに対し垂直に取
り付けられたプランジャ１４３を有しており、プランジ
ャ１４３は先端部にボール１４４を有する。このプラン
ジャ１４３はバネ１４２によってプレート１４Ｂに押し
付けられるとともに、プレート１４Ｂの表面上の凹凸に
十分な余裕を持った上下動ストロークを有する。
いるボールプランジャ１４Ａの動きを示す断面図であ
り、図５は、そのボールプランジャ１４Ａの断面図であ
る。図５に示すように、ボールプランジャ１４Ａは、そ
のさや部１４１の内部にプレート１４Ｂに対し垂直に取
り付けられたプランジャ１４３を有しており、プランジ
ャ１４３は先端部にボール１４４を有する。このプラン
ジャ１４３はバネ１４２によってプレート１４Ｂに押し
付けられるとともに、プレート１４Ｂの表面上の凹凸に
十分な余裕を持った上下動ストロークを有する。
【００２１】従って、プレート１４Ｂ表面上でのボール
プランジャ１４Ａの動きはウエハのＸ、Ｙ方向の動きを
書きなぞったものとなる。
プランジャ１４Ａの動きはウエハのＸ、Ｙ方向の動きを
書きなぞったものとなる。
【００２２】図４において、ボールプランジャ１４Ａ
は、プレート１４Ｂ上の平坦な部分Iでは、方向性なく
滑らかに動くことができ、なだらかな傾斜部分IIでは、
すり鉢の中心に引込まれる軽い力を受け、すり鉢の中心
III（例えば上記孔部Ｂ）においては、ボールプランジ
ャ１４Ａの先端は急角の凹部と嵌合し、凹部からの脱出
には一定の操作力が必要となる。ボールプランジャ１４
Ａの受ける力はそのままハンドル１３Ａでの手感とな
り、つまり操作者は引き込み感とクリック感を得ること
ができる。
は、プレート１４Ｂ上の平坦な部分Iでは、方向性なく
滑らかに動くことができ、なだらかな傾斜部分IIでは、
すり鉢の中心に引込まれる軽い力を受け、すり鉢の中心
III（例えば上記孔部Ｂ）においては、ボールプランジ
ャ１４Ａの先端は急角の凹部と嵌合し、凹部からの脱出
には一定の操作力が必要となる。ボールプランジャ１４
Ａの受ける力はそのままハンドル１３Ａでの手感とな
り、つまり操作者は引き込み感とクリック感を得ること
ができる。
【００２３】上記方法により、検査員はハンドル１３Ａ
の引き込み感とクリック感をたよりに、顕微鏡の接眼部
から目を離すことなく能率的に位置決め操作を行うこと
ができる。また、被検査物の種類によって被検査物の検
査位置が異なる場合があるので、プレート１４Ｂを着脱
又は交換可能にすることで、被検査物の検査位置に対応
した凹部を有するプレートを配置することができる。
の引き込み感とクリック感をたよりに、顕微鏡の接眼部
から目を離すことなく能率的に位置決め操作を行うこと
ができる。また、被検査物の種類によって被検査物の検
査位置が異なる場合があるので、プレート１４Ｂを着脱
又は交換可能にすることで、被検査物の検査位置に対応
した凹部を有するプレートを配置することができる。
【００２４】なお、手動ステージ７には、従来の手動ス
テージと同様、Ｘ、Ｙ方向の動きをクランプ、アンクラ
ンプするクランプ機構と、動きをクランプした状態で被
検査物の位置を微動調整する微動機構とが備えられてい
る。前述の位置決め操作は、手動ステージをアンクラン
プした状態で行われ、位置決め後、クランプした状態で
ポールプランジャ１４Ａとプレート１４Ｂの急角の凹部
とによる位置決め力やなだらかな傾斜による求心力に抗
してステージの微動が行われる。
テージと同様、Ｘ、Ｙ方向の動きをクランプ、アンクラ
ンプするクランプ機構と、動きをクランプした状態で被
検査物の位置を微動調整する微動機構とが備えられてい
る。前述の位置決め操作は、手動ステージをアンクラン
プした状態で行われ、位置決め後、クランプした状態で
ポールプランジャ１４Ａとプレート１４Ｂの急角の凹部
とによる位置決め力やなだらかな傾斜による求心力に抗
してステージの微動が行われる。
【００２５】図６は、本発明の第二の実施の形態である
図１における手動ステージ７の詳細斜視図である。第一
の実施の形態と同様に、本実施の形態における手動ステ
ージもベース部１１、Ｙ方向可動部１２、Ｘ方向可動部
１３を備えている。ベース部１１にはＹ方向移動のため
のＹ方向ガイド１１Ａが取り付けられており、Ｙ方向可
動部１２とＸ方向可動部１３はガイド１１Ａに沿ってＹ
方向に移動する。Ｙ方向可動部１２にはＹ方向ガイド１
１Ａに直交してＸ方向移動のためのＸ方向ガイド１２Ａ
が取り付けられており、Ｘ方向可動部１３はＸ方向ガイ
ド１２Ａに沿ってＸ方向に移動する。
図１における手動ステージ７の詳細斜視図である。第一
の実施の形態と同様に、本実施の形態における手動ステ
ージもベース部１１、Ｙ方向可動部１２、Ｘ方向可動部
１３を備えている。ベース部１１にはＹ方向移動のため
のＹ方向ガイド１１Ａが取り付けられており、Ｙ方向可
動部１２とＸ方向可動部１３はガイド１１Ａに沿ってＹ
方向に移動する。Ｙ方向可動部１２にはＹ方向ガイド１
１Ａに直交してＸ方向移動のためのＸ方向ガイド１２Ａ
が取り付けられており、Ｘ方向可動部１３はＸ方向ガイ
ド１２Ａに沿ってＸ方向に移動する。
【００２６】さらに、第一の実施の形態と同様に、Ｘ方
向可動部１３は、ハンドル１３Ａと吸着部１３Ｂを備え
ている。吸着部１３Ｂは図示しないエアチューブによっ
て導かれる減気圧空気の真空圧によってウエハなどの被
検査物を吸着固定し、ハンドル１３Ａは操作者の手によ
って与えられる力を各Ｘ、Ｙ方向可動部１３、１２に伝
える役割を負う。
向可動部１３は、ハンドル１３Ａと吸着部１３Ｂを備え
ている。吸着部１３Ｂは図示しないエアチューブによっ
て導かれる減気圧空気の真空圧によってウエハなどの被
検査物を吸着固定し、ハンドル１３Ａは操作者の手によ
って与えられる力を各Ｘ、Ｙ方向可動部１３、１２に伝
える役割を負う。
【００２７】そして、本実施の形態においては、クリッ
ク機構として、ベース部１１に取り付けられたＹ方向板
カムプレート１５ＡとこのＹ方向板カムプレート１５Ａ
の表面と接触するようにＹ方向可動部１２に固定された
Ｙ方向カムフォロワ１５Ｂ、及びＹ方向可動部１２に取
り付けられたＸ方向板カムプレート１６ＡとこのＸ方向
板カムプレート１６Ａの表面と接触するようにＸ方向可
動部１３に固定されたＸ方向カムフォロワ１５Ｂが提供
される。即ち、クリック機構は各Ｘ，Ｙ方向の動きに分
割して構成され、Ｘ方向移動のクリック感又はＹ方向移
動のクリック感としてそれぞれ検査員に認識される。
ク機構として、ベース部１１に取り付けられたＹ方向板
カムプレート１５ＡとこのＹ方向板カムプレート１５Ａ
の表面と接触するようにＹ方向可動部１２に固定された
Ｙ方向カムフォロワ１５Ｂ、及びＹ方向可動部１２に取
り付けられたＸ方向板カムプレート１６ＡとこのＸ方向
板カムプレート１６Ａの表面と接触するようにＸ方向可
動部１３に固定されたＸ方向カムフォロワ１５Ｂが提供
される。即ち、クリック機構は各Ｘ，Ｙ方向の動きに分
割して構成され、Ｘ方向移動のクリック感又はＹ方向移
動のクリック感としてそれぞれ検査員に認識される。
【００２８】例として、図７（Ａ）にＹ方向板カムプレ
ート１５Ａの斜視図を示し、図７（Ｂ）に（Ａ）のＡ−
Ａ’線に沿ったＹ方向板カムプレート１５Ａの断面図を
示す。図７（Ａ）及び（Ｂ）によれば、Ｙ方向板カムプ
レート１５Ａ上には、数箇所のなだらかなＶ溝加工がな
されており、さらにその中心に侠幅で急角のＶ溝加工が
施された凹部が設けられる。この凹部（例えば溝部Ｃ）
が被検査物の検査したい定点のＹ成分に対応している。
Ｘ方向カムプレート１６Ａも上述と同様の構成を有す
る。
ート１５Ａの斜視図を示し、図７（Ｂ）に（Ａ）のＡ−
Ａ’線に沿ったＹ方向板カムプレート１５Ａの断面図を
示す。図７（Ａ）及び（Ｂ）によれば、Ｙ方向板カムプ
レート１５Ａ上には、数箇所のなだらかなＶ溝加工がな
されており、さらにその中心に侠幅で急角のＶ溝加工が
施された凹部が設けられる。この凹部（例えば溝部Ｃ）
が被検査物の検査したい定点のＹ成分に対応している。
Ｘ方向カムプレート１６Ａも上述と同様の構成を有す
る。
【００２９】図８に例として、Ｙ方向板カムプレート１
５Ａ表面上に接触しているＹカムフォロワ１５Ｂの動き
（断面図）を示し、図９にそのＹカムフォロワ１５Ｂの
断面図を示す。図９において、Ｙ方向カムフォロワ１５
Ｂは、そのさや部１５１の内部にＹ方向板カムプレート
１５Ａに対し垂直に取り付けられたプランジャ１５３を
有し、プランジャ１５３は先端部にローラー１５４が取
り付けられている。このプランジャ１５３はバネ１５２
によってＹ方向板カムプレート１５Ａに押し付けられる
とともに、Ｙ方向板カムプレート１５Ａ上の凹凸に十分
な余裕を持った上下動ストロークを有する。
５Ａ表面上に接触しているＹカムフォロワ１５Ｂの動き
（断面図）を示し、図９にそのＹカムフォロワ１５Ｂの
断面図を示す。図９において、Ｙ方向カムフォロワ１５
Ｂは、そのさや部１５１の内部にＹ方向板カムプレート
１５Ａに対し垂直に取り付けられたプランジャ１５３を
有し、プランジャ１５３は先端部にローラー１５４が取
り付けられている。このプランジャ１５３はバネ１５２
によってＹ方向板カムプレート１５Ａに押し付けられる
とともに、Ｙ方向板カムプレート１５Ａ上の凹凸に十分
な余裕を持った上下動ストロークを有する。
【００３０】さらに、図８において、Ｙ方向カムフォロ
ワ１５ＢはＹ方向板カムプレート１５Ａ上の平坦な部分
Iでは、方向性なく滑らかに動くことができ、なだらか
なＶ溝傾斜部分IIでは、Ｖ溝中心に引込まれる軽い力を
受け、Ｖ溝中心位置III（例えば上記溝部Ｃ）において
は、Ｙ方向カムフォロワ１５Ｂの先端は凹部と嵌合し、
凹部からの脱出には一定の操作力が必要となる。Ｙ方向
カムフォロワ１５Ｂの受ける力はそのままハンドル１３
ＡでのＹ方向の手感となる。Ｘ方向の手感も、Ｙ方向可
動部１２に取り付けられたＸ方向板カムプレート１６Ａ
とＸ方向可動部１３と一体となって動くＸ方向カムフォ
ロワ１６ＢによってＹ方向と同様に与えられる。
ワ１５ＢはＹ方向板カムプレート１５Ａ上の平坦な部分
Iでは、方向性なく滑らかに動くことができ、なだらか
なＶ溝傾斜部分IIでは、Ｖ溝中心に引込まれる軽い力を
受け、Ｖ溝中心位置III（例えば上記溝部Ｃ）において
は、Ｙ方向カムフォロワ１５Ｂの先端は凹部と嵌合し、
凹部からの脱出には一定の操作力が必要となる。Ｙ方向
カムフォロワ１５Ｂの受ける力はそのままハンドル１３
ＡでのＹ方向の手感となる。Ｘ方向の手感も、Ｙ方向可
動部１２に取り付けられたＸ方向板カムプレート１６Ａ
とＸ方向可動部１３と一体となって動くＸ方向カムフォ
ロワ１６ＢによってＹ方向と同様に与えられる。
【００３１】また、上述同様に、被検査物の種類によっ
て被検査物の検査位置が異なる場合があるので、Ｘ方向
及びＹ方向カムプレート１６Ａ、１５Ａを着脱又は交換
可能にすることが好ましく、それにより、被検査物の検
査位置に対応した凹部を有するプレートを配置すること
ができる。
て被検査物の検査位置が異なる場合があるので、Ｘ方向
及びＹ方向カムプレート１６Ａ、１５Ａを着脱又は交換
可能にすることが好ましく、それにより、被検査物の検
査位置に対応した凹部を有するプレートを配置すること
ができる。
【００３２】なお、手動ステージ７には、従来の手動ス
テージと同様、Ｘ、Ｙ方向の動きをクランプ、アンクラ
ンプするクランプ機構と、動きをクランプした状態で被
検査物の位置を微動調整する微動機構とが備えられてい
る。前述の位置決め操作は、手動ステージをアンクラン
プした状態で行われ、位置決め後、クランプした状態で
カムフォロア１５Ｂ、１６Ｂとカムプレート１５Ａ、１
６Ａの急角の凹部とによる位置決め力やなだらかな傾斜
による求心力に抗してステージの微動が行われる。
テージと同様、Ｘ、Ｙ方向の動きをクランプ、アンクラ
ンプするクランプ機構と、動きをクランプした状態で被
検査物の位置を微動調整する微動機構とが備えられてい
る。前述の位置決め操作は、手動ステージをアンクラン
プした状態で行われ、位置決め後、クランプした状態で
カムフォロア１５Ｂ、１６Ｂとカムプレート１５Ａ、１
６Ａの急角の凹部とによる位置決め力やなだらかな傾斜
による求心力に抗してステージの微動が行われる。
【００３３】また、本発明による手動ステージを有する
顕微鏡は、ウエハに限らず、例えば、血液検査を行うた
めに、規則的に配置された複数の検体などの検査にも適
用可能である。
顕微鏡は、ウエハに限らず、例えば、血液検査を行うた
めに、規則的に配置された複数の検体などの検査にも適
用可能である。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
操作者は、被検査物の検査したい定点でクリック感を得
ることができ、それにより、クリック感をたよりに、顕
微鏡の接眼部から目を離すことなく能率的に且つ容易に
定点の位置決め操作を行うことができる。
操作者は、被検査物の検査したい定点でクリック感を得
ることができ、それにより、クリック感をたよりに、顕
微鏡の接眼部から目を離すことなく能率的に且つ容易に
定点の位置決め操作を行うことができる。
【００３５】さらに、上記プレートを取り換え可能にす
ることにより、異なる検査定点を有する被検査物に対応
するができる。即ち、プレート上に設けられる凹部の位
置がそれぞれ異なるプレートを用意し、被検査物によっ
てこれらのプレートを使い分けることができるようにな
る。
ることにより、異なる検査定点を有する被検査物に対応
するができる。即ち、プレート上に設けられる凹部の位
置がそれぞれ異なるプレートを用意し、被検査物によっ
てこれらのプレートを使い分けることができるようにな
る。
【図１】ウエハ検査装置の全体斜視図である。ウエハ検
査装置の全体斜視図である。
査装置の全体斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施の形態である手動ステージ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図３】（Ａ）はプレート１４Ｂの斜視図を示し、
（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’線に沿ったプレート１４Ｂの
断面図を示す。
（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’線に沿ったプレート１４Ｂの
断面図を示す。
【図４】プレート１４Ｂ表面上に接触しているボールプ
ランジャ１４Ａの動きを示す断面図である。
ランジャ１４Ａの動きを示す断面図である。
【図５】ボールプランジャ１４Ａの断面図である。
【図６】本発明の第二の実施の形態である手動ステージ
の斜視図である。
の斜視図である。
【図７】（Ａ）はＸ方向又はＹ方向板カムプレート１６
Ａ、１５Ａの斜視図を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’
線に沿ったＸ又はＹ方向板カムプレート１６Ａ、１５Ａ
の断面図を示す。
Ａ、１５Ａの斜視図を示し、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ’
線に沿ったＸ又はＹ方向板カムプレート１６Ａ、１５Ａ
の断面図を示す。
【図８】Ｙ方向板カムプレート１５Ａ表面上に接触して
いるＹ方向カムフォロワ１５Ｂの動きを示す断面図であ
る。
いるＹ方向カムフォロワ１５Ｂの動きを示す断面図であ
る。
【図９】Ｙ方向カムフォロワ１５Ｂの断面図である。
１１ ベース部 １１Ａ Ｙ方向ガイド １２ Ｙ方向可動部 １２Ａ Ｘ方向ガイド １３ Ｘ方向可動部 １３Ａ ハンドル １３Ｂ 吸着部 １４Ａ ボールプランジャ １４Ｂ プレート １５Ａ Ｙ方向板カムプレート １５Ｂ Ｙ方向カムフォロワ １６Ａ Ｘ方向板カムプレート １６Ｂ Ｘ方向カムフォロワ
Claims (6)
- 【請求項１】被検査物を顕微鏡の視野内に移動させる手
動ステージを有する顕微鏡において、 前記被検査物を保持する保持手段と、 該保持手段を直交するＸ方向及びＹ方向に移動させる移
動手段と、 該移動手段によって移動する前記保持手段が１又は複数
の所定位置に移動したことを検出し、前記保持手段を前
記所定位置に位置決めする位置決め手段とを備えたこと
を特徴とする手動ステージを有する顕微鏡。 - 【請求項２】前記位置決め手段は、前記所定位置に凹部
が設けられた表面を有するプレートと、前記保持手段と
ともに移動し、前記プレートの表面と接触する接触部と
を有し、 該接触部が前記プレートの表面と接触しながら移動し、
前記凹部に嵌合することにより前記所定位置が検出さ
れ、前記保持手段が前記所定位置に位置決めされること
を特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。 - 【請求項３】前記位置決め手段は、前記所定位置のＸ方
向成分位置に凹部が設けられた表面を有する第一のプレ
ートと、前記所定位置のＹ方向成分位置に凹部が設けら
れた表面を有する第二のプレートと、前記保持手段とと
もに移動し、前記第一のプレートの表面と接触する第一
の接触部と、前記保持手段とともに移動し、前記第二の
プレートの表面と接触する第二の接触部とを有し、 該第一及び第二の接触部が前記第一及び第二のプレート
の表面と接触しながら移動し、前記凹部に嵌合すること
により前記Ｘ方向及びＹ方向成分位置が検出され、前記
保持手段が前記所定位置に位置決めされることを特徴と
する請求項１に記載の顕微鏡。 - 【請求項４】前記プレートは前記凹部の近傍から該凹部
に向かって傾斜する傾斜部を有することを特徴とする請
求項２又は３に記載の顕微鏡。 - 【請求項５】前記プレートは交換可能であることを特徴
とする請求項２乃至請求項４に記載の顕微鏡。 - 【請求項６】前記所定位置は、被検査物の中心が顕微鏡
の視野中心近傍となる位置を含むことを特徴とする請求
項１乃至請求項５に記載の顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26973596A JPH10115786A (ja) | 1996-10-11 | 1996-10-11 | 手動ステージを有する顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26973596A JPH10115786A (ja) | 1996-10-11 | 1996-10-11 | 手動ステージを有する顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10115786A true JPH10115786A (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=17476440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26973596A Pending JPH10115786A (ja) | 1996-10-11 | 1996-10-11 | 手動ステージを有する顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10115786A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178415A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-07-12 | Yokogawa Electric Corp | シールドボックス |
| JP2020025128A (ja) * | 2019-11-06 | 2020-02-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置および検査システム |
-
1996
- 1996-10-11 JP JP26973596A patent/JPH10115786A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178415A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-07-12 | Yokogawa Electric Corp | シールドボックス |
| JP2020025128A (ja) * | 2019-11-06 | 2020-02-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置および検査システム |
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