JPH0649767B2 - ほう素、窒素およびけい素を基剤とする有機金属セラミック先駆物質 - Google Patents

ほう素、窒素およびけい素を基剤とする有機金属セラミック先駆物質

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JPH0649767B2
JPH0649767B2 JP2202607A JP20260790A JPH0649767B2 JP H0649767 B2 JPH0649767 B2 JP H0649767B2 JP 2202607 A JP2202607 A JP 2202607A JP 20260790 A JP20260790 A JP 20260790A JP H0649767 B2 JPH0649767 B2 JP H0649767B2
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シャルル・ボビション
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    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/583Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on boron nitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G79/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon with or without the latter elements in the main chain of the macromolecule
    • C08G79/08Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon with or without the latter elements in the main chain of the macromolecule a linkage containing boron

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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ほう素および窒素を基剤とする有機金属ポリ
マーにして、該ポリマーを1000〜2000℃の温度
で熱分解することによりセラミック先駆物質として用い
ることに関する。
それ故、本発明は、応用として、窒化ほう素を基剤とす
る特に繊維形状のセラミック製品ないし物品の製造に上
記ポリマーを用いることに関する。
窒化ほう素は、その高温安定性、熱衝撃抵抗、高い化学
的不活性および非常に良好な熱伝導性故に益々探究され
ている物質であることが知られている。更に、その低い
導電性は該窒化ほう素をして優良な絶縁体としている。
窒化ほう素の種々の製造方法が今日知られている。
その一つは、三塩化ほう素とアンモニアとを気相で反応
させることにある。斯くして、微細な窒化ほう素粉末が
得られ、それを焼結させて嵩高な製品を得ることができ
る。しかしながら、得られる製品は、いくつかの応用で
非常に不都合となりうる微孔質を示す。
近年、窒化ほう素が先駆物質ポリマーの熱分解によって
製造しうることが発見された。
ポリマールートの益は取分け、この種の製品の造形とい
う可能性にあり、特に熱分解後窒化ほう素基剤繊維を得
ることの可能性にある。
斯しくして、米国特許第4,581,468号は、トリ
クロロトリアルキルシリルボラゾール(環式化合物)に
対するアンモニアの作用(アンモノリシス)によって得
られる有機ほう素ポリマーを記載しており、また該ポリ
マーが、紡糸に続く970℃での熱分解後窒化ほう素繊
維に達することを可能にするとも示している。
しかしながら、この特許文献に記載されている出発物質
の環式化合物は製造が非常に困難で、それ故コスト高で
あり、その結果工業的製造規模での応用という見込みは
生じ難い。
仏国特許出願第2,620,455号では、用いられる
ポリマー先駆物質は、トリハロボランと、ハロゲン原子
2個が直接結合しているほう素原子少なくとも1個を含
有する化合物との混合物と、NH基少なくとも一つを
含有する化合物との反応生成物である。
仏国特許出願第2,620,443号は、この先駆物質
ポリマーから出発して、該先駆物質の、アンモニア下で
の熱分解により、本質上窒化ほう素を基剤とするセラミ
ック製品がもたらされることを教示している。
K.A.Andrinov、Bulletin of the Academy of Science、
USSR、1962、、p.1757-1758の刊行物は、式BX
トリハロボランを式(RSi)NHのヘキサアルキ
ルジシラザンに導入して式RSiNHBXのトリア
ルキルシリルアミノジハロボランを製造することにある
方法を教示している。而して、この後者の生成物は単純
な有機ほう素モノマーに過ぎず、いずれにせよ該生成物
はそのままでは適当な窒化ほう素先駆物質を構成し得な
い。
また、欧州出願第305,985号も、トリハロボラン
とジシラザンとの反応をきわめて一般的に記載してお
り、減圧下若しくは不活性雰囲気下でセラミック化繊維
を製造するための先駆物質として得られる生成物の使用
を教示している。得られる生成物は、反応の作業条件に
従って調整しうる融解温度を有するが、しかしそれが1
000℃までの温度でセラミック物質に熱的に転化され
るとき、高割合のけい素を有し且つ周囲空気への長期暴
露時安定性に乏しい点で欠点がある。
本出願人の名で1988年10月6日に出願された仏国
特許出願88/1311および同じく本出願人の名で1
989年4月13日に出願された89/05177は、
トリハロボランとジシラザンとの反応が特定の適用条件
で実施されねばならず、また該条件はセラミック先駆物
質として用いることのできるポリマーを得るのに必要で
あることを教示している。
米国特許出願第4,707,556号は、B−トリクロ
ロボラジンとジシラザンとの反応によるセラミックポリ
マーの製造を教示している。得られる先駆物質は、融解
温度が調整できないという欠点を示す、特にヘキサンに
可溶の固体である。
従って、本発明の一つの目的は、物理化学的性質を制御
することのできる、ほう素、窒素およびけい素を基剤と
したポリマーを得ることである。
本発明の他の目的は、1000℃での熱分解時けい素含
分の低いセラミック物質をもたらす、ほう素、窒素およ
びけい素を基剤としたポリマーの取得方法を提示するこ
とである。
叙上および他の目的は、実際上、ほう素、窒素およびけ
い素を基剤とするポリマーの製造方法にして、トリハロ
ボランA少なくとも1種、ジシラザンB少なくとも1種
およびB−トリクロロボラジンC少なくとも1種の混合
物の反応を含む方法に関する本発明によって達成され
る。
出発物質のトリハロボランAは次式: BX (1) に相当する。式中、Xは塩素、臭素、よう素およびふっ
素より選ばれるハロゲンである。
出発物質のジシラザンBは次式: (RSi)2NH (2) に相当する。式中、Rは同じか又は別異にして、水素お
よび炭化水素基より選ばれるが、但しけい素原子に直接
結合した水素原子は1個より多くない。
好ましい炭化水素基Rは、10個以下の炭素原子を含有
するアルキル、シクロアルキル、アルケニル、アリー
ル、アルキルアリールおよびアリールアルキル基であ
る。
本発明に適するアルキル基のうち例として、メチル、エ
チル、プロピル、ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチ
ルおよびオクチル基を挙げることができる。シクロアル
キル基としては、シクロペンチル、シクロヘキシルおよ
びシクロヘプチル基を挙げることができる。アルケニル
基としてはビニル基、アリール基としてはフェニルおよ
びナフチル基、アルキルアリール基としてはトリルおよ
びキシリル基そして最後にアリールアルキル基としては
ベンジルおよびフェニルエチル基を挙げることができ
る。
本発明によって企図されるジシラザン化合物単独ないし
混合物の例は、 である。
本発明の好ましい具体化に従って、ヘキサアルキルジシ
ラザンは単独で使用され、或はテトラアルキルジアルケ
ニルジシラザンと混合される。
出発物質のB−トリクロロボラジンCは次式: に相当する。式中、Rは水素原子および、炭素原子1
〜6個のアルキル基より選ばれる。
出発化合物A、BおよびCは好ましくは下記モル比に従
って用いられる: 0.1<A/C<10、好ましくは 0.5<A/C<2、 1<B/(A+C)<12、好ましくは 5<B/(A+C)<8 反応は大気圧で生起しうるけれども、より高い圧力ない
しより低い圧力も明らかに規定外ではない。
A、BおよびC間の反応は塊状で実施し得、或は好まし
くは、中性タイプの有機溶剤(ヘキサン、ペンタン、ト
ルエン、クロロベンゼン等)溶液で無水条件下実施する
ことができる。
反応混合物の温度は臨界的パラメーターではないが、一
般に−50℃〜使用溶剤の還流温度でありうる。
より良好な構造を持つポリマーを形成するために、斯く
してまた、後続熱分解時の収率を高めるために、例え
ば、反応混合物を溶剤の還流温度に高めることによって
該混合物を加熱することも亦有利でありうる。該加熱は
二三分〜数時間範囲の期間行なわれる。しかしながら、
この加熱処理はほとんどの場合必要でない。
この反応段階の終りに、ポリマーが反応媒体から分離さ
れる。これは、それ自体既知の任意手段により、例え
ば、不活性雰囲気下での過、或は特に液体アンモニア
による抽出ないし相分離によって行なわれる。
斯くして回収されたポリマーは、随意溶剤を(蒸留その
他の方法により)除去し次いで乾燥した後、熱分解しう
るポリマー先駆物質を形成する。
更に残留塩素含量を低下させる目的で、随意、得られた
ポリマーを後続工程で処理することができる。而して、
その処理は、塊状の或は好ましくは無水有機溶剤媒体
(ヘキサン、ペンタン、トルエン等)中のポリマーを、
NH基少なくとも1種を含有する化合物(以下アミノ
リシス剤と呼称)と接触させることにある。
用いることのできるアミノリシス剤のうち、アンモニ
ア、第一アミン、ジアミン(ヒドラジン、アルキルヒド
ラジン、ヒドラジド、アルキレンジアミン等)、アミ
ド、シリルアミンおよび類似物を挙げることができる。
用いられる化合物は好ましくは、次式(4): に相当するものである。式中、基Rは水素原子、炭化
水素基およびシリル基から選ばれる。斯くして、下記の
ものが特に適している: − アンモニア(R=水素原子)、 − 第一有機アミン(R=アルキル、シクロアルキ
ル、アリール、アルキルアリール又はアリールアルキル
基)例えばメチルアミン、エチルアミン、プロピルアミ
ン、ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン、
ヘプチルアミンおよびオクチルアミン、シクロプロピル
アミン、フェニルアミン等、 − シリルアミン特に、(トリエチルシリル)アミンの
如きトリオルガノシリルアミン又は(ヒドロジメチルシ
リル)アミンの如きヒドロオルガノシリルアミン。
好ましいアミノリシス剤は第一アルキルアミンおよびア
ンモニアである。
更に好ましい具体化に従い、作業はアンモニアを用いて
実施される。
出発化合物A、BおよびCは任意の順序で反応器に導入
することができる。しかしながら、好ましくは、有機溶
剤溶液のCを以て好ましくは−20℃以下の温度で出発
することが推奨される。次いで、化合物Aが(もし気体
なら)バブリングにより導入される。
AとCとの混合物を好ましくは−20℃以下の温度に保
持しながら、化合物Bを緩徐に流入させる。この添加時
間は好ましくは10分〜5時間である。Bを添加し終え
たとき、反応混合物を室温(20℃)に戻し、得られた
ポリマーを溶剤の除去によって析出させる。
本発明に従って得ることのできるほう素、窒素およびけ
い素を基剤としたポリマーは、400〜10,000好
ましくは600〜5000でありうる数平均分子量(
n)を有する。
更に、該ポリマーは、600〜100,000好ましく
は700〜10,000範囲でありうる重量平均分子量
(w)を有する。多分散性比(Pr)は一般に1.1
〜3である。
上記方法を実施する条件に依って、本発明に従ったポリ
マーは室温で、低粘度ないし高粘度の油状物〜固体範囲
の形状を取りうる。
加えて、本発明に従ったポリマーは可融性であり、また
ほとんどの普通有機溶剤(ヘキサン、トルエン等)に可
溶である。その融解温度を制御することは本方法の実施
条件を用いるとき可能であり、而してその造形性が関係
する場合これは非常に有利である。
分光分析は、本発明に従ったポリマーが実際上ターポリ
マーであって、一方をAとBとの反応から得、他方をB
とCとの反応から得るポリマー2種の混合物ではないこ
とを示す。
もしそれが室温で固体状態であるなら随意溶融した後、
本発明に従ったポリマーを、直径が例えば10〜40μ
mのフィラメントに直接紡糸することができる。
次いで、得られたフィラメントは不融化し、その後、窒
化ほう素への転化目的で減圧下、不活性雰囲気(窒素、
アルゴン)中或はアンモニア下300〜1800℃の温
度で熱分解せしめられる。
フィラメントは、セラミック化後、特に熱処理、水、ア
ンモニア、紫外線、電子ビームの作用によって或はこれ
ら手段の併用によって不融化する。
而して、得られたセラミック繊維は、セラミック/セラ
ミック、セラミック/金属又はセラミック/プラスチッ
クタイプの複合材料用補強構造として用いることができ
る。
ほとんどの一般的ケース(粉末が得られる)において、
ポリマーは、該ポリマーが窒化ほう素基剤セラミックへ
と完全に転化するまで繊維の場合と同じ条件で直接熱分
解される。
斯くして得られたセラミック材料は約0.1〜3質量%
の低いけい素含量を有する。
下記例は本発明を、その範囲を制限することなく例示す
る。
例中、 nは数平均分子量であり、 wは重量平均分子量であり、 Prは多分散性比であり、 TGAは熱重量分析であり、そして%は、特記せぬ限り
重量による。
例 1(BCl3+{BCl-NH}3+HMDZ) 乾燥トルエン700mlとB−トリクロロボラジン2
0.3g(0.1モル)を1反応器に窒素下装入す
る。
−30℃に冷却後、三塩化ほう素12.9g(0.11
モル)をバブリングによって反応器に導入する。
次いで、ヘキサメチルジシラザン106.5g(0.6
6モル)を50分間にわたって流入し、その間反応混合
物の温度を約−30℃に保持する。添加し終えたとき、
混合物を1時間攪拌しながら、温度を周囲のそれに戻
す。
窒素下での過後、斯くして得られた透明且つ無色の溶
液を煮つめて、白色フォーム形状をなすポリマー36g
を生成する。
得られたポリマーの特性値は下記の如くである: − 生成物: トルエンに非常に可溶、 − 軟化温度=95℃、 − 110℃での生成物の融解で延伸時フィラメントを
形成、 − Mn=1120、 − Mw=3880、 − Pr=345, − TGA=ヘリウム下850℃で32.7%の残分。
この生成物の試料をアンモニア下1000℃までの温度
で熱分解したところ、BNの優勢な、非常に硬質の焼結
白色セラミックを得る。
− 1000℃で熱弁解した試料に対するIRおよびラ
マン分析は、得られたセラミックが本質上窒化ほう素B
Nよりなることを示す。
− 熱分解収率=28.94%、 − 残留Cl含分<0.2%、 − Si含分=1.4%。
比較例 2(BCl3+HMDZ) 乾燥トルエン630mlを窒素下1反応器に装入し、
−30℃に冷却後、三塩化ほう素26g(0.22モ
ル)をバブリングによって反応器に導入する。
次いで、ヘキサメチルジシラザン107g(0.66モ
ル)を65分間にわたって流入し、その間反応混合物の
温度を約−25℃に保持する。添加し終えたとき、混合
物を1時間30分攪拌しながら、温度を周囲のそれに戻
す。
窒素下での過後、斯くして得られた溶液を煮つめて、
僅かに白い高流動油状物23gを生成する。
得られたポリマーの特性値は下記の如くである: − TGA=ヘリウム下850℃で17.3%の残分。
この生成物の試料をアンモニア下1000℃までの温度
で熱分解したところ、Si含分5.5%のセラミックを
得る。
比較例3({BCl-NH}3+HMDZ) 乾燥トルエン620mlとB−トリクロロボラジン41
g(0.22モル)を窒素下1反応器に装入する。−
25℃に冷却後、ヘキサメチルジシラザン107.7g
(0.67モル)を20分間にわたって流入し、その間
反応混合物の温度を約−25℃に保持する。添加し終え
たとき、混合物を2時間攪拌しながら、温度を周囲のそ
れに戻す。
窒素下での過後、斯くして得られた透明無色の溶液を
煮つめて、白色フォーム形状のポリマー45gを生成す
る。
得られたポリマーの特性値は下記の如くである: − 軟化温度=200℃、 − 240℃での生成物の融解で軟質ペーストを形成、 − TGA=ヘリウム下850℃で43.7%の残分。
この生成物の試料をアンモニア下1000℃までの温度
で熱分解したところ、BNの優勢なセラミックを得る。
− 熱分解収率=37.5%、 − Si含量=3.4%。
例 4 下記のものを窒素下乾燥した1反応器に装入する: − 例2で得たポリマー 10.5g、 − 例3で得たポリマー 10.8g。
次いで、混合物を均質化するためにトルエン100ml
を加える。生成物を完全に溶かした後、溶剤を蒸発させ
て非常に不均質な粘着性固体19.7gを生成する(蒸
発時の減量1.58g)。
斯くして得た混合物のTGA=ヘリウム下850℃で3
8.5%。
例 5 乾燥トルエン300mlとB−トリクロロボラジン2
9.9g(0.162モル)をトリクロロボラン6.3
g(0.054モル)と一緒に、窒素下乾燥した0.5
反応器に装入する。
ヘキサメチルジシラザン104.6g(0.648モ
ル)を1時間にわたって流入し、その間温度を反応混合
物で約−20℃に保持する。
反応終了時、溶液を過し、次いで煮つめて白色固体3
2.4gを生成する。
この生成物を1000℃までの温度でアンモニア下熱分
解してBNの優勢なセラミックを得る: − 熱分解収率=37.62%、 − Si含分=2.68%。
例 6 作業手順を例5のそれと同じにし、下記のものを導入す
る: − B−トリクロロボラジン9.75g(0.053モ
ル)、 − トリクロロボラン18.6g(0.159モル)、 − ヘキサメチルジシラザン102.6g(0.636
モル)、 − 乾燥トルエン 300ml。
軟化温度が200℃である脆性樹脂24.7gを得る。
熱分解の作業手順を例5のそれと同じにする。
− 熱分解収率=36.29%、 − Si含分=0.80%。
例 7 作業手順を例5のそれと同じにし、下記のものを2反
応器に導入する: − トリクロロボラン11g(0.094モル)、 − B−トリクロロボラジン17.3g(0.094モ
ル)、 − ヘキサメチルジシラザン91g(0.564モ
ル)、 − 乾燥トルエン 800ml。
軟化温度が95℃である固体生成物31.2gを得る。
熱分解の作業手順を例5のそれと同じにする。
− 熱分解収率=35.19%、 − Si含分=1.45%。
例 8 作業手順を例5のそれと同じにし、下記のものを2反
応器に導入する: − トリクロロボラン 41g(0.35モル)、 − B−トリクロロボラジン7.1g(0.039モ
ル)、 − ヘキサメチルジシラザン188.4g(1.17モ
ル)、 − 乾燥トルエン 630ml。
樹脂状の生成物41gを得る。
熱分解の作業手順を例5のそれと同じにする。
− 熱分解収率=25.66%、 − Si含分=0.43%。
例 9 ポリマーの合成: 作業手順を例5のそれと同じにし、下記のものを0.5
反応器に導入する: − トリクロロボラン36.8g(0.314モル)、 − B−トリクロロボラジン14.46g(0.078
モル)、 − ヘキサメチルジシラザン189.8g(1.18モ
ル)、 − 乾燥トルエン 400ml。
樹脂状の生成物45.5gを得る。
この生成物を減圧下熱処理に付してその物理化学的特性
を改良する。処理温度は200℃であり、処理長さは、
0.5kPaの圧力下4時間である。
軟化温度115℃、融解温度150℃の紡糸可能な固体
生成物を得る。
ポリマーの紡糸および熱分解: 得られた生成物を、直径25〜35μmの7フィラメン
トよりなる繊維形状で押出紡糸し次いで繊維をリールで
巻取る。
上記繊維はアンモニアによる処理で不融化する。
次いで、該繊維をアンモニア下1000℃で熱分解し
て、BNの優勢な、直径7.5〜12μmの7フィラメ
ントよりなる繊維を得る。
繊維熱分解収率=32%。
例 10 乾燥トルエン758.9gに溶かしたB−トリクロロボ
ラジン15.7g(0.85モル)をジャケット付き3
反応器に装入する。
これを−30℃に冷却し、次いでトリクロロボラン1
0.03g(0.085モル)を導入する。
次いで、下記の混合物: − ヘキサメチルジシラザン65.85g(0.408
モル)、 − テトラメチルジビニルジシラザン18.91g
(0.102モル) を1時間にわたって一滴一滴導入し、その間温度を−2
5℃〜−23℃に保持する。
次いで、混合物を1時間室温で放置し、過する。透明
な溶液を回収する。溶剤を減圧下蒸発した後、生成物を
0.67kPaの圧力下60℃で1時間保持する。次い
で、白色粉末23gを回収する: − 軟化温度: 110℃、 − 融解温度: 180℃。
生成物を下記条件に従ってアンモニア下熱分解する: − 25℃〜400℃: 1℃/min(1時間のプラ
トー)、 − 400℃〜1000℃: 3℃/min(1時間の
プラトー)。
完全に白色のセラミックを収率37.07%で得る。
IRおよびラマン分析並びに微量分析は、窒化ほう素の
優勢なセラミックの形成を確認する。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ほう素、窒素およびけい素を基剤とするポ
    リマーの製造方法にして、式: BX (1) (式中Xは塩素、臭素、よう素およびふっ素より選ばれ
    るハロゲンである) に相当するトリハロボランA少なくとも1種と、 式: (RSi)2NH (2) (式中Rは同じか又は別異にして、水素および炭化水素
    基より選ばれるが、但しけい素原子に直接結合した水素
    原子は1個より多くない) に相当するジシラザンB少なくとも1種と、そして式: (式中Rは水素原子および、炭素原子1〜6個のアル
    キル基より選ばれる) に相当するB−トリクロロボラジンC少なくとも1種の
    混合物の反応を含むことを特徴とする方法。
  2. 【請求項2】出発化合物A、BないしCが下記モル比: 0.1<A/C<10、 1<B/(A+C)<12 に従って用いられることを特徴とする、特許請求の範囲
    第1項記載の方法。
  3. 【請求項3】出発化合物A、BないしCが下記モル比: 0.5<A/C<2、 5<B/(A+C)<8 に従って用いられることを特徴とする、特許請求の範囲
    第1項記載の方法。
  4. 【請求項4】反応が中性タイプの有機溶媒溶液で実施さ
    れることを特徴とする、特許請求の範囲第1項〜3項の
    いずれか一項記載の方法。
  5. 【請求項5】Bがヘキサアルキルジシラザンとテトラア
    ルキルジシラザンとの混合物であることを特徴とする、
    特許請求の範囲第1項〜4項のいずれか一項記載の方
    法。
  6. 【請求項6】AがBClであり、Bがヘキサメチルジ
    シラザンであり、そしてCが式: を有することを特徴とする、特許請求の範囲第1項〜4
    項のいずれか一項記載の方法。
  7. 【請求項7】特許請求の範囲第1項〜6項のいずれか一
    項記載の方法により得ることのできるポリマーがアミノ
    リシス剤によって処理されることを特徴とする、特許請
    求の範囲第1項〜6項のいずれか一項記載の方法。
  8. 【請求項8】特許請求の範囲第1項〜7項のいずれか一
    項記載の方法により得ることのできるポリマーを用い
    た、該ポリマーの熱分解による窒化ほう素基剤セラミッ
    ク粉末の製造方法。
JP2202607A 1989-08-10 1990-08-01 ほう素、窒素およびけい素を基剤とする有機金属セラミック先駆物質 Expired - Lifetime JPH0649767B2 (ja)

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