JPH0648852Y2 - イオン注入装置におけるプラテン装置 - Google Patents
イオン注入装置におけるプラテン装置Info
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- ion implantation
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985116482U JPH0648852Y2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | イオン注入装置におけるプラテン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985116482U JPH0648852Y2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | イオン注入装置におけるプラテン装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6226036U JPS6226036U (un) | 1987-02-17 |
JPH0648852Y2 true JPH0648852Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=31001113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985116482U Expired - Lifetime JPH0648852Y2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | イオン注入装置におけるプラテン装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0648852Y2 (un) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5984838U (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-08 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | ウエ−ハ加熱装置 |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP1985116482U patent/JPH0648852Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6226036U (un) | 1987-02-17 |
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